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用于多套PVD 真空 镀膜系统前级并联抽气的 泵组系统

阅读：36发布：2020-05-12

专利汇可以提供用于多套PVD 真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种用于多套PVD 真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其包括一台罗茨泵和三台旋片泵，多套PVD 真空镀膜系统中的真空镀膜炉体依次并排，罗茨泵的吸气口通过一条粗抽管分别与所有的真空镀膜炉体上的粗抽阀相连接，三台旋片泵分别与罗茨泵的排气口相连接；本实用新型结构设计巧妙，合理采用一台罗茨泵配合三台旋片泵组成泵组系统，可以分阶段配合工作，而且具有较大的抽真空马力，可以与多套PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体相连接，实现多套PVD真空镀膜系统由同一泵组系统为提供抽气功能，有效简化各个PVD真空镀膜系统中的泵组结构，结构更为紧凑，减少占用空间，减少耗能，节省成本，而且方便维护，省时省力。，下面是用于多套PVD 真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种用于多套PVD 真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其特征在于：其包括一台罗茨泵和三台旋片泵，多套PVD 真空镀膜系统中的真空镀膜炉体依次并排，罗茨泵的吸气口通过一条粗抽管分别与所有的真空镀膜炉体上的粗抽阀相连接，三台旋片泵分别与罗茨泵的排气口相连接。
2.根据权利要求1所述的用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其特征在于，所述罗茨泵为型号为ZJ-1200的罗茨泵。
3.根据权利要求1或2所述的用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其特征在于，所述旋片泵为型号为2X-70的旋片泵。
4.根据权利要求1所述的用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其特征在于，其还包括有一台分子泵，该分子泵与所述真空镀膜炉体上的精抽阀相连接。
5.根据权利要求4所述的用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其特征在于，其还包括有一台旋片泵，该旋片泵与所述分子泵相连接。

说明书全文

用于多套PVD真空 镀膜系统前级并联抽气的 泵组系统

技术领域

[0001] 本实用新型属于PVD 真空镀膜系统前级抽气技术领域，具体涉及一种用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统。

背景技术

[0002] 真空镀膜技术广泛应用到五金装饰、钟表首饰、玻璃制品、工具模具、半导体、光学等行业，纵观全球产业，装饰镀膜加工基本汇集在国内，随着产能增加，镀膜加工厂对设备的需求增大，具备一定规模的企业往往需要几十甚至上百台的镀膜系统。目前国内的镀膜设备以单体设备为主，每一套镀膜设备中的真空镀膜炉体均配备有一套泵组，其特点是设备灵活多变，可以满足各种膜层的需要，但是从设备结构和使用状况看，存在一些弊端，主要有：1、设备结构庞大，除了真空镀膜炉体外，设备的泵组抽气系统占据了很大位置和空间，这与国内的真空泵抽气慢、不稳定有一定关联。2、耗能大：前级真空系统多采用双旋片泵，在抽真空和镀膜过程中一直开启，耗能非常多。3、维护费用高：除了设备本身配备外，日常维护更换泵油，保养费人、费时、费油，导致企业不必要损耗。实用新型内容

[0003] 针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供一种结构设计合理、巧妙的用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统。

[0004] 为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：一种用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其包括一台罗茨泵和三台旋片泵，多套PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体依次并排，罗茨泵的吸气口通过一条粗抽管分别与所有的真空镀膜炉体上的粗抽阀相连接，三台旋片泵分别与罗茨泵的排气口相连接。

[0005] 作为本实用新型的一种改进，所述罗茨泵为型号优选为ZJ-1200的罗茨泵。

[0006] 作为本实用新型的一种改进，所述旋片泵为型号优选为2X-70的旋片泵。

[0007] 作为本实用新型的一种改进，其还包括有一台分子泵，该分子泵与所述真空镀膜炉体上的精抽阀相连接。分子泵利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使气体分子获得定向速度，进一步提升抽真空效果。

[0008] 作为本实用新型的一种改进，所述分子泵为型号优选为TYFB-3600的分子泵。

[0009] 作为本实用新型的一种改进，其还包括有一台旋片泵，该旋片泵与所述分子泵相连接。

[0010] 本实用新型的有益效果为：本实用新型结构设计巧妙，合理采用一台罗茨泵配合三台旋片泵组成泵组系统，可以分阶段配合工作，而且具有较大的抽真空马力，可以与多套PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体相连接，实现多套PVD真空镀膜系统由同一泵组系统为提供抽气功能，有效简化各个PVD真空镀膜系统中的泵组结构，结构更为紧凑，减少占用空间；同时也大大减少耗能，避免了整个镀膜过程中泵组的使用，节省成本，而且维护方便，只需要针对一套泵组系统进行日常维护，省时省力，利于广泛推广应用。

[0011] 下面结合附图与实施例，对本实用新型进一步说明。

附图说明

[0012] 图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

[0013] 参见图1，本实施例提供的一种用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统，其包括一台罗茨泵1和三台旋片泵2，多套PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体3依次并排，罗茨泵1的吸气口通过一条粗抽管4分别与所有的真空镀膜炉体3上的粗抽阀5相连接，三台旋片泵2分别与罗茨泵1的排气口相连接。本实施例中，所述罗茨泵1优选为型号为ZJ-1200的罗茨泵1。启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高。所述旋片泵2优选为型号为2X-70的旋片泵。在低压强下仍能保持高的抽速，工作稳定性好，低噪音，低振动，结构紧凑，体型小，节省空间。

[0014] 工作时，罗茨泵1通过粗抽管4分别与多套PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体3的粗抽阀5相连接，当某套PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体3需要抽真空时候，同时启动三台旋片泵2，具有较大的抽真空马力，开启该真空镀膜炉体3上的粗抽阀5，以对该真空镀膜炉体3进行抽真空。当真空镀膜炉体3达到800 Pa（帕斯卡）以内时，开启罗茨泵1进一步抽真空，当真空镀膜炉体3内真空达到5帕以内时，关闭该粗抽阀5。打开该真空镀膜炉体3的精抽阀6，实际当中，每一真空镀膜炉体3上的精抽阀6均依次连接有一台分子泵8和一台旋片泵7。通过该分子泵8和旋片泵7同时工作，使得真空镀膜炉体3进入抽高真空阶段。同时当真空镀膜炉体3的粗抽阶段完成后，关闭罗茨泵1，由三台旋片泵2持续工作，罗茨泵1阶段性工作，有效节省能源；此时，其它PVD真空镀膜系统中的真空镀膜炉体3如需要抽真空时，则相应打开其上的粗抽阀5即可，如果无真空镀膜炉体3需要抽粗真空，则再关闭三台旋片泵2，等待下一个抽真空准备。

[0015] 本实用新型用于多套PVD真空镀膜系统前级并联抽气的泵组系统具体有以下特点：

[0016] 1、整体结构紧凑，占地空间减少一半。

[0017] 2、耗能减少，避免了整个镀膜过程中泵组的使用，单台每小时减少电费15度左右，节省成本。

[0018] 3、维护方便，只需要针对一套泵组进行日常维护，减少了人工、冷却水、泵油等，省时省力。

[0019] 根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制，采用与其相同或相似结构的其它系统，均在本实用新型保护范围内。

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