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一种显微镜物镜

阅读:1037发布:2020-06-12

专利汇可以提供一种显微镜物镜专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 显微镜 物镜,属于光学领域。其包括同光轴设置的十四片球面玻璃透镜,并从物方至像方依次排列,其中第一、第二、第三透镜为胶合透镜组,第六、第七透镜为胶合透镜组,第八、第九透镜为胶合透镜组,第十、第十一透镜为胶合透镜组,第十三、第十四透镜为胶合透镜组。通过选择合适的透镜结构参数,本发明的显微镜物镜可实现高分辨 力 的成像,具有数值孔径大、 分辨率 高、体积小、加工工艺成熟、成本低等特点。,下面是一种显微镜物镜专利的具体信息内容。

1.一种显微镜物镜,包括同光轴设置的十四片球面透镜,从物方至像方依次排列,其特征在于:第一透镜(L1)、第二透镜(L2)和第三透镜(L3)组合为第一胶合透镜组,其中第一透镜(L1)面向物方为平面,面向像方为凸面;第二透镜(L2)面向物方为凹面,面向像方为凸面;第三透镜(L3)面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第一透镜(L1)的凸面与第二透镜(L2)的凹面、第二透镜(L2)的凸面与第三透镜(L3)的凹面胶合在一起;
第四透镜(L4)面向物方为凹面,面向像方为凸面;第五透镜(L5)面向物方为凸面,面向像方为凸面;
第六透镜(L6)和第七透镜(L7)组合为第二胶合透镜组,其中第六透镜(L6)面向物方为凸面,面向像方为凹面;第七透镜(L7)面向物方为凸面,面向像方为凸面;所述第六透镜(L6)的凹面与第七透镜(L7)面向物方的凸面胶合在一起;
第八透镜(L8)和第九透镜(L9)组合为第三胶合透镜组,其中第八透镜(L8)面向物方为凸面,面向像方为凹面;第九透镜(L9)面向物方为凸面,面向像方为凸面;所述第八透镜(L8)的凹面与第九透镜(L9)面向物方的凸面胶合在一起;
第十透镜(L10)和第十一透镜(L11)组合为第四胶合透镜组,其中第十透镜(L10)面向物方为凸面,面向像方为平面;第十一透镜(L11)面向物方为平面,面向像方为凹面;所述第十透镜(L10)的平面与第十一透镜(L11)的平面胶合在一起;
第十二透镜(L12)面向物方为凹面,面向像方为凹面;
第十三透镜(L13)和第十四透镜(L14)组合为第五胶合透镜组,其中第十三透镜(L13)面向物方为凸面,面向像方为凸面;第十四透镜(L14)面向物方为凹面,面向像方为凹面;所述第十三透镜(L13)面向像方的凸面与第十四透镜(L14)面向物方的凹面胶合在一起。
2.根据权利要求1所述的一种显微镜物镜,其特征在于,所述十四片球面透镜共有二十二个镜面,其中第一透镜(L1)面向物方的平面为第一镜面,第一透镜(L1)和第二透镜(L2)的胶合面为第二镜面,第二透镜(L2)和第三透镜(L3)的胶合面为第三镜面,第三透镜(L3)面向像方的凸面为第四镜面,第 四透镜(L4)的凹面为第五镜面,第四透镜(L4)的凸面为第六镜面,第五透镜(L5)面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜(L5)面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜(L6)面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜(L6)和第七透镜(L7)的胶合面为第十镜面,第七透镜(L7)面向像方的凸面为第十一镜面,第八透镜(L8)面向物方的凸面为第十二镜面,第八透镜(L8)和第九透镜(L9)的胶合面为第十三镜面,第九透镜(L9)面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜(L10)面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜(L10)和第十一透镜(L11)的胶合面为第十六镜面,第十一透镜(L11)面向像方的凹面为第十七镜面,第十二透镜(L12)面向物方的凹面为第十八镜面,第十二透镜(L12)面向像方的凹面为第十九镜面,第十三透镜(L13)面向物方的凸面为第二十镜面,第十三透镜(L13)和第十四透镜(L14)的胶合面为第二十一镜面,第十四透镜(L14)面向像方的凹面为第二十二镜面;
二十二个镜面的结构参数为:
第一镜面为R1=∞、D1=0.475~0.513mm、ψ1=0.727~0.780mm;
第二镜面为R2=-1.337~-1.263mm、D2=2.765~2.860mm、ψ2=0.923~0.982mm;
第三镜面为R3=-2.780~-2.639mm、D3=2.057~2.130mm、ψ3=2.621~2.740mm;
第四镜面为R4=-4.178~-4.009mm、D4=0.113~0.121mm、ψ4=4.003~4.133mm;
第五镜面为R5=-14.112~-13.687mm、D5=3.925~4.061mm、ψ5=6.031~6.212mm;
第六镜面为R6=-7.658~-7.351mm、D6=0.113~0.121mm、ψ6=6.725~6.901mm;
第七镜面为R7=33.359~34.037mm、D7=4.935~5.050mm、ψ7=8.962~9.161mm;
第八镜面为R8=-19.209~-18.635mm、D8=0.135~0.151mm、ψ8=9.187~9.375mm;
第九镜面为R9=26.143~26.675mm、D9=1.171~1.218mm、ψ9=9.185~9.373mm;
第十镜面为R10=12.152~12.529mm、D10=7.943~8.040mm、ψ10=8.621~8.810mm;
第十一镜面为R11=-15.015~-14.560mm、D11=0.183~0.206mm、ψ11=8.753~
8.935mm;
第十二镜面为R12=17.726~18.272mm、D12=1.271~1.320mm、ψ12=7.685~
7.850mm;
第十三镜面为R13=7.922~8.335mm、D13=4.913~5.075mm、ψ13=6.625~6.831mm;
第十四镜面为R14=-42.403~-41.555mm、D14=0.183~0.206mm、ψ14=6.553~
6.769mm;
第十五镜面为R15=5.808~6.111mm、D15=4.715~4.870mm、ψ15=5.651~5.832mm;
第十六镜面为R16=∞、D16=1.059~1.121mm、ψ16=5.362~5.530mm;
第十七镜面为R17=12.089~12.591mm、D17=2.937~3.045mm、ψ17=4.415~
4.541mm;
第十八镜面为R18=-18.947~-18.385mm、D18=0.972~1.020mm、ψ18=3.259~
3.375mm;
第十九镜面为R19=4.639~4.880mm、D19=0.972~1.020mm、ψ19=2.775~2.895mm;
第二十镜面为R20=9.748~10.250mm、D20=3.727~3.855mm、ψ20=2.858~2.980mm;
第二十一镜面为R21=-4.841~-4.598mm、D21=0.972~1.020mm、ψ21=2.707~
2.820mm;
第二十二镜面为R22=7.095~7.395mm、D22=147.389~149.076mm、ψ22=2.422~
2.531mm;其中R1为第一镜面的曲率半径,D1为第一镜面到第二镜面的距离,ψ1为第一镜面的有效通光孔径;R2为第二镜面的曲率半径,D2为第二镜面到第三镜面的距离,ψ2为第二镜面的有效通光孔径;R3为第三镜面的曲率半径,D3为第三镜面到第四镜面的距离,ψ3为第三镜面的有效通光孔径;R4为第四镜面的曲率半径,D4为第四镜面到第五镜面的距离,ψ4为第四 镜面的有效通光孔径;R5为第五镜面的曲率半径,D5为第五镜面到第六镜面的距离,ψ5为第五镜面的有效通光孔径;R6为第六镜面的曲率半径,D6为第六镜面到第七镜面的距离,ψ6为第六镜面的有效通光孔径;R7为第七镜面的曲率半径,D7为第七镜面到第八镜面的距离,ψ7为第七镜面的有效通光孔径;R8为第八镜面的曲率半径,D8为第八镜面到第九镜面的距离,ψ8为第八镜面的有效通光孔径;R9为第九镜面的曲率半径,D9为第九镜面到第十镜面的距离,ψ9为第九镜面的有效通光孔径;R10为第十镜面的曲率半径,D10为第十镜面到第十一镜面的距离,ψ10为第十镜面的有效通光孔径;R11为第十一镜面的曲率半径,D11为第十一镜面到第十二镜面的距离,ψ11为第十一镜面的有效通光孔径;R12为第十二镜面的曲率半径,D12为第十二镜面到第十三镜面的距离,ψ12为第十二镜面的有效通光孔径;R13为第十三镜面的曲率半径,D13为第十三镜面到第十四镜面的距离,ψ13为第十三镜面的有效通光孔径;R14为第十四镜面的曲率半径,D14为第十四镜面到第十五镜面的距离,ψ14为第十四镜面的有效通光孔径;R15为第十五镜面的曲率半径,D15为第十五镜面到第十六镜面的距离,ψ15为第十五镜面的有效通光孔径;R16为第十六镜面的曲率半径,D16为第十六镜面到第十七镜面的距离,ψ16为第十六镜面的有效通光孔径;R17为第十七镜面的曲率半径,D17为第十七镜面到第十八镜面的距离,ψ17为第十七镜面的有效通光孔径;R18为第十八镜面的曲率半径,D18为第十八镜面到第十九镜面的距离,ψ18为第十八镜面的有效通光孔径;
R19为第十九镜面的曲率半径,D19为第十九镜面到第二十镜面的距离,ψ19为第十九镜面的有效通光孔径;R20为第二十镜面的曲率半径,D20为第二十镜面到第二十一镜面的距离,ψ
20为第二十镜面的有效通光孔径;R21为第二十一镜面的曲率半径,D21为第二十一镜面到第二十二镜面的距离,ψ21为第二十一镜面的有效通光孔径;R22为第二十二镜面的曲率半径,D22为第二十二镜面到物镜像面的距离,ψ22为第二十二镜面的有效通光孔径。
3.根据权利要求1或2所述的一种显微镜物镜,其特征在于:所述第一透镜、第二透镜和第三透镜组合的第一胶合透镜组焦距为9.91mm,第四透镜的焦距为30.97mm,第五透镜的焦距为28.23mm,第六透镜与第七透镜组合的第二胶合透镜组焦距为39.49mm,第八透镜与第九透镜组合的第三胶合透镜组焦距为137.25mm,第十透镜与第十 一透镜组合的第四胶合透镜组焦距为42.95mm,第十二透镜的焦距为-5.63mm,第十三透镜与第十四透镜组合的第五胶合透镜组焦距为27.87mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种显微镜物镜,其特征在于:所述第一透镜的折射率/阿贝系数为1.51680/64.17,第二透镜的折射率/阿贝系数为1.91761/21.51,第三透镜的折射率/阿贝系数为1.78800/47.49,第四透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52,第五透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52,第六透镜的折射率/阿贝系数为1.91761/21.51,第七透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52,第八透镜的折射率/阿贝系数为1.85544/
36.59,第九透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52,第十透镜的折射率/阿贝系数为
1.43335/94.52,第十一透镜的折射率/阿贝系数为1.85544/36.59,第十二透镜的折射率/阿贝系数为1.74400/44.90,第十三透镜的折射率/阿贝系数为1.91761/21.51,第十四透镜的折射率/阿贝系数为1.78800/47.49。
5.根据权利要求1或2所述的一种显微镜物镜,其特征在于:所述显微镜物镜最大数值孔径为1.4。

说明书全文

一种显微镜物镜

技术领域

[0001] 本发明属于光学领域,更具体地说,涉及一种显微镜物镜。

背景技术

[0002] 显微镜已成为很多行业研究必不可少的高科技设备,在一些精密微型领域广泛应用,特别在医疗和科研等中具有不可替代的作用。
[0003] 数值孔径(NA)与显微镜的其它各个光学参数都有密切关系,一般希望它越大越好,因此提高数值孔径(NA)的大小也是科技发展的需求;目前世界上已有各类显微镜物镜,但是目前技术上能达到的数值孔径(NA)一般保持在0.65左右,能够达到更大数值孔径(NA)的也只有少数;随着科技的发展,目前很多领域开始对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求增大,因此提高显微镜物镜的数值孔径(NA)具有必要的意义。
[0004] 申请号为CN201280008900.X的中国专利公开了一种物镜及光拾取装置,其中所述的物镜用于光拾取装置,所述光拾取装置至少具有射出第一波长λ1(390nm<λ1<420nm)的第一光束的第一光源和物镜,通过所述物镜将从所述第一光源射出的所述第一波长λ1的第一光束聚光在第一光盘的信息记录面上,由此进行信息的记录和/或再生,所述物镜具有:第一光学面,其形成于所述第一光源侧;第二光学面,其面向所述第一光学面而形成,且曲率半径大于所述第一光学面;端面,其是从光轴方向观察时位于所述第二光学面外侧且与光轴大致垂直的平面,所述物镜的像侧数值孔径(NA)为0.7以上、0.9以下。尽管对于现有的技术其数值孔径有所提高,但是其数值孔径仍然不能满足一些领域的需求,同时制造成本高。
[0005] 申请号为CN201410076527.2的中国专利公开了一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜,该物镜共轭距L=1500mm,镜片分为四组独立设计再整合优化。尽管采用了双远心、25片4组结构,其中使用了5个低阶非球面来平衡像差,但物镜的像方有效视场为132×132mm,像方数值孔径为0.17。

发明内容

[0006] 针对多领域对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求,本发明提供一种显微镜物镜,可实现高数值孔径(NA),以满足目前各领域的需要。
[0007] 为了解决上述问题,本发明所采用的技术方案如下:
[0008] 一种显微镜物镜,包括同光轴设置的十四片球面透镜,从物方至像方依次排列,第一透镜、第二透镜和第三透镜组合为第一胶合透镜组,其中第一透镜面向物方为平面,面向像方为凸面;第二透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;第三透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第一透镜的凸面与第二透镜的凹面、第二透镜的凸面与第三透镜的凹面胶合在一起;第四透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;第五透镜面向物方为凸面,面向像方为凸面;第六透镜和第七透镜组合为第二胶合透镜组,其中第六透镜面向物方为凸面,面向像方为凹面;第七透镜面向物方为凸面,面向像方为凸面;所述第六透镜的凹面与第七透镜的凸面胶合在一起;第八透镜和第九透镜组合为第三胶合透镜组,其中第八透镜面向物方为凸面,面向像方为凹面;第九透镜面向物方为凸面,面向像方为凸面;所述第八透镜的凹面与第九透镜的凸面胶合在一起;第十透镜和第十一透镜组合为第四胶合透镜组,其中第十透镜面向物方为凸面,面向像方为平面;第十一透镜面向物方为平面,面向像方为凹面;所述第十透镜的平面与第十一透镜的平面胶合在一起;第十二透镜面向物方为凹面,面向像方为凹面;第十三透镜和第十四透镜组合为第五胶合透镜组,其中第十三透镜面向物方为凸面,面向像方为凸面;第十四透镜面向物方为凹面,面向像方为凹面;所述第十三透镜的凸面与第十四透镜的凹面胶合在一起。
[0009] 上述十四个透镜共有二十二个镜面,第一透镜面向物方的平面为第一镜面,第一透镜和第二透镜的胶合面为第二镜面,第二透镜和第三透镜的胶合面为第三镜面,第三透镜面向像方的凸面为第四镜面,第四透镜的凹面为第五镜面,第四透镜的凸面为第六镜面,第五透镜面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜和第七透镜的胶合面为第十镜面,第七透镜面向像方的凸面为第十一镜面,第八透镜面向物方的凸面为第十二镜面,第八透镜和第九透镜的胶合面为第十三镜面,第九透镜面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜和第十一透镜的胶合面为第十六镜面,第十一透镜面向像方的凹面为第十七镜面,第十二透镜面向物方的凹面为第十八镜面,第十二透镜面向像方的凹面为第十九镜面,第十三透镜面向物方的凸面为第二十镜面,第十三透镜和第十四透镜的胶合面为第二十一镜面,第十四透镜面向像方的凹面为第二十二镜面;二十二个镜面的结构参数见下表:
[0010] 表1二十二个镜面的结构参数
[0011]
[0012]
[0013] 其中R1为第一镜面的曲率半径;D1为第一镜面的镜面距离;ψ1为第一镜面的有效通光孔径,R2-R22、D2-D22以及ψ2-ψ22的含义依次类推,nd/vd为透镜的折射率/阿贝系数。
[0014] 优选地,所述第一透镜、第二透镜和第三透镜组合的胶合透镜组焦距离9.91mm,第四透镜的焦距为30.97mm,第五透镜的焦距为28.23mm,第六透镜与第七透镜组合的胶合透镜组焦距为39.49mm,第八透镜与第九透镜组合的胶合透镜组焦距为137.25mm,第十透镜与第十一透镜组合的胶合透镜组焦距为42.95mm,第十二透镜的焦距为-5.63mm,第十三透镜与第十四透镜组合的胶合透镜组焦距为27.87mm。
[0015] 相比于现有技术,本发明的有益效果为:
[0016] (1)本发明的显微镜物镜,全部采用球面镜片,与现有光学镜片加工与检测工艺完全兼容,制造成本低;
[0017] (2)本发明给出的二十二个镜面镜面的结构参数下可以大幅度提高显微镜物镜的数值孔径(NA),数值孔径(NA)能达到1.4;
[0018] (3)本发明结构简单,设计合理,易于制造。附图说明
[0019] 图1是本发明的显微镜物镜的结构示意图;
[0020] 图2是ZEMAX软件模拟出本发明的实施例1参数下,显微镜物镜的视场的参数表;
[0021] 图3是ZEMAX软件模拟出在图2数值孔径(NA)设定条件下,显微镜物镜成像质量效果图。其中图(a)为光程差,其横坐标为归一化孔径,纵坐标为以波数为单位的参考主光线的光程差;图(b)为单色光的基于衍射的能量集中度,其横坐标为衍射光斑的半径,纵坐标为当前半径内的能量占总能量的百分比;图(c)为多色光光学传递函数,其横坐标为空间频率,纵坐标为传递函数值;图(d)为波相差,其为实际波面与参考球面之间的光程差。

具体实施方式

[0022] 下面结合具体附图对本发明进行详细描述。
[0023] 实施例1
[0024] 如图1所示,第一透镜L1、第二透镜L2和第三透镜L3组合为胶合透镜组,其中第一透镜L1面向物方为平面,面向像方为凸面;第二透镜L2面向物方为凹面,面向像方为凸面;第三透镜L3面向物方为凹面,面向像方为凸面,第一透镜L1面向像方的凸面与第二透镜L2面向物方的凹面胶合在一起,第二透镜L2面向像方的凸面与第三透镜L3面向物方的凹面胶合在一起;第四透镜L4面向物方为凹面,面向像方为凸面;第五透镜L5面向物方为凸面,面向像方为凸面;第六透镜L6和第七透镜L7组合为胶合透镜组,其中第六透镜L6面向物方为凸面,面向像方为凹面;第七透镜L7面向物方为凸面,面向像方为凸面,第六透镜L6面向像方的凹面与第七透镜L7面向物方的凸面胶合在一起;第八透镜L8和第九透镜L9组合为胶合透镜组,其中第八透镜L8面向物方为凸面,面向像方为凹面;第九透镜L9面向物方为凸面,面向像方为凸面,第八透镜L8面向像方的凹面与第九透镜L9面向物方的凸面胶合在一起;
第十透镜L10和第十一透镜L11组合为胶合透镜组,其中第十透镜L10面向物方为凸面,面向像方为平面;第十一透镜L11面向物方为平面,面向像方为凹面,第十透镜L10面向像方的平面与第十一透镜L11面向物方的平面胶合在一起;第十二透镜L12面向物方为凹面,面向像方为凹面;第十三透镜L13和第十四透镜L14组合为胶合透镜组,其中第十三透镜L13面向物方为凸面,面向像方为凸面;第十四透镜L14面向物方为凹面,面向像方为凹面,第十三透镜L13面向像方的凸面与第十四透镜L14面向物方的凹面胶合在一起。
[0025] 十四个透镜构成的二十二个镜面的结构参数为:
[0026] 表2实施例1中二十二个镜面的结构参数
[0027]
[0028]
[0029] 第一透镜、第二透镜和第三透镜组合的胶合透镜组焦距离9.91mm,第四透镜的焦距为30.97mm,第五透镜的焦距为28.23mm,第六透镜与第七透镜组合的胶合透镜组焦距为39.49mm,第八透镜与第九透镜组合的胶合透镜组焦距为137.25mm,第十透镜与第十一透镜组合的胶合透镜组焦距为42.95mm,第十二透镜的焦距为-5.63mm,第十三透镜与第十四透镜组合的胶合透镜组焦距为27.87mm。
[0030] 通过ZEMAX软件模拟出以上参数的实验结果,如图2、图3所示,图2是ZEMAX软件模拟出本发明的实施例1参数下,显微镜物镜的数值孔径(NA)的参数表。由图2的参数可以看出,其数值孔径(NA)为1.4。完全达到大幅提高显微镜物镜的数值孔径(NA)。
[0031] 图3中的(a)光程差所展示的是在大视场下,色散的情况;由图像可以看出,在不同视场下,其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差关系,X、Y分别表示弧矢分量和子午分量,图像的最大垂直比例为±5.000波长;由上至下,由左至右看图,第一幅图像表示视场点为0.0000mm,其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图,以横坐标轴为基准,由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.546、0.436、0.480的曲线,第二幅图像表示视场点为0.0630mm,其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图,以横坐标轴为基准,由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.546、0.436、0.480的曲线,第三幅图像表示视场点为0.0880mm,其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图,以横坐标轴为基准,由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.546、0.436、0.480的曲线,第四幅图像表示视场点为0.1080mm,其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图,以横坐标轴为基准,由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.546、0.436、0.480的曲线,第五幅图像表示视场点为0.1250mm,其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图,以横坐标轴为基准,由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.546、0.436、0.480的曲线。其中每副曲线图中的曲线越靠近横坐标轴,其光程差越好,由图像可以体现出整个视场的色散较好。
[0032] 图3中的(b)单色光的基于衍射的能量集中度所展示的是在大视场下,从图像中可以看出,作一基准线,各曲线与基准线相交由下至上,其每条曲线分别表示视场点为0.1250mm、0.1080mm、0.0880mm、0.0630mm、0.0000mm时,视场的能量百分比与光斑半径之间的关系,其中最上一条曲线为理想情况下能量百分比与光斑半径的关系,其他曲线与此理想曲线之间差距越小越好,从图像可以体现出整个视场较好的能集中度。
[0033] 图3中的(c)多色光光学传递函数所展示的是在大视场下,从图像中可以看出,图像中T为子午分量,S为弧矢分量;作一基准线,各曲线与基准线相交由下至上,其第一条曲线表示视场点为0.1250mm的子午分量的传递函数,第二条曲线表示视场点为0.1080mm的子午分量的传递函数,第三条曲线表示视场点为0.0880mm的子午分量的传递函数,第四条曲线表示视场点为0.1250mm的弧矢分量的传递函数,第五条曲线表示视场点为0.1080mm的弧矢分量的传递函数,第六条曲线表示视场点为0.0630mm的子午分量的传递函数,第七条曲线表示视场点为0.0880mm的弧矢分量的传递函数,第八条曲线表示视场点为0.0630mm的弧矢分量的传递函数,第九条曲线表示视场点为0.0000mm的子午分量的传递函数和弧矢分量的传递函数。其中第十条曲线为理想情况下的传递函数曲线,其他曲线与此理想曲线越接近表示性能越好,由图像可以看出整个视场其衬度非常好。
[0034] 图3中的(d)波相差所展示的是在大视场下,波相差与理论值接近完美。
[0035] 实施例2
[0036] 同实施例1,所不同的是二十二个镜面的结构参数,具体见下表:
[0037] 表3实施例2中二十二个镜面的结构参数
[0038]
[0039] 其实验结果同样达到数值孔径(NA)为1.4,完全达到大幅提高显微镜物镜的数值孔径(NA)的效果。
[0040] 实施例3
[0041] 同实施例1,所不同的是二十二个镜面的结构参数,具体见下表:
[0042] 表4实施例3中二十二个镜面的结构参数
[0043]
[0044]
[0045] 其实验结果同样达到数值孔径(NA)为1.4,完全达到大幅提高显微镜物镜的数值孔径(NA)的效果。
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