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一种太阳电池制备用的前级 真空 泵保护装置

阅读：365发布：2020-05-11

专利汇可以提供一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置。所述的保护装置包括金属波纹管 (8)、截止阀 (9)、两组过滤器 (10)和压力检测装置(11)。两组过滤器(10)并联，过滤器(10)进气口的一端通过截止阀 (9)与金属波纹管(8)相连，过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级真空泵 (12)相连，每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9)，每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11)，金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。，下面是一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于所述的保护装置包括金属波纹管（8）、截止阀（9）、两组过滤器（10）和压力检测装置（11）；两组过滤器（10）并联，过滤器（10）进气口的一端通过截止阀（9）与金属波纹管（8）相连，过滤器（10）出气口的一端通过截止阀（9）与前级真空泵（12）相连，每组过滤器（10）的两端均装有截止阀（9），每组过滤器（10）均连接有压力检测装置（11）；金属波纹管（8）的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连；通过过滤器（10）和金属波纹管（8）降低被抽气体温度及颗粒物含量。
2.根据权利要求1所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于，所述的过滤器（10）为双层套筒式结构，内筒（4）嵌入外筒（3）中，内筒（4）和外筒（3）有一个共同的出气口（7）；内筒（4）将进气室（2）与出气室（5）分隔开；进气室（2）开有进气口（1），出气室（5）开有出气口（7），压力检测装置（6）分别与进气室（2）和出气室（5）连接。
3.根据权利要求1所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于，所述的保护装置中，在同一时间段中只有一组过滤器（10）工作。
4.根据权利要求2所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于，所述的过滤器内筒（4）为滤芯，滤芯材料为不锈钢网。
5.根据权利要求1所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于，所述的前级真空泵保护装置以直线式排列。
6.根据权利要求2所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于，所述的过滤器外筒（3）采用可丽丝材料制作。

说明书全文

一种太阳电池制备用的前级 真空 泵保护装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种前级真空泵的保护装置。

背景技术

[0002] 前级真空泵主要用于获得前级真空。其主要使用种类如机械泵、干泵等。对于所抽气体中往往含有一定量的颗粒物，有时气体还会带有一定温度；前级泵抽速较低，颗粒物将会沉积在前级泵中，使运转阻力增加，部件磨损，影响正常使用；较高的气体温度会使含油泵的密封油蒸发、氧化；对无油干泵而言，抽气原理与含油泵类似，因不采用油进行密封，其定子与动子间的间隙更小，带有温度的颗粒物会粘结在部件表面，严重影响前级真空泵的正常运行。尤其在太阳能电池领域中，不管是技术研发设备还是产业化生产设备，都会遇到前级泵不能正常工作的问题。其中主要原因是所抽气体温度较高并含有颗粒物，降低气体温度及颗粒物含量是保护前级真空泵最有效的手段。

[0003] 中国专利CN201339559“真空泵过滤器”在真空泵排气口加装油过滤器再将油回收，以减少环境污染，其结构如图3所示。其优点是：将减少对环境的油气污染。其缺点是：未考虑油气产生源头的问题，以及真空泵本身保护及回收油利用问题。标准真空泵的排气口都会标配有一防油阀，其结构与中国专利CN201339559基本一样；不同点是，被金属网节流的油会流回泵中，继续利用。油蒸汽的产生有两个原因，一是排大量气体时会产生油气，另一个是气体温度较高时会产生油气。

发明内容

[0004] 本发明的目的是克服现有技术的未考虑油气产生源头的问题，以及真空泵本身保护及回收油利用问题等缺点，提出一种用于前级真空泵的保护装置。本发明可减少前级真空泵部件磨损，延长对前级真空泵的维护周期，降低油蒸汽排放等。

[0005] 本发明通过降低到达前级真空泵气体温度及含有的颗粒物数量，以保护前级真空泵。

[0006] 本发明主要包括金属波纹管、过滤器、截止阀、压力检测装置等部件。过滤器共有两组，两组过滤器并联。两组过滤器的进气口通过截止阀与金属波纹管相连，两组过滤器的出气口通过截止阀与前级真空泵相连，每组过滤器的两端分别装有截止阀，两组过滤器均连接有压力检测装置，压力检测装置分别与过滤器进气室、出气室连接。金属波纹管的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。

[0007] 本发明的工作过程如下：

[0008] 真空腔体中被抽气体经过金属波纹管和已开启的截止阀后到达过滤器，经过过滤器、截止阀到达前级泵，最后经前级泵排出。过滤器共有两组，每组过滤器的两端分别装有截止阀，用于控制过滤器工作状态。两端截止阀关闭时过滤器停止工作，打开时过滤器开始工作，在同一时间段只有一组过滤器工作。过滤器上装有压力检测装置，用于检测过滤器过滤网两边压力变化，防止过滤器阻塞。当过滤器发生阻塞时，压力检测装置发出警告，提示更换另一组过滤器并对发生阻塞过滤器进行更换。当被抽气体经过金属波纹管时，由于与金属波纹管接触面积较大，被抽气体温度被降低，气体内所颗粒物的大部分也会沉降在波纹管内，此过程是一次降温、降低颗粒物含量。当被抽气体经过过滤器过滤时，将会进行二次降低气体温度及颗粒物含量；当被抽气体到达前级真空泵时，温度已经变得较低、颗粒物含量很少；对前级真空泵起到很好的保护作用。

[0009] 本发明采用两级结构达到降低被抽气体温度及颗粒物含量的目的；避免泵油高温氧化及颗粒物对真空泵部件损伤。采用压力检测装置检查过滤器两端压差，防止过滤器堵塞，利用截止阀实现不停机更换过滤器。附图说明

[0010] 图1保护装置示意图，图中：8金属波纹管，9截止阀，10过滤器，11压力检测装置，12前级真空泵；

[0011] 图2过滤器示意图，图中：1进气口，2进气室，3外筒，4内筒，5出气室，6压力检测装置，7出气口；

[0012] 图3中国专利CN201339559“真空泵过滤器”结构示意图，13 外壳，14过滤填充物，15油品导流管，16排气管，17进气管。

具体实施方式

[0013] 以下结合附图和具体实施方式进一步说明本发明。

[0014] 前级真空泵保护装置结构如图1所示，以直线式排列。本发明设计有两组过滤器，工作时只有一组过滤器工作，另一组为不停机更换过滤器时备用。如图1所示，8金属波纹管，9截止阀，10过滤器，11压力检测装置，12前级真空泵。

[0015] 过滤器10共有两组，两组过滤器10的两端均装有截止阀9，两组过滤器10均连接有压力检测装置11，并联连接的两组过滤器10的进气口一端通过截止阀9与金属波纹管8相连，两组过滤器10的出气口一端通过截止阀9与前级真空泵12相连。金属波纹管8的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。

[0016] 金属波纹管8为标准产品，外形为圆型、表面带有波纹，可以弯曲。截止阀9为标-3 0准真空用手动截止阀。压力检测装置11为标准产品，测量范围10 Pa～10Pa，带有两只压力传感器，以电信号方式反馈压力值，当两只传感器压力差减小到一定值时，发出警告报警。前级真空泵12一般是指机械泵、干泵等。过滤器10为非标部件，采用双层套筒式结构；
外筒为克丽丝材料，便于观察过滤器内部情况，内筒为滤芯，滤芯采用不锈钢网，用于过滤、散热；进气口与外筒连接，出气口与内筒连接，被抽气体由进气口进入外筒与内筒间的进气室，然后穿过过滤网到达出气室，最后由出气口进入前级真空泵再排出。

[0017] 过滤器10进气口的一端通过截止阀9与金属波纹管8相连，过滤器10的出气口一端通过截止阀9与前级真空泵12相连，压力检测装置11与过滤器10相连。过滤器10用于降低被抽气体温度及过滤被抽气体中颗粒物，过滤器10的滤芯为不锈钢网；截止阀9用于控制过滤器10的工作状态；压力检测装置11用于检测过滤器10内部的压力变化；金属波纹管8表面压有环状波纹具有较大表面积，用于第一次降低被抽气体温度及颗粒物含量。

[0018] 过滤器结构如图2所示，图中：1进气口，2进气室，3外筒，4内筒，5出气室，6压力检测装置，7出气口。过滤器10采用双层圆柱形套筒式结构，内筒4嵌入外筒3中，内筒4和外筒3有一个共同的出气口7。内筒4将进气室2与出气室5分隔开，进气室2开有进气口1，出气室5开有出气口7，压力检测装置6，分别与进气室2和出气室5连接，以检测进气室2与出气室5的压力变化，压力检测装置6选用型号为单台双路产品，用开关进行选择需检测位置。

[0019] 过滤器10的进气口和出气口均装有标准手动真空用截止阀9；进气口截止阀与金属波纹管8连接，出气口截止阀与前级真空泵12连接；外筒3为可丽丝材料，便于观察过滤器10内部情况，内筒4为滤芯，采用不锈钢网，用于过滤；过滤器10两端截止阀的作用一是更换过滤器时不必停机，另一个是保护另一组备用过滤器。

[0020] 前级真空泵保护装置工作过程如下：

[0021] 真空腔体中被抽气体首先到达金属波纹管，并通过金属波纹管8到达过滤器10。在此段过程中，被抽气体要经历第一次降温、降颗粒物过程；其温度被金属波纹管8管壁吸收并扩散到空气中，以降低温度对前级真空泵的影响；气体中含有的颗粒物因与波纹管8管壁的碰撞，大部分颗粒物会沉积在金属波纹管8底部，可降低前级真空泵部件磨损。被抽气体到达过滤器10，过滤器10中的由不锈钢网构成的内筒滤芯会第二次对气体温度及颗粒物进行降低和过滤。当气体到达前级真空泵12时，其温度已经很低，颗粒物含量已经很少。压力检测装置11与前级真空泵12联动，始终检测过滤器10两端压力；当过滤器10中颗粒物较多时，会使过滤器10两端压力差变大，此时压力检测装置11发出报警，提示更换过滤器10；更换时，先打开另一组过滤器10的两端截止阀9，再关闭需要更换的一组过滤器的截止阀9，然后进行更换。

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