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一种 刻蚀液耐腐蚀化学 泵

阅读：1033发布：2020-12-31

专利汇可以提供一种刻蚀液耐腐蚀化学泵专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，包括泵体、加压管、驱动机构、进料管、出料管、单向阀、密封法兰和活塞杆，泵体的一端设有一进料管、另一端设有一出料管，加压管固定安装在泵体上并与泵体连通，两个单向阀分别通过密封法兰安装在进料管和出料管上，活塞杆活动安装在加压管内，其中驱动机构与活塞杆动力连接。本发明通过驱动机构向泵体内输送气压使得泵体能够运输腐蚀性液体，由于泵体内未设置叶轮以及泵体将其他金属材料的部件分割开，增加了泵体的耐腐蚀性能，进而增加了化学泵的使用年限以及增加了使用的可靠性，通过将泵体、加压管和活塞杆表面涂覆耐氢氟酸涂料层，有效的提高了化学泵的耐腐蚀性能。，下面是一种刻蚀液耐腐蚀化学泵专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，包括泵体(1)、加压管(2)、驱动机构(3)、进料管(4)、出料管(5)、单向阀(6)、密封法兰(7)和活塞杆(8)，其特征在于：
所述泵体(1)的一端设有一进料管(4)、另一端设有一出料管(5)，所述加压管(2)固定安装在泵体(1)上并与泵体(1)连通，两个所述单向阀(6)分别通过密封法兰(7)安装在进料管(4)和出料管(5)上，所述活塞杆(8)活动安装在加压管(2)内，其中驱动机构(3)与活塞杆(8)动力连接。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，其特征在于：所述单向阀(6)内活动安装一挡板(61)。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，其特征在于：所述泵体(1)、加压管(2)和活塞杆(8)表面涂覆有耐氢氟酸涂料层。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，其特征在于：所述驱动机构(3)包括支撑架(31)、齿轮(32)、不完全齿轮(33)、导向块(34)、齿条(35)和电机(36)，所述支撑架(31)固定安装在加压管(2)上，三个所述齿轮(32)转动安装在支撑架(31)上，两个所述不完全齿轮(33)分别安装在位于两侧的齿轮(32)上，两个所述导向块(34)固定安装在支撑架(31)上，所述齿条(35)活动安装在两个所述导向块(34)上并与两个所述不完全齿轮(33)啮合，其中齿条(35)的一端与活塞杆(8)固定连接，所述电机(36)固定安装在支撑架(31)上，其中未安装不完全齿轮(33)的齿轮(32)固套在电机(36)的动力输出端上。
5.根据权利要求4所述的一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，其特征在于：所述齿条(35)上设有导槽(351)，齿条(35)通过其上的导槽(351)配合在两个所述导向块(34)上。
6.根据权利要求4所述的一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，其特征在于：三个所述齿轮(32)的中心位于同一直线上，其中位于两侧的齿轮(32)分别与固套在电机(36)的动力输出端上的齿轮(32)啮合形成齿轮传动。

说明书全文

一种刻蚀液耐腐蚀化学 泵

技术领域

[0001] 本发明涉及刻蚀设备技术领域，具体为一种刻蚀液耐腐蚀化学泵。

背景技术

[0002] 在世界不可再生能源日渐枯竭的今天，开发利用新的能源已是迫在眉睫的重大事情。太阳能作为一种用之不竭的清洁能源，是目前广泛使用的一种替代能源，大力开发和利用太阳能，对缓解世界能源危机有着非常重要的意义。刻蚀作为太阳电池生产中的第三道工序，其主要作用是去除扩散后硅片四周的N型硅，防止漏电。刻蚀一般情况下和掉扩散前的磷硅玻璃联系在一起，而在进行刻蚀是利用氢氟酸与硅元素反应达到去除的效果。

[0003] 发明专利公开号为CN105422447A提供了一种耐腐蚀湿式罗茨真空泵，属于真空泵技术领域。包括泵体、主动轴、从动轴以及分别设置在主动轴和从动轴上的主动转子和从动转子，所述主动轴和从动轴上分别设有轴套，所述泵体、主动转子和从动转子的材质为酚醛石棉耐酸模塑料或酚醛石墨耐酸模塑料或二者任意比例混合物，轴套的材质为酚醛石棉耐酸模塑料或酚醛石墨耐酸模塑料或二者任意比例混合物；所述主动轴和从动轴与所述泵体之间设有机械密封。此装置通过使抽取的腐蚀性的气体或液体与金属部件隔离进而增加耐腐蚀性，但是在对腐蚀性的气体或液体进行抽取的时候利用转子压缩空气进而达到抽取的效果，由于腐蚀性的气体或液体直接与转子接触，增加泵体内耐腐蚀材料的磨损，进而增加了零件腐蚀的几率，进而降低了此装置工作的稳定性。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，以解决上述背景技术中提出的问题。

[0005] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

[0006] 一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，包括泵体、加压管、驱动机构、进料管、出料管、单向阀、密封法兰和活塞杆，其中：

[0007] 所述泵体的一端设有一进料管、另一端设有一出料管，所述加压管固定安装在泵体上并与泵体连通，两个所述单向阀分别通过密封法兰安装在进料管和出料管上，所述活塞杆活动安装在加压管内，其中驱动机构与活塞杆动力连接。

[0008] 优选的，所述单向阀内活动安装一挡板。

[0009] 优选的，所述泵体、加压管和活塞杆表面涂覆有耐氢氟酸涂料层。

[0010] 优选的，所述驱动机构包括支撑架、齿轮、不完全齿轮、导向块、齿条和电机，所述支撑架固定安装在加压管上，三个所述齿轮转动安装在支撑架上，两个所述不完全齿轮分别安装在位于两侧的齿轮上，两个所述导向块固定安装在支撑架上，所述齿条活动安装在两个所述导向块上并与两个所述不完全齿轮啮合，其中齿条的一端与活塞杆固定连接，所述电机固定安装在支撑架上，其中未安装不完全齿轮的齿轮固套在电机的动力输出端上。

[0011] 优选的，所述齿条上设有导槽，齿条通过其上的导槽配合在两个所述导向块上。

[0012] 优选的，三个所述齿轮的中心位于同一直线上，其中位于两侧的齿轮分别与固套在电机的动力输出端上的齿轮啮合形成齿轮传动。

[0013] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：

[0014] 本发明通过驱动机构向泵体内输送气压使得泵体能够运输腐蚀性液体，由于泵体将其他金属材料的部件分割开，增加了化学泵的耐腐蚀性能，在对腐蚀性液体进行输送的过程中仅仅利用压强差进行输送进而腐蚀性液体仅仅与泵体接触避免了与泵体内其他零部件接触，如此减小了化学泵腐蚀的几率，进而增加了化学泵使用年限以及增加了使用的可靠性，通过将泵体、加压管和活塞杆表面涂覆耐氢氟酸涂料层，以及在输送腐蚀性液体时泵体内的零件相对于泵体不需做高速运动，进而减小了涂覆材料的磨损，有效的提高了化学泵的耐腐蚀性能。附图说明

[0015] 图1为本发明整体结构三维示意图；

[0016] 图2为本发明泵体剖视图；

[0017] 图3为本发明加压管剖视图；

[0018] 图4为泵体剖视图中A处局部放大图；

[0019] 图5为本发明驱动机构三维示意图；

[0020] 图6为本发明驱动机构侧视图；

[0021] 图7为本发明齿条三维示意图。

[0022] 图中：1泵体、2加压管、3驱动机构、4进料管、5出料管、6单向阀、7密封法兰、8活塞杆、31支撑架、32齿轮、33不完全齿轮、34导向块、35齿条、36电机、61挡板、351导槽。

具体实施方式

[0023] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0024] 实施例：

[0025] 请参阅图1至图7，本发明提供一种技术方案：

[0026] 一种刻蚀液耐腐蚀化学泵，包括泵体1、加压管2、驱动机构3、进料管4、出料管5、单向阀6、密封法兰7和活塞杆8，其中：

[0027] 泵体1的一端设有一进料管4、另一端设有一出料管5，加压管2固定安装在泵体1上并与泵体1连通，单向阀6有两个，其中一个单向阀6通过密封法兰7安装在进料管4上、另一个单向阀6通过密封法兰7安装在出料管5上，其中安装在进料管4上的单向阀6当进料管4向泵体1进料时此单向阀6与泵体1处于连通状态，其中安装在出料管5上的单向阀6当出料管5向外出料时此单向阀6与泵体1处于连通状态，单向阀6内活动安装一挡板61，活塞杆8活动安装在加压管2内，其中驱动机构3包括支撑架31、齿轮32、不完全齿轮33、导向块34、齿条35和电机36，支撑架31固定安装在加压管2上，三个齿轮32转动安装在支撑架31上，两个不完全齿轮33分别安装在位于两侧的齿轮32上，其中三个齿轮32的中心位于同一直线上，位于两侧的齿轮32分别与未安装不完全齿轮33的齿轮32啮合并形成齿轮传动，两个导向块34固定安装在支撑架31上，齿条35上设有导槽351，齿条35通过其上的导槽351配合在两个导向块34上，进而齿条35在两个导向块34上形成移动副，以及齿条35与两个不完全齿轮33啮合形成齿轮齿条传动，其中齿条35的一端与活塞杆8固定连接，电机36固定安装在支撑架31上，其中未安装不完全齿轮33的齿轮32固套在电机36的动力输出端上，所述泵体1、加压管2和活塞杆8表面涂覆有耐氢氟酸涂料层。

[0028] 化学泵在对腐蚀性液体进行抽取时的具体步骤为：首先将安装在进料管4上的单向阀6与抽取的腐蚀性液体的管道连接，以及将安装在出料管5上的单向阀6与进行刻蚀的器具连接，此时开启电机36，电机36带动安装在其动力输出端的齿轮32运动，进而带动安装在两侧的两个齿轮32与其同步转动，此时安装在两侧的两个齿轮32上的不完全齿轮33转动，进而带动齿条35在导向块34来回运动，由于齿条35的一端与活塞杆8固定连接，此时活塞杆8在加压管2来回运动，当活塞杆8向远离泵体1的方向运动时，泵体1内的空气向加压管2内运动，进而泵体1内的压强减小，此时位于出料管5旁的单向阀6内的挡板61向靠近泵体1的方向运动，由于出料管5旁的单向阀6内的挡板61向靠近泵体1的方向运动时是将出料管5封闭，所以此时出料管5处于封闭状态，同时进料管4旁的单向阀6内的挡板61也向靠近泵体
1的方向运动，但是进料管4旁的单向阀6内的挡板61向靠近泵体1的方向运动时是将进料管
4开启，所以在泵体1内压强差的作用下液体通过进料管4被抽至泵体1内，当活塞杆8向靠近泵体1的方向运动时，加压管2内的空气向泵体1内运动，进而泵体1内的压强增大，此时进料管4和出料管5上的单向阀6内的挡板61均向远离泵体1的方向运动，此时进料管4处于封闭状态而出料管5处于开启状态，进而泵体1内的液体在压强差的作用下经过进料管4流出，进而完成对液体的抽取，由于齿条35进行往复运动，进而活塞杆8处于往复运动的状态，进而对液体进行连续性抽取，在不需抽取液体时将电机36关闭即可停止抽取，其中抽取的过程中泵体1通过压强差将液体吸出运输，进而避免了其它金属零部件与液体接触而导致腐蚀的现象。

[0029] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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