低温泵
阅读：926发布：2020-05-15
专利汇可以提供低温泵专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且低温 泵 的低温低温板部具备两个低温板构件(62)，其分别配置在低温冷却台的两侧从而夹着 低温泵 中 心轴 。各个低温板构件(62)具备：弓形状平坦部(75)，其具有圆弧部(78)及弦(79)；及第1弯曲部(76)，其与弓形状平坦部(75)形成为一体并在弦(79)的一部分处与弓形状平坦部(75)连接。弓形状平坦部(75)经由第1弯曲部(76)与低温冷却台热连接。各个低温板构件(62)的弓形状平坦部(75)的弦的剩余部分的形状形成为，不与制冷机发生干扰即可彼此互换两个低温板构件(62)的形状。，下面是低温泵专利的具体信息内容。
1.一种低温泵，其特征在于，具备：
制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；
放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其沿通过低温泵进气口的中心的低温泵中心轴的方向延伸并包围所述低温冷却台；及
低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接，且其与所述低温冷却台一同被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备两个低温板构件，该两个低温板构件配置在所述低温泵中心轴方向上的所述低温冷却台的上端与下端之间的高度位置并且分别配置于所述低温冷却台的两侧从而夹着所述低温泵中心轴，
各个低温板构件具备：弓形状平坦部，其具有圆弧部及弦；及第1弯曲部，其与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的一部分处与所述弓形状平坦部连接，所述弓形状平坦部经由所述第1弯曲部与所述低温冷却台热连接，从所述低温泵中心轴方向观察时，所述弓形状平坦部的圆弧部构成该低温板构件的外缘，
各个低温板构件的所述弓形状平坦部的所述弦的剩余部分的形状形成为，不与所述制冷机发生干扰即可彼此互换所述两个低温板构件的形状。
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
还具备两个安装面，所述两个安装面分别对应于所述两个低温板构件，所述第1弯曲部安装在对应的安装面上，
各个低温板构件具备与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的剩余部分的至少一部分处与所述弓形状平坦部连接的第2弯曲部，所述第2弯曲部配置成在所述弦的方向上脱离所述安装面。
3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，
所述第2弯曲部在所述弦的剩余部分的整个长度上与所述弓形状平坦部连接，并且在所述弦的方向上与所述第1弯曲部连接。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述两个低温板构件设计成同一部件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于,
所述两个低温板构件彼此之间的间隔设定为，所述低温冷却台在所述弦的方向上的任意位置均能插入于所述两个低温板构件彼此之间的大小。
6.根据权利要求5所述的低温泵，其特征在于，
所述两个低温板构件彼此之间的间隔在所述弦的方向上遍及弦的整个长度恒定。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述第1弯曲部相对于所述弓形状平坦部朝向上方弯曲并且具有供紧固构件穿过的孔，
所述孔配置在所述弦与所述第1弯曲部的上边之间的靠近所述上边的位置。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述制冷机的所述高温冷却台及低温冷却台沿与所述低温泵中心轴垂直的方向排列，所述低温泵还具备低温板定位构件，所述低温板定位构件支撑于所述低温冷却台并且从所述低温冷却台沿与所述低温泵中心轴垂直的方向延伸，
所述低温板定位构件以使各个低温板构件的弓形状平坦部的圆弧部的中心定位于所述低温泵中心轴上的方式支撑所述两个低温板构件。
9.一种低温泵，其特征在于，具备：
制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；
放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其沿通过低温泵进气口的中心的低温泵中心轴的方向延伸并包围所述低温冷却台；
低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接，且其与所述低温冷却台一同被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备两个低温板构件，该两个低温板构件分别配置在所述低温冷却台的两侧从而夹着所述低温泵中心轴；及
两个安装面，分别对应于所述两个低温板构件，
各个低温板构件具备：弓形状平坦部，其具有圆弧部及弦；及第1弯曲部，其与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的一部分处与所述弓形状平坦部连接，所述第1弯曲部安装在对应的安装面，所述弓形状平坦部经由所述第1弯曲部与所述低温冷却台热连接，各个低温板构件的所述弓形状平坦部的所述弦的剩余部分的形状形成为，不与所述制冷机发生干扰即可彼此互换所述两个低温板构件的形状，
各个低温板构件具备与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的剩余部分的至少一部分处与所述弓形状平坦部连接的第2弯曲部，所述第2弯曲部配置成在所述弦的方向上脱离所述安装面。
低温泵
技术领域
背景技术
[0003] 以往技术文献
[0005] 专利文献1：日本特开平7-35041号公报
发明内容
[0006] 发明要解决的技术课题
[0007] 本发明的一种实施方式的例示性的目的之一在于降低低温泵的制造成本。
[0008] 用于解决技术课题的手段
[0009] 根据本发明的一种实施方式提供一种低温泵，其具备：制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其沿通过低温泵进气口的中心的低温泵中心轴的方向延伸并包围所述低温冷却台；及低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接，且其与所述低温冷却台一同被所述放射屏蔽件包围。低温低温板部具备两个低温板构件，该两个低温板构件配置在所述低温泵中心轴方向上的所述低温冷却台的上端与下端之间的高度位置并且分别配置在所述低温冷却台的两侧从而夹着所述低温泵中心轴。各个低温板构件具备：弓形状平坦部，其具有圆弧部及弦；及第1弯曲部，其与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的一部分处与所述弓形状平坦部连接。所述弓形状平坦部经由所述第1弯曲部与所述低温冷却台热连接。从所述低温泵中心轴方向观察时，所述弓形状平坦部的圆弧部构成该低温板构件的外缘。各个低温板构件的所述弓形状平坦部的所述弦的剩余部分的形状形成为，不与所述制冷机发生干扰即可彼此互换所述两个低温板构件的形状。
[0010] 根据本发明的一种实施方式提供一种低温泵，其具备：制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其沿通过低温泵进气口的中心的低温泵中心轴的方向延伸并包围所述低温冷却台；低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接，且其与所述低温冷却台一同被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备两个低温板构件，该两个低温板构件分别配置在所述低温冷却台的两侧从而夹着所述低温泵中心轴；及两个安装面，分别对应于所述两个低温板构件。各个低温板构件具备：弓形状平坦部，其具有圆弧部及弦；及第1弯曲部，其与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的一部分处与所述弓形状平坦部连接。所述第1弯曲部安装在对应的安装面。所述弓形状平坦部经由所述第1弯曲部与所述低温冷却台热连接。各个低温板构件的所述弓形状平坦部的所述弦的剩余部分的形状形成为，不与所述制冷机发生干扰即可彼此互换所述两个低温板构件的形状。各个低温板构件具备与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的剩余部分的至少一部分处与所述弓形状平坦部连接的第2弯曲部，所述第2弯曲部配置成在所述弦的方向上脱离所述安装面。
[0011] 另外，在方法、装置、系统等之间相互替代本发明的构成要素或表现的的方式也作为本发明的方式而有效。
[0012] 发明效果
[0014] 图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的侧视剖面图。
[0015] 图2是概略地表示图1所示的低温泵的俯视图。
[0016] 图3是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的低温低温板部的一部分的立体图。
[0017] 图4是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的低温低温板部的一部分的立体图。
[0018] 图5是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的低温低温板部的一部分的立体图。
具体实施方式
[0019] 以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。在说明及附图中，对相同或相等的构成要素、构件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中适当设定各部分的比例尺和形状，除非另有说明，其并不作限定性解释。实施方式只是示例，并不对本发明的范围作任何限定。在实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是发明的本质。
[0020] 图1为概略地表示实施方式所涉及的低温泵10的侧视剖面图。图2是概略地表示图1所示的低温泵10的俯视图。图1表示包括用单点划线所示的低温泵中心轴C的剖面。但是，为了便于理解，图1中低温泵10的低温低温板部表示侧面而非剖面。图2是B-B线的向视图。
并且，图3及图4是概略地表示实施方式所涉及的低温泵10的低温低温板部的一部分的立体图。
并且，图3及图4是概略地表示实施方式所涉及的低温泵10的低温低温板部的一部分的立体图。
[0021] 低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射装置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并用于使真空腔室内部的真空度提高到所希望的真空处理中要求的水平。低温泵10具有用于从真空腔室接收待排出的气体的进气口12。气体通过进气口12进入到低温泵10的内部空间14。
[0022] 低温泵10可以以图示方向(即，以进气口12朝向上方的姿势)设置在真空腔室使用。但是，低温泵10的姿势并不限定于此，低温泵10也可以朝向其他方向设置在真空腔室。
[0023] 另外，以下为了更通俗易懂地表示低温泵10的构成要素之间的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”等术语。轴向表示通过进气口12的方向(图1中，通过进气口12的中心沿低温泵中心轴C的方向)，径向表示沿着进气口12的方向(与中心轴C垂直的方向)。为方便起见，有时将轴向上相对靠近进气口12的一侧称为“上”，相对远离进气口12的一侧称为“下”。即，有时将相对远离低温泵10底部的一侧称为“上”，相对靠近低温泵10底部的一侧称为“下”。关于径向，有时将靠近进气口12的中心(图1中为中心轴C)的一侧称为“内”，将靠近进气口12的周缘的一侧称为“外”。另外，这种表达方式与低温泵10安装在真空腔室时的配置无关。例如，低温泵10也可以以进气口12沿铅垂方向朝下的方式安装在真空腔室。
[0024] 并且，有时将围绕轴向的方向称为“周向”。周向为沿进气口12的第2方向，是与径向正交的切线方向。
[0025] 低温泵10具备制冷机16、第一级低温板18、第二级低温板组件20及低温泵壳体70。第一级低温板18又被称作高温低温板部或100K部。第二级低温板组件20又被称作低温低温板部或10K部。
[0026] 制冷机16例如为吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)等超低温制冷机。制冷机16为二级式制冷机。因此，制冷机16具备第1冷却台22及第2冷却台24。制冷机16构成为，将第1冷却台22冷却至第1冷却温度，将第2冷却台24冷却至第2冷却温度。第2冷却温度为低于第1冷却温度的温度。例如，第1冷却台22被冷却至65K～120K左右，优选被冷却至80K～100K，第2冷却台24被冷却至10K～20K左右。
[0027] 并且，制冷机16具备制冷机结构部21，该制冷机结构部21将第2冷却台24结构性地支撑在第1冷却台22并且将第1冷却台22结构性地支撑在制冷机16的室温部26。因此，制冷机结构部21具备沿着径向以同轴方式延伸的第1缸体23及第2缸体25。第1缸体23将制冷机16的室温部26连接于第1冷却台22。第2缸体25将第1冷却台22连接于第2冷却台24。室温部
26、第1缸体23、第1冷却台22、第2缸体25及第2冷却台24依次直线状排列成一列。
26、第1缸体23、第1冷却台22、第2缸体25及第2冷却台24依次直线状排列成一列。
[0028] 在第1缸体23及第2缸体25的内部，以能够往复移动的方式分别配设有第1置换器及第2置换器(未图示)。在第1置换器及第2置换器中分别组装有第1蓄冷器及第2蓄冷器(未图示)。并且，室温部26具有用于使第1置换器及第2置换器往复移动的驱动机构(未图示)。驱动机构包括流路切换机构，该流路切换机构切换工作气体的流路以便周期性地重复向制冷机16的内部供给工作气体(例如氦气)及从制冷机16的内部排出工作气体。
[0029] 第1冷却台22设置在制冷机16的第一级低温端。第1冷却台22为在与室温部26相反的一侧包围第1缸体23的端部从而包围工作气体的第1膨胀空间的构件。第1膨胀空间为形成在第1缸体23的内部的第1缸体23与第1置换器之间并且伴随第1置换器的往复移动其容积发生变化的可变容积。第1冷却台22由导热系数比第1缸体23的导热系数高的金属材料制成。例如，第1冷却台22由铜制成，第1缸体23由不锈钢制成。
[0030] 第2冷却台24设置在制冷机16的第二级低温端。第2冷却台24为在与室温部26相反的一侧包围第2缸体25的端部从而包围工作气体的第2膨胀空间的构件。第2膨胀空间为形成在第2缸体25内部的第2缸体25与第2置换器之间并且伴随第2置换器的往复移动其容积发生变化的可变容积。第2冷却台24由导热系数比第2缸体25的导热系数更高的金属材料制成。第2冷却台24由铜制成，第2缸体25由不锈钢制成。图1中示出了第2冷却台24与第2缸体25之间的边界24b。
[0031] 制冷机16连接于工作气体的压缩机(未图示)。制冷机16使通过压缩机加压的工作气体在制冷机16的内部膨胀从而对第1冷却台22及第2冷却台24进行冷却。膨胀的工作气体回收至压缩机并重新被加压。制冷机16通过重复进行包括工作气体的供给及排出以及与该工作气体的供给及排出同步的第1置换器及第2置换器的往复移动的热循环，从而产生寒冷。。
[0032] 图示的低温泵10为所谓的卧式低温泵。卧式低温泵通常是指制冷机16配设成与低温泵10的中心轴A交叉的(通常为正交)的低温泵。制冷机16的第1冷却台22及第2冷却台24沿与低温泵中心轴C垂直的方向(图1中为水平方向，且为制冷机16的中心轴D的方向)排列。
[0033] 第一级低温板18具备放射屏蔽件30及入口低温板32，且其包围第二级低温板组件20。第一级低温板18是为了从来自低温泵10外部或低温泵壳体70的辐射热保护第二级低温板组件20而设置的低温板。第一级低温板18与第1冷却台22热连接。因此，第一级低温板18被冷却至第1冷却温度。第一级低温板18与第二级低温板组件20之间具有间隙，第一级低温板18并未与第二级低温板组件20接触。
[0034] 放射屏蔽件30是为了从来自低温泵壳体70的辐射热保护第二级低温板组件20而设置的。放射屏蔽件30存在于低温泵壳体70与第二级低温板组件20之间，并且包围第二级低温板组件20。放射屏蔽件30具有用于从低温泵10的外部接收气体进入内部空间14的屏蔽件主开口34。屏蔽件主开口34位于进气口12。
[0035] 放射屏蔽件30具备：屏蔽件前端36，确定屏蔽件主开口34；屏蔽件底部38，位于与屏蔽件主开口34相反的一侧；及屏蔽件侧部40，将屏蔽件前端36连接于屏蔽件底部38。屏蔽件前端36构成屏蔽件侧部40的一部分。屏蔽件侧部40沿轴向从屏蔽件前端36朝向与屏蔽件主开口34相反的一侧延伸，并且以包围第2冷却台24的方式沿周向延伸。放射屏蔽件30具有屏蔽件底部38被封闭的筒状(例如圆筒)形状，其形成为杯状。在屏蔽件侧部40与第二级低温板组件20之间形成有环状间隙42。
[0036] 另外，屏蔽件底部38可以为与屏蔽件侧部40不同的另一构件。例如，屏蔽件底部38可以为直径与屏蔽件侧部40的直径大致相同的平坦的圆盘，并在与屏蔽件主开口34相反的一侧安装于屏蔽件侧部40。并且，屏蔽件底部38也可以构成为，其至少一部分开放。例如，放射屏蔽件30也可以构成为，不被屏蔽件底部38封闭。即，屏蔽件侧部40两端也可以被开放。
[0037] 屏蔽件侧部40具有供制冷机结构部21插入的屏蔽件侧部开口44。第2冷却台24及第2缸体25从放射屏蔽件30的外部通过屏蔽件侧部开口44插入到放射屏蔽件30中。屏蔽件侧部开口44为形成在屏蔽件侧部40的安装孔，其形状例如为圆形。第1冷却台22配置在放射屏蔽件30的外部。
[0038] 屏蔽件侧部40具备制冷机16的安装座46。安装座46为用于将第1冷却台22安装于放射屏蔽件30的平坦部分，从放射屏蔽件30的外部观察时，其稍微凹陷。安装座46形成屏蔽件侧部开口44的外周。在轴向上，安装座46相比屏蔽件前端36更靠近屏蔽件底部38。通过将第1冷却台22安装于安装座46，放射屏蔽件30与第1冷却台22热连接。
[0039] 在一种实施方式中，放射屏蔽件30也可以经由追加的导热构件而与第1冷却台22热连接，从而代替上述直接将放射屏蔽件30安装在第1冷却台22。导热构件例如可以为两端具有凸缘的中空的短筒。导热构件可以通过其中一端的凸缘固定在安装座46，通过另一端的凸缘固定在第1冷却台22。导热构件可以包围制冷机结构部21而从第1冷却台22延伸至放射屏蔽件30。屏蔽件侧部40也可以包括这种导热构件。
[0040] 在图示的实施方式中，放射屏蔽件30一体地形成为筒状。取而代之，放射屏蔽件30也可以构成为通过组合多个零件而使其整体成为筒状。这些多个零件也可以配设成彼此之间具有间隙。例如，放射屏蔽件30可以在轴向上分割为两个部分。此时，放射屏蔽件30的上部为两端开放的筒，具备屏蔽件前端36及屏蔽件侧部40的第1部分。放射屏蔽件30的下部构成为，上端开放而下端封闭，具备屏蔽件侧部40的第2部分及屏蔽件底部38。如上所述，放射屏蔽件30的下部可以为不具有屏蔽件底部38而其两端开放的筒。在屏蔽件侧部40的第1部分与第2部分之间形成有沿周向延伸的狭缝。该狭缝可以为屏蔽件侧部开口44的至少一部分。或者，屏蔽件侧部开口44可以构成为，其上半部分形成在屏蔽件侧部40的第1部分，其下半部分形成在屏蔽件侧部40的第2部分。
[0041] 入口低温板32为了从来自低温泵10外部的热源的辐射热保护第二级低温板组件20而设置于屏蔽件主开口34。低温泵10外部的热源例如为安装有低温泵10的真空腔室内的热源。入口低温板32不仅能够限制辐射热进入，还能够限制气体分子的进入。入口低温板32占据屏蔽件主开口34的开口面积的一部分，以便将通过屏蔽件主开口34而流入内部空间14的气体限制在所希望的量。在入口低温板32与屏蔽件前端36之间形成有环状的开放区域
48。
48。
[0042] 入口低温板32具备百叶窗部50及用于将百叶窗部50安装在屏蔽件前端36的百叶窗安装构件52。百叶窗安装构件52为沿着屏蔽件主开口34的直径架设在屏蔽件前端36的棒状的构件。入口低温板32经由百叶窗安装构件52及放射屏蔽件30而与第1冷却台22热连接。
[0043] 百叶窗部50具有在屏蔽件主开口34分别沿第1方向直线状延伸的多个百叶窗板。多个百叶窗板在屏蔽件主开口34沿与第1方向垂直的第2方向排列。多个百叶窗板排列成彼此平行，各个百叶窗板配置成相对于开口面倾斜。如附图所示，相对于中心轴C位于一侧的百叶窗板与位于另一侧的百叶窗板彼此逆向倾斜。多个百叶窗板以覆盖位于其正下方的第二级低温板组件20的方式(即，从低温泵10的外部看不到第二级低温板组件20的方式)沿第
2方向紧密地排列。多个百叶窗板分别具有彼此不同的第1方向长度，以使其排列后整体形成为圆形。百叶窗安装构件52沿第2方向延伸。
2方向紧密地排列。多个百叶窗板分别具有彼此不同的第1方向长度，以使其排列后整体形成为圆形。百叶窗安装构件52沿第2方向延伸。
[0044] 因此，需要使用低温泵10进行排气的气体从低温泵10的外部通过百叶窗部50的百叶窗板之间的间隙或开放区域48而进入到内部空间14。
[0045] 入口低温板32也可以具有其他形状。例如，百叶窗部50也可以具有同心状配置的多个环状的百叶窗板。或者，入口低温板32还可以为一张板状构件。
[0046] 第二级低温板组件20以包围第2冷却台24的方式安装在第2冷却台24。因此，第二级低温板组件20与第2冷却台24热连接，第二级低温板组件20被冷却至第2冷却温度。第二级低温板组件20与第2冷却台24一同被屏蔽件侧部40包围。
[0047] 第二级低温板组件20具备与屏蔽件主开口34对置的顶部低温板60、多个(本例子中为两个)低温板构件62及低温板安装构件64。
[0048] 并且，如图1所示，低温泵10具备低温板定位构件67。将第二级低温板组件20热连接于第2冷却台24的导热部包括低温板安装构件64及低温板定位构件67。
[0049] 顶部低温板60及低温板构件62与屏蔽件侧部40之间形成有环状间隙42，因此，顶部低温板60及低温板构件62均未与放射屏蔽件30接触。低温板构件62被顶部低温板60覆盖。
[0050] 顶部低温板60为第二级低温板组件20中最靠近入口低温板32的部分。顶部低温板60在轴向上配置在屏蔽件主开口34或入口低温板32与制冷机16之间。顶部低温板60在轴向上位于低温泵10的内部空间14的中心部。因此，在顶部低温板60的正面(上表面)与入口低温板32之间形成有宽广的冷凝层的主容纳空间65。冷凝层的主容纳空间65占据内部空间14的上半部分。
[0051] 顶部低温板60为与轴向垂直配置的大致平板状的低温板。即，顶部低温板60沿径向及周向延伸。如图2所示，顶部低温板60为尺寸(例如，投影面积)比百叶窗部50的尺寸大的圆板状板。但是，顶部低温板60与百叶窗部50之间的尺寸关系并不限定于此，也可以设为顶部低温板60更小，或者也可以设为两者具有大致相同的尺寸。
[0052] 顶部低温板60配置成在其与制冷机结构部21之间形成有间隙区域66。间隙区域66为在顶部低温板60的背面(下表面)与第2缸体25之间沿轴向形成的空间。
[0053] 在低温板构件62设置有活性碳等吸附材料74。吸附材料74例如粘贴在低温板构件62的背面(下表面)。低温板构件62的正面(上表面)作为冷凝面而发挥功能，背面作为吸附面而发挥功能。在低温板构件62的正面也可以设置吸附材料74。同样地，顶部低温板60也可以在其正面及/或背面具有吸附材料74。或者，顶部低温板60可以不具备吸附材料74。
[0054] 两个低温板构件62夹着低温泵中心轴C而分别配置在第2冷却台24的两侧。低温板构件62沿着与低温泵中心轴C垂直的平面而配置。为便于理解，图2中用虚线表示低温板构件62及低温板安装构件64。
[0055] 两个低温板构件62配置在低温泵中心轴C的方向上的第2冷却台24的上端与下端之间的高度位置。第2冷却台24在与低温泵中心轴C垂直的方向(制冷机16的中心轴D的方向)上的末端具备凸缘部24a。低温泵中心轴C的方向上的第2冷却台24的上端及下端被凸缘部24a确定。即，两个低温板构件62配置在低温泵中心轴C的方向上的第2冷却台24的凸缘部24a的上端与下端之间的高度位置。两个低温板构件62配置在相同的高度。图1所示的第2冷却台24与第2缸体25之间的边界24b确定制冷机16的中心轴D的方向上的第2冷却台24的另一端部(即，与凸缘部24a相反一侧的端部)。
[0056] 图3中示出了两个低温板构件62及低温板安装构件64，图4中示出了一个低温板构件62。
[0057] 两个低温板构件62设计成同一部件。两个低温板构件62具有相同的形状，且由相同的材料制成。低温板构件62具有弓形状、半月状或半圆状的形状。低温板构件62例如由铜等高导热系数的金属材料制成，并且例如可以被镍等镀层包覆。
[0058] 低温板安装构件64具备与两个低温板构件62分别对应的两个安装面68。低温板安装构件64为具有方形的倒U字形形状的托架，又是用于从第2冷却台24向顶部低温板60及低温板构件62导热的导热板。两个安装面68相当于低温板安装构件64的两个侧面。低温板构件62通过紧固构件87(例如，柳钉)而安装在对应的安装面68。
[0059] 顶部低温板60安装在连结这些安装面68的低温板安装构件64的上表面69。安装面68从上表面69的两侧朝向下方相对于上表面69垂直延伸。
[0060] 第2冷却台24及低温板定位构件67沿制冷机16的中心轴D的方向插入于低温板安装构件64的内侧，第2冷却台24经由低温板定位构件67安装于低温板安装构件64。低温板定位构件67安装在低温板安装构件64的上表面69(与顶部低温板60相反的一侧)。顶部低温板60、低温板安装构件64及低温板定位构件67通过紧固构件(例如，螺栓)而一体地固定在第2冷却台24。
[0061] 各个低温板构件62具备弓形状平坦部75、第1弯曲部76及第2弯曲部77。各个低温板构件62由单一的金属板形成。通过对一张平坦的金属板实施例如冲压加工，一体地形成第1弯曲部76、第2弯曲部77及弓形状平坦部75，从而制作出一个低温板构件62。吸附材料74设置在弓形状平坦部75。在第1弯曲部76及第2弯曲部77并未设置有吸附材料74。
[0062] 弓形状平坦部75具有圆弧部78及弦79。弦79为连结圆弧部78的两端的一根直线。圆弧部78及弦79位于与低温泵中心轴C垂直的平面上，并且从低温泵中心轴C的方向观察时确定低温板构件62的轮廓。圆弧部78确定低温板构件62的外缘，弦79确定低温板构件62的内缘。低温板构件62以圆弧部78靠近放射屏蔽件30的屏蔽件侧部40，而弦79靠近制冷机16的第2冷却台24及第2缸体25的方式配置。弦79与制冷机16的轴向D平行，弦79的一半沿着制冷机16的第2冷却台24及第2缸体25延伸，而另一半则超过第2冷却台24而朝向屏蔽件侧部
40延伸。
40延伸。
[0063] 弓形状平坦部75的整个区域平坦，尤其，其包括圆弧部78的外缘部平坦。在这方面，低温板构件62的形状与在外周部具有圆锥台状倾斜面的典型的低温板的形状不同。
[0064] 第1弯曲部76在弦79的一部分(具体而言，在弦79的中央部)处与弓形状平状坦部75连接。第1弯曲部76作为用于将低温板构件62紧固在低温板安装构件64的紧固部而设置。
第1弯曲部76安装在低温板安装构件64的对应的安装面68。弓形状平坦部75经由第1弯曲部
76与第2冷却台24热连接。第1弯曲部76为与弓形状平坦部75形成角度(例如直角)的矩形状的部分。第1弯曲部76相对于弓形状平坦部75垂直。第1弯曲部76沿弦79的方向细长，弦79的方向上的第1弯曲部76的宽度与低温板安装构件64的安装面68的宽度大致相等。
第1弯曲部76安装在低温板安装构件64的对应的安装面68。弓形状平坦部75经由第1弯曲部
76与第2冷却台24热连接。第1弯曲部76为与弓形状平坦部75形成角度(例如直角)的矩形状的部分。第1弯曲部76相对于弓形状平坦部75垂直。第1弯曲部76沿弦79的方向细长，弦79的方向上的第1弯曲部76的宽度与低温板安装构件64的安装面68的宽度大致相等。
[0065] 第1弯曲部76相对于弓形状平坦部75朝向上方弯曲，并且具有供紧固构件87穿过的紧固孔88。紧固孔88配置在弦79与第1弯曲部76的上边76a之间的靠近上边的位置。紧固孔88形成在比弦79与第1弯曲部76的上边76a之间的中间线89更靠上方。
[0066] 采用上述结构，紧固孔88与弓形状平坦部75之间的距离变大，因此，操作人员容易操作用于紧固的工具(例如，柳钉枪)，能够提高制造工艺中的操作性。并且，根据该结构，在低温板构件62安装于低温板安装构件64的情况下施加于低温板构件62的弓形状平坦部75的重力作为使第1弯曲部76按压于安装面68的力矩而发挥作用。因此，与其他安装结构(例如，安装用的弯曲部相对于低温板构件朝向下方弯曲，并在弯曲部的下边附近紧固在安装面的情况)相比，弓形状平坦部75相对于安装面68倾斜的情况得到抑制。
[0067] 第2弯曲部77在弦79的剩余部分(即，未设置有第1弯曲部76的部分)的至少一部分(具体而言，在弦79的两端部)处与弓形状平坦部75连接。第2弯曲部77配置成在弦79的方向上脱离低温板安装构件64的安装面68。第2弯曲部77相对于安装面68位于外侧。第2弯曲部77为与弓形状平坦部75形成角度(例如，直角)的边缘部，并且沿弦79的方向细长地延伸。第
2弯曲部77相对于弓形状平坦部75垂直。
2弯曲部77相对于弓形状平坦部75垂直。
[0068] 第2弯曲部77作为低温板构件62的刚性增强部而设置。第2弯曲部77能够抑制弓形状平坦部75变形。尤其，在低温板构件62相对较大的情况下，与安装面68的宽度(即，弦79的中央部的长度)相比，成为安装面68的外侧的弦79的端部的长度变长，其结果，弓形状平坦部75的两端部会在重力作用下容易产生弯曲或倾斜等变形。由于设置有第2弯曲部77，因此，即使低温板构件62相对较大也能够抑制其变形。
[0069] 第2弯曲部77遍及弦79的剩余部分的整个长度而与弓形状平坦部75连接。因此，在弦79的方向上，第2弯曲部77与第1弯曲部76连接。由于第2弯曲部77遍及弦79的剩余部分的整个长度，因此能够更有效地抑制低温板构件62的变形。
[0070] 与第1弯曲部76同样，第2弯曲部77也相对于弓形状平坦部75朝向上方弯曲。第2弯曲部77的自弓形状平坦部75的高度比第1弯曲部76的自弓形状平状坦部75的高度更低。采用上述结构，第2弯曲部77不易与周围的构成要素(例如，在低温泵中心轴C的方向上相邻配置的其他低温板)发生干扰。并且，容易沿轴向紧密地配置多个低温板构件62。例如，第2弯曲部77的高度可以设为比弦79与第1弯曲部76的上边76a之间的中间线89的高度更低。
[0071] 另外，第2弯曲部77还可以朝向与第1弯曲部76不同的方向弯曲或以与第1弯曲部76不同的角度弯曲。例如，可以将第1弯曲部76朝向上方弯曲，将第2弯曲部77朝向下方弯曲。也可以将第1弯曲部76弯曲成相对于弓形状平坦部75垂直，将第2弯曲部77弯曲成相对于弓形状平坦部75倾斜的角度。
[0072] 第2弯曲部77也可以仅设置在弦79的剩余部分(即，未设置有第1弯曲部76的部分)的一部分上。
[0073] 如图2所示，从低温泵中心轴C的方向观察时，两个低温板构件62配置成以两者的中间线(制冷机16的中心轴D)为对称轴而彼此对称。两个低温板构件62的圆弧部78位于以低温泵中心轴C为中心的同一圆周上。并且，各个低温板构件62具有以通过弦79的中点(或低温泵中心轴C)且与弦79垂直的线E为对称轴而线对称的形状。
[0074] 各个低温板构件62的弓形状平坦部75的弦79的剩余部分(即，未设置有第1弯曲部76的部分)的形状构成为，不与制冷机16(例如，第2冷却台24及第2缸体25)发生干扰即可彼此互换两个低温板构件62的形状。
[0075] 作为1个例示性的结构，两个低温板构件62之间的间隔90的大小设定为，在弦79的方向上的任一位置均能够使第2冷却台24插入于两个低温板构件62之间。两个低温板构件62之间的间隔90在弦方向上遍及弦的整个长度恒定。
[0076] 如此，两个低温板构件62具有互换性。一种低温板构件62能够安装在低温板安装构件64的两个安装面68的任何一个安装面上。在将一种低温板构件62安装在一个安装面68上时和安装在另一个安装面68上时，低温板构件62的圆弧部78均位于同一圆周上。并且，在将一种低温板构件62安装在一个安装面68上时和安装在另一个安装面68上时，低温板构件62的弦79距制冷机16的中心轴D位于相等的距离。低温板构件62能够不与制冷机16的第2冷却台24及第2缸体25发生干扰地安装在两个安装面68中的任何一个安装面上。
[0077] 如图1所示，低温板定位构件67固定在第2冷却台24的凸缘部24a，从而支撑在第2冷却台24。低温板定位构件67形成为上下颠倒的倒L字状。低温板定位构件67的纵边部例如通过螺栓等适当的紧固构件安装在凸缘部24a。低温板定位构件67的上边部67a从第2冷却台24的凸缘部24a沿制冷机16的中心轴D的方向延伸。该上边部67a在低温板安装构件64之内沿着第2冷却台24或第2缸体25朝向第1冷却台22延伸。
[0078] 第2冷却台24在制冷机16的中心轴D的方向上脱离低温泵中心轴C。制冷机16的中心轴D的方向上的从放射屏蔽件30的安装座46至第2冷却台24的凸缘部24a为止的距离短于制冷机16的中心轴D的方向上的放射屏蔽件30的安装座46至低温泵中心轴C为止的距离(相反，也可以更长)。因此，假设第二级低温板组件20配置在第2冷却台24的正上方，则第二级低温板组件20会在制冷机16的中心轴D的方向上从低温泵中心轴C偏移。
[0079] 但是，低温板定位构件67以使各个低温板构件62的圆弧部78的中心定位在低温泵中心轴C上的方式支撑两个低温板构件62。低温板定位构件67形成为，能够将低温板安装构件64配置在使低温板构件62与低温泵中心轴C对位的适当的位置。由此，第二级低温板组件20定位于低温泵中心轴C上。
[0080] 通过使用低温板定位构件67，中心轴D方向上的制冷机16的长度限制得到缓和。其结果，能够代替专门为低温泵10设计的制冷机而采用现有的制冷机。这有助于降低低温泵10的制造成本。
[0081] 另外，为了使低温泵中心轴C与第二级低温板组件20对位，与图1所示相反地，也可以使低温板定位构件67的上边部67a从第2冷却台24的凸缘部24a沿着制冷机16的中心轴D的方向朝向远离第2缸体25的方向延伸。关于具有大口径的进气口12的低温泵10，优选使用具有这种形状的低温板定位构件67。
[0082] 低温泵壳体70为容纳第一级低温板18、第二级低温板组件20及制冷机16的低温泵10的筐体，并且是以保持内部空间14的真空气密的方式构成的真空容器。低温泵壳体70以非接触方式包围第一级低温板18及制冷机结构部21。低温泵壳体70安装在制冷机16的室温部26。
[0083] 通过低温泵壳体70的前端划定进气口12。低温泵壳体70具备从其前端朝向径向外侧延伸的进气口凸缘72。进气口凸缘72遍及低温泵壳体70的整周而设置。低温泵10利用进气口凸缘72安装在真空排气对象的真空腔室。
[0084] 低温泵10具备气体流向调整构件80，该气体流向调整构件80使从屏蔽件主开口34流入的气体流向从制冷机结构部21偏离。气体流向调整构件80构成为，使通过百叶窗部50或开放区域48而流入主容纳空间65的气体流向从第2缸体25偏离。气体流向调整构件80可以为在制冷机结构部21或第2缸体25的上方与其相邻配置的气体流向偏向构件或气体流向反射构件。气体流向调整构件80例如为一张平坦板，但也可以弯曲。
[0085] 气体流向调整构件80以与第2冷却台24及第二级低温板组件20这两个非接触的方式与制冷机结构部21相邻配置。气体流向调整构件80以与第2冷却台24、第二级低温板组件20及第2缸体25均未接触的方式沿着第2缸体25配置。气体流向调整构件80与第2缸体25之间形成有间隙86。由此，气体流向调整构件80与被冷却至第2冷却温度的部分及支撑该部分的结构部热分离且结构分离。
[0086] 气体流向调整构件80从屏蔽件侧部40朝向间隙区域66延伸，其与第1冷却台22热连接。气体流向调整构件80支撑于屏蔽件侧部40。因此，气体流向调整构件80被冷却至第1冷却温度。
[0087] 气体流向调整构件80以至少堵住环状间隙42的一部分的方式沿着屏蔽件侧部40且沿周向延伸。气体流向调整构件80在周向上设置在与屏蔽件侧部开口44相同的位置中的一部分上。气体流向调整构件80俯视时呈矩形形状。另外，气体流向调整构件80沿周向更长，例如也可以沿着屏蔽件侧部40而设置在整周上。
[0088] 气体流向调整构件80的基端部82(即，安装在屏蔽件侧部40的部分)在径向上位于百叶窗部50的外侧，因此，如图2所示，其暴露于进气口12。从低温泵10的外部通过开放区域48及环状间隙42可以看到气体流向调整构件80的基端部82。从轴向观察时，基端部82未与顶部低温板60重叠。
[0089] 气体流向调整构件80的前端部84进入到间隙区域66，被顶部低温板60覆盖。该前端部84在低温泵的径向上配置在顶部低温板60的外周端与中心轴C之间。前端部84不会并未抵达第2冷却台24，因此，如上所述，气体流向调整构件80未与第2冷却台24接触。
[0090] 如此，通过使气体流向调整构件80插入于顶部低温板60与第2缸体25之间的间隙区域66，间隙区域66的入口变窄。因此，能够减少从主容纳空间65流入间隙区域66的气体。
[0091] 下面，对上述结构的低温泵10的动作进行说明。在低温泵10工作时，首先，在其工作之前利用其他适当的粗抽泵将真空腔室内部粗抽至1Pa左右。之后，使低温泵10工作。第1冷却台22及第2冷却台24通过制冷机16的驱动而分别被冷却至第1冷却温度及第2冷却温度。因此，分别与第1冷却台22及第2冷却台24热连接的第一级低温板18及第二级低温板组件20也分别被冷却至第1冷却温度及第2冷却温度。气体流向调整构件80与第1冷却台22热连接，因此其被冷却至第1冷却温度。
[0092] 入口低温板32冷却从真空腔室朝向低温泵10飞来的气体。在第1冷却温度下蒸气压充分降低的(例如10-8Pa以下的)气体在入口低温板32的表面冷凝。该气体也可称作第1种气体。第1种气体例如为水蒸气。如此，入口低温板32能够排出第1种气体。在第1冷却温度下蒸气压为充分降低的气体的一部分通过百叶窗部50或开放区域48而进入至主容纳空间65。或者，气体的另一部分被入口低温板32反射而未进入主容纳空间65。
[0093] 进入到主容纳空间65的气体被第二级低温板组件20冷却。在第2冷却温度下蒸气压充分降低的(例如10-8Pa以下的)气体在第二级低温板组件20的表面冷凝。该气体也可称作第2种气体。第2种气体例如为氩气。如此，第二级低温板组件20能够排出第2种气体。由于顶部低温板60直接面向主容纳空间65，因此在顶部低温板60的正面，第2种气体的冷凝层能够会大幅成长。另外，第2种气体在第1冷却温度下不会冷凝而是气体。
[0094] 在第2冷却温度下蒸气压未充分降低的气体被第二级低温板组件20的吸附材料吸附。该气体也可称作第3种气体。第3种气体例如为氢气。如此，第二级低温板组件20能够排出第3种气体。因此，低温泵10通过冷凝或吸附来排出各种气体，从而能够使真空腔室的真空度达到所希望的程度。
[0095] 如上所述，两个低温板构件62具有互换性。两个低温板构件62的至少一部分形状相同。因此，能够使第二级低温板组件20的制造工艺的至少一部分通用化，因此有助于降低低温泵10的制造成本。尤其，在该实施方式中，两个低温板构件62设计成同一组件。两个低温板构件在相同的制造工艺中制造。低温泵的组件种类得到减少。能够进一步降低制造成本。
[0096] 也可以将该构思应用到直径互不相同的低温板构件62上，从而使其制造工艺的一部分通用化。在直径不同的低温板构件中，通过将第1弯曲部76(紧固部)设为相同形状并将弓形状平坦部75的圆弧部78设为平坦，从而能够使冲压加工用的模具通用化。可以利用为了对大直径的低温板构件62进行冲压加工(例如，弯曲加工、穿孔加工)而设计的模具来对比其小径的低温板构件62进行冲压加工。模具通常比较昂贵，因此模具的通用化对制造成本的降低相当有效。这对需要提供进气口12的口径互不相同的多种低温泵10的制造商来说是有利的。
[0097] 如上所述，在低温泵10设置有气体流向调整构件80。气体流向调整构件80覆盖第2缸体25，因此，第2缸体25不会从屏蔽件主开口34暴露。气体流向调整构件80能够使从主容纳空间65朝向第2缸体25的第2种气体流向其他方向。因此，虽然在第2缸体25的表面具有从第1冷却温度到第2冷却温度的温度分布，但在第2冷却温度或与其相近温度的表面部分几乎或完全没有冷凝的第2种气体。并且，由于气体流向调整构件80具有第1冷却温度，因此第2种气体不会冷凝于气体流向调整构件80的表面。
[0098] 进入到主容纳空间65的气体的一部分会被气体流向调整构件80反射。被反射的气体的至少一部分朝向第二级低温板组件20。或者，被反射的气体的一部分会朝向放射屏蔽件30或入口低温板32，并在此重新被反射后朝向第二级低温板组件20。如此，第二级低温板组件20能够通过冷凝排出第2种气体并且通过吸附排出第3种气体。
[0099] 低温泵通常具备温度互不相同的两种低温板。在低温的低温板上有气体冷凝。伴随低温泵的使用，冷凝层在低温低温板上成长。同样地，在支撑低温低温板的结构部，冷凝层也会成长。成长的冷凝层最终会与高温的低温板接触。如此一来，在高温低温板与冷凝层的接触部位，气体会重新气化而释放到周围。从冷凝层的气体释放会妨碍低温泵充分发挥其作用。因此，接触时刻的的气体的吸留量成为低温泵的最大吸留量。
[0100] 但是，根据实施方式所涉及的低温泵10，气体流向调整构件80能够减缓或防止冷凝层在第1冷却温度的部位与第2冷却温度的部位彼此靠近的部位成长。因此，低温泵10能够减缓或防止冷凝层与第1冷却温度的部位接触，甚至能够减缓或防止冷凝层的重新气化。其结果，能够在主容纳空间65的顶部低温板60的正面冷凝大量的第2种气体。因此，能够提高低温泵10的气体吸留量。
[0101] 以上根据实施方式对本发明进行了说明。本领域技术人员当然可以理解，本发明并不限定于上述实施方式，其能够进行各种设计变更并存在各种变形例，并且这种变形例也属于本发明的范围。
[0102] 例如，如图5所示，在低温板安装构件64的各个安装面68可以安装多个低温板构件62。在各个安装面68，多个(本例中为两个)低温板构件62沿低温泵中心轴的方向排列安装。
如此一来，可以在制冷机16的第2冷却台24的两侧分别配置多个低温板构件62。
如此一来，可以在制冷机16的第2冷却台24的两侧分别配置多个低温板构件62。
[0103] 以上，举例说明了卧式低温泵10。但是，本发明也可以应用于所谓的立式低温泵。立式低温泵通常是指：制冷机16沿着低温泵中心轴C而配设的低温泵。
[0104] 低温板构件62的形状并不限定于上述形状，也可以采用其他形状。弓形状平坦部75、第1弯曲部76及/或第2弯曲部77也可以设为其整体并不完全平坦。例如，弓形状平坦部
75可以在某一部位(例如，除圆弧部78以外的部位)具有倾斜面、凹部或凸部。并且，低温板构件62的圆弧部78并不要求一定是严格意义上的圆弧。同样地，低温板构件62的弦79也并不要求一定是严格意义上的直线。弓形状平坦部75、第1弯曲部76及/或第2弯曲部77也可以具有孔或狭缝等开口部。
75可以在某一部位(例如，除圆弧部78以外的部位)具有倾斜面、凹部或凸部。并且，低温板构件62的圆弧部78并不要求一定是严格意义上的圆弧。同样地，低温板构件62的弦79也并不要求一定是严格意义上的直线。弓形状平坦部75、第1弯曲部76及/或第2弯曲部77也可以具有孔或狭缝等开口部。
[0105] 在上述实施方式中，放射屏蔽件30的安装座46形成在放射屏蔽件30的下半部分。因此，第2冷却台24在低温泵中心轴C的方向上比较靠近屏蔽件底部38。但是，这种第2冷却台24的配置并不是必须的。放射屏蔽件30的安装座46也可以形成在放射屏蔽件30的上半部分，以使第2冷却台24在低温泵中心轴C的方向上靠近屏蔽件前端36配置。并且，放射屏蔽件
30的安装座46也可以在低温泵中心轴C的方向上形成在屏蔽件侧部40的中央部，以使第2冷却台24在低温泵中心轴C的方向上配置在放射屏蔽件30的中心。
30的安装座46也可以在低温泵中心轴C的方向上形成在屏蔽件侧部40的中央部，以使第2冷却台24在低温泵中心轴C的方向上配置在放射屏蔽件30的中心。
[0106] 本发明的实施方式还可以表现为如下。
[0107] 1.一种低温泵，其特征在于，具备：
[0108] 制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；
[0109] 放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其沿通过低温泵进气口的中心的低温泵中心轴的方向延伸并包围所述低温冷却台；及
[0110] 低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接，且其与所述低温冷却台一同被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备两个低温板构件，该两个低温板构件配置在所述低温泵中心轴方向上的所述低温冷却台的上端与下端之间的高度位置并且分别配置在所述低温冷却台的两侧从而夹着所述低温泵中心轴，
[0111] 各个低温板构件具备：弓形状平坦部，其具有圆弧部及弦；及第1弯曲部，其与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的一部分处与所述弓形状平坦部连接，所述弓形状平坦部经由所述第1弯曲部与所述低温冷却台热连接，从所述低温泵中心轴方向观察时，所述弓形状平坦部的圆弧部构成该低温板构件的外缘，
[0112] 各个低温板构件的所述弓形状平坦部的所述弦的剩余部分的形状形成为，不与所述制冷机发生干扰即可彼此互换所述两个低温板构件的形状。
[0113] 2.根据实施方式1所述的低温泵，其特征在于，
[0114] 还具备两个安装面，所述两个安装面分别对应于所述两个低温板构件，所述第1弯曲部安装在对应的安装面上，
[0115] 各个低温板构件具备与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的剩余部分的至少一部分处与所述弓形状平坦部连接的第2弯曲部，所述第2弯曲部配置成在所述弦的方向上脱离所述安装面。
[0116] 3.根据实施方式2所述的低温泵，其特征在于，
[0117] 所述第2弯曲部在所述弦的剩余部分的整个长度上与所述弓形状平坦部连接，并且在所述弦的方向上与所述第1弯曲部连接。
[0118] 4.根据实施方式1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0119] 所述两个低温板构件设计成同一部件。
[0120] 5.根据实施方式1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0121] 所述两个低温板构件彼此之间的间隔设定为，所述低温冷却台在所述弦的方向上的任意位置均能够插入于所述两个低温板构件彼此之间的大小。
[0122] 6.根据实施方式5所述的低温泵，其特征在于，
[0123] 所述两个低温板构件彼此之间的间隔在所述弦的方向上遍及弦的整个长度而恒定。
[0124] 7.根据实施方式1至6中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0125] 所述第1弯曲部相对于所述弓形状平坦部朝向上方弯曲并且具有供紧固构件穿过的孔，
[0126] 所述孔配置在所述弦与所述第1弯曲部的上边之间的靠近所述上边的位置。
[0127] 8.根据实施方式1至7中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0128] 所述制冷机的所述高温冷却台及低温冷却台沿与所述低温泵中心轴垂直的方向排列，
[0129] 所述低温泵还具备低温板定位构件，所述低温板定位构件支撑于所述低温冷却台并且从所述低温冷却台沿与所述低温泵中心轴垂直的方向延伸，
[0130] 所述低温板定位构件以使各个低温板构件的弓形状平坦部的圆弧部的中心定位于所述低温泵中心轴上的方式支撑所述两个低温板构件。
[0131] 9.一种低温泵，其特征在于，具备：
[0132] 制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；
[0133] 放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其沿通过低温泵进气口的中心的低温泵中心轴的方向延伸并包围所述低温冷却台；
[0134] 低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接，且其与所述低温冷却台一同被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备两个低温板构件，该两个低温板构件分别配置在所述低温冷却台的两侧从而夹着所述低温泵中心轴；及
[0135] 两个安装面，分别对应于所述两个低温板构件，
[0136] 各个低温板构件具备：弓形状平坦部，其具有圆弧部及弦；及第1弯曲部，其与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的一部分处与所述弓形状平坦部连接，所述第1弯曲部安装在对应的安装面，所述弓形状平坦部经由所述第1弯曲部与所述低温冷却台热连接，[0137] 各个低温板构件的所述弓形状平坦部的所述弦的剩余部分的形状形成为，不与所述制冷机发生干扰即可彼此互换所述两个低温板构件的形状，
[0138] 各个低温板构件具备与所述弓形状平坦部形成为一体并在所述弦的剩余部分的至少一部分处与所述弓形状平坦部连接的第2弯曲部，所述第2弯曲部配置成在所述弦的方向上脱离所述安装面。
[0139] 10.根据实施方式9所述的低温泵，其特征在于，
[0140] 所述两个低温板构件配置在所述低温泵中心轴方向上的所述低温冷却台的上端与下端之间的高度位置并且分别配置在所述低温冷却台的两侧从而夹着送述低温泵中心轴。
[0141] 11.根据实施方式9或10所述的低温泵，其特征在于，
[0142] 从所述低温泵中心轴方向观察时，所述弓形状平坦部的圆弧部构成该低温板构件的外缘。
[0143] 12.根据实施方式9至11中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0144] 所述第2弯曲部在所述弦的剩余部分的整个长度上与所述弓形状平坦部连接，并且在所述弦的方向上与所述第1弯曲部连接。
[0145] 13.根据实施方式9至12中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0146] 所述两个低温板构件设计成同一部件。
[0147] 14.根据实施方式9至13中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0148] 所述两个低温板构件彼此之间的间隔设定为，所述低温冷却台在所述弦的方向上的任意位置均能插入于所述两个低温板构件彼此之间的大小。
[0149] 15.根据实施方式14所述的低温泵，其特征在于，
[0150] 所述两个低温板构件彼此之间的间隔在所述弦的方向上遍及弦的整个长度而恒定。
[0151] 16.根据实施方式9至15中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0152] 所述第1弯曲部相对于所述弓形状平坦部朝向上方弯曲并且具有供紧固构件穿过的孔，
[0153] 所述孔配置在所述弦与所述第1弯曲部的上边之间的靠近所述上边的位置。
[0154] 17.根据实施方式9至16中任一项所述的低温泵，其特征在于，
[0155] 所述制冷机的所述高温冷却台及低温冷却台沿与所述低温泵中心轴垂直的方向排列，
[0156] 所述低温泵还具备低温板定位构件，所述低温板定位构件支撑于所述低温冷却台并且从所述低温冷却台沿与所述低温泵中心轴垂直的方向延伸，
[0157] 所述低温板定位构件以使各个低温板构件的弓形状平坦部的圆弧部的中心定位于所述低温泵中心轴上的方式支撑所述两个低温板构件。
[0158] 符号说明
[0159] 10-低温泵，12-进气口，16-制冷机，24-第2冷却台，30-放射屏蔽件，62-低温板构件，67-低温板定位构件，68-安装面，75-弓形状平坦部，76-第1弯曲部，77-第2弯曲部，78-圆弧部，C-低温泵中心轴，79-弦,87-紧固构件，88-紧固孔。
[0160] 产业上的可利用性
[0161] 本发明可以在低温泵的领域中利用。
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