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一种面板 缺陷检查装置

阅读：446发布：2023-01-26

专利汇可以提供一种面板缺陷检查装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及面板光学检测装置结构技术领域，具体地指一种面板缺陷检查装置。包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜和光源，其特征在于：还包括X向滑移机构和Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构；所述的显微镜与光源滑动连接于所述Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜与光源沿Y向移动过程中保持显微镜与光源始终处于两两相对的同步状态的联动机构；所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。本实用新型的微观缺陷查看装置结构简单，操作方便，同步光源与显微镜能够最大程度将灯箱的造价，减少了电能的消耗，提高了面板的检查效率，具有极大的推广价值。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利，下面是一种面板缺陷检查装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种面板缺陷检查装置，包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜(1)和光源(2)，其特征在于：还包括X向滑移机构和Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构；所述的显微镜(1)与光源(2)滑动连接于所述Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜(1)与光源(2)沿Y向移动过程中保持显微镜(1)与光源(2)始终处于两两相对的同步状态的联动机构；所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。
2.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的联动机构包括固定在Y向滑移机构上的光源滑轨(3)；所述的光源滑轨(3)沿Y向水平布置；所述的光源(2)滑动连接于光源滑轨(3)上，通过第一电机驱动沿光源滑轨(3)移动。
3.如权利要求2所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的光源(2)与光源滑轨(3)之间设置有在光源(2)滑移到超出面板检测范围时控制第一电机停止驱动光源(2)移动的到位机构。
4.如权利要求3所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的到位机构包括固定在光源(2)X向侧部的感应片(4)和固定在光源滑轨(3)上与感应片(4)同侧的底座(5)；所述的底座(5)上安装有两片沿X向间隔布置的竖板(6)；所述的两块竖板(6)之间布置有传感器；所述的感应片(4)在跟随光源(2)滑移到超出面板检测范围时穿过两片竖板(6)之间的间隙。
5.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的X向滑移机构包括两条分置于待检测面板Y向两侧的X向导轨(7)，光源滑轨(3)可沿X向移动地布置于两条X向导轨(7)之间。
6.如权利要求5所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的Y向滑移机构包括龙门架(8)；所述的龙门架(8)Y向两端滑动连接于X向导轨(7)上，龙门架(8)上设置有沿Y向水平布置的Y向导轨(9)；所述的光源滑轨(3)固定在龙门架(8)上；所述的显微镜(1)滑动连接于Y向导轨(9)上通过第二电机驱动沿Y向移动；所述的第二电机与第一电机同步。
7.如权利要求6所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的显微镜(1)包括滑动连接于Y向导轨上的支架(10)和物镜；所述的支架(10)上安装有沿Z向布置的Z向轨道(11)；所述的Z向轨道(11)上设置有沿水平X向布置的X向轨道(12)；所述的X向轨道(12)滑动连接于Z向轨道(11)；所述的物镜滑动连接于X向轨道(12)。
8.如权利要求7所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的显微镜(1)包括多个不同倍率的物镜。
9.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的光源(2)为可调节亮度的可调光源，调节光源亮度的旋钮(13)位于光源(2)Y向侧部。

说明书全文

一种面板缺陷检查装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及面板光学检测装置结构技术领域，具体地指一种面板缺陷检查装置。

背景技术

[0002] 面板微观缺陷检查是基于光学原理来对制造业生产中遇到的常见缺陷进行检测的技术。在显示面板制造中，由于环境、设备、材料以及其它因素等的影响，生产的显示面板可能存在一些缺陷。其中面板缺陷包括面板上难以被人肉眼所观测到的微观缺陷，对于微观缺陷的检测需要使用显微镜对面板进行详细查看。通常检测方式是将面板放置到灯箱上，通过灯箱上方的显微镜镜头对沿面板的X向和Y向扫描，将面板上所有点的信息传递到显示设备上，人工观察或是数据处理分析是否存在缺陷。微观缺陷需要为显微镜提供足够强度的光线，使显微镜能够清晰分辨出面板上的缺陷，现有技术的灯箱通常是在灯箱内部布设多个光源，通过成片的光源提供足够强度的光线照射面板，即检测过程中面板上所有点均被光源照亮。这种方式虽然能够一定程度上降低面板检测的难度，但是灯箱中需要设置多颗光源，大幅度提高了灯箱的造价，另外多颗光源常亮会造成大量的电能的损耗，提高使用成本。而且面板上所有的点都被光源照射，面板上的缺陷部分可能会因为光线产生散射，形成阴影而干涉正在检测的面板上的点，影响检测效果。实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的就是要解决上述背景技术中提到的现有面板微观缺陷查看方法存在造价过高、资源浪费、检测效果误差大的问题，提供一种面板缺陷检查装置。

[0004] 本实用新型的技术方案为：一种面板缺陷检查装置，包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜和光源，其特征在于：还包括X向滑移机构和Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构；所述的显微镜与光源滑动连接于所述Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜与光源沿Y向移动过程中保持显微镜与光源始终处于两两相对的同步状态的联动机构；所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。

[0005] 进一步的所述的联动机构包括固定在Y向滑移机构上的光源滑轨；所述的光源滑轨沿Y向水平布置；所述的光源滑动连接于光源滑轨上，通过第一电机驱动沿光源滑轨移动。

[0006] 进一步的所述的光源与光源滑轨之间设置有在光源滑移到超出面板检测范围时控制第一电机停止驱动光源移动的到位机构。

[0007] 进一步的所述的到位机构包括固定在光源X向侧部的感应片和固定在光源滑轨上与感应片同侧的底座；所述的底座上安装有两片沿X向间隔布置的竖板；所述的两块竖板之间布置有传感器；所述的感应片在跟随光源滑移到超出面板检测范围时穿过两片竖板之间的间隙。

[0008] 进一步的所述的X向滑移机构包括两条分置于待检测面板Y向两侧的X向导轨，光源滑轨可沿X向移动地布置于两条X向导轨之间。

[0009] 进一步的所述的Y向滑移机构包括龙门架；所述的龙门架Y向两端滑动连接于X向导轨上，龙门架上设置有沿Y向水平布置的Y向导轨；所述的光源滑轨固定在龙门架上；所述的显微镜滑动连接于Y向导轨上通过第二电机驱动沿Y向移动；所述的第二电机与第一电机同步。

[0010] 进一步的所述的显微镜包括滑动连接于Y向导轨上的支架和物镜；所述的支架上安装有沿Z向布置的Z向轨道；所述的Z向轨道上设置有沿水平X向布置的X向轨道；所述的X向轨道滑动连接于Z向轨道；所述的物镜滑动连接于X向轨道。

[0011] 进一步的所述的显微镜包括多个不同倍率的物镜。

[0012] 进一步的所述的光源为可调节亮度的可调光源，调节光源亮度的旋钮位于光源Y向侧部。

[0013] 本实用新型的优点有：1、通过将光源与显微镜同步设置，减少了灯箱内光源的数量，避免了其他光源对显微镜的干扰，降低了灯箱造价，节约了大量的电能；

[0014] 2、通过设置到位机构，能够及时将移动出的光源位置信息反馈到控制电机上，避免光源的继续移动，减少光源移动距离，提高检查效率；

[0015] 3、通过同步控制驱动显微镜和光源的电机，使两者能够同步运行，光源与显微镜以扫描的方式对面板进行检测，提高了检测效率，降低了干扰因素；

[0016] 4、通过将光源滑轨固定安装在龙门架上，保证了光源与显微镜在X向方向上始终处于同步，降低了同步控制光源与显微镜的难度。

[0017] 本实用新型的微观缺陷查看装置结构简单，操作方便，同步光源与显微镜能够最大程度将灯箱的造价，减少了电能的消耗，提高了面板的检查效率，具有极大的推广价值。附图说明

[0018] 图1：本实用新型的轴视图；

[0019] 图2：本实用新型的俯视图；

[0020] 图3：本实用新型的侧视图；

[0021] 图4：本实用新型的到位机构的结构示意图；

[0022] 其中：1—显微镜；2—光源；3—光源滑轨；4—感应片；5—底座；6—竖板；7—X向导轨；8—龙门架；9—Y向导轨；10—支架；11—Z向轨道；12—X向轨道；13—旋钮。

具体实施方式

[0023] 下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

[0024] 如图1～4，一种面板缺陷检查装置，本实施例的查看装置通过显微镜1对待检测面板进行微观查看，通过光源2为显微镜1提供反射光线，为了减少灯箱内光源的数量和降低其他光源对显微镜1的干扰，本实用新型设置的光源2与显微镜1一一对应，两者同步运行。

[0025] 本实施例的显微镜1和光源2同步运行使通过X向滑移机构和Y向滑移机构实现的。如图1～3所示，本实施例的X向滑移机构包括两条分置于待检测面板Y向两侧的X向导轨7，本实施例的X向导轨7横截面为工字型凸台结构。

[0026] 本实施例的Y向滑移机构包括龙门架8，龙门架8Y向两端滑动连接于X向导轨7上，龙门架8上设置有沿Y向水平布置的Y向导轨9，显微镜1滑动连接于Y向导轨9上通过第二电机驱动沿Y向移动。

[0027] 即实际上显微镜1通过X向导轨7和Y向导轨9实现X向和Y向的移动，为了保证光源2与显微镜1的同步运行，本实施例龙门架8上安装有光源滑轨3。如图1～3所示，光源滑轨3固定在龙门架8上位于两条X向导轨7之间，光源2滑动连接于光源滑轨3上，通过第一电机驱动沿光源滑轨3移动，第二电机与第一电机同步。

[0028] 实际运行时，整个龙门架8沿X向导轨7移动至待检测面板的待检测起点，然后显微镜1和光源2分别沿Y向导轨9与光源滑轨3同步移动沿Y向对待检测面板上进行检测，当沿Y向的一条检测完成后，龙门架8沿X两导轨7移动至下一条的起点位置，显微镜1和光源2分别继续沿Y向导轨9与光源滑轨3同步移动沿Y向对待检测面板上条状部分进行检测，依次进行，直至待检测面板上的所有点全部被检测完。

[0029] 本实施例的显微镜1包括滑动连接于Y向导轨上的支架10和物镜，支架10上安装有沿Z向布置的Z向轨道11，Z向轨道11上设置有沿水平X向布置的X向轨道12，X向轨道12滑动连接于Z向轨道11，物镜滑动连接于X向轨道12。通过Z向轨道11和X向轨道12可以对物镜进行位置调节，使其与光源2对应。本实施例在支架10上布置有多个不同倍率的物镜。

[0030] 为了降低光源2的移动距离，本实施例在光源2与光源滑轨3之间设置有在光源2滑移到超出面板检测范围时控制第一电机停止驱动光源2移动的到位机构。如图4所示，到位机构包括固定在光源2X向侧部的感应片4和固定在光源滑轨3上与感应片4同侧的底座5，底座5上安装有两片沿X向间隔布置的竖板6，两块竖板6之间布置有传感器，感应片4在跟随光源2滑移到超出面板检测范围时穿过两片竖板6之间的间隙。

[0031] 当感应片4穿过两块竖板6之间的间隙，即感应片4与两块竖板6之间的传感器接触，传感器将该信息传递到第一电机，控制电机继续运转，避免光源2继续沿该方向移动，降低光源2的运行距离。

[0032] 本实施例的光源2为可调节亮度的可调光源，调节光源亮度的旋钮13位于光源2Y向侧部。

[0033] 对面板进行检测时，将面板固定在载台上，调节光源2的亮度，调节显微镜1的Z向和X向位置，使其与光源2对应，然后驱动龙门架8沿X向导轨7移动至待检测面板的检测起点位置，显微镜1和光源2沿Y向对待检测面板进行快速查看，当感应片4运动至竖板6对应位置时，第一电机反向运转至该Y向的检测起点位置，龙门架8沿X向运动至待检测面板的下一个检测起点，重复上述步骤，直至待检测面板上的所有点均被显微镜1观察到，完成整个检测工序。

[0034] 以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

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