技术领域
[0001] 本
发明涉及一种
真空泵技术领域,具体的涉及一种
低温泵。
背景技术
[0002] 低温泵又称冷凝泵,是利用低温表面冷凝气体的
真空泵,低温泵可以获得抽气速率最大、极限压
力最低的清洁真空,其广泛地应用于科学研究和工业中,如
半导体、集成
电路的生产和研究以及分子束研究、真空
镀膜设备、真空表面分析仪器、
离子注入机和空间模拟装置等领域。
[0003] 低温泵的主要动力组成部分是
电机,传统的低温泵采用异步三相电机作为驱动动力应用于生产中,具有驱
动能耗高、体积大的缺点,不能顺应轻量化、节能环保的主流。
[0004] 因此,需提供一种新的低温泵解决上述问题。
发明内容
[0005] 本发明需要解决的技术问题是提供一种低能耗、体积小、节能效果好的低温泵。
[0006] 本发明提供的低温泵,包括具有收容空间的壳体、组合转件及动力组件,所述组合转件收容于所述收容空间内,所述动力组件包括永磁电机和
传动轴,所述传动轴连接所述永磁电机,所述组合转件与所述传动轴连接,所述传动轴带动所述组合转件转动。
[0007] 优选的,所述永磁电机包括
转子、
定子、电机轴和端盖,所述转子套设于所述电机轴,所述定子安装于所述端盖,所述定子套设于所述转子。
[0008] 优选的,所述永磁电机为永磁无刷电机。
[0009] 优选的,所述低温泵还包括唇形
密封件,所述壳体与所述传动轴通过所述唇形密封件连接。
[0010] 优选的,所述低温泵还包括底座,所述壳体固定在所述底座上,所述底座起
支撑所述低温泵的作用。
[0011] 相较于
现有技术,本发明提供的低温泵,其动力组件包括永磁电机和传动轴,所述传动轴连接所述组合转件,所述传动轴由所述永磁电机驱动,所述传动轴带动所述组合转件转动,实现所述低温泵的正常工作。本发明提供的低温泵,其电机由现有技术中的三相异步电机替换成永磁电机,使所述低温泵具有能耗低、体积小、功率
密度高、运行速度低的良好效果,其运行速度低使泵启动产生的推力减小,壳体以及内部零件的损耗减小,从而延长所述低温泵的使用寿命。
附图说明
[0012] 图1为本发明低温泵的结构示意图;
[0013] 图2为图1所示低温泵中永磁电机的结构示意图;
[0014] 图3为图2所示的永磁电机的断面结构示意图。
具体实施方式
[0015] 下面将结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
[0016] 请参阅图1,为本发明低温泵的结构示意图。所述低温泵1包括具有收容空间的壳体11、组合转件12、动力组件13、底座14和唇形密封件15。所述壳体11固定在所述底座14上。所述组合转件12收容于所述壳体11的收容空间内。所述动力组件13驱动所述组合转件12转动。所述唇形密封件15用于密封所述壳体11与所述动力组件13的连接处。
[0017] 所述组合转件12包括
叶轮121和
主轴122。所述叶轮121固定于所述主轴122位于所述低温泵1的进口一端。所述主轴122的另一端与所述动力组件13连接,即所述动力组件13驱动所述主轴122转动,从而带动所述叶轮121转动。
[0018] 所述动力组件13包括永磁电机131和传动轴132。所述永磁电机131驱动所述传动轴132转动。
[0019] 请同时参阅图2和图3,其中,图2为图1所示的低温泵中永磁电机的结构示意图,图3为图2所示的永磁电机的断面结构示意图。所述永磁电机131包括转子1311、定子1312、电机轴1313和端盖1314,所述转子1311套设于所述电机轴1313,所述定子1312安装于所述端盖1314。所述定子1312套设于所述转子1311外部。所述永磁电机131作为所述低温泵1的驱动动力,具有能耗低、体积小、重量轻及工作效率高的优点。所述永磁电机
131为永磁无刷电机,其效果更佳。
[0020] 所述传动轴132一端连接所述电机轴1313,另一端连接所述主轴122。所述电机轴1313带动所述传动轴132转动。所述传动轴132带动所述主轴122转动。所述传动轴132与所述壳体11的连接处采用所述唇形密封件15密封,密封效果好,可防漏防尘。
[0021] 本发明提供的低温泵的动力组件包括永磁电机和传动轴,所述传动轴连接所述组合转件,所述传动轴由所述永磁电机驱动,所述传动轴带动所述组合转件转动,实现所述低温泵的正常工作。本发明提供的低温泵的电机由现有技术中的三相异步电机替换成永磁电机,使所述低温泵具有能耗低、体积小、功率密度高、运行速度低的良好效果,其运行速度低使泵启动产生的推力减小,壳体以及内部零件的损耗减小,从而延长所述低温泵的使用寿命。
[0022] 以上所述仅为本发明的
实施例,并非因此限制本发明的
专利范围,凡是利用本发明
说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。