1.钨化学机械抛光(CMP)组合物，包含：
a)0.1wt％至25wt％的纳米尺寸磨料，选自二氧化硅，氧化铝，氧化铈，二氧化钛，氧化锆，以及其组合；
b)0.1wt％至0.5wt％的铁化合物涂布颗粒的固体催化剂，选自铁化合物涂布的胶体二氧化硅，铁化合物涂布的胶体无机金属氧化物颗粒，铁化合物涂布的纳米尺寸无机金属氧化物颗粒，以及其组合；
c)0.0001wt％至0.5wt％的化学添加剂，选自哌嗪衍生物，氰酸盐，以及其组合；
d)0.5wt％至10wt％的氧化剂；以及
e)液体载体；
其中，所述CMP组合物的pH为约2.0至约8.0。
2.权利要求1所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，所述哌嗪衍生物具有下列通用分子结构：
其中，R1和R2独立地选自氢，任选取代的烷基，任选取代的芳基，任选取代的芳烷基，任选取代的烷氧基，任选取代的具有一个或多个羟基的有机基团，任选取代的有机磺酸，任选取代的有机磺酸盐，任选取代的酮类，任选取代的有机羧酸，任选取代的有机羧酸盐，任选取代的有机羧酸酯，任选取代的有机胺以及任选取代的有机羧酸酰胺。
3.权利要求1所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，所述哌嗪衍生物是具有下列分子结构的任选取代的有机单氨基哌嗪衍生物(a)或任选取代的有机双氨基哌嗪衍生物(b)：
其中
n独立地选自1-6；以及
R，R’，R”和R”’各自独立地选自氢，任选取代的烷基，任选取代的芳基，任选取代的芳烷基，任选取代的烷氧基，任选取代的具有一个或多个羟基的有机基团，任选取代的有机磺酸，任选取代的有机磺酸盐，任选取代的酮类，任选取代的有机羧酸，任选取代的有机羧酸盐，任选取代的有机羧酸酯，任选取代的有机胺以及任选取代的有机羧酸酰胺。
4.权利要求1所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，所述哌嗪衍生物选自(R)-哌嗪-2-羧酸；1-(2-羟乙基)哌嗪；哌嗪-2，6-二酮；1-(2-氨乙基)哌嗪；1，4-双(2-羟乙基)哌嗪；1，4-双(丙烯酰基)哌嗪；哌嗪-1-乙酸叔丁酯；1-(3-甲基苯甲基)哌嗪；4-Boc-哌嗪-2羧酸；1-(二苯甲基)哌嗪；1，4-二-Boc-哌嗪-2羧酸；2-(哌嗪-1-羰基)-苯甲酸；4-(哌嗪-1-羰基)-哌啶-1-羧酸叔丁酯；哌嗪-1-羧酸；(2-氯-苯基)酰胺哌嗪-1-羧酸二甲酰胺；哌嗪-1-羧酸-二乙酰胺；哌嗪-1-羧酸-二苯基酰胺；哌嗪-1-磺酰胺；哌嗪-2-羧酰胺；1，2-二甲基-哌嗪；1-(2-丁基)哌嗪；2-异丁基-哌嗪；2-叔丁基哌嗪；r-2-异丁基-哌嗪；s-2-异丁基-哌嗪；2-异丙基-哌嗪；1-(2-嘧啶基)哌嗪；
1-(4-三氟甲基苯基)哌嗪；1-(环丙基甲基)哌嗪；1-(2-吡嗪基)-哌嗪；1-(2-三氟甲基苯基)哌嗪；1-(6-哒嗪基)哌嗪；2-(4-三氟甲基苯基)哌嗪；2-苯基-哌嗪-1-羧酸苯甲酯；1-(1-萘甲基)哌嗪；1-(1-戊基)哌嗪；1-(2-戊基)哌嗪；1-(3-戊基)哌嗪；1-(丙酰基)哌嗪；2-苯基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；1-Boc-哌嗪；1-(4-氯苯基)哌嗪；1-(2-呋喃甲酰基)哌嗪；1-(2-氟苯基)哌嗪；1-(2-羟基苯基)哌嗪；1-(2-苯乙基)哌嗪；1-(4-氟苯基)哌嗪；1-(2-甲基苯甲基)哌嗪；1-(4-羟基苯基)哌嗪；1-(4-甲基苯甲基)哌嗪；
1-(3-羟基苯基)哌嗪；1-(1-苯乙基)哌嗪；1-(2，4-二甲基苯基)哌嗪；1-(2，5-二甲基苯基)哌嗪；1-(2，5-二甲基苯基)哌嗪；1-(2，6-二甲苯基)哌嗪；1-(2-乙基苯基)哌嗪；
1-(2-乙基苯基)哌嗪；1-(3，4-二甲基苯基)哌嗪；1-(3，5-二甲基苯基)哌嗪；1-(3-氟苯基)哌嗪；1-(3-呋喃甲酰基)哌嗪；1-(N-庚基)哌嗪；1-新戊酰基-哌嗪；2，3-二甲基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；2-(2-氯苯基)哌嗪；2-(4-氯苯基)哌嗪；n-4-cbz-哌嗪-2-羧酸甲酯；1-(2-吡啶基)哌嗪；1-(2-甲氧基苯基)哌嗪；1-(4-甲氧基苯基)哌嗪；1-(4-氯二苯甲基)哌嗪；1-(4-吡啶基)哌嗪；1-(4-氨基苯基)哌嗪；1-(4-甲氧基苯甲基)哌嗪；
1-(2-氰基苯基)哌嗪；1-(1-金刚烷基)哌嗪；1-(4-硝基苯基)哌嗪；1-(2-甲氧基乙基)哌嗪；2-(三氟甲基)哌嗪；1-(3，4-二氯苯基)哌嗪；1-Boc-哌嗪-2-羧酸；1-(2，5-二氟苯甲基)哌嗪；1-(2-乙氧基乙基)哌嗪；1-(3，4-二氯苯甲基)哌嗪；1-(3-甲氧基苯基)哌嗪；1-(环己基甲基)哌嗪；1-(3-甲基苯基)哌嗪；1-(4-甲基苯基)哌嗪；1-(3-氟苯甲基)哌嗪；1-(4-氟苯甲基)哌嗪；2-(3-甲氧基苯基)哌嗪；1-(3-氯苯甲基)哌嗪；1-(环丙基羰基)哌嗪；(R)-1-Boc-哌嗪-2-羧酸；(R)-2-苯甲基-哌嗪；(R)-3-羟甲基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；(R)-4-N-Boc-哌嗪-2-羧酸；(S)-2-苯甲基-哌嗪；(S)-2-苯甲基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；(S)-3-羟甲基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；(S)-4-N-Boc-哌嗪-2-羧酸；
1-(1-哌啶磺酰基)哌嗪；1-(2，2，2-三氟乙基)哌嗪；1-(2，3-二氟苯基)哌嗪；1-(2，4，
6-三甲基苯甲基)哌嗪；1-(2，4-二氯苯甲基)哌嗪；1-(2，4-二氟苯基)哌嗪；1-(2，6-二氯苯甲基)哌嗪；1-(2-氯苯甲基)哌嗪；1-(2-环己基乙基)哌嗪；1-(2-二异丙基氨基乙基)哌嗪；1-(2-二丙基氨基乙基)哌嗪；1-(2-乙氧基苯基)哌嗪；1-(2-乙基丁酰基)哌嗪；1-(2-氟苯甲基)哌嗪；1-(2-异丙氧基乙基)哌嗪；1-(2-甲巯基苯基)哌嗪；1-(2-甲基丙酰基)哌嗪；1-(2-吗啉基乙基)哌嗪；1-(2-苯氧基乙基)哌嗪；1-(2-哌啶基乙基)哌嗪；1-(2-吡咯烷基乙基)哌嗪；1-(3，3-二甲基丁酰基)哌嗪；1-(3，4-二氯苯甲酰基)哌嗪；1-(3-(3，5-二氯苯基)哌嗪；4-二氟苯甲酰基)哌嗪；1-(3，4-二甲基苯甲基)哌嗪；1-(3，5-二甲氧基苯甲酰基)哌嗪；1-(3，5-二甲基苯甲酰基)哌嗪；1-(3-氨基丙基)哌嗪；1-(3-氰基丙基)哌嗪；1-(3-二乙氨基丙基)哌嗪；1-(3-二丙氨基丙基)哌嗪；
1-(3-甲氧基丙基)哌嗪；1-(3-吗啉基丙基)哌嗪；1-(3-苯基丙基)哌嗪；1-(3-哌啶基丙基)哌嗪；1-(3-吡咯烷基丙基)哌嗪；1-(4-氯苯甲酰基)哌嗪；1-(4-氯苯甲基)哌嗪；
1-(4-乙氧基苯基)哌嗪；1-(4-甲氧基苯甲酰基)哌嗪；1-(4-甲氧基丁基)哌嗪；1-(4-苯基丁基)哌嗪；1-(4-吡啶基甲基)哌嗪；1-(4-叔丁基苯甲基)哌嗪；1-(环己基羰基)哌嗪；1-(乙烷磺酰基)哌嗪；1-(苯基乙酰基)哌嗪；1-cbz-哌嗪-2-羧酸；1-己酰基-哌嗪；
1-甲基磺酰基-哌嗪；2，3-二苯基-哌嗪；2-(2-呋喃基)哌嗪；2-(2-甲氧基苯基)哌嗪；
2-(2-噻吩基)哌嗪；2-(3-氧代-哌嗪-1-羰基)-苯甲酸；2-(4-氯苯基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；2-(4-甲氧基苯基)哌嗪；2-(4-甲基苯基)哌嗪；2-苯甲基-哌嗪；3-(4-氯苯基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；3-氧代-哌嗪-2-羧酸；3-苯基-哌嗪-1-羧酸乙酯；4-(4-Boc-哌嗪-1-羰基)苯基硼酸频哪醇酯；[5-(4-甲基-哌嗪-1-磺酰基)-吡啶-2-基]-肼；哌嗪-1-羧酸甲酯；1-乙基-2-甲基-哌嗪；1，4-双(3-氨基丙基)哌嗪；1-[2-(2-羟基乙氧基)乙基]哌嗪；1-(2-甲基-烯丙基)-哌嗪；2-(3-三氟甲基-苯基)哌嗪；4-N-Boc-2-甲基-哌嗪；1-(四氢-2-呋喃甲酰基)-哌嗪；1-(四氢-2-呋喃甲基)哌嗪；(R）-1-Boc-2-乙基-哌嗪；（R）-1-Boc-3-乙基-哌嗪；(S)-1-Boc-2-乙基-哌嗪；(S)-1-Boc-3-乙基-哌嗪；1-[1-(2-甲氧基苯基)乙基]哌嗪；1-[1-(3-甲氧基苯基)乙基]哌嗪；1-[1-(4-甲氧基苯基)-乙基]哌嗪；1-[2-(2-甲基苯氧基)乙基]哌嗪；1-(4-乙氧基-苯甲基)-哌嗪；1-Boc-2，6-二甲基-哌嗪；1-Boc-3，3-二甲基-哌嗪；1-Boc-3，5-二甲基-哌嗪；
1-Boc-5-氧代-哌嗪-2-羧酸；1-N-(叔丁氧基羰基)-2-乙基-哌嗪；2-(2-氟-苯基)-哌嗪；2-(3-氟-苯基)-哌嗪；2-甲基-1-(3-甲基苯基)-哌嗪；4-(5-氨基吡啶-2-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；1-[2-(二甲氨基)乙基]哌嗪；1-(1-甲基-4-哌啶基)哌嗪；1-乙酰基-4-(4-羟基苯基)哌嗪；1-[4-(三氟甲基)苯甲基]哌嗪；1-Boc-4-(2-甲酰基苯基)哌嗪；1-氨基-4-(2-羟基乙基)哌嗪；1-Boc-(4-苯甲基)哌嗪；1-Boc-4-[3-(乙氧基羰基)苯基]哌嗪；1-双(4-氟苯基)甲基哌嗪；1-Boc-4-(3-羟丙基)哌嗪；1-Boc-4-(4-甲酰基苯基)哌嗪；1-Boc-4-(4-甲氧基羰基苯基)哌嗪；1-(1，3-二氧戊环-2-基甲基)哌嗪；1-(3-氨基丙基)-4-(2-甲氧基苯基)哌嗪；1-[3-(二甲氨基)丙基]哌嗪；1-(1，2，
3，4-四氢萘-2-基)哌嗪；1-(4-氨基丁基)-4-(2-甲氧基苯基)哌嗪；1-Boc-4-(2-甲氧基羰基苯基)哌嗪；1-Boc-4-(5-硝基-2-吡啶基)哌嗪；(R)-1-Boc-2-苯甲基-哌嗪；
(R)1-N-Boc-2-异丙基-哌嗪；(R)-1-N-Boc-4-N-Fmoc-2-哌嗪羧酸；(R)-1-N-cbz-2-甲基-哌嗪；(R)-4-N-三苯甲基-2-甲基-哌嗪；(R)-N4-苯甲基-2-(苯甲基氧甲基)哌嗪；(S)-1-Boc-2-羟甲基-哌嗪；(S)-1-Boc-2-异丁基-哌嗪；(S)-1-Boc-3-苯甲基-哌嗪；(S)-1-Boc-3-异丙基-哌嗪；(S)-1-N-Boc-4-N-Fmoc-哌嗪-2-羧酸；(S)-4-N-三苯甲基-2-甲基-哌嗪；(S)-4-苯甲基-2-(甲基硫乙基)哌嗪；1-[(2，6-二氯苯基)磺酰基]哌嗪；1-[(2-甲基-1，3-噻唑-5-基)甲基]哌嗪；1-[(4，5-二甲基-1，3-噁唑-2-基)甲基]哌嗪；1-[(4-环己基苯基)磺酰基]哌嗪；1-[(4-异丁基苯基)磺酰基]哌嗪；1-[(4-甲基-1，2，5-噁二唑-3-基)甲基]哌嗪；1-[(4-仲丁基苯基)磺酰基]哌嗪；1-[(4-叔丁基-2，6-二甲基苯基)磺酰基]哌嗪；1-[1-(吡啶-2-基)乙基]哌嗪；
1-[1-(吡啶-3-基)乙基]哌嗪；1-[1-(噻吩-2-基)乙基]哌嗪；1-[2-(1-丙基)-氧乙基]-哌嗪；1-[2-(1H-吡咯-1-基)乙基]哌嗪；1-[2-(2-甲氧基-苯氧基)-乙基]-哌嗪；1-[2-(二烯丙基氨基)-乙基]-哌嗪；1-[2-(三氟甲基)吡啶-4-基]哌嗪；1-[2-(三氟甲基)喹啉-4-基]哌嗪；1-[2-氟-4-(甲基磺酰基)苯基]哌嗪；1-[2-氟-4-(甲基磺酰基)苯基]-4-(2-羟乙基)哌嗪；1-[3-(1-哌啶羰基)-2-吡啶基]哌嗪；1-[3-(二氟甲氧基)苯甲酰基]哌嗪；1-[3-(三氟甲基)吡啶-2-基]哌嗪；1-[4-(甲基磺酰基)苯基]哌嗪；1-[4-(三氟甲基)嘧啶-2-基]哌嗪；1-(1H-咪唑-2-基甲基)哌嗪；1-(2，6-二甲基吡啶-4-基)哌嗪；1-(2-二苯甲氧-乙基)-哌嗪；1-(2-羟乙基)-4-异丙基-哌嗪；
1-(2-咪唑-1-基-乙基)-哌嗪；1-(2-异氰基-乙基)-4-甲基-哌嗪；1-(2-甲基-噻唑-4-基甲基)-哌嗪；1-(2-N-Boc-氨基乙基)哌嗪；1-(2-吡啶-2-基-乙基)-哌嗪；
1-(2-吡啶-4-基-乙基)-哌嗪；1-(2-噻吩-2-基-乙基)-哌嗪；1-(3，5-二甲基-异噁唑-4-基甲基)-哌嗪；1-(3-甲氧基-苯甲基)-哌嗪；1-(3-甲基-苯甲酰基)-哌嗪；
1-(3-甲基-吡啶-2-基甲基)哌嗪；1-(3-甲基吡啶-2-基)哌嗪；1-(3-甲基吡啶-4-基)哌嗪；1-(4，6-二甲基嘧啶-2-基)哌嗪；1-(4-氰基-苯甲基)哌嗪；1-(4-乙氧基-苯磺酰基)-哌嗪；1-(4-乙氧基-吡啶-2-基)-哌嗪；1-(4-氟苯甲基)-4-(2-羟乙基)哌嗪；
1-(4-羟基-苯基)-哌嗪-4-羧酸叔丁酯；N-Boc-哌啶；2-甲基哌嗪；2，6-二甲基哌嗪；
反式-2，5-二甲基哌嗪；1，4-二甲基哌嗪；(R)-1-Boc-3-甲基哌嗪；1-Boc-3-氧代哌嗪；1，
4-双-(2-甲氧基5-甲基-苯磺酰基)-2-甲基-哌嗪；1-[(1-甲基-1H-吡唑-3-基)羰基]哌嗪；1-[(1-甲基-1H-吡唑-4-基)甲基]哌嗪；1-(2-(N，N-双-(2-羟丙基)-氨基)-乙基)-4-(2-羟丙基)-哌嗪；1-(2-甲氧基苯基)-4-((4-(2-甲氧基苯基)-1-哌嗪基)(氧代)乙酰基)哌嗪；1-(3-(2，3-二氢-1，4-苯并二噁英-6-基)丙烯酰基)-4-(4-氟苯基)哌嗪；1-(4-氯苯基)-4-[(7-{[4-(4-氯苯基)-1-哌嗪基]磺酰基}-9H-芴-2-基)磺酰基]哌嗪；1-(4-氟苯基)-4-((4-(4-氟苯基)-1-哌嗪基)(氧代)乙酰基)哌嗪；
1-(4-硝基苯基)-4-(3-{[4-(4-硝基苯基)-1-哌嗪基]羰基}苯甲酰基)哌嗪；1-(4-硝基苯基)-4-(4-{[4-(4-硝基苯基)-1-哌嗪基]羰基}苯甲酰基)哌嗪；1-乙酰基-4-(1-乙基-1H-咪唑-2-基)哌嗪；1-二苯甲基-4-{2-[5-(苯甲基硫基)-4-(2-甲基-2-丙烯基)-4H-1，2，4-三唑-3-基]乙基}哌嗪；1-苯甲基-4-[2-[(2’，4’-二氟[1，1’-联苯基]-4-基)氧]乙基]哌嗪；1-苯甲基-4-(3-((2’，4’-二氟(1，1’-联苯基)-4-基)氧]丙基]哌嗪；1-异丙基-4-[(1-甲基-1H-吡咯-2-基)甲基]哌嗪；1-甲基-4-({7-[(4-甲基-1-哌嗪基)磺酰基]-9H-芴-2-基}磺酰基)哌嗪；1-苯基-4-[苯基(4-苯基-1-哌嗪基)甲基]哌嗪；1-甲基-4-(甲基磺酰基)哌嗪；4-(2-羟基-乙基)-哌嗪-1-羧酸(4-异丙基-苯基)-酰胺；6-羟甲基-1，3-二甲基-哌嗪-2，5-二酮；2，2’-(哌嗪-1，
4-二基)二乙烷磺酸双(2-甲氧基苯基)酯；1-（金刚烷-1-亚磺酰基)-4-甲基-哌嗪；1-(苯基磺酰基)-4-(2-吡啶基)哌嗪；1-苯甲基-4-(2-甲氧基丙酰基)哌嗪；1-环己基-4-(甲基磺酰基)哌嗪；1-乙基-4-(3-呋喃基甲基)哌嗪；1-(3-苯氧基-4-吡啶基)哌嗪；1-(2-吡啶基)-4-(3-(2，3，4-三甲氧基苯基)丙烯酰基)哌嗪；1-(3-(1，3-苯并二氧杂环戊烯-5-基)丙烯酰基)-4-(2-吡啶基)哌嗪；1-(3-(1，3-苯并二氧杂环戊烯-5-基)丙烯酰基)-4-(4-甲氧基苯基)哌嗪；1，4-双-(2-吡啶基亚甲基氨基)-哌嗪；
1，4-双-(3，4，5-三甲氧基苯亚甲基氨基-哌嗪；1，4-双-(乙酰乙酰基)-哌嗪；1，4-二(2-呋喃甲酰基)哌嗪；1，4-双[2-(4-吡啶基)乙基]哌嗪；1，4-双[2-(2-吡啶基)乙基]哌嗪；1，4-双(2-羧基苯甲酰基)哌嗪；1，4-双(3-吡啶基甲基)哌嗪；1-(乙氧基羰基甲基)哌嗪；2，3，5，6-四羟基-哌嗪-1，4-二甲醛；4-苯甲基-哌嗪-1-羧酸环己基酰胺；2，
2’-(哌嗪-1，4-二基)双(2-乙醛酸)二乙酯；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)二乙酸二乙酯；
3，3’-(哌嗪-1，4-二基)二丙酸二甲酯；(2E，2’E)-3，3’-(哌嗪-1，4-二基)双(1-(2-羟基苯基)丙-2-烯-1-酮)；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)双(N-(1，5-二甲基-3-氧代-2-苯基-2，3-二氢-1H-吡唑-4-基)乙酰胺)；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)二丙酰胺；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)二丙腈；3，3’-(哌嗪-1，4-二基)双(1-(9H-咔唑-9基)丙烷-2-醇)富马酸酯；3，3’-(哌嗪-1，4-二基)双(1-苯基丙烷-1-酮)；3，3’-(哌嗪-1，4-二基)二丙烷-1-醇；4，4’-(哌嗪-1，4-二基)双(3-乙氧基环丁-3-烯-1，2-二酮)；哌嗪-1，
4-二硫代羧酸双-苯基酰胺；1，4-二-叔丁基-哌嗪-2，5-二酮；1，4-双十二烷基-哌嗪；
1，4-双十六烷基-哌嗪；1-(1-哌啶基羰基)哌嗪；1-(1-金刚烷基甲基)哌嗪；1-(3，4-二甲氧基苯甲基)哌嗪；1-(3-吡啶基羰基)哌嗪；4-哌嗪基苯甲腈；(S)-3-甲基-2-酮哌嗪；
(R)-3-甲基-2-酮哌嗪；4-(Boc-哌嗪-1-基)-3-硝基苯甲酸；1，1’-(哌嗪-1，4-二基)二丙烷-2-醇；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)双(1-苯基乙醇)；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)双(2-甲基丙腈)；哌嗪-N，N’-双(2-乙烷磺酸)；1-甲酰基哌嗪；PIPES钠盐；PIPES二钠盐；
PIPES二钾盐；哌嗪-N，N’-双(2-羟基丙烷磺酸)；1-哌嗪羧酸乙酯；POPSO二钠盐；4-羟基-3-甲氧基苯基乙二醇半哌嗪盐；柠檬酸倍半哌嗪盐水合物；4-(2-羟乙基)哌嗪-1-乙烷磺酸；4-(2-羟乙基)-1-哌嗪丙烷磺酸；HEPES钠盐；N-(2-羟乙基)哌嗪-N’-(4-丁烷磺酸)；3-甲基-2-酮哌嗪；HEPES钾盐；3-哌嗪基丙腈；哌嗪乙酸乙酯；雌酮硫酸酯哌嗪；1-哌嗪丙醇；4-(2-氨基-1-苯基乙基)哌嗪羧酸叔丁酯；4-[2-(氨基甲基)苯基]哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-[5-(羟甲基)吡啶-2-基]哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(3-氨基苯甲基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(4-[(甲基氨基)甲基]苯基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(4-氰基吡啶-2-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(5-甲酰基吡啶-2-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(氧杂环丁烷-3-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(哌啶-3-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(吡咯烷-2-基羰基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(1H-吡咯并[2，3-b]吡啶-4-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；1-[2-(2，5-二甲基-1H-吡咯-1-基)乙基]哌嗪；1-((1，5-二甲基-1H-吡唑-4-基)甲基)哌嗪；1-(1-乙基-5-甲基-1H-吡唑-4-基甲基)-哌嗪；4-(2-氨基-1-[4-(三氟甲基)苯基]乙基)哌嗪羧酸叔丁酯；3-(4-氟-苯基)-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；3-(4-羟基-苯基)-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；3-呋喃-2-基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；3-噻吩-2-基-哌嗪-1-羧酸苯甲酯；4-(2-氨基-苯基)-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-(2-氨基乙基)-1-boc-哌嗪；4-(5-羧基-吡啶-2-基)-2-甲基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；4-Boc-1-(6-甲基-2-吡啶基)哌嗪；Fmoc-4-羧甲基-哌嗪；4-Boc-哌嗪-2-羧酸甲酯；N，N-二甲基-1-哌嗪磺酰胺；
N-1-Boc-N-4-Fmoc-2-哌嗪羧酸；N-4-Boc-N-1-cbz-2-哌嗪羧酸；N-4-Boc-N-1-Fmoc-2-哌嗪乙酸；哌嗪-1-甲脒与硫酸化合物(1∶1)；1-乙基-4-哌啶-4-基-哌嗪；1-呋喃-2-基甲基-哌嗪；1-甲基-4-(2-哌啶-4-基-乙基)-哌嗪；1-甲基-4-(6-氨基吡啶-3-基)哌嗪；1-甲基-4-(哌啶-4-基)-哌嗪；1-N-Boc-4-(氮杂环丁烷-3-基)哌嗪；1-吡啶-2-基甲基-哌嗪；1-吡啶-3-基甲基-哌嗪；1-噻唑-2-基-哌嗪；2-(2，5-二甲氧基-苯基)-哌嗪；2-羧甲基-3-氧代-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；2-乙氧基羰基甲基-3-氧代-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；1-(4-甲基-环己基)-哌嗪；1-(4-甲基-哌啶-1-磺酰基)-哌嗪；1-(4-三氟甲基-吡啶-2-基)-哌嗪；1-(5-甲基-2-吡啶基)哌嗪；1-(5-甲基-2-噻唑基)哌嗪；1-(5-硝基吡啶-2-基)哌嗪；1-(6-丁氧基-2-吡啶基)哌嗪；1-(6-甲基吡啶-2-基)哌嗪；1-(N-甲基哌啶-3-基-甲基)哌嗪；1-(噻吩-2-基乙酰基)哌嗪；
1-Boc-4-(哌啶-4-基)-哌嗪；1-Boc-4-氰基甲基-哌嗪；1-环己-3烯基甲基-哌嗪，及其组合。
5.权利要求1所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，所述哌嗪衍生物选自(R)-哌嗪-2-羧酸；1-(2-羟乙基)哌嗪；哌嗪-2，6-二酮；1-(2-氨乙基)哌嗪；1，4-双(2-羟乙基)哌嗪；1，4-双(丙烯酰基)哌嗪；哌嗪-1-乙酸叔丁酯；1-(3-甲基苯甲基)哌嗪；4-(哌嗪-1-羰基)-哌啶-1-羧酸叔丁酯；哌嗪-1-羧酸二乙酰胺；哌嗪-1-磺酰胺；哌嗪-2-羧酰胺；1，2-二甲基-哌嗪；2-异丙基-哌嗪；1-(2-嘧啶基)哌嗪；
1-(2-吡嗪基)-哌嗪；1-(6-哒嗪基)哌嗪；1-(3-羟基苯基)哌嗪；1-(2-吡啶基)哌嗪；1-(4-甲氧基苯基)哌嗪；1-(4-吡啶基)哌嗪；1-(4-氨基苯基)哌嗪；1-(4-甲氧基苯甲基)哌嗪；1-(2-氰基苯基)哌嗪；1-(2-甲氧基乙基)哌嗪；1-Boc-哌嗪-2-羧酸；
1-(2-乙氧基乙基)哌嗪；(R)-1-Boc-哌嗪-2-羧酸；(R)-3-羟甲基-哌嗪1-羧酸叔丁酯；(R)-4-N-Boc-哌嗪-2-羧酸；(S)-3-羟甲基-哌嗪-1-羧酸叔丁酯；(S)-4-N-Boc-哌嗪-2-羧酸；1-(1-哌啶磺酰基)哌嗪；1-(2-二异丙基氨基乙基)哌嗪；1-(2-二丙基氨基乙基)哌嗪；1-(2-乙氧基苯基)哌嗪；1-(2-乙基丁酰基)哌嗪；1-(2-异丙氧基乙基)哌嗪；1-(2-甲巯基苯基)哌嗪；1-(2-吗啉基乙基)哌嗪；1-(2-哌啶基乙基)哌嗪；1-(2-吡咯烷基乙基)哌嗪；1-(3-氨基丙基)哌嗪；1-(3-氰基丙基)哌嗪；1-(3-二乙氨基丙基)哌嗪；1-(3-二丙氨基丙基)哌嗪；1-(3-甲氧基丙基)哌嗪；1-(3-吗啉基丙基)哌嗪；
1-(3-哌啶基丙基)哌嗪；1-(3-吡咯烷基丙基)哌嗪；1-(4-甲氧基丁基)哌嗪；1-(4-吡啶基甲基)哌嗪；1-(乙烷磺酰基)哌嗪；3-氧代-哌嗪-2-羧酸；4-甲基哌嗪-1-羧酸酯；
1，4-双(3-氨基丙基)哌嗪；1-[2-(2-羟基乙氧基)乙基]哌嗪；4-(5-氨基吡啶-2-基)哌嗪-1-羧酸叔丁酯；1-[2-(二甲氨基)乙基]哌嗪；1-(1-甲基-4-哌啶基)哌嗪；1-氨基-4-(2-羟基乙基)哌嗪；1-(3-氨基丙基)-4-(2-甲氧基苯基)哌嗪；1-[3-(二甲氨基)丙基]哌嗪；1-(4-氨基丁基)-4-(2-甲氧基苯基)哌嗪；1-[3-(1-哌啶羰基)-2-吡啶基]哌嗪；1-(1H-咪唑-2-基甲基)哌嗪；1-(2，6-二甲基吡啶-4-基)哌嗪；1-(2-羟乙基)-4-异丙基-哌嗪；1-(2-咪唑-1-基-乙基)-哌嗪；1-(2-异氰基-乙基)-4-甲基-哌嗪；1-(4-乙氧基-吡啶-2-基)-哌嗪；2-甲基哌嗪；2，6-二甲基哌嗪；反式-2，5-二甲基哌嗪；1，4-二甲基哌嗪；1，4-双(3-吡啶基甲基）哌嗪；1-(乙氧基羰基甲基)哌嗪；2，
3，5，6-四羟基-哌嗪-1，4-二甲醛；3，3’-(哌嗪-1，4-二基)二丙酸二甲酯；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)二丙酰胺；2，2’-(哌嗪-1，4-二基)二丙腈；(R)-3-甲基-2-酮哌嗪；2，
2’-(哌嗪-1，4-二基)双(2-甲基丙腈)；哌嗪-N，N，-双(2-乙烷磺酸)；1-甲酰基哌嗪；
PIPES钠盐；PIPES二钠盐；PIPES二钾盐；哌嗪-N，N’-双(2-羟基丙烷磺酸)；1-哌嗪羧酸乙酯；POPSO二钠盐；4-羟基-3-甲氧基苯基乙二醇半哌嗪盐；4-(2-羟乙基)哌嗪1-乙烷磺酸；4-(2-羟乙基)-1-哌嗪丙烷磺酸；HEPES钠盐；N-(2-羟乙基)哌嗪-N’-(4-丁烷磺酸)；3-甲基-2-酮哌嗪；HEPES钾盐；3-哌嗪基丙腈；哌嗪乙酸乙酯，及其组合。
6.权利要求1所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，所述哌嗪衍生物选自
1-(2-氨乙基)哌嗪，1，4-双(3-氨基丙基)哌嗪，及其组合。
7.前述权利要求任一项所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，所述化学添加剂是或包含选自如下的氰酸盐：氰酸钾，氰酸钠，氰酸铵，氰酸烷基铵，及其组合。
8.前述权利要求任一项所述的钨化学机械抛光(CMP)组合物，其中，其还包含如下的一种或多种
腐蚀抑制剂；
pH缓冲剂；
表面活性剂；以及
当抛光组合物的pH为5.0-8.0时的杀生物剂。
9.前述权利要求任一项所述的组合物，其中，所述组合物的其余部分基本上是液体载体。
10.前述权利要求任一项所述的组合物，其中，所述纳米尺寸磨料是胶体二氧化硅；所述固体催化剂是氧化铁涂布的胶体二氧化硅；所述化学添加剂是1-(2-氨乙基)哌嗪或氰酸钾；所述氧化剂是过氧化氢；所述腐蚀抑制剂聚氮丙啶是任选存在的；以及所述组合物的其余部分是去离子水。
11.选择性化学机械抛光的方法，包含下列步骤：
a)提供具有包含钨和至少一种其它材料的表面的半导体基材；
b)提供抛光垫；
c)提供前述权利要求任一项所述的化学机械抛光(CMP)组合物；
d)使半导体基材的表面与所述抛光垫和所述化学机械抛光组合物接触；以及e)抛光所述半导体基材的表面；
其中所述包含钨的表面的至少一部分与所述抛光垫和所述化学机械抛光组合物二者接触；并且钨的去除速率与所述至少一种其它材料的去除速率的比率等于或大于1。
12.选择性化学机械抛光的系统，包含：
a)抛光垫；
b)权利要求1-10任一项所述的化学机械抛光(CMP)组合物。
13.权利要求12所述的系统，其还包含具有包含钨和至少一种其它材料的表面的半导体基材；其中所述包含钨的表面的至少一部分与所述抛光垫和所述化学机械抛光组合物二者接触。