专利汇可以提供利用化合物半导体的选择性蚀刻制造微透镜和集成有微透镜的光电器件的方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且提供了一种利用化合物 半导体 的选择性蚀刻制造微透镜的方法和制造具有微透镜的光电器件的方法。形成微透镜包括对化合物半导体层进行构图和去除化合物半导体层的侧表面以形成大致为半球形的透镜。通过数字 合金 方法去除化合物半导体层的侧表面。具体而言,通过湿法蚀刻工艺去除化合物半导体层的侧表面。,下面是利用化合物半导体的选择性蚀刻制造微透镜和集成有微透镜的光电器件的方法专利的具体信息内容。
1.一种制造微透镜的方法,包括:
在衬底上形成具有反应性金属的化合物半导体层;
蚀刻所述化合物半导体层,并形成化合物半导体层图案;以及
部分去除所述化合物半导体层图案的侧表面,并形成透镜层,
其中通过数字合金方法形成所述化合物半导体层,所述化合物半导体层包括含有所述反应性金属的反应层和由不含反应性金属的化合物半导体构成的半导体层,并且在所述化合物半导体层的上部位置所述反应性金属的浓度较高。
2.根据权利要求1所述的方法,其中通过反复堆叠所述反应层和所述半导体层形成所述化合物半导体层,并且所述反应层在所述化合物半导体层的上部位置变得较厚。
3.根据权利要求1所述的方法,其中所述化合物半导体层由外延生长工艺形成。
4.根据权利要求1所述的方法,在形成所述化合物半导体层之后,还包括在所述化合物半导体层上形成掩蔽层,所述掩蔽层由相对于所述化合物半导体层具有蚀刻选择性的材料形成。
5.根据权利要求4所述的方法,其中所述掩蔽层由外延生长工艺形成。
6.根据权利要求5所述的方法,还包括在形成所述透镜层之后去除保留在所述透镜层上的所述掩蔽层。
7.根据权利要求1所述的方法,其中通过湿法蚀刻工艺执行所述化合物半导体层图案的部分去除。
8.根据权利要求7所述的方法,其中所述反应性金属为铝(Al)。
9.根据权利要求8所述的方法,其中所述反应层由从AlGaAs、InGaAlAs和InGaAlN构成的组中选择的一种形成,并且所述半导体层由从GaAs、InGaAs和InGaN构成的组选择的一种形成。
10.根据权利要求9所述的方法,其中使用缓冲氧化物蚀刻剂作为蚀刻剂来执行所述湿法蚀刻工艺。
11.一种制造微透镜的方法,包括:
利用外延生长工艺,通过反复堆叠含有反应性金属的反应层和不含反应性金属的半导体层在衬底上形成化合物半导体层,所述反应层在所述化合物半导体层的上部位置较厚;
在所述化合物半导体层上形成掩蔽层以保护所述化合物半导体层的顶表面;
选择性蚀刻所述化合物半导体层和所述掩蔽层,并形成化合物半导体层图案和掩蔽层图案;
通过蚀刻所述化合物半导体层图案的侧表面形成透镜层,其中以高蚀刻速率蚀刻所述化合物半导体层图案的上部,在该部分中所述反应性金属的含量高,而以低蚀刻速率蚀刻所述化合物半导体层图案的下部,在该部分中所述反应性金属的含量低;以及
去除保留在所述透镜层上的所述掩蔽层图案,并暴露所述透镜层。
12.根据权利要求11所述的方法,其中所述反应性金属为铝(Al)。
13.根据权利要求12所述的方法,其中通过使用缓冲氧化物蚀刻剂作为蚀刻剂的湿法蚀刻工艺执行所述化合物半导体层图案的所述侧表面的蚀刻。
14.根据权利要求12所述的方法,其中所述反应层由从AlGaAs、InGaAlAs和InGaAlN构成的组中选择的一种形成。
15.根据权利要求11所述的方法,其中通过在形成所述化合物半导体层期间就地执行外延生长工艺来形成所述掩蔽层。
16.一种通过包括如下步骤的方法制造的微透镜:
在衬底上形成具有反应性金属的化合物半导体层;
蚀刻所述化合物半导体层,并形成化合物半导体层图案;以及
部分蚀刻所述化合物半导体层图案的侧表面,并形成透镜层,
其中通过数字合金方法形成所述化合物半导体层,并且所述化合物半导体层包括含有所述反应性金属的反应层和由不含反应性金属的化合物半导体构成的半导体层,且在所述化合物半导体层的上部位置所述反应性金属的浓度较高。
17.根据权利要求16所述的微透镜,其中所述反应性金属是铝(Al),并且所述反应层由从AlGaAs、InGaAlAs和InGaAlN构成的组中选择的一种形成。
18.根据权利要求17所述的微透镜,其中所述透镜层通过使用缓冲氧化物蚀刻剂作为蚀刻剂的湿法蚀刻工艺形成。
19.根据权利要求16所述的微透镜,其中所述化合物半导体层由外延生长工艺形成。
本发明涉及制造微透镜和利用微透镜的光电器件的方法,更具体而言,涉及利用化合物半导体的选择性蚀刻制造微透镜和具有微透镜的光电器件的方法。
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