专利汇可以提供一种百叶窗式金刚石膜制备装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型涉及金刚石膜的制备技术,具体是一种 百叶窗 式金刚石膜制备装置。本实用新型解决了采用热丝 化学气相沉积 法大面积制备金刚石膜时制备 质量 和速度受限的问题。一种百叶窗式金刚石膜制备装置,包括圆筒形反应室、外层 水 管、圆饼形载台、内层水管、径向 支撑 杆、圆饼形水冷腔、驱动 电机 、驱动 齿轮 、L形支撑杆、导电触头、热丝阵列、电动百叶窗、下圆形大导电栅网、上圆形大导电栅网、喇叭形导气罩、U形导气管、下圆形小导电栅网、上圆形小导电栅网、放电针、接地针、抽气孔、矩形窗孔、第一至第八电源。本实用新型适用于金刚石膜的大面积制备。,下面是一种百叶窗式金刚石膜制备装置专利的具体信息内容。
1.一种百叶窗式金刚石膜制备装置,其特征在于:包括圆筒形反应室(1)、外层水管(2)、圆饼形载台(3)、内层水管(4)、径向支撑杆(5)、圆饼形水冷腔(6)、驱动电机(7)、驱动齿轮(8)、L形支撑杆(9)、导电触头(10)、热丝阵列(11)、电动百叶窗(12)、下圆形大导电栅网(13)、上圆形大导电栅网(14)、喇叭形导气罩(15)、U形导气管(16)、下圆形小导电栅网(17)、上圆形小导电栅网(18)、放电针(19)、接地针(20)、抽气孔(21)、矩形窗孔(22)、第一至第八电源;
圆筒形反应室(1)的下端和上端均设有端壁;圆筒形反应室(1)的下端壁中央贯通开设有下装配孔;圆筒形反应室(1)的上端壁贯通开设有两个左右对称的上装配孔;外层水管(2)的外侧面下端与下装配孔的孔壁固定配合;圆饼形载台(3)为空心结构,且圆饼形载台(3)的下端壁中央贯通开设有出水孔;圆饼形载台(3)的下外端面内边缘转动支撑于外层水管(2)的上端面,且圆饼形载台(3)的下外端面内边缘与外层水管(2)的上端面之间设有迷宫密封;圆饼形载台(3)的下外端面延伸设置有圆筒形凸台,且圆筒形凸台的轴线与圆饼形载台(3)的轴线重合;圆筒形凸台的内侧面与外层水管(2)的外侧面之间留有距离;圆筒形凸台的外侧面下端设有驱动外轮齿;内层水管(4)穿设于外层水管(2)的内腔,且内层水管(4)的轴线与外层水管(2)的轴线重合;内层水管(4)的外侧面与外层水管(2)的内侧面之间留有出水间隙;内层水管(4)的下端面与外层水管(2)的下端面齐平;内层水管(4)的上端面超出圆饼形载台(3)的下内端面;径向支撑杆(5)的数目为多根;各根径向支撑杆(5)的内端面均与内层水管(4)的外侧面固定;各根径向支撑杆(5)的外端面均与外层水管(2)的内侧面固定;各根径向支撑杆(5)沿周向等距排列;圆饼形水冷腔(6)位于圆饼形载台(3)的内腔;圆饼形水冷腔(6)的下外端面与圆饼形载台(3)的下内端面之间、圆饼形水冷腔(6)的上外端面与圆饼形载台(3)的上内端面之间、圆饼形水冷腔(6)的外侧面与圆饼形载台(3)的内侧面之间均留有冷却间隙;圆饼形水冷腔(6)的下端壁中央贯通开设有进水孔;圆饼形水冷腔(6)的上端壁贯通开设有多个喷水孔;圆饼形水冷腔(6)的下外端面内边缘固定支撑于内层水管(4)的上端面;驱动电机(7)安装于圆筒形反应室(1)的下内端面,且驱动电机(7)的输出轴朝上;驱动齿轮(8)固定装配于驱动电机(7)的输出轴上,且驱动齿轮(8)与驱动外轮齿啮合;L形支撑杆(9)的水平段垂直固定于圆筒形反应室(1)的内侧面,且L形支撑杆(9)的竖直段朝下;导电触头(10)安装于L形支撑杆(9)的竖直段下端,且导电触头(10)与圆筒形凸台的外侧面接触;热丝阵列(11)水平安装于圆筒形反应室(1)的内腔,且热丝阵列(11)位于圆饼形载台(3)的上方;电动百叶窗(12)水平安装于圆筒形反应室(1)的内腔,且电动百叶窗(12)位于热丝阵列(11)的上方;
下圆形大导电栅网(13)的侧面与圆筒形反应室(1)的内侧面固定配合,且下圆形大导电栅网(13)位于电动百叶窗(12)的上方;上圆形大导电栅网(14)的侧面与圆筒形反应室(1)的内侧面固定配合,且上圆形大导电栅网(14)位于下圆形大导电栅网(13)的上方;喇叭形导气罩(15)的细端朝上、粗端朝下;喇叭形导气罩(15)的下端敞口边沿与圆筒形反应室(1)的内侧面密封固定,且喇叭形导气罩(15)位于上圆形大导电栅网(14)的上方;U形导气管(16)的两个侧边分别固定贯穿两个上装配孔,且U形导气管(16)的两个管口均朝上;U形导气管(16)的底边中央贯通开设有朝下的导气孔,且导气孔与喇叭形导气罩(15)的上端敞口密封连通;下圆形小导电栅网(17)的侧面与U形导气管(16)的左侧边内侧面固定配合;上圆形小导电栅网(18)的侧面与U形导气管(16)的左侧边内侧面固定配合,且上圆形小导电栅网(18)位于下圆形小导电栅网(17)的上方;放电针(19)的数目为多根;各根放电针(19)均垂直固定于上圆形小导电栅网(18)的下端面;接地针(20)的数目为两排;每排接地针(20)均包括多根接地针(20);两排接地针(20)相互正对地垂直固定于U形导气管(16)的左侧边内侧面,且两排接地针(20)均位于上圆形小导电栅网(18)的上方;抽气孔(21)贯通开设于圆筒形反应室(1)的侧壁,且抽气孔(21)位于圆饼形载台(3)的下方;矩形窗孔(22)贯通开设于圆筒形反应室(1)的侧壁;矩形窗孔(22)的上孔壁高于热丝阵列(11);矩形窗孔(22)的下孔壁与圆饼形载台(3)的上外端面齐平;矩形窗孔(22)上安装有矩形透明窗门;
第一电源的两极分别与驱动电机(7)的两个电源端连接;第二电源的两极分别与热丝阵列(11)的两个电源端连接;第三电源的两极分别与电动百叶窗(12)的两个电源端连接;
第四至第八电源均为直流电源;第四电源的正极与上圆形小导电栅网(18)连接;第四电源的负极、第五电源的正极均与下圆形小导电栅网(17)连接;第五电源的负极、第六电源的正极均与上圆形大导电栅网(14)连接;第六电源的负极、第七电源的正极均与下圆形大导电栅网(13)连接;第七电源的负极、第八电源的正极均与热丝阵列(11)的其中一个电源端连接;第八电源的负极与导电触头(10)连接;两排接地针(20)均接地。
2.根据权利要求1所述的一种百叶窗式金刚石膜制备装置,其特征在于:第一电源的两极分别通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与驱动电机(7)的两个电源端连接;第二电源的两极分别通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与热丝阵列(11)的两个电源端连接;第三电源的两极分别通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与电动百叶窗(12)的两个电源端连接;第四电源的正极通过密封贯穿圆筒形反应室(1)和U形导气管(16)的导线与上圆形小导电栅网(18)连接;第四电源的负极、第五电源的正极均通过密封贯穿圆筒形反应室(1)和U形导气管(16)的导线与下圆形小导电栅网(17)连接;第五电源的负极、第六电源的正极均通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与上圆形大导电栅网(14)连接;第六电源的负极、第七电源的正极均通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与下圆形大导电栅网(13)连接;第七电源的负极、第八电源的正极均通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与热丝阵列(11)的其中一个电源端连接;第八电源的负极通过密封贯穿圆筒形反应室(1)的导线与导电触头(10)连接;两排接地针(20)均通过密封贯穿圆筒形反应室(1)和U形导气管(16)的导线接地。
3.根据权利要求1或2所述的一种百叶窗式金刚石膜制备装置,其特征在于:所述圆筒形反应室(1)采用不锈钢制成;所述外层水管(2)、圆饼形载台(3)、内层水管(4)、径向支撑杆(5)、圆饼形水冷腔(6)、驱动齿轮(8)、导电触头(10)、放电针(19)、接地针(20)均采用黄铜制成;所述下圆形大导电栅网(13)、上圆形大导电栅网(14)、下圆形小导电栅网(17)、上圆形小导电栅网(18)均采用钨丝或钽丝编织而成;所述L形支撑杆(9)、喇叭形导气罩(15)、U形导气管(16)均采用耐高温绝缘材料制成;所述矩形透明窗门采用耐高温玻璃制成;外层水管(2)的外侧面下端与下装配孔的孔壁之间、驱动电机(7)与圆筒形反应室(1)的下内端面之间、下圆形大导电栅网(13)的侧面与圆筒形反应室(1)的内侧面之间、上圆形大导电栅网(14)的侧面与圆筒形反应室(1)的内侧面之间均设有绝缘层。
4.根据权利要求3所述的一种百叶窗式金刚石膜制备装置,其特征在于:所述耐高温绝缘材料为氧化铝陶瓷。
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