专利汇可以提供钝化层压点腐蚀溶液专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且钝化 层压 点 腐蚀 溶液,包含有浓度为38%-42%的氟化铵溶液、浓度96%-99.5%的 冰 醋酸 、浓度95%-99.5%的丙三醇及去离子 水 (DI水),配比关系为(体积比):氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水为0.8—1∶0.8—1∶0.1—0.3∶0.1—0.3。本 发明 克服了压点发黄发黑的缺点,得到了光滑光亮的压点,其腐蚀合格率大大提高。经过一年2万多4英寸 硅 片 的使用,压点腐蚀合格率大超出预料,节约了原材料,加快工艺周期,该溶液已完全在科研及生产中使用。,下面是钝化层压点腐蚀溶液专利的具体信息内容。
本发明涉及一种用于集成电路工艺制造中的钝化层压点腐蚀的溶液。
目前集成电路钝化层(SIO2-PSG-SIO2)压点腐蚀的溶液主要由氟化物、冰醋酸等成份组成。采用此种腐蚀溶液,腐蚀出的钝化层压点铝易发黄、发黑,无光泽,且压点焊接不牢,易造成虚焊,严重影响了集成电路的稳定性和可靠性。
本发明的目的在于提供一种可使集成电路钝化层压点光亮、光滑,铝膜平整具有铝光泽的钝化层压点腐蚀溶液。
本发明的目的是这样实现的:钝化层压点腐蚀溶液,其特点在于:包含有浓度为38%-42%的氟化铵溶液、浓度96%-99.5%的冰醋酸、浓度95%-99.5%的丙三醇及去离子水(DI水),配比关系如下(体积比):氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水为0.8-1∶0.8-1∶0.1-0.3∶0.1-0.3。氟化铵主要对PSGSIO2起腐蚀作用,DI水防止溶液结晶,冰醋酸是一种弱电解质,起缓冲作用,可减少对铝层的损伤,丙三醇是一种非电解质,它的吸湿性快,在溶液中对铝产生吸附作用,当SIO2腐蚀时,丙三醇以胶体形式吸附在铝层表面,形成一层保护层,阻止铝与溶液发生电化学反应,从而阻止了溶液中的金属离子Ca+、Ag+、Fe+及其它杂质离子,溶液与铝电化反应,避免了这些金属及杂质在铝上沉积,从而使这些金属离子,与溶液中的NH3结合而溶于水中。
本发明的配制方法:上述浓度及比例关系的氟化铵溶液,放入塑料筒中,再加入上述体积比例的DI水,摇晃均匀,之后加入上述浓度的冰醋酸和丙三醇,配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用,使用为常温。
下面结合实施例对本发明进一步详细描述。
实施例1,取浓度40%的氟化铵溶液1份放入塑料筒中,再加入0.2份的DI水,摇晃均匀,加入浓度99.5%的冰醋酸1份,之后再加入浓度98%的丙三醇0.2份,配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用,使用为常温。配置前要彻底清洗容器、量杯,使用塑料容器,禁止使用石英及玻璃器皿,严防在灰尘杂质带入溶液。
本实施例2,取浓度为38%的氟化铵溶液1份放入塑料筒中,再加入0.3份的DI水,摇晃均匀,加入浓度99.5%的冰醋酸1份,之后再加入的浓度为95%的丙三醇0.3份,配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用,使用为常温。
实施例3,取浓度为42%的氟化铵溶液0.8份放入塑料筒中,再加入0.1份的DI水,摇晃均匀,加入浓度为96%的冰醋酸1份,之后再加入浓度95%的丙三醇0.3份,配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用,使用为常温。
发明与现有技术的优点如下:对钝化层腐蚀速度快、对铝腐蚀速度慢,具有良好的选择比,加上专用的使用方法,克服了压点发黄发黑的缺点,得到了光亮、光滑,有铝光泽的铝压点,使压点腐蚀合格率大大提高。经过一年2万多4英寸的硅片使用,压点腐蚀合格率大超出预料,也相应节约了原材料,加快工艺周期,本发明已完全在科研及生产中使用,达到了优良的效果。
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