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流量控制 阀

阅读：1020发布：2020-06-10

专利汇可以提供流量控制阀专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种流量控制阀，在压力平衡型的流量控制阀中，降低从阀口(1a)流入均压路(3A)的流体通过插通孔(42)与导通口(43)并积存在步进马达(6)的壳体(62)内而产生的相对于阀部件(3)的负载，使差压力良好地平衡。在导向部(21)内配设阀部件(3)。利用垫圈 (34)对阀部件(3)的圆柱部(32)的外周面与导向部(21)的内周面之间进行密封。使阀部件(3)的锥形面(31a)与阀座 (1b)的接触线的直径(密封直径)(D2)比导向部(21)的内径(D1)(垫圈(34)的外径(D1))大。，下面是流量控制阀专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种流量控制阀，具备：配设于阀壳内的圆筒形状的导向部；能够滑动地配设于上述导向部内并且对由阀座划定的阀口进行开闭的阀部件；以及沿上述导向部的轴线方向对上述阀部件进行驱动的驱动促动器，使上述阀部件沿轴线方向移动来对上述阀口进行开闭，并且利用均压路将相对于上述阀部件的与上述阀口相反侧的背压室和该阀口导通，而取得该背压室的流体压力与阀口的流体压力的压力平衡，上述流量控制阀的特征在于，使上述阀部件的上述阀口侧的受压面积比该阀部件的上述背压室侧的受压面积大。
2.根据权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于，
上述阀部件具有插通到上述导向部内的圆柱部，
在上述导向部或者上述圆柱部具备密封部件，该密封部件对该导向部的内周面与该圆柱部的外周面之间进行密封。
3.根据权利要求2所述的流量控制阀，其特征在于，
上述密封部件由环状的垫圈和覆盖该垫圈的罩构成，并配置成使该罩的滑动部与上述导向部的内周面或者上述圆柱部的外周面滑动接触。
4.根据权利要求1～3任一项中所述的流量控制阀，其特征在于，
在上述阀座的内侧，形成有随着从上述导向部朝向上述阀口而内径逐渐变小并连接至上述阀口的落座面，在闭阀时的上述阀部件的前端部与上述落座面的接触线的内侧，形成直径比上述阀口大的膨胀空间。

说明书全文

流量控制阀

技术领域

[0001] 本发明涉及冷冻循环等所使用的流量控制阀，详细而言涉及压力平衡型的流量控制阀。

背景技术

[0002] 现有的压力平衡型的流量控制阀的设计思想如下：为了消除施加于阀部件的差压力，使阀部件的上部的背压室中的受压面积与阀口的直径相等，并且在阀部件的中央设置均压路，通过该均压路将阀部件下部(阀口侧)的压力导入背压室，使阀部件的上部和下部处于相同压力，从而使施加于阀部件的基本的差压力消除。作为这种流量控制阀，例如有在日本特开2014－35006号公报(专利文献1)中公开的流量控制阀。

[0003] 该压力平衡型的流量控制阀为了驱动阀部件而具备作为驱动促动器的步进马达。该步进马达在壳体与壳体的周围具备定子线圈，并且在壳体内容纳磁性转子、固定于磁性转子的转子轴。另外，在壳体内容纳有支撑转子轴的支撑部件。并且，使形成于转子轴的外周的外螺纹部与形成于支撑部件的内螺纹部螺纹结合，通过磁性转子的旋转使转子轴直线移动，并利用经由阀架保持于转子轴的阀部件控制阀口的开度。由此，相对于从与阀壳的侧面连接的一次侧接头管流入的流体控制在阀口流动的流量。另外，在阀部件的上部设有用于消除流体相对于阀部件的差压力的背压室，该背压室通过形成于阀部件的均压路而与阀口导通。

[0004] 现有技术文献

[0005] 专利文献

[0006] 专利文献1：日本特开2014－35006号公报

发明内容

[0007] 发明所要解决的课题

[0008] 在上述的压力平衡型的流量控制阀中，容纳磁性转子、转子轴以及支撑部件的壳体与阀壳连结，该壳体内与阀壳一起被密闭。另外，壳体内经由支撑部件与阀架的间隙、以及形成于支撑部件的导通口(专利文献1中未图示。)而与上述背压室导通。

[0009] 并且，在这种流量控制阀中，还存在流体从阀口侧流动的情况。该情况下，从阀口侧迅猛流动的流体通过均压路以及背压室而积存在死胡同状的壳体内并被压缩。因此，阀部件的上表面的压力比下表面的压力高，无法消除差压力。因而，产生有损工作的稳定性之类的问题。这样，在现有的流量控制阀中，在未充分取得压力平衡这方面还有改进的余地。

[0010] 本发明的课题在于，在压力平衡型的流量控制阀中，降低积存在壳体内的流体的压力产生的对背压室的影响，消除差压力。

[0011] 用于解决课题的方案

[0012] 方案1的流量控制阀具备：配设于阀壳内的圆筒形状的导向部；能够滑动地配设于上述导向部内并且对由阀座划定的阀口进行开闭的阀部件；以及沿上述导向部的轴线方向对上述阀部件进行驱动的驱动促动器，使上述阀部件沿轴线方向移动来对上述阀口进行开闭，并且利用均压路将相对于上述阀部件的与上述阀口相反侧的背压室和该阀口导通，而取得该背压室的流体压力与阀口的流体压力的压力平衡，上述流量控制阀的特征在于，[0013] 使上述阀部件的上述阀口侧的受压面积比该阀部件的上述背压室侧的受压面积大。

[0014] 方案2的流量控制阀根据方案1所述的流量控制阀，其特征在于，

[0015] 上述阀部件具有插通到上述导向部内的圆柱部，

[0016] 在上述导向部或者上述圆柱部具备密封部件，该密封部件对该导向部的内周面与该圆柱部的外周面之间进行密封。

[0017] 方案3的流量控制阀根据方案2所述的流量控制阀，其特征在于，

[0018] 上述密封部件由环状的垫圈和覆盖该垫圈的罩构成，并配置成使该罩的滑动部与上述导向部的内周面或者上述圆柱部的外周面滑动接触。

[0019] 方案4的流量控制阀根据方案1或2所述的流量控制阀，其特征在于，

[0020] 在上述阀座的内侧，形成有随着从上述导向部朝向上述阀口而内径逐渐变小并连接至上述阀口的落座面，在闭阀时的、上述阀部件的前端部与上述落座面的接触线的内侧，形成直径比上述阀口大的膨胀空间。

[0021] 发明的效果如下。

[0022] 根据方案1的流量控制阀，由于使阀部件的阀口侧的受压面积比该阀部件的背压室侧的受压面积大，因此降低从阀口通过均压路并积存在驱动促动器的密闭壳体的流体的压力的影响而能够使作用于阀部件的流体压力的平衡良好，从而能够使阀部件可靠地工作。

[0023] 根据方案2的流量控制阀，除了方案1的效果以外，能够利用密封部件将导向部的内周面与阀部件的圆柱部的外周面之间可靠密封，并且能够使流体压力的平衡良好。

[0024] 根据方案3的流量控制阀，除了方案2的效果以外，利用罩的滑动部将阀部件的圆柱部的外周面与导向部的内周面(导向面)之间密封。由于阀部件在导向部内移动时，罩的滑动部在导向部的内周面或阀部件的外周面滑动，因此降低滑动阻力，并且能够可靠地进行阀部件的工作。

[0025] 根据方案4的流量控制阀，除了方案1～3任一项的效果以外，由于形成有直径比阀口大的膨胀空间，因此在从阀口流动流体的情况下，从阀口流入的流体在膨胀空间膨胀而压力下降。因此，能够抑制经由均压路而导入背压室的流体的压力，能够降低驱动促动器侧的流体压力对阀部件的影响。附图说明

[0026] 图1是本发明的第一实施方式的流量控制阀的闭阀状态的纵剖视图。

[0027] 图2是本发明的第一实施方式的说明阀部件、导向部、阀口以及背压室相对于流体压力的作用的图。

[0028] 图3是本发明的第二实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图。

[0029] 图4是本发明的第三实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图。

[0030] 图5是本发明的第四实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图。

[0031] 图6是表示本发明的第四实施方式的流量控制阀的上升量－流量特性的图。

[0032] 图7是本发明的第五实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图。

[0033] 图8是表示本发明的各实施方式的密封部件的变形例的图。

[0034] 图9是本发明的第六实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图。

[0035] 图中：

[0036] 1—阀壳，1A—阀室，11—第一接头管，12—第二接头管，1a—阀口，2—阀导向部件，21—导向部，2A—背压室，3—阀部件，3A—均压路，31—密封部，32—圆柱部，4—支撑部件，5—阀架，6—步进马达(驱动促动器)，61—转子轴，62—壳体(密闭壳体)，63—磁性转子，64—定子线圈。

具体实施方式

[0037] 以下，参照附图对本发明的流量控制阀的实施方式进行说明。图1是第一实施方式的流量控制阀的闭阀状态的纵剖视图。以下的说明中的“上下”的概念与图1的图中的上下对应。另外，在以下的说明中，“D1～D3”表示部件的各部绕轴线L的直径，“S1～S3”表示从轴线L方向观察时的与D1～D3分别对应的部分的面积。此外，在附图中，“S1～S3”在对应的“D1～D3”后带括弧记载。

[0038] 该实施方式的流量控制阀具有圆筒形状的阀壳1，在阀壳1形成有圆筒状的阀室1A，并且在下端部中央形成有与阀室1A连通的圆柱空洞的阀口1a。阀口1a的阀室1A侧的开口端部成为阀座1b。另外，在阀壳1安装有从侧面侧与阀室1A连通的第一接头管11，并且在下端部安装有与阀口1a连通的第二接头管12。

[0039] 在阀室1A内配设有从阀壳1的上端插入的中空多级圆筒状的阀导向部件2。该阀导向部件2将以轴线L为中心轴而位于阀口1a侧的小径且圆筒形状的导向部21、直径比导向部21大的中径圆筒部22、以及镶嵌在阀壳1的上端的大径的安装部23形成为一体。在导向部21内，以能够沿轴线L方向移动的方式配设有活塞状的阀部件3。并且，通过阀部件3的一部分容纳于阀导向部件2内，从而划分阀导向部件2的内空间，在阀导向部件2内形成相对于阀部件3的背压室2A。

[0040] 阀部件3整体形成为大致圆柱形状，具有：向阀口1a侧开口的连结研钵形状及圆筒形状的开口孔3a；以及与开口孔3a相连并向背压室2A开口的连结孔3b。并且，该开口孔3a和连结孔3b构成将阀口1a和背压室2A导通的均压路3A。另外，阀部件3具有：与阀座1b对置的圆环状的密封部31；直径比密封部31稍小的圆柱形状的圆柱部32；以及直径比圆柱部32小的凸起部33。在密封部31的外周设有随着朝向下方而直径变小的尖细的锥形面31a。

[0041] 圆柱部32具有与导向部21的内径匹配的外径，在该圆柱部32的靠凸起部33处形成有圆环状的槽32a。并且，在该槽32a内装配有对圆柱部32的外周面与导向部21的内周面(导向面)之间进行密封的作为“密封部件”的O型环状的垫圈34。由此，阀部件3一边在导向部21内滑动一边移动。

[0042] 在阀导向部件2的上部通过凸缘金属零件41紧固有支撑部件4，在该支撑部件4，沿轴线L方向形成有插通孔42，并且形成有将插通孔42与后述的壳体62内导通的导通口43。在插通孔42，能够沿轴线L方向移动地插通有圆筒状的阀架5，在该阀架5的下端部紧固有阀部件3的凸起部33。此外，在阀架5，形成有将阀架5的内部和背压室2A导通的透孔5a。另外，阀架5与作为“驱动促动器”的后述的步进马达6的转子轴61卡合。

[0043] 在转子轴61的下端部一体地形成有凸缘部61a，该凸缘部61a与阀架5的上端的保持部51一起夹住作为平滑部件的垫片52，该转子轴61的下端部能够旋转地卡合于阀架5的上端部。通过该卡合，阀架5以能够旋转地悬挂状态由转子轴61支撑。另外，在阀架5内，以能够沿轴线L方向移动的方式设有弹簧支架53，在弹簧支架53与阀部件3的凸起部33之间，以给与预定的载荷的状态安装有压缩螺旋弹簧54。由此，弹簧支架53与转子轴61的下端部抵接卡合，阀部件3相对于转子轴61被向下方侧加力。在转子轴61形成有外螺纹部61b，该外螺纹部61b与形成于支撑部件4的内螺纹部4a螺纹结合。由此，转子轴61伴随旋转而沿轴L线方向移动。

[0044] 在阀壳1的上部安装有步进马达6。步进马达6由上述转子轴61、壳体62、磁性转子63、定子线圈64构成。壳体62与阀导向部件2的安装部23的凸缘部23a一起通过焊接等气密地固定于阀壳1。在壳体62内，以能够旋转的方式设有将外周部磁化为多极的磁性转子63，在该磁性转子63紧固有转子轴61。此外，在壳体62的顶板部设有限制磁性转子63旋转的旋转限位机构7。另外，在壳体62的外周配设有定子线圈64，步进马达6通过对定子线圈64给与脉冲信号，从而根据该脉冲数来使磁性转子63旋转。并且，通过该磁性转子63的旋转，转子轴61旋转，通过伴随该旋转的转子轴61在轴线L方向的移动，阀部件3与阀架5一起在轴线L方向移动。

[0045] 根据以上的结构，利用步进马达6的驱动，阀部件3在轴线L方向移动，阀部件3被阀导向部件2的导向部21导向，该阀部件3相对于阀座1b离座/落座。由此，开闭阀口1a。根据由该阀部件3的密封部31和阀座1b的距离决定的开阀度来控制制冷剂流量。此外，在阀部件3落座于阀座1b时，磁性转子63以及转子轴61的旋转量设定为，转子轴61从阀部件3与阀座1b抵接的位置稍微向下方移动，此时的转子轴61的移动量由压缩螺旋弹簧54的压缩吸收。由此，利用阀部件3可靠地保持关闭状态。

[0046] 本发明的实施方式的流量控制阀用于控制如下两种流动：流体(制冷剂)从第一接头管11流入并从第二接头管12流出的第一流动(图1的实线箭头的流动)、和流体从第二接头管12流入并从第一接头管11流出的第二流动(图1的虚线箭头的流动)。并且，第一流动时，阀口1a的低压经由均压路3A而被导入背压室2A。另外，第二流动时，阀口1a侧的高压经由均压路3A而被导入背压室2A。

[0047] 图2是说明阀部件3、导向部21、阀口1a以及背压室2A相对于流体压力的作用的图。在此，将阀室1A(第一接头管11侧)中的流体压力设为P1，将阀口1a(第二接头管12侧)中的流体压力设为P2，将背压室2A中的流体压力设为P3。另外，将阀部件3的背压室2A侧的受压面积设为S1，将阀部件3的阀口1a侧的受压面积设为S2，将阀部件3的开口孔3a的最小剖面面积设为S3。

[0048] 如图2所示，阀部件3的背压室2A侧的受压面积S1由导向部21的内径D1(垫圈34的外径D1)规定。另外，阀部件3落座于阀座1b的状态下的阀部件3的阀口1a侧的受压面积S2由密封部31的锥形面31a和阀座1b的接触线的直径D2(该实施方式中为阀口1a的内径D2)规定。此外，将上述密封部31的锥形面31a和阀座1b的接触线的直径D2称为“密封直径”。

[0049] 接着，对作用于阀部件3的流体压力产生的力、与流体压力以及直径(受压面积)的关系进行说明。此外，以下的说明中，代替面积而用直径进行说明。在轴线L方向，若将利用流体压力对阀部件3作用向上的力设为F，则

[0050] F＝P1(D1－D2)+P2(D2－D3)－P3(D1－D3)…(1)。此外，通过将“D1”替换为“S1”、将“D2”替换为“S2”、将“D3”替换为“S3”，该关系会成为关于面积的关系式。以下同样。

[0051] 由于流体流动的情况下P1≠P2，假设P2＝P3而且D1＝D2，则根据式(1)，得到[0052] F＝P1(D1－D2)+P2(D2－D1)

[0053] ＝(P1－P2)(D1－D2)

[0054] ＝0

[0055] 不会对阀部件3施加差压引起的负载。

[0056] 但是，在上述第二流动的情况、即P2＞P1的情况下，流体从阀口1a经由均压路3A而积存在步进马达6(壳体62)的死胡同状的部分而被压缩，因此成为P3＞P2。因此如若D1＝D2，则根据式(1)得到

[0057] F＝(P2－P3)(D1－D3)…(2)

[0058] 即、F成为负值，对阀部件3施加向下的差压力。

[0059] 对此，在本发明中，以上述的差压力大致成为0的方式，设定为D2＞D1、即S2＞S1。即、设定为使从阀口1a通过均压路3A而积存在步进马达6的壳体62的流体的压力与阀口1a内的压力的差压抵消。此外，密封直径D2与导向部21的内径D1的比D2/D1的范围是[0060] 1.00＜D2/D1≤1.05。

[0061] 第二流动的情况下，成为P1＜P2，并且如上所述成为P2＜P3。但是，如上所述以大致成为F＝0的方式设定为D2＞D1。因此，不会对阀部件3施加负载，不论从开阀成为闭阀时、还是从闭阀成为开阀时，任意的情况下都能够容易地驱动阀部件3。此外，压缩螺旋弹簧54的弹簧力设定为即使在阀部件3以第二流动落座的状态下，该阀部件3也不会浮起的那样的强度。

[0062] 图3是第二实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图，图4是第三实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图，图5是第四实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图，图6是表示第四实施方式的流量控制阀的上升量－流量特性的图，图7是第五实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图。各图表示阀部件以及阀座(阀壳)的部分。以下，在第二实施方式至第五实施方式的流量控制阀中，除了阀部件以及阀座的形状以外与第一实施方式的流量控制阀相同，对于与第一实施方式相同的要素标注与图1以及图2相同的符号并适当省略重复的说明。

[0063] 图3的第二实施方式中，在阀座1b的内侧形成随着从上方朝向下方(从导向部21朝向阀口1a侧)而内径逐渐变小的单一研钵形状的落座面1c。该落座面1c从阀座1b连接至阀口1a。并且，落座面1c与轴线L所成的角度比阀部件3中的密封部31的锥形面31a与轴线L所成的角度大。由此，在闭阀时，阀部件3的密封部31的外周前端部31b与落座面1c抵接。并且，阀部件3落座于落座面1c的状态下的阀部件3的阀口1a侧的受压面积S2由上述外周前端部31b与落座面1c的接触线的直径(密封直径)D2规定。即使在该第二实施方式中，也以由第二流动的情况的P3＞P2产生的上述差压力成为0的方式，设定为D2＞D1(1.00＜D2/D1≤
1.05)、即S2＞S1。

[0064] 该第二实施方式中，由于密封直径D2比阀口1a的内径大，因此在阀口1a的阀部件3侧形成有直径比阀口1a大的膨胀空间1B。因此，在第二流动的情况下，从阀口1a流入的流体在该膨胀空间1B膨胀而压力下降。因此，能够抑制经由均压路3A导入到背压室2A的流体的压力，从而能够进一步降低步进马达6的壳体62内的压力的影响。

[0065] 图4的第三实施方式中，与第二实施方式相同，在阀座1b的内侧形成单一的研钵形状的落座面1c，但在阀部件3的密封部31′未形成锥形面，而是使密封部31′为圆柱状。即使在该第三实施方式中，在闭阀时中，密封部31′的外周前端部31b′也与落座面1c抵接。并且，阀部件3落座于落座面1c的状态下的阀部件3的阀口1a侧的受压面积S2由外周前端部31b′与落座面1c的接触线的直径(密封直径)D2规定。即使在该第三实施方式中，也以由第二流动的情况的P3＞P2产生的上述差压力成为0的方式，设定为D2＞D1(1.00＜D2/D1≤1.05)、即S2＞S1。另外，即使在该第三实施方式中，也由于在阀口1a的阀部件3侧形成有直径比阀口1a大的膨胀空间1B，因此与第二实施方式相同，能够抑制经由均压路3A导入到背压室2A的流体的压力，从而能够进一步降低步进马达6的壳体62内的压力的影响。

[0066] 图5的第四实施方式中，与第一实施方式相同，阀口1a是圆柱空洞的形状，在阀部件3的密封部31的外周面设置相对于轴线L的角度逐渐变小的第一锥形面311、第二锥形面312以及第三锥形面313。在该第四实施方式中，阀部件3落座于阀座1b的状态下的阀部件3的阀口1a侧的受压面积S2由第一锥形面311与阀座1b的接触线的直径(密封直径)D2(该实施方式中为阀口1a的内径D2)规定。即使在该第四实施方式中，也以由第二流动的情况的P3＞P2产生的上述差压力成为0的方式，设定为D2＞D1(1.00＜D2/D1≤1.05)、即S2＞S1。

[0067] 另外，该第四实施方式的流量控制阀中的阀部件3从落座位置的上升量与流量的关系如图6的实线的图形那样。虚线的图形是一个锥形面(一级锥形)的情况，如第四实施方式那样，通过角度不同的第一锥形面311、第二锥形面312以及第三锥形面313，能够控制非线形的流量。

[0068] 图7的第五实施方式中，使图3的第二实施方式中的阀座1b的内侧的落座面1c为多级。形成有第一锥形面1c1、第二锥形面1c2以及第三锥形面1c3，各锥形面与轴线L所成的角度以第一锥形面1c1、第二锥形面1c2以及第三锥形面1c3的顺序变大。另外，在该第五实施方式中，第一锥形面1c1为落座面，在闭阀时，阀部件3的密封部31的外周前端部31b与第一锥形面1c1抵接。并且，阀部件3落座于第一锥形面1c1的状态下的阀部件3的阀口1a侧的受压面积S2由上述外周前端部31b与第一锥形面1c1的接触线的直径(密封直径)D2规定。即使在该第五实施方式中，也以由第二流动的情况的P3＞P2产生的上述差压力成为0的方式，设定为D2＞D1、即S2＞S1。此外，该第五实施方式中的从落座位置的上升量与流量的关系与图6的实线的图形相同。

[0069] 图8是表示各实施方式的密封部件的变形例的图。图8(A)的变形例1中，在阀部件3中的圆柱部32的圆环状的槽32a内，作为“密封部件”装配有O型环状的垫圈35、和氟树脂例如PTFE(聚四氟乙烯)、PFA(全氟烷氧基氟树脂)等的罩36。此外，如果垫圈35为环状，则也可以是剖面为四边形的构件。另外，垫圈35以及各实施方式的垫圈34也可以与弹性部件、例如NBR、H－NBR、CR、或者罩36相同地由PTFE、PFA等氟树脂构成。罩36的纵剖面呈コ字状的形状，以从外侧覆盖垫圈35的方式设置，并配置成使该罩36的滑动部36a与导向部21的内周面滑动接触。并且，利用该滑动部36a将圆柱部32的外周面与导向部21的内周面(导向面)之间密封。罩36是PTFE制，降低与导向部21之间的滑动阻力。

[0070] 图8(B)的变形例2中，在阀部件3的圆柱部32形成圆环状的台阶部32b，在该台阶部32b，作为“密封部件”装配有氟树脂例如PTFE、PFA制的一对L垫圈37、37、和由该L垫圈37、37夹持的加强板38，利用嵌合于台阶部32b的固定金属零件39固定这些L垫圈37、37和加强板
38。利用L垫圈37、37将圆柱部32的外周面与导向部21的内周面(导向面)之间密封。L垫圈
37、37为PTFE制，降低与导向部21之间的滑动阻力。此外，密封部件并不限于实施方式以及上述变形例，例如也可以是活塞环。

[0071] 图9是第六实施方式的流量控制阀的主要部分纵剖视图，在上述各实施方式的流量控制阀中，除了阀部件以及导向部的构造以外与第一实施方式的流量控制阀相同，对于与第一实施方式相同的要素，标注与图1以及图2相同的符号并适当省略重复的说明。

[0072] 该第六实施方式中，将密封部件设置于圆筒状的导向部21侧。在阀部件3的圆柱部32没有槽，而是在导向部21的内侧形成有圆环状的槽21a。并且，在该槽21a内，作为“密封部件”装配有O型环状的垫圈24、和氟树脂例如PTFE(聚四氟乙烯)、PFA(全氟烷氧基氟树脂)等的罩25。此外，如果垫圈24为环状，则也可以是剖面为四边形的构件。罩25的纵剖面呈コ字状的形状，以从内侧覆盖垫圈24的方式设置，并配置成使该罩25的内周侧的滑动部25a与圆柱部32的外周面滑动接触。并且，利用该滑动部25a将圆柱部32的外周面与导向部21的内周面(导向面)之间密封。罩25为PTFE制，降低与圆柱部32之间的滑动阻力。该实施方式的密封部件是与图8(A)的变形例1类似的结构，但并不限于此，作为配设于导向部21的槽21a内的密封部件，既可以如第一至第五实施方式那样仅为O型环状的垫圈，也可以由图8(B)的变形例2那样的L垫圈和加强板构成。

[0073] 此外，在实施方式中，以驱动阀部件的驱动促动器为步进马达的情况为例进行了说明，但作为本发明中的驱动促动器，也可以是例如由电磁线圈和柱塞驱动阀部件的驱动促动器。该情况下，例如对柱塞进行密闭容纳的柱塞管等与“密闭壳体”对应。

[0074] 以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详细叙述，但具体的结构并不限于这些实施方式，不脱离本发明的主旨的范围的设计的变更等也包含于本发明。

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