显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法
阅读：228发布：2020-05-13
专利汇可以提供显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供操作带电粒子 显微镜 的方法以及显微镜系统。该方法包括：使用第一设置下的带电粒子显微镜记录物体的第一区域的第一图像；使用第二设置下的带电粒子显微镜记录物体的第二区域的第二图像；第二设置与第一设置在用于成像的一次带电粒子的 动能 、探测器设置、一次带电粒子的束 电流 和测量室内的压强中的至少一个上不同；读取物体的第三区域的第三图像，第一和第二区域至少部分地包含在第三区域中；显示第三图像的至少一部分；在第三图像中至少部分地显示第一图像的图示，第一图像的图示包括指示第一设置的第一指示体；在第三图像中至少部分地显示第二图像的图示，第二图像的图示包括指示第二设置的第二指示体，第二指示体不同于第一指示体。，下面是显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法专利的具体信息内容。
1.一种操作带电粒子显微镜(2)的方法，该方法包括：
使用该带电粒子显微镜(2)以第一设置记录物体(10)的第一区域(311)的第一图像；
使用该带电粒子显微镜(2)以第二设置记录该物体(10)的第二区域(313)的第二图像，其中该第二设置与该第一设置在该带电粒子显微镜用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的该一次带电粒子的束电流以及该带电粒子显微镜(2)的测量室(21)内的压强中的至少一个上不同；
读取该物体(10)的第三区域(312)的第三图像(212)，其中该第一区域和该第二区域(311，313)至少部分地包含在该第三区域(312)中；
显示该第三图像(212)的至少一部分；
在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第一图像(211)的图示，其中该第一图像(211)的图示包括指示该第一设置的第一指示体；
在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第二图像(213)的图示，其中该第二图像(213)的图示包括指示该第二设置的第二指示体，并且其中所显示的第二指示体与所显示的第一指示体不同。
2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：
通过选择该第一图像(211)的图示和该第二图像(213)的图示中的一个来选择该第一图像和该第二图像中的一个；以及
显示所选择的图像。
3.根据权利要求1或2所述的方法，进一步包括：
使用光显微镜(3)或该带电粒子显微镜(2)记录该第三图像。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该第一图像(211)的图示包括表示该第一区域(311)的横向范围的图框。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：
从该带电粒子显微镜(2)的带电粒子束和该物体(10)的反应区域获得光谱和/或衍射图；以及
在该第三图像(212)中至少部分地显示该光谱(218)和/或该衍射图的图示；其中该光谱和/或该衍射图的图示包括该光谱和/或该衍射图的指示体。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该第一图像(211)的图示构成为提供至少一个到该第一图像的数据目标的链接。
7.根据前述权利要求任一项所述的方法，其中所显示的第二指示体的颜色不同于所显示的第一指示体的颜色；和/或其中所显示的第二指示体的几何形状不同于所显示的第一指示体的几何形状。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该带电粒子显微镜(2)是电子显微镜，并且第一探测器(24)用于该第一图像的成像以及第二探测器(26)用于该第二图像的成像，其中该第一探测器(24)对于背散射电子具有比该第二探测器(26)更高的相对灵敏度。
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该物体(10)的该第一区域(311)的横向范围大于该物体的该第二区域(313)的横向范围；
其中该第三图像(212)以及该第一图像和该第二图像(211，213)的图示显示在显示介质(41)上；并且
其中在该显示介质(41)上所显示的该第一图像(211)的图示的横向范围大于在该显示介质(41)上所显示的该第二图像(213)的图示的横向范围。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该物体(10)的该第一区域(311)的中心和该物体(10)的该第三区域(312)的中心之间的连线与该物体(10)的该第二区域(313)的中心和该物体(10)的该第三区域(312)的中心之间的连线之间的角是第一角(ω)；
其中所显示的该第一图像(211)的图示的中心和所显示的该第三图像(212)的中心之间的连线与该第二图像(213)的图示的中心和所显示的该第三图像(212)的中心之间的连线之间的角是第二角(Ω)；并且
其中该第一角和该第二角之差的绝对值小于30°。
11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：
通过选择该第一图像(211)的图示和该第二图像(213)的图示中的一个来选择该第一图像和该第二图像中的一个；
显示所选择的图像；
其中在显示介质(41)上所显示的选择图像的横向范围大于在该显示介质(41)上所显示的各图像的图示的横向范围。
12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：
在所显示的第三图像(212)中选择一个区域(214)；
基于在所显示的第三图像(212)中选择的区域(214)确定该物体(10)的第四区域；并且
使用该带电粒子显微镜(2)记录该物体(10)的该第四区域的图像。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：
使用第二显微镜(3)记录该物体(10)的第五区域的第五图像；以及
在该第三图像(212)中至少部分地显示该第五图像的图示，其中该第五图像的图示包括指示该第二显微镜(3)的指示体。
14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中该第一图像(211)的图示相对于该第三图像(212)的形式和位置对应于该物体(10)的该第一区域(311)相对于该物体(10)的该第三区域(312)的范围和位置；并且
其中该第二图像(213)的图示相对于该第三图像(212)的位置和形式对应于该物体(10)的该第二区域(313)相对于该物体(10)的该第三区域(312)的位置和范围。
15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：在该第三图像中的图标位置显示图标；其中该图标构成为提供至少一个到该图标的数据目标的链接。
16.根据权利要求15所述的方法，进一步包括：
显示该第一图像；并且
在该第一图像中的一个位置显示该图标，其中该第一图像中的该位置对应于该物体的一部分，该部分对应于该第三图像中的该图标位置。
17.一种操作带电粒子显微镜(2)的用户界面的方法，包括：
读取物体(10)的第一区域(311)的第一图像，其中该第一图像对应于该带电粒子显微镜(2)的第一设置；
读取该物体(10)的第二区域(313)的第二图像，其中该第二图像对应于该带电粒子显微镜(2)的第二设置；
其中该第二设置与该第一设置在该带电粒子显微镜用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的该一次带电粒子的束电流以及该带电粒子显微镜(2)的测量室(21)内的压强中的至少一个上不同；
读取该物体的第三区域(312)的第三图像(212)，其中该第一区域和该第二区域(311，
313)至少部分地包含在该第三区域(312)中；
显示该第三图像(212)的至少一部分；
在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第一图像(211)的图示，其中该第一图像(211)的图示包括指示该第一设置的第一指示体；
在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第二图像(213)的图示；
其中该第二图像(213)的图示包括指示该第二设置的第二指示体，并且其中所显示的第二指示体不同于所显示的第一指示体。
18.根据权利要求17所述的方法，进一步包括：通过选择该第一图像(211)的图示和该第二图像(213)的图示中的一个来选择该第一图像和该第二图像中的一个；并且显示所选择的图像。
19.根据权利要求17或18所述的方法，其中该第三图像通过使用光显微镜(3)或该带电粒子显微镜(2)来记录。
20.根据权利要求17至19中任一项所述的方法，其中该第一图像(211)的图示包括表示该第一区域(311)的横向范围的图框。
21.根据权利要求17至20中任一项所述的方法，进一步包括：
读取光谱和/或衍射图，其中该光谱和/或衍射图是从该带电粒子显微镜(2)的带电粒子束和该物体(10)的反应区域获得的；以及
在第三图像(212)中至少部分地显示该光谱(218)和/或该衍射图的图示；其中该光谱(218)和/或该衍射图的图示包括该光谱和/或该衍射图的指示体。
22.一种包括带电粒子显微镜(2)的显微镜系统(1)，其中该显微镜系统(1)构成为执行根据权利要求1所述的方法。
23.根据权利要求22所述的显微镜系统(1)，其中该显微镜系统(1)进一步构成为，通过选择该第一图像(211)的图示和该第二图像(213)的图示中的一个来选择该第一图像和该第二图像中的一个；并且
其中该显微镜系统(1)进一步构成为显示所选择的图像。
24.根据权利要求22或23所述的显微镜系统(1)，其中该第三图像通过使用该显微镜系统(1)的光显微镜(3)或该带电粒子显微镜(2)来记录。
25.根据权利要求22至24中任一项所述的显微镜系统(1)，其中该第一图像(211)的图示包括表示该第一区域(311)的横向范围的图框。
26.根据权利要求22至25中任一项所述的显微镜系统(1)，其中该显微镜系统(1)进一步构成为：
从该带电粒子显微镜(2)的带电粒子束和该物体(10)的反应区域获得光谱和/或衍射图；并且
在该第三图像(212)中至少部分地显示该光谱(218)和/或该衍射图的图示；其中该光谱(218)和/或衍射图的图示包括该光谱和/或衍射图的指示体。
显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法
技术领域
[0001] 本发明总体涉及一种显微镜系统和操作带电粒子显微镜(charged-particle microscope)的方法，或一种操作带电粒子显微镜和其它不同类型显微镜的组合的方法。更具体地，本发明涉及一种操作带电粒子显微镜的方法，用于管理在不同的显微镜设置下获得的多个图像。
背景技术
[0002] 在显微镜的应用中，为了定位要观察的多个小区域，用户通常需要以较低的放大率观察物体的较大区域。当定位了要观察的较小区域时，用户会重调焦距并且转换放大率。因此，用户通常产生一组物体的图像，其覆盖了一定范围的放大率。为了识别物体的特征或者为了确定物体的要获得进一步图像的位置，用户必须浏览这组图像。
[0003] 然而，在比较放大率差异很大的图像时，难以弄清它们之间是如何彼此相关。
[0004] 在扫描电子显微镜的领域，经常通过使用不同探测器结构的多个图像来分析物体，这些图像中的每一个图像显示了物体的不同特征。例如，二次电子探测器(SE探测器)用来识别物体的外形特征。在一次电子束的能量为30kV的情形下，SE探测器的分辨率通常是1nm到3.5nm，从而能够得到要分辨的表面形貌的非常精细的细节。
[0005] 背散射电子探测器(BSE探测器)通常设置在靠近电子光学系统的出口位置，来捕获从物体以锐角反射或背散射的电子。因为BSE信号的强度与物体的原子序数(Z)密切相关，所以BSE图像可以提供关于样品中化学元素的分布的信息。BSE探测器通常是固态装置，经常具有多个组件。例如，通过转换4象限(4-Quadrant)BSE探测器的四个象限中的两个，可以产生一些阴影，从而取得更好的外形对比。
[0006] 此外，扫描电子显微镜经常提供有能量色散光谱仪(EDX探测器)。在一次电子束除去物体原子的内壳层电子的情况下，在较高能量的电子填充原子的内壳层时发射特征X射线，并且释放能量。这些特征X射线通过EDX探测器测量，产生用于识别物体的元素成分和测量特定元素的丰度的频谱。
[0007] 因此，利用扫描电子显微镜对物体进行全面的研究包括研究不同放大率的图像，这些图像是通过在样品的不同位置使用不同的探测器而获得的。然而，对用户来说，通常难以确定这些图像之间的相互关系，这使得分析复杂的物体成为一项费时的任务。
[0008] 从而，可知需要提供一种操作带电粒子显微镜的方法以更有效地获取和分析物体的图像数据。
发明内容
[0009] 本发明的实施例提供一种操作带电粒子显微镜的方法，所述的方法包括：使用该带电粒子显微镜在第一设置下记录物体的第一区域的第一图像；使用该带电粒子显微镜在第二设置下记录该物体的第二区域的第二图像；其中该第二设置与该第一设置在该带电粒子显微镜用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的该一次带电粒子的束电流以及该带电粒子显微镜的测量室内的压强中的至少一个上不同；读取该物体的第三区域的第三图像，其中该第一区域和该第二区域至少部分地包含在该第三区域中；显示该第三图像的至少一部分；在所显示的第三图像中至少部分地显示该第一图像的图示，其中该第一图像的图示包括指示该第一设置的第一指示体；在所显示的第三图像中至少部分地显示该第二图像的图示，其中该第二图像的图示包括指示该第二设置的第二指示体，并且其中所显示的第二指示体与所显示的第一指示体不同。
[0010] 该方法尤其可以是一种计算机实施的方法。例如，该带电粒子显微镜可以是电子显微镜或者氦离子显微镜。电子显微镜可以是扫描电子显微镜或透射电子显微镜。
[0012] 物体的第一区域可以例如是物体的一个区域，该区域由带电粒子束扫描以获得第一图像。
[0013] 第一和/或第二设置可定义为一组带电粒子显微镜的操作参数，该组参数在获得第一图像时被指定。第一和/或第二设置可包括电子束的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的带电粒子的束电流以及测量室内的压强中的至少一个。探测器设置包括下列各项中的至少一个：用于获得图像的探测器的类型、用于获得图像的探测器的数目和用于成像的一个或更多探测器的操作参数值。测量室可以是真空室。压强在获得图像时被测得。
[0015] 例如，在扫描电子显微镜的情况下，用于获得图像的探测器可以是以下组合中的一个或多个：二次电子探测器(SE探测器)，透镜内置(in-lens)二次电子探测器(环形SE探测器)，背散射电子探测器(BSE探测器)和/或用于探测背散射电子的透镜内置探测器。
[0017] 第一图像的图示显示在显示器上。第一图像的图示可以包括未填充的图框。除第一图像的表示之外，第一图像的至少一部分也可以显示。例如，如果第一图像包括与第三图像不重叠的区域，则与不重叠区域对应的第一图像的图像数据显示在不重叠区域内。
[0018] 第一图像的图示至少部分地显示在第三图像内。也就是说，第一图像可以位于第三图像内或包括与第三图像重叠和不重叠的区域。
[0019] 该方法包括确定第一图像的图示，从而第一图像的图示指示第一区域相对于第三区域的位置和范围，和/或取决于第一区域相对于第三区域的位置和范围。
[0020] 第一区域相对于第三区域的位置可由表示第一区域的参考点相对于第三区域的参考点的位移的位移矢量来表示。另外，第一区域相对于第三区域的位置可由描述第一区域相对于第三区域的取向的角度来表示。也就是说，第一区域相对于第三区域的位置可以与刚性体的线位置和角位置同样的方式表示。
[0021] 该范围可以是垂直于带电粒子显微镜的光轴测量的横向范围。该横向范围可通过将物体成像区域的表面形貌投影到带电粒子显微镜的物体平面上来测量。
[0022] 第一区域相对于第三区域的范围可由例如比例因子或第一和第二比例因子来表示，其中第一比例因子对应第一坐标轴，而第二比例因子对应第二坐标轴，其中第一坐标轴不平行于第二坐标轴。
[0023] 第一图像的图示的和第二图像的图示每一个包括指示体。该指示体可以是各自图示的颜色和/或几何形状。由图示的几何形状表示的指示体可以例如是图示的线图案和/或图示的图标。每个指示体指示获得各图像的电子显微镜的设置。例如，红色的图框可指示第一图像已通过使用SE探测器获得，而蓝色图框可表明第一图像已通过使用BSE探测器获得。
[0024] 每一个指示体可从一组预定的指示体中确定。例如，第一指示体的颜色“红”可从一组颜色“红”和“蓝”中选择。
[0025] 第一指示体可通过第一图像的图示的位置和形式，独立于第一区域的位置和范围的指示，指示带电粒子显微镜的设置。相应地，第二指示体可通过第二图像的图示的位置和形式，独立于第二区域的位置和范围的指示，表示带电粒子显微镜的设置。
[0026] 第一和第二指示体可指示第一和第二设置，其独立于第一和第二区域相对于第三区域的范围和位置。因此，第一和第二指示体可提供关于第一和第二设置的附加的信息。这种附加的信息可包括探测器的设置和/或一次带电粒子束的设置。
[0027] 第二指示体不同于第一指示体。例如，第二指示体可以在视觉上不同于第一指示体。
[0028] 因此，提供一种允许以有效的方式操作一带电粒子显微镜的方法。特别地，该方法结合了图像的信息及其背景(即由其它图像提供的信息)。因此，对用户来说，更容易将图像的特征与物体的特征联系起来以及确定哪些图像是对物体实施全面研究所必须。从而，该方法能够在短时间内对复杂物体实施彻底且全面的研究。
[0029] 根据一个实施例，该方法进一步包括使用光显微镜或带电粒子显微镜记录第三图像。
[0030] 可替换地，该方法可包括使用共焦激光扫描显微镜、原子力显微镜或扫描隧道显微镜记录第三图像。
[0031] 根据一个实施例，第二指示体不同于第一指示体，从而这种不同指示第一和第二设置的一次带电粒子的动能的不同和/或第一和第二设置的探测器设置的不同，和/或取决于第一和第二设置的一次带电粒子的动能的不同和/或第一和第二设置的探测器设置的不同。
[0032] 举例而言，第一指示体可取决于第一设置的探测器设置和/或带电粒子束的能量。第二指示体可取决于第二设置的探测器设置和/或带电粒子束的能量。
[0033] 根据进一步的实施例，第一图像的图示的形式和位置指示体体的第一区域相对于物体的第三区域的范围和位置，和/或取决于物体的第一区域相对于物体的第三区域的范围和位置；以及第二图像的图示的形式和位置指示体体的第二区域相对于物体的第三区域的范围和位置，和/或取决于物体的第二区域相对于物体的第三区域的范围和位置。
[0034] 第一图像和第二图像的图示的形式和位置可确定为取决于第三图像的放大因子。第三图像的放大因子可定义为所显示的第三图像的放大率。特别地，第一图像的图示的尺寸可由第一图像的范围乘以放大因子来确定。第一图像的图示相对于第三图像的位置可由第一区域相对于第三区域的位置乘以放大因子来确定。
[0035] 根据进一步的实施例，所显示的第二指示体的颜色不同于所显示的第一指示体的颜色。第一指示体的颜色和第二指示体的颜色是可在视觉上区分的。
[0036] 根据进一步的实施例，所显示的第二指示体的几何形状不同于所显示的第一指示体的几何形状。第一指示体的几何形状与第二指示体的几何形状是可在视觉上区分的。
[0037] 例如，第一指示体的几何形状可以包括图标。该图标可以指示第一设置。该图标例如可包括表示在获得第一图像时使用的探测器的符号。又例如，第一图像的图示可包括图框。图框的线图案可根据第一设置从一组实线、短划线和点划线中确定。
[0038] 根据一个实施例，带电粒子显微镜是电子显微镜，并且第一探测器用于第一图像的成像以及第二探测器用于第二图像的成像，其中第一探测器对于背散射电子具有比第二探测器更高的灵敏度。
[0039] 例如，第一探测器是BSE探测器，而第二探测器是SE探测器。
[0040] 根据一个实施例，一次带电粒子的第一动能用于第一图像的成像，而一次带电粒子的第二动能用于第二图像的成像，其中第一动能是第二动能的1.1倍或1.5倍或2倍大。
[0041] 根据进一步的实施例，物体的第一区域的横向范围大于物体的第二区域的横向范围，其中第三图像以及第一图像和第二图像的图示显示在显示介质上；并且其中在显示介质上所显示的该第一图像的图示的横向范围大于在显示介质上所显示的该第二图像的图示的横向范围。
[0042] 例如，第一区域的横向范围可以是第一区域的直径、第一区域的面积或第一区域沿坐标轴上的长度。
[0043] 根据进一步的实施例，该物体的该第一区域的中心和该物体的该第三区域的中心之间的连线与该物体的该第二区域的中心和该物体的该第三区域的中心之间的连线之间的角是第一角；其中所显示的该第一图像的图示的中心和所显示的该第三图像的中心之间的连线与该第二图像的图示的中心和所显示的该第三图像的中心之间的连线之间的角是第二角；并且其中第一角和第二角之差的绝对值小于30°。
[0044] 第一角和第二角之差的绝对值可小于10度、小于5度或小于1度。
[0045] 相应地，基于所显示的第一和第二图像的图示以及显示的第三图像，用户可以识别第一区域和第二区域相对于第三区域的位置。因此，用户可以从图示中知道物体的哪个部分已经成像以及带电粒子显微镜的哪种设置已经用来获得这些图像。
[0046] 根据一个实施例，第一图像的图示包括表示第一区域的横向范围的图框，和/或取决于第一区域的横向范围的图框。根据一个实施例，第一图示显示在第三图像中，第一图框围绕的图像数据表示第一区域，第二图框围绕的图像数据表示第二区域。
[0047] 图框包括线，所述线连接和排列起来限定显示器上的区域。也就是说，图框可以是未填充的圆或未填充的多边形，例如矩形。在图框围绕的区域中，在图框完全地位于第三图像内的情况下，第三图像的图像数据值显示。在图框具有与第三图像不重叠的区域的情况下，第一图像的图像数据显示在不重叠的区域中。在图框位于第三图像的外面的情况下，第一图像的图像数据显示在图框内和显示的第三图像的外面。图框相对于显示的第三图像的形式可以对应于与第三图像的范围相对的物体的成像区域的范围。特别地，与显示的第三图像的尺寸相对的图框的尺寸可以对应于与第三区域的范围相对的物体的第一区域的范围。图框相对于第三图像的尺寸可以由图框的尺寸除以第三图像的尺寸来表示。图框相对于显示的第三图像的位置可以对应于第一区域相对于第三区域的位置。图框的形式和位置可以根据显示的第三图像的放大因子来确定。第三图像的放大因子可以定义为显示的第三图像的放大率。特别地，图框的尺寸可以由第一图像的范围乘以放大因子来确定。图框相对于第三图像的位置可以由第一区域相对于第三区域的位置乘以放大因子来确定。
[0048] 根据一个实施例，该方法进一步包括：通过选择第一图像的图示和第二图像的图示中的一个来选择第一和第二图像中的一个，以及显示所选择的图像。根据进一步的实施例，第一和/或第二图示构成为可选择的。根据进一步的实施例，该方法进一步包括：在选择了第一图像和第二图像中的至少一个的图示之后，显示第一和第二图像中的至少一个。根据进一步的实施例，该方法包括显示链接列表，该链接列表在选择了第一和第二图示中的至少一个后由第一和第二图示中的至少一个来提供。
[0050] 根据一个实施例，在显示介质上所显示的选择图像的横向范围大于在显示介质上所显示的各图像的图示的横向范围。
[0051] 根据一个实施例，该方法进一步包括：在所显示的第三图像中选择一个区域；基于在所显示的第三图像中选择的区域，确定该物体的第四区域；并且使用该带电粒子显微镜记录该物体的该第四区域的图像。带电粒子显微镜可以是电子显微镜。
[0052] 因此，用户可以基于所显示的第三图像以及基于所显示的第一和第二图像的图示来识别物体的要获得图像的区域。
[0053] 根据进一步的实施例，物体的第四区域的尺寸至少小于物体的第三区域的尺寸的十分之一。
[0054] 根据一个实施例，该方法进一步包括：使用第二显微镜记录该物体的第五区域的第五图像；并且在该第三图像中至少部分地显示该第五图像的图示，其中该第五图像的图示包括指示该第二显微镜的指示体。
[0055] 指示第二显微镜的指示体与第一指示体和第二指示体不同，尤其是视觉上不同。该第五图像至少部分地显示在第三图像内。第五图像可以使用第二显微镜在第二设置下记录。指示第二显微镜的指示体可以进一步指示第二显微镜的设置。
[0056] 第二显微镜可以是光显微镜。光显微镜可以包括用于将物体区域成像在图像传感器的探测器表面的光学系统。可替换地，第二显微镜可以是共焦激光扫描显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜或现有技术中已知的任何一种类型的显微镜。
[0057] 相应地，提供一种结合通过使用不同的显微镜技术获得的图像数据的方法。因此，用户可以通过结合不同的显微镜来实施全面且有效的显微镜研究。
[0058] 根据一个实施例，第一图像相对于第三图像的图示的形式和位置对应于物体的第一区域相对于物体的第三区域的范围和位置；并且第二图像相对于第三图像的图示的形式和位置对应于物体的第二区域相对于物体的第三区域的范围和位置。
[0059] 第一图像的图示的形式可以例如是四边形，其中四边形的每个角大于或小于90度。因此，该图示表示第一区域相对于第三区域倾斜。根据一个实施例，第一图示的形式或指示体表示第一图像的成像方向相对于第三图像的成像方向的角度，此时该角度大于0度。当获取图像时，成像方向可定义为平行于带电粒子显微镜或光显微镜的光轴的方向。相对于物体的坐标系统来表示成像方向。因此，用户可以识别这样的图像，该图像至少部分地示出相同的物体部分，但是从不同的成像方向成像。这可允许确定表面形貌的特征。
[0060] 电子显微镜可包括定位系统，该定位系统构成为相对于带电粒子显微镜的物体区域旋转物体。因此，第一、第二和第三图像可以对应于物体相对于带电粒子光学系统的物体区域的不同取向。
[0061] 根据进一步的实施例，第三图像的显示、第一图像的图示的显示以及第二图像的图示的显示可根据预先选择的视图方向来执行。
[0062] 举例而言，在第一图像的图示表示第一区域相对于第三区域倾斜，或第一区域的成像方向和第三区域的成像方向形成大于0度的角的情况下，用户可改变视图方向，使得第一图像的图示显示为矩形或正方形，这表明在获得第一图像时视图方向平行于带电粒子显微镜的光轴，或者视图方向平行于第一图像的成像方向。然后，可显示第一图像和第三图像的图示，其中第三图像的图示的形式和位置表示第三区域相对于第一区域的位置和范围，和/或取决于第三区域相对于第一区域的位置和范围。
[0063] 根据一个实施例，该方法进一步包括：从带电粒子束和物体的反应区域获得光谱和/或衍射图；并且在第三图像内至少部分地显示光谱和/或衍射图的图示；其中光谱和/或衍射图的图示包括光谱和/或衍射图的指示体。
[0064] 该光谱可以例如是X射线谱，二次离子质谱或阴极发光谱。衍射图可以例如是背散射电子衍射图。X射线谱可以例如由能量色散光谱仪(EDX光谱仪)或波长色散光谱仪(WDS光谱仪)来测得。背散射电子衍射图可以例如由电子背散射衍射探测器(EBSD探测器)获得。
[0065] 光谱和/或衍射图的表示相对于第三图像的位置可以指示与第三图像的位置相对的反应区域的位置，和/或取决于与第三图像的位置相对的反应区域的位置。光谱和/或衍射图的图示可以例如是标志或未填充的图框。光谱和/或衍射图的图示是可选择的。所显示的光谱和/或衍射图的指示体可不同于图像的图示的指示体，从而指示光谱或衍射图的存在。光谱的图示的指示体不同于衍射图的图示的指示体。指示体可指示光谱和/或衍射图的特征，和/或取决于光谱和/或衍射图的特征。例如，光谱的指示体可指示由光谱揭示的元素，和/或取决于由光谱揭示的元素。进一步举例而言，衍射图的指示体可指示晶体学取向，和/或取决于晶体学取向。
[0066] 根据进一步的实施例，该方法进一步包括在第三图像中的图标位置显示图标；其中该图标构成为提供至少一个到图标的数据目标的链接。
[0067] 该图标可以由用户设置在第三图像内的选择位置上，从而得到图标的位置。定义图标所需的数据存储在数据文件中。数据目标可包括元数据(metadata)。数据目标可以是数据类型的示例。该数据类型可以是简单的数据类型或复杂的数据类型。复杂的数据类型可以例如是数据结构或类。产生数据目标可包括提取数据文件的内容和/或向数据库发送请求。举例而言，至少一个链接可提供经由计算机网络到数据目标的访问。例如，链接可以是网络链接。数据目标可以通过提取链接指向的应用数据文件的内容来产生。所述文件可包括文本、图像数据、视频数据和/或音频数据。这种文件的示例为：文字处理文件、音频文件、电子表格文件、幻灯片简报文件、图像文件，视频文件和音频文件。举例而言，数据目标包含从物体获得的测量数据、与物体有关的信息、与测量过程有关的信息、与带电粒子显微镜有关的信息和/或与光学显微镜有关的信息。例如，测量数据可以是由带电粒子显微镜获得的粒子显微镜图像、从带电粒子束和物体的反应区域获得的光谱和/或衍射图。测量数据可进一步包括通过将评价程序应用到至少一个图像所产生的数据。与物体有关的信息可包括物体标识物或物体准备的参数。与测量过程或显微镜系统有关的信息可以例如是：用于定位物体的定位装置的控制信号，其中该控制信号可指示图标位置；带电粒子显微镜的放大率或光显微镜的放大率。数据目标可以对应于下列中的一个或组合：声音的记录、文本文件、光谱、相机图像、视频的记录、音频的记录、带电粒子显微镜图像和光学显微镜图像。附加地或可替换地，数据目标可以存储在显微镜系统的计算机上和/或远程计算机上。
[0068] 带电粒子显微镜可构成为使图标是可选择的。选择图标可包括利用鼠标的指针选择图标。在已经选择图标后，图形用户界面可显示对话框。该对话框构成为显示至少一个链接的列表，其中从该链接的列表可添加或去除链接。对话框进一步构成使得一个或更多链接中的一个链接是可激活的。激活链接可导致显示出数据目标的内容的至少一部分。图形用户界面可构成为使得图标可移动到同一图像中的不同位置或不同图像中的不同位置。
[0069] 图标可包括指示体，该指示体表示以下中的一个或更多个：图标的至少一个链接的数目、链接指向的数据目标的数据类型、数据目标的内容和产生数据目标的文件的文件类型。该指示体可以是图标的几何形状和/或颜色。例如，当所链接的数据目标对应于声音的记录时，图标的形式可以是音频磁带的符号。
[0070] 根据一个实施例，该方法进一步包括：在第三图像中的图标位置设置图标；以及添加到图标的链接。在图标位置设置图标可包括选择第三图像的图像区域。定义区域的参数可存储为定义图标的数据部分。因此，图标的数据目标被分配到选择的图像区域。
[0071] 根据进一步的实施例，该方法进一步包括：显示第一图像；以及在第一图像中的一个位置显示图标，其中第一图像中的位置对应于物体的一部分，该部分对应于第三图像中的图标位置。
[0072] 因此，在显示第一图像时，图标仍然显示在与用户最初在第三图像内设置图标的位置相对应的位置。从而，用户可以添加信息到物体表面的选定位置，其中该信息对于用户而言是可访问的，而与显示器上显示的图像数据无关。在选择了第一图像的图示之后执行显示。
[0073] 当图标的数据目标已经产生时，指示时间的数据值可分配给图标。因此，可以仅在与图标的数据目标几乎同时获得的那些图像中显示图标。例如，图标可以表示与第一组图像几乎同时产生的注释。然后，该图标可以仅在这些图像中显示，这些图像示出物体的一部分，其对应于图标的位置并且是第一组图像的一部分。
[0074] 根据进一步的实施例，第一图像的图示构成为提供至少一个到第一图像的数据目标的链接。根据进一步的实施例，第三图像构成为提供至少一个到第三图像的数据目标的链接。
[0075] 图示和/或图像的链接和链接指向的数据目标可以相同的方式构成，如参考链接和图标的数据目标说明的。
[0076] 图示可构成为提供到一幅或更多图像的图像数据的链接。例如，第一图像的图示可提供到第一图像的图像数据的链接。第一图像的图示也可提供到一幅或更多其它图像的链接。链接到共同图示的每一幅图像至少部分地显示了物体的同一部分。图像可彼此不同，例如，在用于获得各图像的探测器设置上彼此不同。举例而言，图像的图示可提供到BSE图像的链接和到SE图像的链接，其中两种图像示出物体表面的同一部分。
[0077] 图示的标识物取决于以下中的一个或更多个：数据目标的数据类型和数据目标的内容。例如，当提供到文本文档的链接时，图示可表示为短划线。
[0078] 根据一个实施例，该方法进一步包括：添加到该至少一个链接的进一步链接。因此，用户可以向图像的图示添加进一步的信息。
[0079] 根据进一步的实施例，该至少一个链接中的一个可通过选择图示来激活。举例而言，在选择了图示之后，显示至少一个链接的列表。在链接的列表中显示的每一个链接构成为可选择的，例如利用鼠标的指针选择。通过激活链接，用户可访问数据目标的内容。
[0080] 根据实施例，提供一种操作带电粒子显微镜的用户界面的方法，包括：读取物体的第一区域的第一图像，其中该第一图像对应于该带电粒子显微镜的第一设置；读取该物体的第二区域的第二图像，其中该第二图像对应于该带电粒子显微镜的第二设置；其中该第二设置与该第一设置在该带电粒子显微镜用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的该一次带电粒子的束电流以及该带电粒子显微镜的测量室内的压强中的至少一个上不同；读取该物体的第三区域的第三图像，其中该第一区域和该第二区域至少部分地包含在该第三区域中；显示该第三图像的至少一部分；在所显示的第三图像中至少部分地显示该第一图像的图示；其中该第一图像的图示包括指示该第一设置的第一指示体；在所显示的第三图像中至少部分地显示该第二图像的图示；其中该第二图像的图示包括指示该第二设置的第二指示体，并且其中所显示的第二指示体不同于所显示的第一指示体。这些实施例可以与此前描述的实施例中的任一个组合。
[0081] 用户界面可以是计算机的图形用户界面。该方法可以是计算机执行的方法。具有用于执行该方法的图形用户界面的计算机可以与显微镜进行信号连接或可以是与显微镜隔离的计算机。从计算机的存储器或数据库中可以读取图像。图像可由带电粒子显微镜或光显微镜获得。也就是说，由第一图像、第二图像和第三图像构成的组可通过使用光显微镜、带电粒子显微镜或光显微镜和带电粒子显微镜的组合获得。
[0082] 第一图像对应于第一设置并且第二图像对应于第二设置。也就是说，第一图像由带电粒子显微镜在第一设置下获得并且第二图像由带电粒子显微镜在第二设置下获得。
[0084] 根据本发明的示例性实施例的以下详细说明并参考附图，本发明的前述以及其它有利特征将变得更为清楚。注意的是，不是本发明的所有可能实施方式都必要地展现了这里确定的优点中的每一个或者任一个。
[0085] 图1A示出使用安装于腔室的SE探测器获得的扫描电子显微镜的图像；
[0086] 图1B示出使用透镜内置的SE探测器获得的扫描电子显微镜的图像；
[0087] 图2是根据示例性实施例的显微镜系统的示意图；
[0088] 图3是根据示例性实施例的方法的流程图；
[0089] 图4A是根据示例性实施例在“定向视图”模式下图形用户界面的示意图；
[0090] 图4B是物体的成像区域与图形用户界面中所示的图像和图示之间的对应关系的示意图，所述图形用户界面是图4A所示的根据示例性实施例的图形用户界面；
[0091] 图5是在“网格视图”模式下的图4A所示的图形用户界面的示意图；
[0092] 图6是在“选择视图方向”模式下的图4A所示的图形用户界面的示意图；以及[0093] 图7是在“时间线视图模式”下的图4A所示的图形用户界面的示意图。
具体实施方式
[0094] 图1A和1B示出由电子显微镜获得的图像。图1A的显微图是通过使用安装于腔室的SE探测器获得的。腔室安装的SE探测器的图像允许识别物体的大比例外貌特征。
[0095] 图1B是通过使用透镜内置的SE探测器获得的。
[0096] 图1A中的SE图像以大比例示出一些外貌信息，而透镜内置图像示出外貌上和成分上的对比，并且抑制带电或边缘增强效应。
[0097] 然而，比较图1A和图1B，仅仅通过观察图像很难判断，它们是否涉及同一个物体以及图1A中的成像物体区域是否与图1B中所示的成像物体区域重叠。
[0098] 由于从物体获得的图像常常覆盖放大率的宽范围，因此这个问题变得尤其严重。扫描电子显微镜的放大率可控制在达到6个量级的相对宽的范围上。
[0099] 从而，可知需要提供一种操作带电粒子显微镜的方法，该方法允许更有效地获取和分析物体的图像数据。
[0100] 图2示出根据示例性实施例的显微镜系统1。显微镜系统1包括电子显微镜2和光学显微镜3。电子显微镜2具有包括物镜25的电子光学系统23。电子光学系统23设计成使得电子束可聚焦到物体10上，该物体10由定位系统22定位在电子光学系统23的物体区域内。计算机4与电子光学系统23进行信号通信。计算机4构成为经由信号线54上传输的信号来控制电子光学系统23。电子显微镜2包括背散射电子探测器24(也可表示为BSE探测器)和二次电子探测器26(也可表示为SE探测器)。BSE探测器24设置在物体区域的上游并且环绕电子光学系统23的出口。计算机4经由信号线51与BSE探测器进行信号通信。计算机4构成为读取表示图像数据的信号，这些信号从BSE探测器经由数据线51传输到计算机4。计算机进一步构成为经由信号线51来控制BSE探测器的设置。电子显微镜2进一步包括二次电子探测器26(也可表示为SE探测器)。因此，显微镜系统1包括两个电子探测器，其中BSE探测器24对于背散射电子具有比SE探测器26更高的灵敏度。
[0101] SE探测器26经由信号线52与计算机4进行信号通信。计算机4构成为读取从SE探测器26传输并且表示图像数据的信号。计算机4进一步构成为经由信号线52来控制SE探测器的设置。
[0103] 电子显微镜2进一步包括定位系统22。定位系统22设计成六轴镜台(six-axis stage)。也就是说，物体夹持器11可通过定位系统22以6个自由度移动，物体夹持器11安装在定位系统22上，而物体10附着在物体夹持器11上。也可以想到的是，定位系统22构成为使得物体夹持器11能够以1个到5个自由度移动。经由信号线55，计算机4将位置控制信号传送到定位系统22，以关于电子光学系统23的物体区域定位物体10。
[0104] 计算机4进一步构成为使得传送到定位系统22的位置控制信号由计算机4记录。计算机4构成为基于用于控制物体10的位置的记录信号，确定通过电子束成像的物体10的区域的位置。例如，计算机4可以根据记录的位置控制信号，确定电子显微镜2成像的第二区域相对于电子显微镜2成像的第一区域的位置和取向。
[0105] 例如，计算机4在从SE探测器26或BSE探测器24重新获得表示第一图像的信号之后，可将位置控制信号传送到定位系统22以沿着x轴移动物体50微米。然后，计算机为电子光学系统23产生控制信号以获得第二图像。相对于第一图像的成像区域，第二图像的成像区域于是可确定为沿着x轴位移-50微米。
[0106] 在获得第一图像和获得第二图像之间，计算机4也可改变电子光学系统23的设置。计算机4构成为经由信号线54将视场控制信号传送到电子光学系统23以控制电子光学系统23的视场。例如，纵览图的视场可比详细图的视场更宽且分辨率更低。计算机4构成为记录传送到电子光学系统23以设置视场的控制信号。
[0107] 因此，计算机4构成为基于位置控制信号和视场控制信号，计算物体10的两个成像区域的相对位置和取向。
[0108] 附加地或者可替换地，在第一和第二图像重叠的情况下，计算机4可通过对第一和第二图像的图像数据值执行成像处理程序来相对于第一图像的视场确定第二图像的视场。例如，计算机4可应用边缘检测滤波器来定位图像内的表面形貌的边缘。因此，可以在与电子显微镜2的分辨率相对应的精度上，相对于第一图像的成像区域确定第二图像的成像区域。
[0109] 电子显微镜2进一步包括用于X射线的能量分解探测的EDX探测器28，所述X射线是从电子光学系统23的电子束与物体10发生反应的反应区域发射的。
[0110] EDX探测器28经由信号线57与计算机4进行信号通信。计算机4构成为接收表示EDX光谱的信号以及产生包含光谱数据的文件。然而，也可以想到，与计算机4分离的另一台计算机经由信号线57与EDX进行信号通信。计算机4进一步构成为记录定位信号，所述定位信号由计算机4产生并经由信号线55传送到定位系统22。计算机进一步构成为从电子光学系统23的操作参数确定电子光学系统23的工作距离。计算机4构成为依据电子光学系统23的操作参数值以及从记录的传送到定位系统22的定位信号，计算相对于第三图像的成像区域反应区域的位置。附加地或可替换地，对于EDX探测器，电子显微镜3可包括波长色散光谱仪(WDS光谱仪)、电子背散射衍射探测器(EBSD探测器)或现有技术中任何其它用于带电粒子或发射光的光谱仪中的至少一个。
[0111] 显微镜系统1进一步包括光显微镜3。光显微镜3、电子显微镜2和样品夹持器11可设计成使得样品夹持器11可在光显微镜3和电子显微镜2之间转换。在图2中，这由箭头12所表示。光显微镜3进一步包括定位系统34。光显微镜3的定位系统34设计成使得附着在物体夹持器11上的物体10相对于光显微镜3的光学系统的物体区域可定位。光显微镜3的光学系统包括物镜31和成像透镜系统32。光显微镜3的光学系统设计成使得光显微镜3的光学系统的物体区域成像在光显微镜3的图像传感器33上。计算机4构成为经由信号线53接收图像传感器33的信号并由接收到的信号产生图像数据。
[0112] 作为计算机4的替换，也可以想到，第一计算机经由信号线56与光显微镜3的定位系统34进行信号通信以及经由信号线53与图像传感器33进行信号通信；以及第二计算机经由信号线55与电子显微镜的定位系统22进行信号通信以及经由信号线54与电子光学系统23进行信号通信。第一和第二计算机可以是分离的(即，它们不共用共同的元件)。也可以想到，第一计算机和第二计算机中的每一个包括在共同的数据网络上传送数据的网络接口。第一计算机和第二计算机可以与数据库进行数据通信，所述数据库构成为存储图像，所述图像是通过电子显微镜2或光显微镜3获得的。
[0113] 计算机4包括显示器41。计算机4进一步包括存在于计算机可读介质42中的图形用户界面，所述图形用户界面用以指引计算机4的操作并且基于定位系统22和34的位置控制信号。
[0114] 样品夹持器11可包括样品夹持器11的上表面11A上的标记。这些标记是可通过光显微镜3和电子显微镜2成像的。例如，这些标记可设计成使其反射用于在光显微镜3中成像的波长的光。这些标记可以进一步包括可由电子显微镜2成像的形貌或化学成分。计算机4构成为使得上述标记在光显微镜3的图像和电子显微镜2的图像上是可探测的。
计算机4进一步构成为基于在图像上探测到的标记确定由电子显微镜2获得的图像的成像区域相对于光显微镜3获得的图像的成像区域的位置和范围。
计算机4进一步构成为基于在图像上探测到的标记确定由电子显微镜2获得的图像的成像区域相对于光显微镜3获得的图像的成像区域的位置和范围。
[0115] 图3是说明示例性实施例的流程图。参照图2所示的显微镜系统1描述上述实施例。通过使用电子显微镜2或光显微镜3记录第一、第二和第三图像(步骤100)。每一个图像是通过对物体的各个区域进行成像而产生的。例如，由电子显微镜2利用电子光学系统23的电子束扫描物体的表面区域获得图像。由光显微镜3获得的图像是通过将物体的一个区域成像到图像传感器33上而获得的。计算机4构成为从电子显微镜2的设置和/或光显微镜3的设置确定第一、第二和第三图像的每个区域的横向范围101。确定的横向范围可以是第一、第二和第三图像之间的相对范围。区域的横向范围可以例如是直径、面积或沿坐标轴的长度。
[0116] 计算机4进一步构成为确定第一区域和第二区域每一个相对于第三区域的位置和范围(步骤102)。计算机4在计算机4的显示器41上显示第三图像(步骤103)。通过显示图框在显示器41上显示第一和第二图像的图示，其中相对于显示的第三图像的图框形式对应于与第三区域的范围相关的物体的成像区域的范围。
[0117] 计算机4进一步构成为确定用于第一图像的图示的第一标识物和用于第二图像的图示的第二标识物(步骤104)。然后，第一和第二图像的图示与它们的标识物一起被显示(步骤105)。例如，第一图像的图示在显示器41上显示为具有红色图框，这表明第一图像是通过使用电子显微镜2的SE探测器26而获得的。相对应地，第二图像的图示在显示器41上显示为具有蓝色图框，这表明第二图像是通过使用电子显微镜2的BSE探测器24而获得的。
[0118] 第一图像的图示和第二图像的图示均构成为可选择的。也就是说，计算机4构成为使得通过用户的输入而可选择图示。例如，计算机4可在等待循环中保持在步骤106，直到第一和/或第二图像的图框被鼠标的指针选择。
[0119] 计算机4进一步构成为在选择第一图像的图示时在显示器41上显示第一图像(步骤107)。相应地，在选择第二图像的图示时在显示器41上显示第二图像。
[0120] 图4A示出根据示例性实施例的图形用户界面200，该图形用户界面200显示在计算机的显示器41上。参照如图2所示的显微镜系统1，描述如图4A所示的图形用户界面200。图形用户界面200包括表达空间(rendering space)210。表达空间210构成为表达使用显微镜系统1的电子显微镜2和光显微镜3产生的图像。图形用户界面200进一步包括目录树视图220。目录树视图220构成为在等级列表中显示目录221和文件名222。计算机4可构成为使得在选择目录树视图220中的目录221时，在选择的目录221中包含的图像文件222被选在一组图像中，其中这组图像中的每一幅图像在表达空间210中显示为图像或图示。图形用户界面200进一步包括命令栏，该命令栏包括：用于选择网格视图231的按钮、用于选择定向视图230的按钮以及用于选择时间线视图234的按钮。因此，图形用户界面构成为在图形用户界面200的定向视图模式、网格视图模式以及时间线视图模式之间可转换。命令栏进一步包括用于输入放大因子的输入区域232。图4A示出在定向视图模式下的图形用户界面200。
[0121] 在选择目录树视图220中的目录221时，计算机4从目录221下的图像中确定第三图像212。第三图像212显示在图形用户界面200的表达空间210中。例如，通过确定目录221下的图像中具有最宽视场的图像，可确定第三图像212。第三图像212示出物体特征217。此外，在表达空间210中显示所选择的一组图像中第一图像的图示211。第一图像的图示211包括图框。第一图像的图示211的图框包括第一指示体，该指示体是实线图案，这表明该图像已通过使用电子显微镜2的SE探测器26获得。
[0122] 计算机也可构成为同时显示第三图像的图像数据和第三图像的图示。因此，在图4A中，第三图像212提供有也包括连续线的图框，这表明该图像已通过使用电子显微镜2的SE探测器26获得。
[0123] 计算机4进一步构成为显示所选择的一组图像中第二图像的图示213。
[0124] 第二图像的图示213包括点划线图案的第二指示体，这表明第二图像已通过使用BSE探测器24获得。
[0125] 计算机4进一步构成为在通过计算机4的鼠标的指针240选择关注区域214时，计算机4从目录221下的所选择的一组图像的所有图像中识别与选择的关注区域214相对应的图像数据值。
[0126] 因此，用户可以直接比较与物体的共同区域相对应的图像部分，其中共同区域已经由关注区域所选择。因此，对用户来说更容易识别在不同的显微镜设置的图像中出现的物体特征。
[0127] 计算机进一步构成为在用户选择了关注区域240时，定义物体区域，在该物体区域中由电子显微镜获得第四图像。
[0128] 在图形用户界面200下，还示出第五图像216的图示。第五图像216的图示包括四个角大于或小于90°的四边形。因此，第五图像216的图示表明第五图像对应于关于第三图像212的成像区域倾斜的物体的成像区域，和/或第五图像的成像方向和第一图像的成像方向构成大于0度的角。
[0129] 计算机4进一步构成为显示第一光谱218的图示和第二光谱219的图示。第一和第二光谱已通过使用电子显微镜2的EDX探测器28获得。第一光谱218的图示包括图框。该图框表明反应区域的位置，在该反应区域的位置电子束与物体发生反应并且发射X射线。第一光谱218的图示进一步包括标识物，该标识物包括第一光谱的名称“光谱1”。图形用户界面200进一步构成为第一光谱218的图示是可选择的。当第一光谱218的图示被选择时(例如通过使用鼠标的指针)，该光谱显示在表达空间210中。
[0130] 计算机4进一步构成为在第三图像212内的位置上可设置图标250、251。每一个图标提供至少一个到数据目标的链接。例如，第一图标250提供一个到数据目标的链接，该数据目标包含注释文本。该文本存储在机器可读介质42(图2中所示)上的文件中。当用户利用鼠标的指针选择了该图标时，图形用户界面200显示一个对话框，允许用户激活链接。激活链接后，计算机4启动文字处理应用程序并且利用该文字处理应用程序打开文本文件。第二图标251提供一个到数据目标的链接，该数据目标包含声音记录。当用户激活第二图标251的图标时，计算机启动播放该声音记录的应用程序。
[0131] 计算机4进一步构成为一个或多个到数据目标的链接可被添加到图像和/或光谱的图示中的每一个。每一个链接指向数据类型的数据目标。数据目标可包含例如数据，在获得各图像时，该数据涉及带电粒子显微镜的设置。数据可以包括下列中的一个或组合：用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的一次带电粒子的束电流以及测量室的压强。附加地或可替换地，数据目标可包含数据，该数据涉及物体，例如物体准备的镜台和/或物体准备的参数。激活链接可包括选择各图像或光谱的图示(例如利用鼠标的指针)。因此，数据目标对用户而言是可访问的。
[0132] 第一图标250设置在第一图像211的图示内。通过选择第一图像211的图示，在显示器上显示第一图像的图像数据。此外，第一图标250也显示在第一图像中的位置上，该位置对应于第三图像212中设置第一图标250的位置。
[0133] 因此，图标允许用户访问与物体表面上的特定位置有关的信息，而与目录221的选定的一组图像中哪一个图像的图像数据显示在表达空间210中无关。
[0134] 图4B示意性示出物体的成像区域如何与图形用户界面200中示出的图像和图像的图示相对应，该图形用户界面200已经参考图4A进行了描述。图4B示出物体特征217A，物体特征217A位于物体的表面上并由电子显微镜2成像。物体特征217A被以第一视场成像，该第一视场定义物体的第一区域311，用以获得第一图像。然后，通过控制定位系统22，相对于光轴横向移动物体，使得显微镜的视场的中心在物体上从P点移动到Q点。此外，视场的横向宽度变宽。在新的位置，通过扫描第三区域312获得第三图像。然后，通过控制定位系统22，物体再次横向移动，使得视场的中心从Q点移动到R点，并且视场的横向宽度变窄。然后，通过扫描第二区域313获得第二图像。
[0135] 第三图像212以及第一图像211和第二图像213的图示通过图4A所示的图形用户界面200显示。第一图像211的图示相对于第三图像212的位置和形式被确定，使得其取决于第一区域311相对于第三区域312的相对位置和范围，和/或其表示了第一区域311相对于第三区域312的相对位置和范围。因此，第二图像213的图示相对于第三图像212的位置和形式被确定，使得其取决于第二区域313相对于第三区域312的相对位置和范围，和/或其表示了第二区域313相对于第三区域312的相对位置和范围。这由图4B中的双箭头350表示。
[0136] 第一区域311的中心和第三区域312的中心之间的第一连线与第二区域313的中心和第三区域312的中心之间的第二连线形成角ω。第三图像212的中心和第一图像211的中心之间的第三连线与第三图像212的中心和第二图像213的中心之间的第四连线形成角Ω。ω和Ω之间的绝对差值小于30度。因此，第一图像211和第二图像213相比于第三图像212的相对位置表示第一区域311和第二区域313相比于第三区域312的相对位置。
[0137] 图5示出参考图4A所述的图形用户界面200，此时用户例如通过利用鼠标的指针240选择图形用户界面200的命令栏中的网格按钮231而选择网格视图模式。如图5所示，选定目录221中的所有图像并排显示在表达空间210中。在网格视图模式下，第一光谱258和第二光谱259也与图像一起并排显示。
[0138] 此外，对于图标250、251的链接指向的每一个数据目标，数据目标的图示或数据目标的至少一部分内容被显示。例如，图标250(图4A中所示)的链接指向的文本252至少部分地显示。此外，显示链接按钮253以访问图标251(图4A中所示)的链接指向的音频文件。因此，在定向视图模式下由图示和图标显示给用户的所有信息同时呈现给用户。在网格视图模式下所示的每一幅图像中，当各图像的区域示出物体部分并且该物体部分与第三图像212中设置图标的位置相对应时，显示图标250、251，如图4A中所示。因此，通过选择在网格视图模式下所示的图像中显示的图标，也可以访问图标的链接指向的数据目标。
[0139] 图6示出参考图4A所述的图形用户界面，此时利用鼠标的指针选择了“设置视图方向”按钮233。图6中显示的图像已由图2的显微镜成像，其中在电子显微镜2中，通过使用定位系统22而相对于电子光学系统23的物体区域选择物体10。
[0140] 如图6所示，在图形用户界面200的表达空间210中显示图像262。此外，显示第一图像261、第二图像263、第四图像264和第五图像265的图示。这些图像中每一个图像的图示包括图框，其中每个图框的位置和形式表示各成像区域相对于第三图像262的成像区域的位置和范围。除了图示之外，第一图像261、第二图像263、第四图像264和第五图像265的图像数据也显示在各图示中。
[0141] 另外，第一光谱266和第二光谱267的图示显示在表达空间210。第一光谱266的图示相对于第三图像262的位置取决于第一光谱的反应区域相对于第三图像的成像区域的位置。第二光谱267的图示的位置取决于第二光谱的反应区域相对于第二图像的成像区域的位置。
[0143] 图7示出参考图4A所述的图形用户界面，此时用户例如通过利用鼠标的指针选择命令栏中的“时间线”按钮234而选择了时间线模式。
[0144] 在时间线模式下，每一幅图像、光谱和数据目标按照与它们产生的时间有关的时间顺序排列的方式被显示。也就是说，对于任意两个目标(即图像、光谱和数据目标)而言，在更向左的位置排列的目标更早地产生。因此，图形用户界面200内的水平轴表示时间的坐标轴。这由箭头260示意示出。
[0145] 因此，时间线模式允许用户纵览图像、光谱和数据目标如何关于它们的产生时间而互相联系。
[0146] 此外，根据用于获得图像的探测器设置，在表达空间210中排列图像。如图7所示，图像280和282显示在表达空间210的第一部分223中，第一部分233用于显示使用背散射电子探测器(BSE探测器)获得的图像。图像281和283显示在表达空间210的第二部分224中，第二部分224用于显示使用二次电子探测器(SE探测器)获得的图像。对于链接到图示、图像或图标的所有其它图像、光谱和数据目标，提供表达空间210的第三部分225。如图7所示，第一图谱258、文本252和用于访问音频文件的链接按钮253显示在表达空间
210的第三部分225中。
210的第三部分225中。
[0147] 另外，在时间线视图下，图标(例如第一图标250和第二图标251)可显示在图像中的位置，该位置对应于第三图像212中设置图标的位置(图4A中所示)。因此，同样在时间线视图下，通过选择图像中显示的图标而可访问链接到图标的数据目标。
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