一种精抽泵机组及具有其的精抽系统
阅读：21发布：2020-05-13
专利汇可以提供一种精抽泵机组及具有其的精抽系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种精抽 泵 机组，包括罗茨 真空 泵，和与罗茨 真空泵 串联 的 前级泵 ；其中，前级泵包括单级旋片真空泵和与单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。上述精抽泵机组，在潮湿工况下，由于双级旋片真空泵不受 水 蒸气的影响，双级旋片真空泵发挥主要作用，避免了水蒸气对整个精抽泵机组的真空度的影响；双级旋片真空泵与单级旋片真空泵并联，则整个精抽泵机组的抽速为双级旋片真空泵的抽速与单级旋片真空泵的抽速的代数和，提高了整个精抽泵机组的抽速。故本发明提供的精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。本发明还提供了一种具有上述精抽泵机组的精抽系统。，下面是一种精抽泵机组及具有其的精抽系统专利的具体信息内容。
一种精抽泵机组及具有其的精抽系统
技术领域
背景技术
[0002] 需要真空环境时，通常采用真空泵进行抽真空。对于一些真空度要求较高的场合，通常采用罗茨真空泵。例如，在充氦检漏系统中，精抽真空过程采用罗茨真空泵来完成。由于罗茨真空泵的特性，罗茨真空泵不能单独使用，需配上前级泵串联组成机组，以降低罗茨真空泵的排出压力。
[0003] 目前，由罗茨真空泵组成精抽泵机组有两种方案：
[0004] 第一种方案采用单级旋片真空泵12为前级泵，即单级旋片真空泵12与罗茨真空泵11进行串联组合，如图1所示。由于单级旋片真空泵12抽速较大，所以整个精抽泵机组的抽速会较大，生产效率较高。但是，在潮湿工况下，即连续在潮湿的环境中抽真空，亲水膜较易附着水蒸气，空气含水份较重，在抽空过程中水蒸气持续进入单级旋片真空泵12并与油混合，导致单级旋片真空泵12的油乳化，抽空能力下降，导致无法正常抽空到工艺要求。
[0005] 第二种方案采用双级旋片真空泵22为前级泵，即双级旋片真空泵22与罗茨真空泵21进行串联组合，如图2所示。由于双级旋片真空泵22不会受水蒸气的影响，且其真空度较低，则该精抽泵机组的真空度也较低，能够满足工艺要求。但是，由于双级旋片真空泵22的抽速比较小，则整个精抽泵机组的抽速较低，导致生产效率较低。
[0006] 有上述两种方案可知，在潮湿工况下，现有的精抽泵机组不能同时具有较低的真空度和较高的抽速。
[0007] 综上所述，如何提供一种精抽泵机组，以避免水蒸气对其真空度的影响，同时提高该精抽泵机组的抽速，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
[0008] 本发明的目的是提供一种精抽泵机组，以避免水蒸气对其真空度的影响，同时提高该精抽泵机组的抽速。本发明的目的是提供一种具有上述精抽泵机组的精抽系统。
[0009] 为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
[0010] 一种精抽泵机组，包括罗茨真空泵，和与罗茨真空泵串联的前级泵；其中，前级泵包括单级旋片真空泵和与单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。
[0011] 优选的，上述精抽泵机组中，所述单级旋片真空泵的数目为一个，所述双级旋片真空泵的数目为一个。
[0012] 基于上述提供的精抽泵机组，本发明还提供了一种精抽系统，该精抽系统包括待抽真空的待抽部件，和与所述待抽部件相连通的精抽泵机组；其中，该精抽泵机组为上述任意一项所述的精抽泵机组。
[0015] 本发明提供的精抽泵机组，在潮湿工况下，最初单级旋片真空泵抽速较大，随着受水蒸气的影响，单级旋片真空泵的抽真空能力逐渐下降，由于双级旋片真空泵不受水蒸气的影响，此时双级旋片真空泵发挥主要作用，从而避免了水蒸气对整个精抽泵机组的真空度的影响；同时，由于双级旋片真空泵与单级旋片真空泵并联，则整个精抽泵机组的抽速为双级旋片真空泵的抽速与单级旋片真空泵的抽速的代数和，很显然，提高了整个精抽泵机组的抽速。故本发明提供的精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。附图说明
[0016] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017] 图1为现有技术提供的精抽泵机组的一种结构框图；
[0018] 图2为现有技术提供的精抽泵机组的另一种结构框图；
[0019] 图3为本发明实施例提供的精抽泵机组的结构框图。
[0020] 上图1-3中：
[0021] 罗茨真空泵11、单级旋片真空泵12、罗茨真空泵21、双级旋片真空泵22、罗茨真空泵31、单级旋片真空泵32、双级旋片真空泵33。
具体实施方式
[0022] 本发明实施例提供了一种精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。
[0023] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0024] 请参考附图3，图3为本发明实施例提供的精抽泵机组的结构框图。
[0025] 本发明实施例提供的精抽泵机组，包括罗茨真空泵31，和与罗茨真空泵31串联的前级泵；其中，前级泵包括单级旋片真空泵32和与单级旋片真空泵32并联的双级旋片真空泵33。
[0026] 上述实施例提供的精抽泵机组，单级旋片真空泵32与双级旋片真空泵33并联形成一个组合泵体，作为前级泵与罗茨真空泵31进行串联组合。需要抽真空时，同时开启单级旋片真空泵32和双级旋片真空泵33进行精抽作业，二者进行功能互补。气体先经过罗茨真空泵31，再经过前级泵。当待抽部件内的压强高于40Pa时，单级旋片真空泵32发挥主要作用，解决双级旋片真空泵33抽速慢的问题，即使在空气湿度较大时，亦可将待抽部件内的压强迅速降至接近40Pa，之后双级旋片真空泵33发挥主要作用，解决单级旋片真空泵32的真空度受水蒸气影响的问题，将压力降至40Pa以下。
[0027] 本发明实施例提供的精抽泵机组，在潮湿工况下，最初单级旋片真空泵32抽速较大，随着受水蒸气的影响，单级旋片真空泵32的抽真空能力逐渐下降，由于双级旋片真空泵33不受水蒸气的影响，此时双级旋片真空泵33发挥主要作用，从而避免了水蒸气对整个精抽泵机组的真空度的影响；同时，由于双级旋片真空泵33与单级旋片真空泵32并联，则整个精抽泵机组的抽速为双级旋片真空泵33的抽速与单级旋片真空泵32的抽速的代数和，很显然，提高了整个精抽泵机组的抽速。故，本发明提供的精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。
[0028] 同时，本发明实施例提供的精抽泵机组，在正常工况下，单级旋片真空泵32的抽速较大，可使压力快速降至40Pa左右，双级旋片真空泵33可使压力进一步降低，降低整个精抽泵机组的真空度。
[0029] 优选的，上述实施例提供的精抽泵机组中，单级旋片真空泵32的数目为一个，双级旋片真空泵33的数目为一个。当然，在一些特殊场合，单级旋片真空泵32的数目和双级旋片真空泵33的数目还可为其他值，例如，需要大幅提高精抽泵机组的抽速时，可优先选择增加单级旋片真空泵32的数目。本发明实施例对单级旋片真空泵32的数目以及双级旋片真空泵33的数目不作具体地限定。
[0030] 基于上述实施例提供的精抽泵机组，本发明实施例还提供了一种精抽系统，该精抽系统包括待抽真空的待抽部件，和与待抽部件相连通的精抽泵机组；其中，该精抽泵机组为上述实施例所述的精抽泵机组。
[0031] 由于本发明实施例提供的精抽系统具有上述实施例提供的精抽泵机组，上述实施例提供的精抽泵机组具有上述技术效果，则本发明实施例提供的精抽系统也具有相应的技术效果，本文不再赘述。
[0032] 由于上述实施例提供的精抽泵机组能够避免水蒸气对其真空度的影响，所以内部具有水蒸气的待抽部件优先选择本发明实施例提供的精抽泵机组。具体的，待抽部件为蒸发器或者冷凝器。当然，待抽部件还可为其他部件，例如，内部没有水蒸气的部件。本发明实施例对待抽部件的类型不作具体地限定。
[0033] 对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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