加装震动装置的流体传输系统
专利汇可以提供加装震动装置的流体传输系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供一种加装震动装置的 流体 传输系统，其包括有一传输管线、一进料口、一进 水 口、至少一震动装置及多个 缓冲器 。其中当该系统进行一高 粘度 流体的传输时，该震动装置提供适当程度的震动效果以防止该高粘度流体附着于该传输管线的内壁而阻塞传输管线，同时该各缓冲器用以使震动 能量 不致并衰减，并避免该传输管线的震动影响其他设置的运作。，下面是加装震动装置的流体传输系统专利的具体信息内容。
1.一种加装运动装置的研磨液传输系统，包括有：
一传输管线，用以接收并输送一研磨液进料；
至少一进料口，设置于该传输管线上，用以注入该研磨液进料；
至少一进水口，设置于该传输管线上，用以提供该研磨液进料适当的 流动性；
至少一震动装置，安装于该传输管线上，用以提供该传输管线适当程 度震动效果；以及
多个缓冲器(cushion)，位于该传输管线底部，用以支撑该传输管线；
其中在该研磨液传输过程中，该震动装置提供该传输管线适当程度的 震动效果，以使该研磨液进料不致附着于该传输管线的内壁，同时该各缓 冲器用以使震动能量不至衰减，并避免该传输管线的震动影响其他设备的 运作。
2.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该研磨液为一化学机械 研磨(CMP)制作工艺使用的研磨液。
3.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该研磨液为一高粘度的 流体。
4.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该研磨液包括有二氧化 硅(SiO2)。
5.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该震动装置为一气动式 震动器。
6.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该震动装置贴附于该传 输管线上。
7.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该传输管线利用该各缓 冲器支撑并悬吊于地面上。
8.如权利要求1所述的研磨液传输系统，其中该传输管线上可装设一 观测窗口，用以观测该研磨进料在该传输管线内部附着情形。
9.一种加装震动装置的高粘度流体传输系统，包括有：
一传输管线，用以接收并输送一高粘度进料；
至少一进料口，设置在该传输管线上，用以注入该高粘度进料；
至少一进水口，设置在该传输管线上，用以提供该高粘度进料适当的 流动性；
至少一震动装置，安装在该传输管线上，用以提供该传输管线适当程 度震动效果；以及
多个缓冲器，位于该传输管线底部，用以支撑该传输管线；
其中在该高粘度流体传输过程中，该震动装置提供该传输管线适当程 度的震动效果，以使该高粘度进料不致附着于该传输管线的内壁，同时该 各缓冲器用以使震动能量不至衰减，并避免该传输管线的震动影响其他设 备的运作。
10.如权利要求9所述的高粘度流体传输系统，其中该震动装置为一气 动式震动器。
11.如权利要求9所述的高粘度流体传输系统，其中该震动装置贴附于 该传输管线上。
12.如权利要求9所述的高粘度流体传输系统，其中该传输管线利用该 各缓冲器支撑并悬吊于地面上。
13.如权利要求9所述的高粘度流体传输系统，其中该传输管线上可装 设一观测窗口，用以观测该高粘度进料在该传输管线内部附着情形。
技术领域
本发明涉及一种流体传输系统，特别是涉及一种加装震动装置的高粘 度流体传输系统。
背景技术
请参考图1，图1为现有一流体传输系统10的示意图。如图1所示， 流体传输系统10包括有一传输管线12，用来传输一高粘度流体，多个管线 支撑底座14设置于传输管线12底部，用以支撑并固定传输管线12，至少 一进料口16设置于传输管线12上，用以注入一高粘度进料至传输管线12 中，至少一进水口18设置于传输管线12上，用以注入水以提供高粘度进 料适当的流动性，以及至少一加压喷嘴20，设置于传输管线12内，利用加 压水柱以降低传输管线12内部高粘度流体的附着。
现有流体传输系统10的运作过程如下，高粘度进料经由进料口16输 入传输管线12中，并将清水经由进水口18注入传输管线12中，提供高粘 度进料适当的流动性以传输高粘度流体，同时在传输过程中并利用一设置 于传输管线12内的加压喷嘴20对管内壁喷以加压水柱，以减少高粘度进 料附着于传输管线12内壁的机会。
然而由于一般传输系统的设置受限于工厂的硬件设施及其他生产设备 的配置，传输管线设置的倾斜角度往往不足而造成管内的流体流速过慢， 使传输管线内的流体液面过高，即使利用加压喷嘴对管线内壁喷以加压水 柱，也因加压水柱无法均匀冲刷管线内壁而无法解决管线内壁高粘度进料 附着的问题，进而影响整体传输效率。因此现有的流体传输系统必须定期 停止运作进行管壁清洗或更换管线，使生产成本提高且严重影响生产线正 常运作。因此如何解决流体传输系统中，传输管线内壁的高粘度进料附着 现象，实为一急待解决的问题。
发明内容
在本发明的最佳实施例中，该高粘度流体传输系统包括有一传输管线， 用以传输一高粘度进料，至少一进料口，用以将一高粘度进料注入于传输 管线中，至少一进水口，用以提供该高粘度进料适当的流动性，至少一震 动装置，用以提供传输管线适当程度的震动效果，以防止传输管线内壁高 粘度进料的附着，以及多个缓冲器，用以支撑传输管线、使震动能量不致 衰减并避免传输管线的震动影响其他设备的运作。
由于本发明所揭露的加装震动装置的流体传输系统，可避免传输管线 内壁高粘度进料的附着，有效改善现有技术的缺点，因此可以提高流体传 输的效率，节省管壁清洗或更换管线等相关成本。
附图说明
图1为现有一流体传输系统的示意图；
图2为本发明一流体传输系统的示意图。
具体实施方式
在本发明的较佳实施例中，震动装置38为一贴附于传输管线32外壁 上的气动式震动器，且在传输管线32上可另装设一观测窗口(未显示)，用 以观测研磨进料在传输管线32内部的附着情景，以使工作人员易于掌控流 体传输状况。
流体传输系统30运作过程如下：化学机械研磨制作工艺所产生的含二 氧化硅的高粘度研磨液经由进料口34输入至传输管线32中，此时清水也 经由进水口36注入至传输管线32中，以提供研磨液进料适当的流动性。 此外，为了避免研磨液进料所含的二氧化硅附着于传输管线32的内壁，因 此在传输过程中震动装置38会提供适当程度的震动效果，使研磨液进料因 传输管线32的震动效果而无法附着于内壁上，而缓冲器40的功能除了支 撑传输管线32外，并具有维持震动能量与避免传输管线32的震动效果影 响其他设备的作用。
与现有流体传输系统相比，本发明揭露一种加装震动装置的流体传输 系统，在流体传输系统进行高粘度流体的传输时，提供传输管线适当的震 动效果，能避免高粘度流体所含具有粘性的固体附着于传输管线的内壁， 进而降低因停机清理管壁与更换传输管线所需负担的生产成本，有效解决 现有流体传输系统的缺点。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明权利要求所作的均等 变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。
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