口腔单个牙面牙菌斑游离氟检测传感器
专利汇可以提供口腔单个牙面牙菌斑游离氟检测传感器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种 口腔 单个面 牙菌斑 游离氟检测 传感器 ，包括：位于氟离子传感器上部的参比 电极 (1)；P+隔离区(7)形成在SiO2(6)的下部；Si3N4膜(5)形成在SiO2(6)的上部；源极和漏级引线(3)形成在SiO2(6)的上面； 密封胶 (2)将 硅 片 表面和四周包封，在Si3N4膜表面形成氟离子敏感膜，在该膜表面形成的氟离子敏感膜之外的地方形成 钝化 层，在所述氟离子敏感膜(8)上形成一测量池。本 发明 结构简单，成本低廉，特别适合于医院 门 诊使用，可以快速、准确定检查病人的 牙齿 。，下面是口腔单个牙面牙菌斑游离氟检测传感器专利的具体信息内容。
1.一种口腔单个面牙菌斑游离氟检测传感器，包括：
位于氟离子传感器上部的参比电极(1)；
P+隔离区(7)形成在SiO2(6)的下部；
Si3N4膜(5)形成在SiO2(6)的上部；
源极和漏级引线(3)形成在SiO2(6)的上面；
密封胶(2)将硅片表面和四周包封，其特征在于在Si3N4膜表面形 成氟离子敏感膜(8)在该膜表面形成的氟离子敏感膜之外的地方形成钝化 层，在所述氟离子敏感膜(8)上形成一测量池。
2.按权利要求1所述的传感器，其特征在于氟离子传感器与参比电极分 置。
3.按权利要求2所述的传感器，其特征在于氟离子传感器和参比电极分 别制成牙签状。
4.按权利要求3所述的传感器，其特征在于在参比电极的头部有一探头 套。
5.按权利要求3所述的传感器，其特征在于所述牙签状氟离子传感器宽 为2毫米，厚度小于1毫米。
技术领域
本发明涉及口腔单个面牙菌斑游离氟检测传感器，特别涉及定量检 测口腔单个面牙菌斑游离氟的检测传感器。
背景技术
氟离子敏场效应管传感器是在离子敏场效应管的敏感栅上制备一层 对氟离子敏感的LaF3薄膜。制备LaF3薄膜的方法有多种(蒸发、溅射 等)，但LaF3薄膜的特性与制备条件有密切关系，很难制备出敏感特性 优良的薄膜。有的方法虽然制备出的LaF3薄膜有较好的敏感特性，却难 于与制备离子敏场效应管的微电子工艺兼容。
发明内容
为实现上述目的，一种口腔单个面牙菌斑游离氟检测传感器，包括： 位于氟离子传感器上部的参比电极1；P+隔离区7形成在SiO26的下部； Si3N4膜5形成在SiO26的上部；源极和漏级引线3形成在SiO26的上面； 密封胶2将硅片表面和四周包封，在Si3N4膜表面形成氟离子敏感膜，在 该膜表面形成的氟离子敏感膜之外的地方形成钝化层，在所述氟离子敏 感膜8上形成一测量池。
本发明结构简单，成本低廉，特别适合于医院门诊使用，可以快速、 准确定检查病人的牙齿。
附图说明
图1是F----ISFET结构示意图
图2是检测单个牙面口腔牙菌斑中F-离子浓度传感器示意图
图3是牙签式检测口腔牙菌斑中F-离子浓度传感器
图4是牙签状传感器分离型参比电极
具体实施方式
牙齿发生龋的主要表现是牙齿脱矿。研究表明，牙齿发生龋脱矿的动 力来自牙菌斑液对牙齿矿物的过度不饱和状态。从脱矿机理分析可得到 这样的结论：氟化物在牙齿脱矿中起着十分独特的作用，菌斑液中只要 存在微量的游离氟(如1ppm)即可有效地抑制脱矿，牙菌斑液对牙齿矿 物的不饱和程度可以在一定程度上反映个体现实的龋病状态。另外氟化 物防龋已成为目前最有效的防龋手段，但过量的氟化物将对人体造成危 害。因此要求在使用氟化物防龋过程中必须十分谨慎。为了更好地防龋， 检测牙菌斑液中氟化物的储留和代谢状态，对研究斑菌脱矿过程、诊断 龋病状态和氟化物防龋是十分重要的。这要求对口腔中不同部位有效氟 的分布情况有更详尽的了解，有效地指导用氟、可靠地评价不同氟化物 和给氟方法的效果。
本发明提出一种新型的小型氟离子传感器，其结构如图1所示。其结 构是在氢离子敏场效应管的Si3N4绝缘栅表面固定一层氟离子敏感膜。图 1中1为参比电极、2为密封胶、3为源极和漏级引线、4为钝化层、5 为Si3N4膜、6为SiO2、7为P+隔离区、8为氟离子敏感模。可以采用微 电子机械加工技术将LaF3单晶片粘接或键合在Si3N4绝缘栅表面，并减 薄到微米量级。也可以采用对LaF3超纯粉末材料的固定化技术，将粉末 按一定比例混合在中性载体中.在Si3N4栅表面形成F-离子敏感模。
图2示出检测示意图.图中21为参比电极、22为待测牙菌斑液和表面 液封、23为氟离子敏感膜、24为传感器芯片、25为密封胶、26为绝缘 基片、27为源极、漏级压焊丝、28为源极(S)、漏级(D)引线。在栅区的 表面有一个测量池，测量池的容积为1um左右，对牙菌斑液面进行液封。 参比电极制成玻璃式塑料毛细管型结构插进溶液。
为方便检测，将小型氟离子传感器设计成牙签状，图3示出其基本结 构.牙签宽2mm，厚度小于1mm。参比电极可复合在传感器的芯片上；也可 以采用分离的牙科专用的参比电极方法.若采用分离型参比电极，测量时只 要将参比电极插入口腔任何部位，牙签状传感器插到牙齿待测部位即可。为 了卫生安全，牙签状传感器和参比电极都应是一次性使用的。参比电极设计 成如图4所示，它由两部分组成，图中41为参比电极的主体.42为是电极探 头套，使用时42套在41的端部，每换一个病人，探头套更换一个。
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