滑阀装置及滑阀
阅读：758发布：2020-05-13
专利汇可以提供滑阀装置及滑阀专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且提供一种能不增加部件件数地检测 阀 芯的动作异常的 滑阀 装置。滑阀装置具备：形成有多条流路的壳体；通过移动来切换多条流路的连接状态的阀芯；电动执行器，包括以与流动的驱动 电流 相应的转矩使 输出轴 旋转的电动 马 达和将输出轴的旋转运动转换为直线运动并将与转矩相应的推 力 给予阀芯来改变阀芯的 位置 的直动转换机构；将与电动执行器的推力对抗的施加力给予阀芯的施力构件；对电动马达的输出轴的 角 度位置进行检测的角度检测部；驱动部，基于输入的位置指令和角度检测部检测的角度位置来控制驱动电流对电动马达的流动并驱动电动马达；以及异常判定部，基于由角度检测部检测的角度位置来算出阀芯的位置并判定阀芯的动作异常的有无。，下面是滑阀装置及滑阀专利的具体信息内容。
1.一种滑阀装置，其特征在于，具备：
形成有多条流路的壳体；
阀芯，所述阀芯能移动地插入于所述壳体，且通过移动来改变位置并切换所述多条流路的连接状态；
电动执行器，所述电动执行器包括以与流动的驱动电流相应的转矩使输出轴旋转的电动马达和将所述输出轴的旋转运动转换为直线运动并将与所述转矩相应的推力给予所述阀芯来改变所述阀芯的位置的直动转换机构；
将与所述电动执行器的推力对抗的施加力给予所述阀芯的施力构件；
对所述电动马达的输出轴的角度位置进行检测的角度检测部；
驱动部，所述驱动部基于输入的位置指令和所述角度检测部检测的角度位置来控制驱动电流对所述电动马达的流动并驱动所述电动马达；以及
异常判定部，所述异常判定部基于由所述角度检测部检测的角度位置来算出所述阀芯的位置并判定阀芯的动作异常的有无。
2.根据权利要求1所述的滑阀装置，其特征在于，
所述异常判定部除了所述角度检测部检测的角度位置外，还基于从所述驱动部流向所述电动马达的驱动电流来判定阀芯的动作异常的有无。
3.根据权利要求2所述的滑阀装置，其特征在于，
所述异常判定部能取得为了使所述阀芯向各位置移动而应流到所述电动马达的第一驱动电流，且基于由所述角度检测部检测的角度位置来运算所述阀芯的位置并取得为了移动到运算的所述阀芯的位置而应流到所述电动马达的第一驱动电流，基于取得的第一驱动电流与从所述驱动部向所述电动马达实际流动的驱动电流即实驱动电流之差来判定阀芯的动作异常的有无。
4.根据权利要求3所述的滑阀装置，其特征在于，
所述异常判定部能取得为了使所述阀芯以任意的加速度加速而应流到所述电动马达的第二驱动电流，且取得为了以基于输入的位置指令运算的所述阀芯的加速度移动所述阀芯而应流到所述电动马达的第二驱动电流，基于对取得的所述第一驱动电流加上第二驱动电流后的值与所述实驱动电流之差来判定阀芯的动作异常的有无。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的滑阀装置，其特征在于，
所述异常判定部基于由所述角度检测部检测的角度位置来运算所述阀芯的位置，并对运算的所述阀芯的位置与输入的位置指令的偏差量进行运算，基于运算的偏差量是否在预设的阈值以下来判定阀芯的动作异常的有无。
6.根据权利要求1所述的滑阀装置，其特征在于，
还具备检测液压执行器的驱动量的驱动量检测部，所述液压执行器与所述多条流路的至少1条连接且利用通过连接的所述流路流动的工作液来工作；
所述异常判定部除了所述角度检测部检测的角度位置外，还基于由所述驱动量检测部检测的驱动量来判定阀芯的动作异常的有无。
7.根据权利要求6所述的滑阀装置，其特征在于，
所述异常判定部能取得所述电动马达的输出轴相对于所述液压执行器的各驱动量而处于的角度位置，且根据该对应关系而基于由所述角度检测部检测的角度位置来取得所述液压执行器的驱动量，基于取得的驱动量与所述驱动量检测部检测的实际的实驱动量之差来判定阀芯的动作异常的有无。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的滑阀装置，其特征在于，
所述直动转换机构具有能直线运动的按压构件，并将所述输出轴的旋转运动转换为所述按压构件的直线运动；
所述按压构件与所述阀芯抵接，通过对抗所述施力构件地按压所述阀芯来移动所述阀芯。
9.一种滑阀，其特征在于，具备：
形成有多条流路的壳体；
阀芯，所述阀芯能移动地插入于所述壳体，且通过移动来改变位置并切换所述多条流路的连接状态；
移动所述阀芯的电动执行器；以及
将与所述电动执行器的推力对抗的施加力给予所述阀芯的施力构件；
所述电动执行器包括：
以与流动的驱动电流相应的转矩使输出轴旋转的电动马达；以及
具有能直线运动的直动构件，且将所述输出轴的旋转运动转换为所述直动构件的直线运动并将与所述转矩相应的推力给予所述阀芯来改变所述阀芯的位置的直动转换机构；
所述直动构件与所述阀芯抵接，通过对抗所述施力构件地按压所述阀芯来移动所述阀芯。
10.根据权利要求9所述的滑阀，其特征在于，
所述壳体中的所述多条流路中的至少1条与吐出工作液的液压泵及接受工作液的供给并工作的液压执行器分别连接；
所述阀芯在所述施力构件施力的方向上最偏移的故障安全位置上切断与所述液压泵和所述液压执行器分别连接的流路。
滑阀装置及滑阀
技术领域
[0001] 本发明涉及利用电动执行器移动阀芯的滑阀装置及滑阀。
背景技术
[0002] 作为控制阀之一，已知有滑阀，滑阀能根据阀芯的位置来控制工作液的流动方向、工作液的流量。又，已知滑阀中存在将先导压给予阀芯从而改变位置的先导驱动方式和利用直动执行器改变阀芯的位置的执行器驱动方式。作为后者执行器驱动方式的滑阀，已知例如专利文献1的多联换向阀。在专利文献1的多联换向阀中，电动马达的输出轴经由滚珠丝杠减速器与阀芯连结。由此，电动马达输出轴旋转使得阀芯在其轴线方向移动，阀芯的位置变化。
发明内容
[0004] 发明要解决的问题：在专利文献1的多联换向阀中，将电动马达的推力给予阀芯从而变更阀芯的位置。又，弹簧的施加力以与电动马达的推力对抗的形式作用于阀芯，此施加力根据阀芯的位置变化。因而能通过改变给予阀芯的推力来改变阀芯的位置，能通过掌握推力和施加力分别均衡的阀芯的位置而利用流向电动马达的电流值进行阀芯的定位。如此构成的多联换向阀中，无法在发生阀芯卡住（stick）而无法动作等动作不良的情况下检测该动作不良。
[0005] 另，多联换向阀中，也记载了以下的事例来作为另外的定位方法。即记载了使用伺服马达作为电动马达并在阀芯设置位置传感器，基于从其输出的信号来控制阀芯的位置。为了检测阀芯的位置而设置位置传感器，从而可对阀芯的卡住等动作异常进行判定，但因设置这样的传感器，作为多联换向阀的滑阀装置的部件件数增加。
[0006] 因此，本发明目的在于提供一种能不增加部件件数地检测阀芯的动作异常的滑阀装置。
[0007] 解决问题的手段：本发明的滑阀装置具备：形成有多条流路的壳体；阀芯，所述阀芯能移动地插入于所述壳体，且通过移动来改变位置并切换所述多条流路的连接状态；电动执行器，所述电动执行器包括以与流动的驱动电流相应的转矩使输出轴旋转的电动马达和将所述输出轴的旋转运动转换为直线运动并将与所述转矩相应的推力给予所述阀芯来改变所述阀芯的位置的直动转换机构；将与所述电动执行器的推力对抗的施加力给予所述阀芯的施力构件；对所述电动马达的输出轴的角度位置进行检测的角度检测部；驱动部，所述驱动部基于输入的位置指令和所述角度检测部检测的角度位置来控制驱动电流对所述电动马达的流动并驱动所述电动马达；以及异常判定部，所述异常判定部基于由所述角度检测部检测的角度位置来算出所述阀芯的位置并判定阀芯的动作异常的有无。
[0008] 根据本发明，利用具备直动转换机构的电动执行器来对阀芯给予推力并移动阀芯，从而电动马达的输出轴的角度位置与阀芯的位置对应。因而，能用为了使驱动部控制电动马达而设置于电动马达的角度检测部来算出阀芯的位置，并判定阀芯的动作异常的有无。即，即便不新设置用于检测阀芯的位置的位置传感器，也能判定动作异常的有无。因而能不增加滑阀装置的部件件数地判定阀芯的动作异常的有无。
[0009] 上述发明中也可以是，所述异常判定部除了所述角度检测部检测的角度位置外，还基于从所述驱动部流向所述电动马达的驱动电流来判定阀芯的动作异常的有无。
[0010] 根据上述结构，能通过由角度检测部检测的角度位置和向驱动部实际输入的实驱动电流来判定阀芯的动作异常的有无，从而能抑制部件件数的增加。
[0011] 上述发明中也可以是，所述异常判定部能取得为了使所述阀芯向各位置移动而应流到所述电动马达的第一驱动电流，且基于由所述角度检测部检测的角度位置来运算所述阀芯的位置并取得为了移动到运算的所述阀芯的位置而应流到所述电动马达的第一驱动电流，基于取得的第一驱动电流与从所述驱动部向所述电动马达实际流动的驱动电流即实驱动电流之差来判定阀芯的动作异常的有无。
[0012] 根据上述结构，通过事先取得为了使阀芯向各位置移动而应输入到电动马达的第一驱动电流，能仅通过检测输出轴的角度位置及实驱动电流来判定阀芯的动作异常的有无。因而判定阀芯的动作异常的有无较为容易。
[0013] 上述发明中也可以是，所述异常判定部能取得为了使所述阀芯以任意的加速度加速而应流到所述电动马达的第二驱动电流，且取得为了以基于输入的位置指令运算的所述阀芯的加速度移动所述阀芯而应流到所述电动马达的第二驱动电流，基于对取得的第一驱动电流加上第二驱动电流后的值与实驱动电流之差来判定阀芯的动作异常的有无。
[0014] 根据上述结构，通过对第一驱动电流加上第二驱动电流，能更准确地运算为了产生推力而应输入到电动执行器的驱动电流。因而能更准确地判定阀芯的动作异常的有无。
[0015] 上述发明中也可以是，所述异常判定部基于由所述角度检测部检测的角度位置来运算所述阀芯的位置，并对运算的所述阀芯的位置与输入的位置指令的偏差量进行运算，基于运算的偏差量是否在预设的阈值以下来判定阀芯的动作异常的有无。
[0016] 根据上述结构，能基于位置指令和角度检测部检测的角度位置来判定阀芯的动作异常的有无，从而能抑制部件件数的增加。
[0017] 上述发明中也可以是，还具备检测液压执行器的驱动量的驱动量检测部，所述液压执行器与所述多条流路的至少1条连接且利用通过连接的所述流路流动的工作液来工作；所述异常判定部除了所述角度检测部检测的角度位置外，还基于由所述驱动量检测部检测的驱动量来判定阀芯的动作异常的有无。
[0018] 根据上述结构，基于液压执行器的驱动量来判定滑阀的动作异常，能判定作为控制对象的液压执行器未进行所希望的动作这样的动作异常是否未在阀芯中产生。
[0019] 上述发明中也可以是，所述异常判定部能取得所述电动马达的输出轴相对于所述液压执行器的各驱动量而处于的角度位置，且根据该对应关系而基于由所述角度检测部检测的角度位置来取得所述液压执行器的驱动量，基于取得的驱动量与所述驱动量检测部检测的实际的实驱动量之差来判定阀芯的动作异常的有无。
[0020] 根据上述结构，通过事先取得驱动量与角度位置的对应关系，能检测作为控制对象的液压执行器未进行所希望的动作这样的动作异常。
[0021] 上述发明中也可以是，所述直动转换机构具有能直线运动的按压构件，并将所述输出轴的旋转运动转换为所述按压构件的直线运动；所述按压构件与所述阀芯抵接，通过对抗所述施力构件地按压所述阀芯来移动所述阀芯。
[0022] 根据上述结构，阀芯和按压构件仅相互抵接而并未连结，所以能分别安装阀芯和按压构件，所以滑阀装置易装配。又，按压构件对抗施力弹簧地按压阀芯，所以能使按压构件总是抵接于阀芯。因而能通过调节按压构件的位置来使阀芯移动到所希望的位置。如此，能以如前所述的简单结构来达成将阀芯移动到所希望的位置。
[0023] 本发明的滑阀具备：形成有多条流路的壳体；阀芯，所述阀芯能移动地插入于所述壳体，且通过移动来改变位置并切换所述多条流路的连接状态；移动所述阀芯的电动执行器；以及将与所述电动执行器的推力对抗的施加力给予所述阀芯的施力构件；所述电动执行器包括：以与流动的驱动电流相应的转矩使输出轴旋转的电动马达；以及具有能直线运动的直动构件，且将所述输出轴的旋转运动转换为所述直动构件的直线运动并将与所述转矩相应的推力给予所述阀芯来改变所述阀芯的位置的直动转换机构；所述直动构件与所述阀芯抵接，通过对抗所述施力构件地按压所述阀芯来移动所述阀芯。
[0024] 根据上述结构，阀芯和按压构件仅相互抵接而并未连结，所以能分别安装阀芯和按压构件，所以滑阀装置易装配。又，按压构件对抗施力弹簧地按压阀芯，所以能使按压构件总是抵接于阀芯。因而能通过调节按压构件的位置来使阀芯移动到所希望的位置。如此，能以如前所述的简单结构来达成将阀芯移动到所希望的位置。
[0025] 上述发明也可以是，所述壳体中的所述多条流路中的至少1条与吐出工作液的液压泵及接受工作液的供给并工作的液压执行器分别连接；所述阀芯在所述施力构件施力的方向上最偏移的故障安全位置上切断与所述液压泵和所述液压执行器分别连接的流路。
[0026] 根据上述结构，在异常产生时等使输入电动马达的驱动电流停止，使得阀芯移动至故障安全位置，从而能使向液压执行器的工作液的流动停止并使液压执行器停止。
[0028] 图1是示出具备第一至第三实施形态的滑阀装置的液压供给设备的液压回路图；图2是示出图1的滑阀装置的剖视图；
图3是示出图2所示的滑阀装置的动作的剖视图，（a）示出阀芯位于第一偏移位置，（b）示出阀芯位于第二偏移位置的状态；
图4是示出第四实施形态的滑阀装置的剖视图；
图5是示出具备第五实施形态的滑阀装置的液压供给设备的液压回路图；
图6是示出具备其它实施形态的滑阀装置的液压供给设备的液压回路图。
图3是示出图2所示的滑阀装置的动作的剖视图，（a）示出阀芯位于第一偏移位置，（b）示出阀芯位于第二偏移位置的状态；
图4是示出第四实施形态的滑阀装置的剖视图；
图5是示出具备第五实施形态的滑阀装置的液压供给设备的液压回路图；
图6是示出具备其它实施形态的滑阀装置的液压供给设备的液压回路图。
具体实施方式
[0029] 以下，参照附图对本发明的第一至第五实施形态的滑阀装置1、1A～1D进行说明。另，以下说明中使用的方向概念仅为了方便说明而使用，并未将发明的结构的方向等限定为该方向。又，以下说明的滑阀装置1、1A～1D仅为本发明的一实施形态。从而，本发明不限于实施形态，可在不脱离发明的主旨的范围内追加、删除、变更。
[0030] ［第一实施形态］包括建筑机械等的工业机械能进行挖掘及搬运等各种作业，为了进行这些作业，具有各种结构。例如，在作为建筑机械的一例的液压挖掘机中，具备作为配件的铲斗，且为了使铲斗动作而具备动臂及斗杆。又，在动臂、斗杆及铲斗上，为了使它们动作而安装有液压执行器，液压执行器例如为图1所示的液压缸2。另，液压执行器不限于液压缸，也可以为液压马达等，能由工作液驱动即可。液压缸2具有杆2a，根据供给向液压缸2的工作液的流动方向来使杆2a进退。更详细而言，液压缸2具有两个端口2b、2c，若使工作液向一方的端口2b流动则杆2a后退，若使工作液向另一方的端口2c流动则杆2a前进。如此构成的液压缸2上连接有液压供给设备3。
[0031] 液压供给设备3构成为可向两个端口2b、2c供给工作液，具备液压泵4和滑阀装置1。另，液压供给设备3在本实施形态中为了方便说明而仅与一个液压缸2相连，但也可以与其它液压缸或液压马达等执行器连接。又，在与多个执行器连接的情况下，液压供给设备3具备与每个执行器对应的滑阀装置1，且液压泵4也还具备多个。液压泵4例如为斜板泵，从储罐5吸引工作液并吐出。又，液压泵4与滑阀装置1连接，从液压泵4吐出的工作液导向滑阀装置1。
[0032] 滑阀装置1是具备所谓的方向切换阀的阀装置，切换工作液的流动方向而使工作液流向两个端口2b、2c，调节流向液压缸2的工作液的流量。具有如此功能的滑阀装置1具备滑阀6、驱动控制部7和角度检测部8。滑阀6为直动电动式的滑阀，以改变工作液的流动方向及工作液的流量的形式构成。进一步详细说明，滑阀6如图2所示，具备壳体11、阀芯12、电动执行器13和弹簧机构14。
[0033] 壳体11例如为阀块（valve block），形成有阀芯孔11a和多条液通路（本实施形态中为五条液通路）11b～11f。阀芯孔11a以贯通壳体11的形式在规定方向延伸，五条液通路11b～11f在不同的位置上与阀芯孔11a分别连接。进一步详细说明，五条液通路中分别包含有泵通路11b、杆侧通路11c、底侧通路11d及储罐通路11e、11f，泵通路11b在阀芯孔11a的规定方向中央或其附近与阀芯孔11a连接。又，杆侧通路11c及底侧通路11d在比泵通路11b靠近规定方向一方及另一方处与阀芯孔11a分别连接。又，储罐通路11e、11f在比杆侧通路11c及底侧通路11d进一步靠近规定方向外侧处与阀芯孔11a分别连接。又，泵通路11b与液压泵
4相连，杆侧通路11c与液压缸2的一方的端口2b相连，底侧通路11d与液压缸2的另一方的端口2c相连。此外，储罐通路11e、11f在离开阀芯孔11a的位置上合流，在合流的目的地处与储罐5相连。如此，五条液通路11b～11f使液压泵4、液压缸2及储罐5与阀芯孔11a分别相连。
又，阀芯孔11a中，介由套筒15插通有阀芯12。
4相连，杆侧通路11c与液压缸2的一方的端口2b相连，底侧通路11d与液压缸2的另一方的端口2c相连。此外，储罐通路11e、11f在离开阀芯孔11a的位置上合流，在合流的目的地处与储罐5相连。如此，五条液通路11b～11f使液压泵4、液压缸2及储罐5与阀芯孔11a分别相连。
又，阀芯孔11a中，介由套筒15插通有阀芯12。
[0034] 套筒15形成为大致圆筒状，其外径尺寸与阀芯孔11a的孔径大体一致，套筒15与壳体11的内面（即规定阀芯孔11a的面）呈液密。又，套筒15上，在与各通路11b～11e对应的位置上分别形成有连通孔15b～15f，各通路11b～11e与套筒15内通过连通孔15b～15f连通。又，在套筒15内，有阀芯12在规定方向可滑动地插通。
[0035] 阀芯12为在其轴线方向延伸的大致圆柱状的构件，根据其位置来切换各通路11b～11e的连接状态。即，在阀芯12的外周面形成有四个圆柱部（round）16a～16d。四个圆柱部16a～16d形成为比剩余的部分大径，在阀芯12上在轴线方向隔开地配置。又，阀芯12上，在邻接的圆柱部16a～16d彼此之间分别形成有周槽12a～12c，这三个周槽12a～12c配置为分别面临泵通路11b及两个储罐通路11e、11f。此外，四个圆柱部16a～16d的外径与套筒15的内径大体一致，四个圆柱部16a～16d与套筒15的内周面呈液密地相接。因而，阀芯12以在邻接的周槽12a～12c之间达成密封的状态在套筒15的内周面滑动。
[0036] 又，四个圆柱部16a～16d中的位于中央附近的两个圆柱部16b、16c配置为在阀芯12位于如图2所示的中立位置上时堵塞各杆侧通路11c及底侧通路11d。此外，两个圆柱部
16b、16c，通过阀芯12向规定方向一方及另一方动作而打开对应的通路11c、11d，使它们与泵通路11b及储罐通路11e、11f的任一连接。例如，若阀芯12向规定方向一方移动、即向第一偏移位置移动（参照图3的（a）），则杆侧通路11c经由周槽12a与泵通路11b相连，且底侧通路
11d也经由周槽12c与储罐通路11f相连。另一方面，若阀芯12向规定方向另一方移动、即向第二偏移位置移动（参照图3的（b）），则杆侧通路11c经由周槽12b与储罐通路11e相连，且底侧通路11d也经由周槽12a与泵通路11b相连。又，杆侧通路11c及底侧通路11d通过阀芯12动作来变化开度，能通过改变阀芯12的位置来调节它们的开度。因而，阀芯12能以与其位置对应的流量及方向进行工作液的流动。又，阀芯12的轴线方向一端侧部分12d及另一端侧部分
12e分别从壳体11突出，在阀芯12的轴线方向一端侧部分12d设置有电动执行器13，在阀芯
12的轴线方向另一端侧部分12e设置有弹簧机构14。
16b、16c，通过阀芯12向规定方向一方及另一方动作而打开对应的通路11c、11d，使它们与泵通路11b及储罐通路11e、11f的任一连接。例如，若阀芯12向规定方向一方移动、即向第一偏移位置移动（参照图3的（a）），则杆侧通路11c经由周槽12a与泵通路11b相连，且底侧通路
11d也经由周槽12c与储罐通路11f相连。另一方面，若阀芯12向规定方向另一方移动、即向第二偏移位置移动（参照图3的（b）），则杆侧通路11c经由周槽12b与储罐通路11e相连，且底侧通路11d也经由周槽12a与泵通路11b相连。又，杆侧通路11c及底侧通路11d通过阀芯12动作来变化开度，能通过改变阀芯12的位置来调节它们的开度。因而，阀芯12能以与其位置对应的流量及方向进行工作液的流动。又，阀芯12的轴线方向一端侧部分12d及另一端侧部分
12e分别从壳体11突出，在阀芯12的轴线方向一端侧部分12d设置有电动执行器13，在阀芯
12的轴线方向另一端侧部分12e设置有弹簧机构14。
[0037] 电动执行器13是所谓的直动式的电动执行器，通过供给电力而使阀芯12在规定方向（即轴线方向）往复运动。即，电动执行器13具有马达侧壳21、电动马达22和直动转换机构23。马达侧壳21为大致圆筒状，其轴线方向一方侧的开口部覆盖于阀芯12的轴线方向一端侧部分12d。此外，马达侧壳21使其开口端与壳体11的轴线方向另一方侧的侧面抵接，以该状态紧固于壳体11。如此配置的马达侧壳21在轴线方向延伸，在其轴线方向另一方侧的开口端，介由直动转换机构23安装有电动马达22。
[0038] 电动马达22是所谓的伺服马达，具有壳22a以及未图示的定子部及转子部（包括输出轴）。壳22a形成为大致有底圆筒状，其开口端部插通于马达侧壳21。又，在壳22a的开口端侧的侧面部形成有绕周向全周并向径向外方突出的突缘22b，壳22a使突缘22b与马达侧壳21的轴线方向另一方侧的开口端抵接，利用插通于突缘22b的多个螺栓22c紧固于马达侧壳
21。
21。
[0039] 定子部在插入有转子部的状态下容纳于如此配置的壳22a之中。定子部与于后详述的驱动控制部7连接，以与从该驱动控制部7流出的驱动电流相应的转矩使转子部旋转。又，壳22a中，除定子部及转子部外，还容纳有直动转换机构23的结构的一部分，在从定子部突出的转子部的梢端部分安装有直动转换机构23。
[0040] 直动转换机构23是将转子部的旋转运动转换为直线运动，产生与所述转矩相应的推力，并将其给予阀芯12从而变更阀芯的位置的机构。直动转换机构23例如为滚珠丝杠机构，具有未图示的滚珠丝杠、中间构件24和活塞25。滚珠丝杠使螺母与在轴线方向延伸的棒状的螺纹轴螺合而构成。又，螺纹轴与转子部一体地旋转，螺纹轴通过电动马达22旋转，从而螺母沿螺纹轴向轴线方向一方及另一方移动。如此构成的滚珠丝杠中，螺母上经由中间构件24安装有活塞25。
[0041] 中间构件24虽未详细图示，但形成为大致有底筒状，在其开口部嵌合有螺母。又，中间构件24的梢端部分从壳22a的开口端部向马达侧壳21内突出。中间构件24的梢端部分的外径与马达侧壳21的内径大致相同，与螺母联动地在马达侧壳21内向轴线方向一方及另一方滑动。又，在中间构件24的梢端部分形成有未图示的螺纹部，活塞25与螺纹部螺合。
[0042] 作为按压构件的一例的活塞25形成为大致圆柱状，可向轴线方向一方及另一方移动地配置在马达侧壳21内。又，活塞25从中间构件24朝向阀芯12地在轴线方向延伸，其梢端部分25a与阀芯12的轴线方向一端侧部分12d抵接。由此，能将由滚珠丝杠转换的推力给予阀芯12，使阀芯12动作。又，活塞25的梢端部分25a形成为部分球面状，本实施形态中为半球面状，能允许活塞25的轴与阀芯12的轴偏离或倾斜。如此，活塞25将推力给予阀芯12并按压阀芯12。又，在阀芯12的轴线方向另一端侧部分12e，以对抗这样的按压力（即推力）的形式设置弹簧机构14。
[0043] 弹簧机构14具有弹簧侧壳31、弹簧支承件32和螺旋弹簧33。弹簧侧壳31为大致有底筒状的构件，使开口部覆盖于阀芯12的轴线方向另一端侧部分12e并紧固于壳体11的轴线方向一方侧的侧面。又，弹簧侧壳31中容纳有弹簧支承件32和螺旋弹簧33。弹簧支承件32形成为大致圆环状，其内孔中有轴线方向另一端侧部分12e嵌入。轴线方向另一端侧部分12e在阀芯12上形成为比剩余的部分小径，将弹簧支承件32嵌到该处，由此，弹簧支承件32外装于轴线方向另一端侧部分12e周围。如此配置的弹簧支承件32的主面与弹簧侧壳31的内侧底面相向，该相向的两个面之间介设有螺旋弹簧33。螺旋弹簧33是所谓的压缩螺旋弹簧，以压缩的状态介设于相向的两个面之间。由此，通过螺旋弹簧33，对抗所述推力的施加力经由弹簧支承件32作用于阀芯12。
[0044] 另，阀芯12上，在其外周面且位于最为轴线方向一方侧的圆柱部16a与弹簧支承件32之间，隔开间隙地外装有大致圆板状的垫片34。垫片34的外径形成为比阀芯孔11a的孔径大径，在弹簧侧壳31内配置于其开口端附近。在垫片34设置有施力弹簧35，通过施力弹簧35向壳体11的轴线方向一方侧的端面按压。又，马达侧壳21的内孔为，壳体11侧的开口附近形成为梢端细的锥状，构成锥面21a。活塞25向轴线方向一方进出时，不久梢端部分25a会与锥面21a接触，阀芯12无法继续推向轴线方向一方。
[0045] 如此构成的滑阀6中，能通过使电动马达22的转子部旋转而使直动转换机构23的活塞25动作，来对阀芯12给予推力从而变更阀芯12的位置。又，阀芯12的位置由给予其的推力决定，推力如前所述，根据电动马达22的转矩来决定。电动马达22产生与流向其定子部的驱动电流相应的转矩，为了使驱动电流流向定子部，电动马达22上电气连接有驱动控制部7。
[0046] 驱动控制部7控制电动马达22，在本实施形态中收容在壳22a内。具有如此功能的驱动控制部7与未图示的控制装置及电力供给源连接。控制装置通过CAN（Controller Area Network；控制器局域网）通信等与驱动控制部7连接，将位置指令输出至驱动控制部7。另，位置指令是为了使液压缸2进行所希望的动作而输入至驱动控制部7的指令，是有关于阀芯12的位置的指令值。又，电力供给源是电动马达22及驱动控制部7的电源，驱动控制部7利用从电力供给源供给的电力来驱动电动马达22。
[0047] 又，电动马达22中，为了在驱动时对转子部的角度位置进行反馈控制而安装有角度检测部8。角度检测部8例如为解析器（resolver）或编码器（encoder），与驱动控制部7同样收容在壳22a内。角度检测部8检测转子部的角度位置。即，驱动控制部7利用从角度检测部8检测的角度位置的信息来控制电动马达22。又，驱动控制部7根据角度位置的信息算出阀芯位置。驱动控制部7以阀芯12移动至与输入其的位置指令相应的位置的形式对阀芯12的位置进行反馈控制（即对阀芯12进行定位控制）。
[0048] 如此构成的滑阀装置1中，为了使阀芯12保持在中立位置使液压缸2静止，从驱动控制部7向电动马达22流动所需的驱动电流。从该中立位置向第一偏移位置移动阀芯12时，驱动控制部7增加流向电动马达22的驱动电流从而将更大的推力给予阀芯12，使阀芯12向轴线方向一方移动。此外，在从第一偏移位置返回中立位置时，驱动控制部7减少流向电动马达22的驱动电流，减小作用于阀芯12的推力。由此，阀芯12由螺旋弹簧33的施加力按压而返回中立位置。另一方面，从中立位置向第二偏移位置移动阀芯12时，驱动控制部7减少流向电动马达22的驱动电流从而减小给予阀芯12的推力。由此，阀芯12由螺旋弹簧33的施加力按压而向轴线方向另一方移动。此外，在从第二偏移位置返回中立位置时，驱动控制部7增加流向电动马达22的驱动电流，增大作用于阀芯12的推力。由此，阀芯12抵抗螺旋弹簧33的施加力被按压而返回中立位置。如此，驱动控制部7除了控制对电动马达22的驱动电流的流动从而使阀芯12工作，还能判定阀芯12的动作异常的有无。
[0049] 也作为异常判定部的驱动控制部7基于从其流向定子部的驱动电流和由角度检测部8检测的角度位置来判定阀芯12的动作异常的有无。具体说明，电动执行器13的推力F包括与根据其压缩量变化的螺旋弹簧33的施加力对抗的成分F1和使阀芯12加减速的成分F2。对抗施加力的成分F1因螺旋弹簧33的施加力相对于其压缩量、即阀芯12的位置x（例如使中立位置为x＝0，轴线方向一方侧为正，轴线方向另一方侧为负值）进行变化而能以阀芯12的位置x为变量地以F1＝f （1 x）的形式函数化。又，进行加减速的成分F2也因相对于基于输入至驱动控制部7的位置指令算出的加减速值α进行变化而能以加减速值α为变量地以F2＝f （2α，J）的形式函数化。因而，在移动阀芯12的过程中，能基于前述的函数（即F＝F1＋F2＝f 1（x）＋f 2（α，J））来运算根据位置指令应从电动执行器13输出的推力F。由于该推力也是根据应流到电动马达22的驱动电流I来决定的值（即I＝f（F）），因此算出根据阀芯12的位置及输入至驱动控制部7的位置指令而应输入到电动马达22的基准驱动电流I ref。另，又，基准驱动电流I ref相当于对为了使阀芯12向各位置移动而应输入到电动马达22的第一驱动电流加上为了使阀芯12以各加速度进行加速而应输入到电动马达22的第二驱动电流后的值。
[0050] 又，阀芯12的位置能如下算出。即，阀芯12通过螺旋弹簧33而总是与活塞25抵接，活塞25的移动量与阀芯12的位置一对一地对应。又，活塞25经由滚珠丝杠与电动马达22的转子部连结，活塞25的移动量与转子部的角度位置一对一地对应。即，阀芯12的位置及转子部的角度位置也一对一地对应，能基于转子部的角度位置算出阀芯12的位置。基于像这样算出的阀芯12的位置，算出应输入到电动机的基准驱动电流I ref。
[0051] 此外，驱动控制部7也检测实际流向电动马达22的驱动电流，比较作为被检测的驱动电流的实驱动电流I real和所述基准驱动电流I ref。即，算出它们的差，在差处于预设的范围内的情况下，驱动控制部7判定为阀芯12正常动作。另一方面，在差较大的情况下，驱动控制部7判定为阀芯12无法移动或驱动控制部7与电动马达22之间断线等动作异常在阀芯12产生。
[0052] 具有如此功能的驱动控制部7与前述的控制装置等外部装置以CAN通信等来连接，检测出阀芯12的动作异常时向控制装置输出该意思。此外，驱动控制部7根据存在阀芯12的动作异常这样的判定结果来进行如下的动作。驱动控制部7例如为了变动流向电动马达22的驱动电流而反复进行增减，使阀芯12进行微小的往复运动。由此，可能能使卡在壳体11内的阀芯12恢复成原来的状态（即未卡住的状态）。又，规定时间期间，在使阀芯12进行微小的往复运动后阀芯12也未恢复成原来的状态的情况下，停止从驱动控制部7向电动马达22的电力供给，将有关于滑阀6的动作异常的出错履历保存在驱动控制部7。
[0053] 在如此构成的滑阀装置1中，利用具备直动转换机构23的电动执行器13来对阀芯12给予推力从而移动阀芯12，所以电动马达22的转子部的角度位置与阀芯12的位置对应。
因而，驱动控制部7能利用为了控制电动马达22而设置的角度检测部8来判定阀芯12的动作异常的有无。因而，即便不为了检测阀芯12的位置而新设置位置传感器，也能判定动作异常的有无。因而能不增加滑阀装置1的部件件数地判定阀芯12的动作异常的有无。又，滑阀装置1中，能通过由角度检测部8检测的角度位置和驱动控制部7实际输入的实驱动电流来判定阀芯的动作异常的有无，所以能抑制部件件数的增加。此外，滑阀装置1中，能利用由函数求得的基准驱动电流I ref而仅通过检测转子部的角度位置和实驱动电流I real来判定滑阀
6中的动作异常的有无。因而，能生成在不进行实测等的情况下进行判定的阈值，阈值的生成较容易。
因而，驱动控制部7能利用为了控制电动马达22而设置的角度检测部8来判定阀芯12的动作异常的有无。因而，即便不为了检测阀芯12的位置而新设置位置传感器，也能判定动作异常的有无。因而能不增加滑阀装置1的部件件数地判定阀芯12的动作异常的有无。又，滑阀装置1中，能通过由角度检测部8检测的角度位置和驱动控制部7实际输入的实驱动电流来判定阀芯的动作异常的有无，所以能抑制部件件数的增加。此外，滑阀装置1中，能利用由函数求得的基准驱动电流I ref而仅通过检测转子部的角度位置和实驱动电流I real来判定滑阀
6中的动作异常的有无。因而，能生成在不进行实测等的情况下进行判定的阈值，阈值的生成较容易。
[0054] 又，滑阀装置1中，阀芯12与活塞25仅相互抵接而并未连结，所以能分别安装阀芯12和活塞25，所以滑阀装置1易装配。又，活塞25对抗螺旋弹簧33地按压阀芯12，从而能使活塞25总是抵接于阀芯12。因而能通过调节活塞25的位置来将阀芯12移动到所希望的位置。
如此，能以如前所述的简单结构来达成将阀芯12移动到所希望的位置。
如此，能以如前所述的简单结构来达成将阀芯12移动到所希望的位置。
[0055] ［第二实施形态］第二实施形态的滑阀装置1A与第一实施形态的滑阀装置1结构相同，驱动控制部7进行的异常判定不同。从而，对第二实施形态的滑阀装置1A的结构标以与第一实施形态的滑阀装置1的结构相同的符号并省略说明，仅对异常判定进行说明。
[0056] 第二实施形态的滑阀装置1A的驱动控制部7为了算出进行异常判定时的基准驱动电流I ref，存储如下表格（table）。即，表格中示出为了与螺旋弹簧33的施加力对抗使阀芯12移动至规定位置（即产生对抗施加力的成分F1）而应流到电动马达22的驱动电流I 1，表格如下生成。即，首先如图1所示地组装液压供给设备3且使液压供给设备3与液压缸2连接。
而且，在液压供给设备3中为了使阀芯12动作而增减流向电动马达22的驱动电流，检测相对于阀芯12的位置x，为了移动至该位置而流动的第一驱动电流I 1。另，表格主要用于算出为了产生推力F中的成分F1而流动的第一驱动电流I 1。因而，增减驱动电流时，为了排除使阀芯12加减速的推力的成分F2的影响，为了使阀芯12以定速且一定速工作而使驱动电流的增减逐渐地进行增加。如此，检测每个位置x的第一驱动电流I 1，记录相对于位置x应流动的第一驱动电流I 1并生成表格。
而且，在液压供给设备3中为了使阀芯12动作而增减流向电动马达22的驱动电流，检测相对于阀芯12的位置x，为了移动至该位置而流动的第一驱动电流I 1。另，表格主要用于算出为了产生推力F中的成分F1而流动的第一驱动电流I 1。因而，增减驱动电流时，为了排除使阀芯12加减速的推力的成分F2的影响，为了使阀芯12以定速且一定速工作而使驱动电流的增减逐渐地进行增加。如此，检测每个位置x的第一驱动电流I 1，记录相对于位置x应流动的第一驱动电流I 1并生成表格。
[0057] 又，驱动控制部7同于第一实施形态地基于函数f （2 a，J）来算出为了产生用于使阀芯12加减速的推力、即成分F2而流向电动马达22的第二驱动电流I 2。另一方面，第二实施形态的滑阀装置1A中，函数f 2（a，J）如下生成。即，与生成表格时同样地，在液压供给设备3中为了使阀芯12动作而增减流向电动马达22的驱动电流。另一方面，生成函数f （2 a，J）时，与表格的情况不同地，为了在各种加减速模式下使阀芯12动作，而在各种增减模式下使驱动电流流向电动马达22，并检测此时的驱动电流。又，在检测时，根据阀芯12移动的相对位移量来运算阀芯12的加减速值α，存储相对于该加减速值α流动的驱动电流、即驱动电流I 2’。此外，在检测时，根据表格算出为了将阀芯12保持在开始加速的位置上而应给予阀芯12的推力、即成分F1，从检测出的驱动电流I2’减去驱动电流I 1，算出第二驱动电流I 2。该第二驱动电流I 2是在使阀芯12以加减速值α动作时应流到电动马达22的驱动电流，在多种加减速模式下运算该驱动电流I 2，基于运算的多个驱动电流I 2来确定函数f （2α，J）。
[0058] 驱动控制部7基于从角度检测部8检测的阀芯12的位置x和所述表格来算出驱动电流I 1，且基于以位置指令为基础算出的加减速值α和函数f 2（a，J）来算出驱动电流I 2。而且，驱动控制部7通过使两个驱动电流I 1、I 2相加来算出根据被输入的位置指令而应流到电动马达22的基准驱动电流I ref。通过算出该基准驱动电流I ref，从而驱动控制部7对检测的实驱动电流I real和所述基准驱动电流I ref进行比较并算出它们之差，在差处于预设的范围内的情况下，驱动控制部7判定为滑阀6正常工作。另一方面，在差较大的情况下，驱动控制部7判定为阀芯12无法移动或驱动控制部7与电动马达22之间断线等动作异常在滑阀6中产生。
[0059] 如此构成的滑阀装置1A中，能通过实测在实际组装成的液压供给设备3和液压缸2中流向电动马达22的驱动电流，从而考虑到每个产品的应流通的驱动电流的偏差地决定基准驱动电流I ref。由此能更准确地进行动作异常的判定。
[0060] 另外，第二实施形态的滑阀装置1A发挥与第一实施形态的滑阀装置1同样的作用效果。
[0061] ［第三实施形态］第三实施形态的滑阀装置1B与第一实施形态的滑阀装置1结构相同，驱动控制部7进行的异常判定不同。从而，对第三实施形态的滑阀装置1B的结构标以与第一实施形态的滑阀装置1的结构相同的符号并省略说明，仅对异常判定进行说明。
[0062] 第三实施形态的滑阀装置1B的驱动控制部7基于对其输入的位置指令和以来自角度检测部8的信号为基础算出的阀芯12的位置x来判定阀芯12的动作异常的有无。又，驱动控制部7如下生成用于在判定时判定动作异常的有无的阈值。即，如图1所示地组装液压供给设备3且使液压供给设备3与液压缸2连接。而且，驱动控制部7根据输入的位置指令来使阀芯12工作从而驱动液压缸2。此时，为了使液压缸2在各种形态下动作而在各种形态下输入位置指令。例如，输入的位置指令为了使阀芯12动作至所希望的位置而以规定的增减率增减，改变该增减率。而且，基于由角度检测部8检测的角度位置算出阀芯12的位置x，并算出该位置x与位置指令的偏差量。而且，将对于在各种形态下输入的位置指令运算的多个偏差量中的最大的偏差量的值存储为阈值。
[0063] 而且，驱动控制部7在动作异常的判定中，算出动作中输入的位置指令与阀芯12的位置x的偏差量，比较该偏差量和阈值。而且，在偏差量为阈值以下的情况下，驱动控制部7判定为滑阀6正常工作。另一方面，在偏差量大于阈值的情况下，驱动控制部7判定为阀芯12无法移动或驱动控制部7与电动马达22之间断线等动作异常在滑阀6中产生。
[0064] 如此构成的滑阀装置1B中，比较位置指令和阀芯12的实际动作从而判定滑阀6的动作异常的有无，从而能更准确地进行动作异常的判定。
[0065] 另外，第三实施形态的滑阀装置1A发挥与第一实施形态的滑阀装置1同样的作用效果。
[0066] ［第四实施形态］第四实施形态的滑阀装置1C与第一实施形态的滑阀装置1结构类似。从而，对于第四实施形态的滑阀装置1C的结构，主要就与第一实施形态的滑阀装置1不同的点进行说明，对相同结构标以相同符号并省略说明。
[0067] 第四实施形态的滑阀装置1C如图4所示，具备滑阀6C、驱动控制部7和角度检测部8。滑阀6C为直动电动式的滑阀，形成为切换工作液的流动方向且改变工作液的流量的结构。进一步详细说明，滑阀6具备壳体11、阀芯12、电动执行器13C和弹簧机构14C。
[0068] 电动执行器13C具有马达侧壳21、电动马达22和直动转换机构23C。直动转换机构23C具有未图示的滚珠丝杠、中间构件24和连结构件40。连结构件40是连结中间构件24和阀芯12的构件，与中间构件24的螺纹部螺合。连结构件40为了允许阀芯12相对于滚珠丝杠的偏芯而形成为阀芯12能相对于滚珠丝杠向与轴线方向正交的全方向倾倒且滑动的结构。进一步详细说明，连结构件40是所谓的球形接头，具有马达侧连结部41、阀芯侧连结部42和球
43。
43。
[0069] 马达侧连结部41形成为大致圆柱状，中间构件24的螺纹部24a与其轴线方向一端侧部分12d螺合。又，马达侧连结部41在其轴线方向另一侧具有突出部分41a。突出部分41a形成为大致平板状，该处安装有阀芯侧连结部42。阀芯侧连结部42形成为大致圆柱状，在其轴线方向一端形成有插入槽42a。插入槽42a向轴线方向一方侧延伸且径向贯通，利用该插入槽42a，阀芯侧连结部42在插入槽42a所贯通的径向观察的侧视来看形成为大致U字状。又，阀芯侧连结部42在其轴线方向另一端侧具有螺纹部42b，使该螺纹部42b与阀芯12的轴线方向一端部螺合，由此连结阀芯12和阀芯侧连结部42。
[0070] 如此构成的两个连结部41、42如下连结。即，马达侧连结部41的突出部分41a插通于阀芯侧连结部42的插入槽42a。又，在突出部分41a的中央附近形成有嵌合孔41b。嵌合孔41b在突出部分41a的厚度方向（即径向）上贯通突出部分41a，向嵌合孔41b嵌入大致球状的球43。又，阀芯侧连结部42的插入槽42a也形成为与嵌合孔41b对应处向插入槽42a的宽度方向外侧弯曲，且向该部分嵌入球43。即，阀芯侧连结部42的插入槽42a中，能插入嵌合孔41b嵌入有球43的突出部分41a，利用球43使马达侧连结部41与阀芯侧连结部42卡合。由此，连结构件40构成为球形接头，滚珠丝杠与阀芯12通过连结构件40以能向与轴线方向正交的全方向倾倒且滑动的形式连结。
[0071] 如此构成的电动执行器13C通过连结构件40与阀芯12连结。电动执行器13C利用直动转换机构23将电动马达22中的转子部的旋转运动转换为直线运动（冲程（ stroke）运动），能通过转换来使阀芯12向轴线方向一方及另一方移动。即，能通过使电动马达22向周向一方转动使滚珠丝杠的螺母向轴线方向一方移动，来使阀芯12向轴线方向一方移动。另一方面，能通过使电动马达22向周向另一方转动使滚珠丝杠的螺母向轴线方向另一方移动，来使阀芯12向轴线方向另一方移动。
[0072] 在如此构成的滑阀装置1C中，驱动控制部7基于由角度检测部8检测的角度位置的信息来算出阀芯位置。而且，驱动控制部7基于算出的阀芯位置和位置指令来控制电动马达22，利用电动执行器13C来使阀芯12向轴线方向一方及另一方移动、即进行阀芯12的定位控制。滑阀装置1C通过像这样进行阀芯12的定位控制来控制工作液的流动方向及流量。
[0073] 又，滑阀装置1C中，电动执行器13C与阀芯12通过连结构件40连结，所以阀芯12中，即便相对于滚珠丝杠阀芯12发生偏芯，也能抑制在由电动执行器13C给予推力时产生弯曲力矩，能维持沿着阀芯孔11a笔直的状态。即，能防止阀芯12被按压在壳体11的内周面。如此，阀芯12在其轴线方向一端部与电动执行器13C连结，并在轴线方向另一端侧部分12e设置有弹簧机构14C。
[0074] 弹簧机构14C设于滑阀装置1C，以在电动执行器13C故障时使阀芯12返回中立位置，具有弹簧侧壳51、驱动体52、第一弹簧支承构件53、第二弹簧支承构件54、螺旋弹簧55和止动构件56。弹簧侧壳51为大致有底筒状的构件，使其开口部与阀芯孔11a的轴线方向一方侧的开口对接并紧固于壳体11的轴线方向一方侧的侧面。如此配置的弹簧侧壳51中容纳有驱动体52、第一弹簧支承构件53、第二弹簧支承构件54、螺旋弹簧55和止动构件56。
[0075] 驱动体52为大致棒状的构件，在其梢端侧具有螺纹部52a。驱动体52使螺纹部52a与阀芯12的轴线方向另一端螺合并安装于阀芯12。驱动体52配置在与阀芯12大致同轴上，以从阀芯12突出的形式向轴线方向一方延伸。又，驱动体52在其基端侧具有突缘部52b，在突缘部52b与螺纹部52a之间的中间部外装有第一弹簧支承构件53、第二弹簧支承构件54、螺旋弹簧55和止动构件56。
[0076] 第一弹簧支承构件53及第二弹簧支承构件54形成为大致圆环状，其内孔中分别插通有驱动体52。即，第一弹簧支承构件53及第二弹簧支承构件54外装于驱动体52，并相互在轴线方向上分开地配置。又，第一弹簧支承构件53及第二弹簧支承构件54之间介设有螺旋弹簧55，通过螺旋弹簧55分别向轴线方向另一方及一方对第一弹簧支承构件53及第二弹簧支承构件54施力。像这样被施力的第一弹簧支承构件53其外径比阀芯孔11a小径且比套筒15的内径大径，通过被施力，第一弹簧支承构件53的外周缘被按压向套筒15的轴线方向一方侧的端部。又，在弹簧侧壳51的内周面，使底侧部分相比于剩余部分缩径，从而绕周向全周地形成有段部51a，第二弹簧支承构件54的外周缘与该段部51a接触。即，被施力的第二弹簧支承构件54被按压于该段部51a。
[0077] 如此构成的弹簧机构14C中，利用电动执行器13C使阀芯12从图4所示的中立位置向轴线方向一方移动时，伴随于此，第一弹簧支承构件53被阀芯12按动而向轴线方向一方移动。另一方面，第二弹簧支承构件54其外周缘部分支持于段部51a，无法移动地维持在其位置上。由此，螺旋弹簧55夹在两个弹簧支承构件53、54之间而压缩，螺旋弹簧55经由第一弹簧支承构件53及驱动体52而对阀芯12给予返回中立位置的方向的施加力。因而，电动执行器13C故障时，阀芯12通过螺旋弹簧55返回中立位置。
[0078] 例如，利用电动执行器13C使阀芯12从中立位置向轴线方向另一方移动时，第二弹簧支承构件54因突缘部52b而向轴线方向另一方靠近。另一方面，第一弹簧支承构件53其外周缘与套筒15接触而无法移动，维持在其位置上。由此，螺旋弹簧55夹在两个弹簧支承构件53、54之间而压缩，螺旋弹簧55经由第二弹簧支承构件54及驱动体52而对阀芯12给予返回轴线方向一方、即中立位置的方向的施加力。由此，电动执行器13C故障时，阀芯12通过螺旋弹簧55返回中立位置。
[0079] 又，利用电动执行器13C使阀芯12从中立位置向轴线方向一方移动时，第一弹簧支承构件54被阀芯12的另一端侧部分12e按向轴线方向一方。另一方面，第二弹簧支承构件54其外周缘与段部51a接触而无法移动，维持在其位置上。由此，螺旋弹簧55夹在两个弹簧支承构件53、54之间而压缩，螺旋弹簧55经由第一弹簧支承构件53而对阀芯12给予返回轴线方向另一方、即中立位置的方向的施加力。由此，电动执行器13C故障时，阀芯12通过螺旋弹簧55返回中立位置。
[0080] 具有如此功能的弹簧机构14C中，如前所述具有止动构件56，止动构件56以螺旋弹簧55的压缩量不大于规定距离的形式限制螺旋弹簧55的压缩。即，止动构件56形成为大致圆筒状，配置在螺旋弹簧55的内侧且外装于驱动体52。又，止动构件56配置在两个弹簧支承构件53、54之间。如此配置的止动构件56在两个弹簧支承构件53、54相对位移并接近时介于它们之间，限制阀芯12向轴线方向一方及另一方移动规定量以上。
[0081] 如此构成的滑阀装置1C中，如前所述，能根据马达22中的转子部的旋转方向使阀芯12向轴线方向一方及另一方移动，还能通过控制转子部的角度位置来调节阀芯12的位置。即，能利用电动马达22来更高精度地控制阀芯12的位置，能更高精度地进行滑阀装置1C的开度控制。另，滑阀装置1C中，与第一实施形态的滑阀装置1同样地利用驱动控制部7判定滑阀6C的动作异常。
[0082] 另外，第四实施形态的滑阀装置1C发挥与第一实施形态的滑阀装置1同样的作用效果。
[0083] ［第五实施形态］第五实施形态的滑阀装置1D与第四实施形态的滑阀装置1C结构类似。从而，对于第五实施形态的滑阀装置1D的结构，主要就与第四实施形态的滑阀装置1C不同的点进行说明，对相同结构标以相同的符号并省略说明。
[0084] 第五实施形态的滑阀装置1D如图5所示具有滑阀6、驱动控制部7D、角度检测部8和驱动量检测部9。驱动控制部7D与第一实施形态的驱动控制部7同样地向电动马达22供给电力来控制其动作，并判定阀芯12的动作异常的有无。另一方面，驱动控制部7D在异常判定时，基于角度检测部8的检测结果和驱动量检测部9的检测结果进行异常判定。驱动量检测部9设置于液压缸2，检测液压缸2的杆2a的驱动量（即杆2a的位置）。
[0085] 驱动控制部7D为了进行异常判定而存储如下的函数。即示出将杆2a移动至规定位置时的阀芯12的位置、即转子部的角度位置，函数如下生成。即，首先组装具备驱动控制部7D的液压供给设备3D且将该液压供给设备3D与液压缸2连接。然后在液压供给设备3D中使驱动电流流向电动马达22使转子部转动，使阀芯12动作。此时，增减流向电动马达22的驱动电流从而改变转子部的角度位置，在各角度位置上利用驱动量检测部9检测杆2a的驱动量。
由此找出转子部的角度位置与杆2a的驱动量的关系性，将相对于检测的转子部的角度位置而应驱动的杆2a的驱动量即基准驱动量函数化。然后驱动控制部7D在实际工作时，基于函数和检测的转子部的角度位置算出基准驱动量，比较算出的基准驱动量和驱动量检测部9检测的杆2a的驱动量即实驱动量，算出它们的差。在该差处于预设的范围内的情况下，驱动控制部7判定为滑阀6正常工作。另一方面，在差较大的情况下，驱动控制部7判定为阀芯12无法移动或驱动控制部7与电动马达22之间断线等动作异常在滑阀6产生。
由此找出转子部的角度位置与杆2a的驱动量的关系性，将相对于检测的转子部的角度位置而应驱动的杆2a的驱动量即基准驱动量函数化。然后驱动控制部7D在实际工作时，基于函数和检测的转子部的角度位置算出基准驱动量，比较算出的基准驱动量和驱动量检测部9检测的杆2a的驱动量即实驱动量，算出它们的差。在该差处于预设的范围内的情况下，驱动控制部7判定为滑阀6正常工作。另一方面，在差较大的情况下，驱动控制部7判定为阀芯12无法移动或驱动控制部7与电动马达22之间断线等动作异常在滑阀6产生。
[0086] 如此，在滑阀装置1D中，基于液压缸2的杆2a的驱动量判定滑阀6的动作异常，也能判定作为控制对象的液压缸2的杆2a是否在进行所希望的动作。
[0087] 另外，第五实施形态的滑阀装置1D发挥与第四实施形态的滑阀装置1C同样的作用效果。
[0088] ［其它实施形态］第一至第五实施形态的滑阀装置1、1A～1D与液压缸2连接，但连接的执行器不限于液压缸2。例如也可以为液压马达，是接受工作液的供给而工作的液压执行器即可。又，在第一至第四实施形态的滑阀装置1、1A～1C的滑阀6中采用三位滑阀，但未必限于这样的结构。例如，也可以如图6所示的滑阀装置1E的滑阀6E那样为四位滑阀。另，滑阀6E中，若电动执行器
13的推力为零，则使阀芯12移动到螺旋弹簧33对阀芯12进行施力的方向上最偏移的故障安全位置上。在该故障安全位置上，泵通路11b与储罐通路11e、11f连通，杆侧通路11c及底侧通路11d被切断。如此，能通过以阀芯12能移动到故障安全位置的形式构成滑阀6E，从而在异常产生时等使流向电动马达22的电流停止，从而使向液压缸2的工作液的流动停止使液压缸2停止。
13的推力为零，则使阀芯12移动到螺旋弹簧33对阀芯12进行施力的方向上最偏移的故障安全位置上。在该故障安全位置上，泵通路11b与储罐通路11e、11f连通，杆侧通路11c及底侧通路11d被切断。如此，能通过以阀芯12能移动到故障安全位置的形式构成滑阀6E，从而在异常产生时等使流向电动马达22的电流停止，从而使向液压缸2的工作液的流动停止使液压缸2停止。
[0089] 又，作为连结构件40，采用球形接头，但不限于球形接头。例如，作为连结构件40也可以采用万向接头。在第一至第五实施形态的滑阀装置1、1A～1D中，作为直动转换机构23，采用滚珠丝杠机构，但也可以代替其而采用滑动丝杠机构及梯形丝杠机构等。
[0090] 在第一至第三以及第五实施形态的滑阀装置1、1A、1B、1D各自中，利用不同的异常判定方法来判定阀芯12的动作异常，但也可以将这些异常判定方法组合起来。即，在第五实施形态的滑阀装置1D中，除了其执行的异常判定方法外，还可以进行在第一实施形态的滑阀装置1中实施的异常判定方法。又，在第五实施形态的滑阀装置1D中，除了其执行的异常判定方法外，还可以进行在第二实施形态的滑阀装置1A中实施的异常判定方法。通过像这样执行两个异常判定方法，能进一步准确地判定阀芯12的动作异常的有无。
[0091] 又，在第一至第五实施形态的滑阀装置1、1A～1D中，采用带有由解析器或编码器构成的角度检测部的电动马达22，但未必要采用这样的电动马达，也可以采用无传感器的电动马达。在采用无传感器的电动马达的情况下，驱动控制部7兼具角度检测部的功能，能利用由驱动控制部7检测的角度位置来判定阀芯12的动作异常。
[0092] 符号说明：1、1A～1D 滑阀装置 ；
2 液压缸（液压执行器） ；
6、6C、6E 滑阀 ；
7、7D 驱动控制部 ；
8 角度检测部 ；
9 驱动量检测部 ；
11 壳体 ；
11b 泵通路（流路） ；
11c 杆侧通路 ；
11d 底侧通路 ；
11e、11f 储罐通路 ；
12 阀芯 ；
13、13C 电动执行器 ；
14、14C 弹簧机构 ；
22 电动马达 ；
23、23C 直动转换机构 ；
25 活塞（按压构件） ；
25a 梢端部分 ；
33 螺旋弹簧（施力构件）。
2 液压缸（液压执行器） ；
6、6C、6E 滑阀 ；
7、7D 驱动控制部 ；
8 角度检测部 ；
9 驱动量检测部 ；
11 壳体 ；
11b 泵通路（流路） ；
11c 杆侧通路 ；
11d 底侧通路 ；
11e、11f 储罐通路 ；
12 阀芯 ；
13、13C 电动执行器 ；
14、14C 弹簧机构 ；
22 电动马达 ；
23、23C 直动转换机构 ；
25 活塞（按压构件） ；
25a 梢端部分 ；
33 螺旋弹簧（施力构件）。
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