低温泵
阅读：336发布：2020-05-14
专利汇可以提供低温泵专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供一种 低温 泵 ，其降低受安装对象设计的影响之可能性。本发明的 低温泵 （10）具备低温低温板（18）、设置于低温低温板（18）的外侧的高温低温板（20）及设置于高温低温板（20）的外侧的 泵壳 （38）。高温低温板（20）具备向外侧延伸的扩张面板（34）。泵壳（38）具备包围扩张面板（34）的吸气口凸缘（56）。，下面是低温泵专利的具体信息内容。
1.一种低温泵，其特征在于，具备：
泵壳，具备沿轴向向低温泵的吸气口延伸的筒部；
凸缘，具备设置于所述筒部的开口端的径向外侧的内周部分和用于安装低温泵的外周部分；及
入口低温板，位于所述吸气口，
所述入口低温板在所述筒部的径向外侧具备扩张部分，
在所述内周部分与所述外周部分之间沿轴向形成有高度差，
所述入口低温板在所述扩张部分与所述内周部分之间沿轴向形成间隙，且在所述扩张部分与所述外周部分之间沿径向形成间隙，且所述入口低温板被所述凸缘包围。
2.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
所述外周部分具备用于安装的对准面，所述扩张部分沿轴向配置于所述对准面和所述内周部分的中间，所述入口低温板被收容于低温泵中。
3.如权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，
所述低温泵还具备屏蔽板，该屏蔽板在所述筒部的内侧沿轴向延伸，且在与所述入口低温板之间沿轴向具有间隙，
所述入口低温板具备用于覆盖所述间隙的裙部。
4.如权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述入口低温板具备被所述扩张部分包围的中心部分及所述扩张部分与所述中心部分的传热路径，所述扩张部分在所述传热路径的附近具备扩宽部。
5.如权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述外周部分构成为使低温泵的所述吸气口与具有与该吸气口不同的形状的安装对象的开口匹配。
6.一种低温泵，其特征在于，具备：
低温低温板；
高温低温板，设置于所述低温低温板的外侧；及
泵壳，设置于所述高温低温板的外侧，
所述高温低温板具备向外侧延伸的扩张部分，且所述泵壳具备包围该扩张部分的带阶梯的凸缘。
7.一种低温泵，其特征在于，具备：
泵壳，具备沿轴向向低温泵的吸气口延伸的筒部；
入口低温板，位于所述吸气口；及
屏蔽板，在所述筒部的内侧沿轴向延伸，且在与所述入口低温板之间沿轴向具有间隙，所述入口低温板具备用于覆盖所述间隙的裙部。
8.一种低温泵，其特征在于，具备：
低温低温板；及
高温低温板，设置于所述低温低温板的外侧，
所述高温低温板具备入口低温板和屏蔽板，所述入口低温板在与所述屏蔽板的开口端之间具有间隙，
所述入口低温板具备为了限制通过所述间隙的气体流动而设置的裙部。
低温泵
技术领域
背景技术
[0002] 一种低温泵，其包括：泵壳，接近升温低温板的周围而匹配且具有第一内径；入口阵列，收容于该泵壳的内侧；凸缘，将所述泵壳安装于具有第二内径的闸阀上；支架扩张部，安装于所述入口阵列且使所述入口阵列扩张至所述凸缘之上，所述第二内径大于所述第一内径。
[0004] 在低温泵的吸气口通常设置有例如也可称为挡板的低温板。有时为了提高某种气体（例如水分）的排气速度而期望使这种低温板大型化。但是，一般由于吸气口的大半已被该低温板占有，因此用于大型化的剩余空间较小。
[0005] 如上述，可想到使入口阵列扩张至低温泵外的结构。但是，这种结构的低温泵根据安装对象的设计有可能因该扩张部的阻碍而无法安装。
发明内容
[0006] 本发明的一种方式的例示性目的之一在于，提供一种降低受安装对象设计的影响的可能性的低温泵。
[0007] 本发明的一种形态的低温泵具备：泵壳，具备向低温泵的吸气口沿轴向延伸的筒部；凸缘，具备设置于所述筒部的开口端的径向外侧的内周部分和用于安装低温泵的外周部分；及入口低温板，位于所述吸气口。所述入口低温板在所述筒部的径向外侧具备扩张部分。在所述内周部分与所述外周部分之间沿轴向形成有高度差。所述入口低温板在所述扩张部分和所述内周部分之间沿轴向形成间隙，在所述扩张部分和所述外周部分之间沿径向形成间隙而被所述凸缘包围。
[0008] 根据该方式，低温泵的入口低温板在径向外侧具备扩张部分。由于在轴向观察时的投影面积变大，因此能够提高基于入口低温板的排气速度。在用于安装的凸缘外周部分与内周部分之间形成高度差，入口低温板被凸缘包围。凸缘的高度差提供在泵壳的筒部的径向外侧收纳入口低温板的扩张部分的余地。通过这种设计，能够兼顾提高低温泵的排气性能和降低受低温泵安装对象的影响的可能性。
[0009] 也可使所述外周部分具备用于安装的对准面，所述扩张部分沿轴向配置于所述对准面与所述内周部分的中间，且所述入口低温板收容于低温泵中。
[0010] 由于扩张部分配置于比用于安装凸缘的对准面更靠内侧，因此不会向低温泵外鼓出。通过入口低温板这样被收容于低温泵中，从而确保被扩张的入口低温板不受低温泵安装对象的影响。
[0011] 低温泵可进一步具备屏蔽板，该屏蔽板在所述筒部的内侧沿轴向延伸，且在与所述入口低温板之间沿轴向具有间隙。所述入口低温板也可具备用于覆盖所述间隙的裙部。
[0012] 入口低温板与屏蔽板之间的间隙可因制造上的误差而变动。误差与低温泵的个体差有关。向屏蔽件内的气体流入量根据间隙的大小而变化。气体的流入量与低温泵的排气速度直接相关。因此，有可能导致实际的排气性能偏离设计上的性能。通过设置用于覆盖间隙的裙部，能够限制通过间隙的流入。若因限制而使流入量变小，则流入量的个体差也与其相应地减少。其结果，也能够使排气性能的个体差的变动变小。
[0013] 所述入口低温板也可具备被所述扩张部分包围的中心部分、及所述扩张部分和所述中心部分的传热路径。所述扩张部分也可在所述传热路径的附近具备扩宽部。
[0014] 大型低温板对其冷却源赋予较大的负荷。传热路径的附近比远处更有利于冷却。因此，通过在用于入口低温板的传热路径的附近设置扩宽部，能够抑制热亏损的同时进一步扩大低温板面积。
[0015] 所述外周部分也可构成为使低温泵的所述吸气口与具备不同于该吸气口的形状的安装对象的开口匹配。
[0016] 如此一来，能够将低温泵装配在匹配的所期望的安装对象的开口。
[0017] 本发明的其他方式的低温泵具备：低温低温板；高温低温板，设置于所述低温低温板的外侧；及泵壳，设置于所述高温低温板的外侧。所述高温低温板具备向外侧伸长的扩张部分。所述泵壳具备包围该扩张部分的带阶梯的凸缘。
[0018] 根据该方式，低温泵泵壳的带阶梯的凸缘提供收纳高温低温板的扩张部分的余地。因此，能够兼顾提高低温泵的排气性能和降低受低温泵安装对象的影响的可能性。
[0019] 本发明的另一方式的低温泵具备：泵壳，具备向低温泵的吸气口沿轴向延伸的筒部；入口低温板，位于所述吸气口；及屏蔽板，在所述筒部的内侧沿轴向延伸，且在与所述入口低温板之间沿轴向具有间隙。所述入口低温板具备用于覆盖所述间隙的裙部。
[0020] 本发明的另一方式的低温泵具备低温低温板和设置于所述低温低温板的外侧的高温低温板。所述高温低温板具备入口低温板和屏蔽板。所述入口低温板在与所述屏蔽板的开口端之间具有间隙。所述入口低温板具备为了限制通过所述间隙的气体流量而设置的裙部。
[0021] 发明效果
[0023] 图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的截面图。
[0024] 图2是从上方观察图1所示的低温泵的图。
[0025] 图3是表示图1所示的低温泵的安装状态的图。
[0026] 图4是将图1所示的低温泵的一部分放大的截面图。
[0027] 图5是示意地表示本发明的其他实施方式所涉及的低温泵的图。
[0028] 图中：10-低温泵，12-吸气口，18-低温低温板，20-高温低温板，30-放射屏蔽件，32-入口低温板，34-扩张面板，36-屏蔽件开口端，38-泵壳，40-筒部，44-泵壳开口端，
50-冷却板，52-扩张板，54-扩张板支承部，56-吸气口凸缘，58-闸阀，64-闸阀开口，66-内周部分，68-外周部分，70-凸缘凹部，72-对准面，74-凸缘凹部侧面，76-凸缘凹部底面，
78-裙部，80-扩宽部。
50-冷却板，52-扩张板，54-扩张板支承部，56-吸气口凸缘，58-闸阀，64-闸阀开口，66-内周部分，68-外周部分，70-凸缘凹部，72-对准面，74-凸缘凹部侧面，76-凸缘凹部底面，
78-裙部，80-扩宽部。
具体实施方式
[0030] 低温泵10具有用于接受气体的吸气口12。吸气口12是朝向低温泵10的内部空间14的入口。应被排气的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入低温泵10的内部空间14。
[0031] 除图1以外还参考图2至图4对低温泵10的结构进行说明。图1表示包括低温泵10的内部空间14的中心轴和制冷机16的截面。图1为图2的A-A截面图，图2为从上观察低温泵10的图。在图2中示出吸气口12和其内侧的结构。图3为表示将低温泵10安装于真空腔室的状态的图。图4为将图1所示的低温泵10的一部分放大，具体而言是将吸气口12的周边部放大的局部截面图。
[0032] 另外，以下为了通俗易懂地表示低温泵10的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”这种用语。轴向表示通过吸气口12的方向，径向表示沿吸气口12的方向。为方便起见，关于轴向有时将相对靠近吸气口12的方向称为“上”，相对远离的方向称为“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的方向称为“上”，相对靠近的方向称为“下”。关于径向，有时将靠近吸气口12的中心的方向称为“内”，靠近吸气口12的周边的方向称为“外”。
另外，这种表达与低温泵10安装于真空腔室时的配置没有关系。例如，低温泵10也可在铅直方向使吸气口12朝下来安装于真空腔室。
另外，这种表达与低温泵10安装于真空腔室时的配置没有关系。例如，低温泵10也可在铅直方向使吸气口12朝下来安装于真空腔室。
[0033] 低温泵10具备制冷机16、低温低温板18及高温低温板20。制冷机16是例如吉福德-麦克马洪式制冷机（所谓GM制冷机）等超低温制冷机。制冷机16是具备第1冷却台22及第2冷却台24的2级式制冷机。制冷机16构成为将第1冷却台22冷却成第1温度水平，且将第2冷却台24冷却成第2温度水平。第2温度水平比第1温度水平更低温。例如，第1冷却台22冷却成65K～120K左右、优选冷却成80K～100K，第2冷却台24冷却成
10K～20K左右。
10K～20K左右。
[0034] 如图1所示的低温泵10为所谓卧式低温泵。卧式低温泵一般为制冷机16以与低温泵10的内部空间14的中心轴交叉（通常为正交）的方式配设的低温泵。本发明也同样能够适用于所谓立式低温泵。立式低温泵是制冷机沿低温泵的轴向配设的低温泵。
[0035] 低温低温板18设于低温泵10的内部空间14的中心部。低温低温板18例如包括多个板部件26。板部件26例如分别具有圆锥台侧面的形状，所谓伞状的形状。各板部件26中通常设置有活性炭等吸附剂（未图示）。吸附剂例如粘结于板部件26的背面。板部件
26安装于板安装部件28。板安装部件28安装于第2冷却台24。如此，低温低温板18热连接于第2冷却台24。因此，低温低温板18被冷却成第2温度水平。
26安装于板安装部件28。板安装部件28安装于第2冷却台24。如此，低温低温板18热连接于第2冷却台24。因此，低温低温板18被冷却成第2温度水平。
[0036] 高温低温板20设置于低温低温板18的外侧。高温低温板20具备放射屏蔽件30和入口低温板32，且包围低温低温板18。高温低温板20具备向外侧延伸的扩张面板34。扩张面板34形成放射屏蔽件30及入口低温板32中的至少其中之一的一部分。高温低温板20热连接于第1冷却台22。高温低温板20被冷却成第1温度水平。
[0037] 放射屏蔽件30是主要为了保护低温低温板18免受来自低温泵10的泵壳38的辐射热的影响而设置的低温板。因此，也能够将放射屏蔽件30称为屏蔽板。放射屏蔽件30在泵壳38与低温低温板18之间，且包围低温低温板18。
[0038] 放射屏蔽件30的轴向上端被开放，且在吸气口12具备屏蔽件开口端36。放射屏蔽件30具有轴向下端被闭塞的筒形（例如圆筒）形状，形成为杯状。在放射屏蔽件30的侧面具有用于安装制冷机16的孔，第2冷却台24从此处插入于放射屏蔽件30中。第1冷却台22在该安装孔的外周部被固定于放射屏蔽件30的外表面。如此放射屏蔽件30被热连接于第1冷却台22。
[0039] 放射屏蔽件30如图1所示既可构成为一体的筒状，并且，也可构成为通过多个零件整体上成为筒状的形状。这些多个零件也可相互具有间隙而配设。例如，放射屏蔽件30也可分割为安装于第1冷却台22的轴向上侧的上部屏蔽件和安装于第1冷却台22的轴向下侧的下部屏蔽件。此时，上部屏蔽件为上端及下端开放的筒形的屏蔽板，下部屏蔽件为上端开放且下端闭塞的筒形的屏蔽板。
[0040] 入口低温板32设置于低温低温板18的轴向上方，且在吸气口12上沿着径向而配置。入口低温板32固定于屏蔽件开口端36并热连接于放射屏蔽件30。设置入口低温板32是为了排出进入吸气口12的气体。以入口低温板32的温度冷凝的气体（例如水分）捕集于其表面。
[0041] 并且，设置入口低温板32是为了保护低温低温板18免受来自低温泵10的外部热源（例如，安装低温泵10的真空腔室内的热源）的辐射热。不仅是辐射热也可限制气体分子的进入。入口低温板32占有吸气口12的开口面积的一部分，以便将通过吸气口12而流入内部空间14的气体限制在所期望的量。入口低温板32覆盖吸气口12的一大半。
[0042] 如图2所示，入口低温板32是覆盖放射屏蔽件30的开口的板部件。与放射屏蔽件30的截面形状相同，入口低温板32为圆形。另外，入口低温板32也可以是其他的适当的结构而不是圆形的板部件。入口低温板32也可具备例如百叶窗结构、人字形结构或格子结构。另外在图2中，为了通俗易懂地表示包围入口低温板32的吸气口凸缘56，在吸气口凸缘56附加斜线。
[0043] 入口低温板32具备冷却板50和扩张板52。冷却板50是被扩张板52包围的入口低温板32的中心部分。冷却板50覆盖放射屏蔽件30的开口。通过设置扩张板52，入口低温板32向径向外侧扩张。冷却板50是圆板，扩张板52是环状部件（例如环）。本实施方式中，扩张板52相当于上述的扩张面板34。
[0044] 在入口低温板32形成容许气体流动的多个开口46。开口46形成于冷却板50上。开口46的形状为任意形状，例如为圆形。开口46不形成于扩张板52上。
[0045] 入口低温板32安装于屏蔽件开口端36的板安装部48。板安装部48为从屏蔽件开口端36向径向内侧突出的凸部，沿周向以等间隔（例如隔90°）形成。入口低温板32以适当方法固定于板安装部48。例如，板安装部48具有螺栓孔（未图示），且入口低温板32的周端部被螺栓固定于板安装部48。
[0046] 入口低温板32具备扩张板支承部54。扩张板支承部54为了将扩张板52支承于冷却板50而设置。扩张板支承部54在冷却板50与扩张板52之间使上述2个板热连接。扩张板支承部54沿周向等间隔（例如隔90°）设置。扩张板支承部54设置于在周向上与板安装部48不同的部位。
[0047] 扩张板支承部54例如为小片的板部件。扩张板支承部54的一半安装于冷却板50，另一半安装于扩张板52。扩张板支承部54例如以螺栓固定等适当的方法固定。
[0048] 如图1所示，低温泵10具备泵壳38。泵壳38是用于隔开低温泵10的内部与外部的真空容器。泵壳38构成为气密地保持低温泵10的内部空间14的压力。泵壳38中容纳有高温低温板20和制冷机16。泵壳38设置于高温低温板20的外侧，且包围高温低温板20。并且，泵壳38容纳制冷机16。
[0049] 泵壳38以不与高温低温板20及制冷机16的低温部接触的方式固定于外部环境温度的部位（例如制冷机16的高温部）。泵壳38的外表面暴露于外部环境，温度高于被冷却的高温低温板20（例如室温左右）。
[0050] 泵壳38具备筒部40和制冷机容纳部42。筒部40向吸气口12沿轴向延伸。筒部40的轴向上端被开放，且在吸气口12具备泵壳开口端44。筒部40具有轴向下端被闭塞的筒形（例如圆筒）的形状，形成为杯状。筒形的制冷机容纳部42从筒部40的侧面突出。放射屏蔽件30容纳于筒部40，制冷机16容纳于制冷机容纳部42。
[0051] 筒部40及放射屏蔽件30均形成为大致圆筒状，且同轴配设。筒部40的内径稍大于放射屏蔽件30的外径，放射屏蔽件30与筒部40的内表面之间隔着若干间隔而以与筒部40不接触的状态配置。即，放射屏蔽件30的外表面与筒部40的内表面对置。另外，筒部
40及放射屏蔽件30的形状并不限定于圆筒形状，也可以是棱柱形状或椭圆形状等任何截面的筒形状。典型地放射屏蔽件30的形状成为与筒部40的内表面形状相似的形状。
40及放射屏蔽件30的形状并不限定于圆筒形状，也可以是棱柱形状或椭圆形状等任何截面的筒形状。典型地放射屏蔽件30的形状成为与筒部40的内表面形状相似的形状。
[0052] 泵壳开口端44在轴向上比屏蔽件开口端36更靠下方。即，屏蔽件开口端36朝向入口低温板32超过泵壳开口端44向上方伸长。
[0053] 并且，泵壳38在泵壳开口端44具备吸气口凸缘56。吸气口凸缘56是用于在安装对象的真空腔室上安装低温泵10的凸缘。吸气口凸缘56划分低温泵10的吸气口12。吸气口凸缘56从泵壳38的筒部40的上端朝向径向外侧延伸。吸气口凸缘56遍及泵壳38的整周而设置。
[0054] 如图3所示，当在真空腔室的开口设置有闸阀58时，在闸阀58上装配低温泵10。此时，闸阀58位于入口低温板32的轴向上方。闸阀58例如在使低温泵10再生时被关闭，通过低温泵10对真空腔室进行排气时被打开。
[0055] 闸阀58一般具备阀体60、用于阀体60的开闭驱动的驱动部（未图示）及可移动地容纳阀体60的阀箱62。阀箱62具有通过阀体60开闭的闸阀开口64。
[0056] 吸气口凸缘56构成为使低温泵10的吸气口12与闸阀开口64匹配。吸气口凸缘56安装于包围闸阀开口64的阀箱62的外周部分。沿轴向观察时，吸气口凸缘56的形状符合闸阀58的安装部分的形状，吸气口凸缘56抵接于该安装部分而保持内部的气密性。
[0057] 具体而言，吸气口凸缘56的外周部分68构成为使吸气口12与闸阀开口64匹配。外周部分68的轮廓具有与闸阀开口64的轮廓共同的形状。例如，闸阀开口64为圆形时，外周部分68成为相同的圆形。闸阀开口64为方形时外周部分68成为相同的方形。
[0058] 吸气口凸缘56具备内周部分66和外周部分68，内周部分66与外周部分68之间沿轴向形成有高度差D。内周部分66设置于泵壳开口端44的径向外侧。外周部分68为了安装低温泵10而设置，通过内周部分66连接于泵壳38。
[0059] 外周部分68在内周部分66的径向外侧向轴向上方伸出而形成。外周部分68在轴向上厚于内周部分66。外周部分68的上端面为用于安装的对准面72。对准面72抵接于闸阀开口64的周围，吸气口凸缘56安装于闸阀58的阀箱62上。外周部分68的下表面与内周部分66的下表面呈同一水平面。
[0060] 吸气口凸缘56的高度差D通过对准面72和内周部分66的上表面形成。高度差D形成用于收纳入口低温板32的扩张板52的凸缘凹部70。高度差D在吸气口凸缘56的外侧上端的角部73和内侧上端的角部75的中间。即，高度差D在吸气口凸缘56的上表面位于径向的外周面和内周面之间。
[0061] 凸缘凹部70是用于将扩张板52容纳于低温泵10中的环状空间，且形成低温泵10的内部空间14的一部分。凸缘凹部70形成在吸气口凸缘56的整周。在凸缘凹部70中内周部分66和扩张板52之间形成有轴向间隙G1。在凸缘凹部70中外周部分68和扩张板52之间形成有径向间隙G2。如此，入口低温板32以扩张板52不与吸气口凸缘56接触的方式被吸气口凸缘56包围。
[0062] 为了确保不与吸气口凸缘56接触，轴向间隙G1及径向间隙G2优选设为较大值。并且，间隙较大，由此从吸气口凸缘56向扩张板52的辐射热流入也变小。另一方面，为了防止气体向间隙流入，间隙较小更为理想。考虑这样的情况，优选轴向间隙G1及径向间隙G2例如大于5mm。
[0063] 并且，外周部分68的内周面与内周部分66的上表面正交。因此，高度差D为阶梯差。外周部分68的内周面为凸缘凹部侧面74，且内周部分66的上表面为凸缘凹部底面76。因此，在凸缘凹部底面76与扩张板52的下表面之间形成轴向间隙G1，在凸缘凹部侧面74与扩张板52的径向外端之间形成有径向间隙G2。
[0064] 另外，也可使凸缘凹部侧面74相对于凸缘凹部底面76倾斜，高度从凸缘凹部底面76向对准面72连续变化而在吸气口凸缘56形成高度差D。在这种情况下也同样能够在凸缘凹部70和扩张板52之间形成轴向间隙G1及径向间隙G2。
[0065] 关于轴向，扩张板52配置在对准面72和凸缘凹部底面76的中间。并且，关于径向，扩张板52从相当于屏蔽件开口端36的位置超过泵壳开口端44的上方而朝向凸缘凹部侧面74延伸。如此，入口低温板32容纳于低温泵10中。图示的例子中，扩张板52的上表面与对准面72的轴向位置基本一致。扩张板52的上表面可位于比对准面72稍微靠上方的位置，也可位于比对准面72稍微靠下方的位置。
[0066] 另外，在放射屏蔽件30与入口低温板32之间沿轴向存在间隙。具体而言，如图4所示，在屏蔽件开口端36与冷却板50之间存在间隙S。为了覆盖间隙S，入口低温板32具备裙部78。裙部78是为了限制通过间隙S的气体流动而设置。
[0067] 裙部78是围住冷却板50的短筒。裙部78和冷却板50形成将冷却板50作为底面的圆形托盘状的一体结构。该圆形托盘结构配置成被放射屏蔽件30所覆盖。因此，裙部78从冷却板50向轴向下方突出，且以间隙S向径向相邻地伸长。裙部78与间隙S（或屏蔽件开口端36）的径向距离为例如放射屏蔽件30的尺寸公差左右。
[0068] 裙部78沿轴向下方超过间隙S而向放射屏蔽件30与泵壳38之间伸长。裙部78在径向上比泵壳38更接近放射屏蔽件30。如此，裙部78和屏蔽件开口端36在径向上重叠，形成所谓迷宫结构（或弯曲的间隙）。通过这种迷宫结构能够使通过间隙S的气体流动极少。另外，裙部78和屏蔽件开口端36也可至少部分性地接触。裙部78也可在屏蔽件开口端36的径向内侧。
[0069] 入口低温板32与放射屏蔽件30之间的间隙S可因制造上的误差而变动。虽然这样的误差可通过精密部件的加工及组装下降，但考虑由此产生的制造成本的上升则未必一定是现实的。误差涉及到低温泵10的个体差。向放射屏蔽件30的内侧的气体的流入量根据间隙S的大小发生变化。气体的流入量与低温泵10的排气速度直接相关。无论间隙S过大或过小，实际的排气速度也与设计上的性能偏离。裙部78覆盖间隙S藉此限制通过间隙S的气体流动并降低个体差。其结果，还能够降低低温泵排气速度相对于设计性能的个体差。
[0070] 以下说明基于上述结构的低温泵10的动作。低温泵10工作时，首先在该工作之前以适当的粗抽泵将真空腔室内部粗抽至1Pa左右。之后使低温泵10工作。通过制冷机16的驱动使第1冷却台22及第2冷却台24冷却，与它们热连接的低温低温板18、高温低温板20也被冷却。
[0071] 入口低温板32冷却从真空腔室向低温泵10内部飞来的气体分子，使在该冷却温度下蒸汽压充分变低的气体（例如水分等）冷凝于表面而被排气。在入口低温板32的冷却温度下蒸汽压未充分变低的气体通过入口低温板32进入放射屏蔽件30内部。进入的气体分子中在低温低温板18的冷却温度下蒸汽压充分变低的气体冷凝于低温低温板18的表面而被排气。即使在该冷却温度下蒸汽压还未充分变低的气体（例如氢等）通过粘结于低温低温板18的表面并已被冷却的吸附剂吸附而被排气。如此，低温泵10能够使真空腔室的真空度达到所期望的水平。
[0072] 根据本发明的一实施方式，通过安装扩张板52，入口低温板32向径向外侧扩张。如此有助于排气速度的有效面积（即，在轴向观察时的投影面积）被扩大。因此，能够提高基于入口低温板32（例如水分）的排气速度。
[0073] 并且，扩张板52配置于吸气口凸缘56的凸缘凹部70，入口低温板32被容纳于低温泵10中。通过在吸气口凸缘56设置高度差D，不使入口低温板32向吸气口凸缘56的上方突出就能够扩大入口低温板32。通过将入口低温板32的扩张部分固定于低温泵内部，与闸阀58干涉的风险消失。因此，在扩张入口低温板32的基础上，能够在所期望的闸阀58上装配低温泵10。
[0074] 低温泵10适合以水的排气为主导的用途。由于入口低温板32被扩张，因此低温泵10能够有效地对水进行排气。在这样的用途中，以低于水的温度被捕集的气体的排气速度也可以比水小。这种较小的排气速度能够用小型的低温泵满足。
[0075] 但是，作为本业界的实情，低温泵吸气口的口径决定低温泵产品的备货品种。低温泵的制造商一般制造销售例如口径8英寸、10英寸、12英寸等间隔2英寸或4英寸的标准规格的低温泵。因此，所使用的低温泵不得不与安装对象的口径匹配来选择。
[0076] 但是，根据本实施方式所涉及的低温泵10，吸气口凸缘56与安装对象匹配。因此，能够通过使用匹配的吸气口凸缘56将小口径的低温泵安装在大口径的闸阀上。低温泵的小型化有助于真空系统的低成本化。例如，与12英寸的闸阀58匹配的吸气口凸缘56设置于8英寸的低温泵10。由此，能够将8英寸的低温泵10安装在12英寸的闸阀58上。
[0078] 图5是示意地表示本发明的其他一实施方式所涉及的低温泵10的图。该低温泵10从在扩张板52具备扩宽部80的一点来看，与已经叙述的实施方式不同。如图5所示，扩宽部80在扩张板支承部54的附近从扩张板52向径向外侧伸出。扩宽部80进一步扩大入口低温板32的有效面积。扩张板支承部54构成用于冷却扩张板52的传热路径。由于在其附近存在扩宽部80，能够将热亏损抑制得较小。
[0079] 另外，根据需要扩张板52也可反过来具有缩窄部。并且，扩张板52也可具有缺口部（即，扩张板52也可无需整周连续）。
[0080] 当真空腔室的开口上未设置有闸阀时，吸气口凸缘56也可构成为使低温泵10的吸气口12与真空腔室开口匹配。由此，低温泵10也可直接安装于真空腔室的开口。低温泵10通过使吸气口凸缘56匹配，能够安装于与吸气口12具有不同形状的安装对象的开口。例如，在至少一部分比吸气口12大径的安装对象的开口能够安装低温泵10。
[0081] 入口低温板32具备其他结构时也相同。例如，入口低温板32具备百叶窗结构时，入口低温板32的扩张部分可以是百叶窗叶片的一片或多片。这种叶片可设置于屏蔽件开口端36或泵壳开口端44的径向外侧来代替环状的扩张板52。
[0082] 放射屏蔽件30也可具备扩张面板34来代替扩张板52。例如，放射屏蔽件30也可具备从屏蔽件开口端36向径向外侧延伸的扩张屏蔽件部分。即使如此也能够得到与扩张板52相同的效果。
[0083] 并且，放射屏蔽件30的轴向上部直径也可比下部扩径。即放射屏蔽件30可具有使开放侧的端部向径向外侧膨胀的形状。放射屏蔽件30的扩径的部分也可容纳于凸缘凹部70。此时，扩张板52也可在放射屏蔽件30的径向内侧。
[0084] 当入口低温板32不具有扩张板52时，裙部78也可设置于冷却板50上。并且，也可以为入口低温板32固定于屏蔽件开口端36而闭塞间隙S来代替在冷却板50安装裙部78。
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