涡旋压缩机的调芯装置及其调芯方法
专利汇可以提供涡旋压缩机的调芯装置及其调芯方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 的涡旋 压缩机 的调芯装置及调芯方法能够以较短的时间高 精度 地完成包括固定涡盘与回转涡盘在相对旋转方向上的 定位 在内的涡盘压缩部的调芯。具有使 涡旋压缩机 (3)的固定涡盘(31)能够在X轴方向及Y轴方向移动的固定涡盘移动机构(2)以及通过主 框架 (33)使回转涡盘(32)进行θ旋转的回转涡盘旋转修正机构(4)，边使回转涡盘(32)回转边同时求出固定涡盘(31)和回转涡盘(32)的最佳相对 角 度和容许齿隙。，下面是涡旋压缩机的调芯装置及其调芯方法专利的具体信息内容。
1.一种涡旋压缩机的调芯装置，包括各自在镜面板上呈直立状形 成有涡旋状的涡盘齿而成的、该各涡盘齿彼此相啮合而在内部形成密 闭工作腔的固定涡盘和回转涡盘，以及具有上述回转涡盘的驱动轴的 主框架；上述回转涡盘被收容在上述主框架内并能够通过欧氏环作回 转运动，其特征是，
具有：以Z轴为中心的θ旋转受到约束的、能够在X轴方向及Y 轴方向任意移动地支持上述固定涡盘的X-Y可任意移动机构；
通过上述X-Y可任意移动机构使上述固定涡盘至少在X轴方向和 Y轴方向移动的固定涡盘移动机构；
X轴方向及Y轴方向的移动受到约束的、能够通过所述主框架在以 Z轴为中心的θ方向旋转地支持所述回转涡盘的回转涡盘旋转修正机 构；
与上述驱动轴相连结的、驱动上述回转涡盘的回转涡盘驱动机 构；
固定涡盘位移检测机构，它检测随着该回转涡盘的回转的、所述 固定涡盘在X轴方向及Y轴方向的移动位移量；
依据来自上述固定涡盘位移检测机构的检测信号实施既定的运算 而对上述回转涡盘旋转修正机构及上述固定涡盘移动机构进行控制的 控制机构；
在以上述回转涡盘驱动机构使上述回转涡盘连续作回转运动的状 态下，上述控制机构，依据在以上述回转涡盘旋转修正机构使上述回 转涡盘作θ旋转时从上述位移检测机构所获得的检测信号，对上述回 转涡盘旋转修正机构进行控制，以使得上述固定涡盘的移动位移量为 最小，并且，依据上述固定涡盘移动机构和上述X-Y可任意移动机构， 使所述固定涡盘分别在X轴方向及Y轴方向移动，而当所述固定涡盘 被所述回转涡盘推回时，由所述位移检测机构获得检测信号，由此求 出容许齿隙的中间值而进行上述固定涡盘的位置修正。
2.如权利要求1所述的涡旋压缩机的调芯装置，其特征是，还具 有使所述固定涡盘在Z轴方向移动的固定涡盘升降机构，用于在涡旋 压缩机的组装时能够调整所述固定涡盘相对所述回转涡盘的荷重。
3.如权利要求1或2所述的涡旋压缩机的调芯装置，其特征是， 上述X-Y可任意移动机构具有设置在上述固定涡盘移动机构一侧的第 1支持板、对上述固定涡盘进行支持的第2支持板、以及配置在它们之 间的中间板，上述第1支持板和上述中间板通过仅能够向X轴方向或Y 轴方向中的某一个方向发生弹性变形的、相互平行地排列的一对第1 板簧而相连结，上述第2支持板和上述中间板通过仅能够向X轴方向 或Y轴方向中的另一个方向发生弹性变形的、相互平行地排列的一对 第2板簧而相连结。
4.如权利要求1或2所述的涡旋压缩机的调芯装置，其特征是， 上述X-Y任意移动机构具有设置在上述固定涡盘移动机构一侧的第1 支持板、对上述固定涡盘进行支持的第2支持板、以及配置在它们之 间的中间板，上述第1支持板和上述中间板通过仅能够向X轴方向或Y 轴方向中的某一个方向滑动的第1直线导向机构相连结，上述第2支 持板和上述中间板通过仅能够向X轴方向或Y轴方向中的另一个方向 滑动的第2直线导向机构相连结，并且所述第1直线导向机构和所述 第2直线导向机构都由键槽及卡合在所述键槽内的导轨构成。
5.如权利要求1或2所述的涡旋压缩机的调芯装置，其特征是， 所述位移检测机构是非接触式位移传感器并且由激光距离传感器构 成。
6.如权利要求3所说的涡旋压缩机的调芯装置，其特征是，所述 位移检测机构由安装在各所述板簧上的形变传感器构成。
7.一种涡旋压缩机的调芯方法，其特征是，在对包括有各自在镜 面板上呈直立状形成有涡旋状的涡盘齿而成而该各涡盘齿彼此相啮合 从而在内部形成密闭工作腔的固定涡盘和回转涡盘，以及具有上述回 转涡盘的驱动轴的主框架的、上述回转涡盘被收容在上述主框架内并 能够作回转运动的涡旋压缩机进行定心时，
通过X轴方向及Y轴方向的移动受到约束的、能够通过所述主框 架在以Z轴为中心的θ方向旋转地支持所述回转涡盘的回转涡盘旋转 修正机构，在上述主框架一侧处于X轴方向及Y轴方向的移动受到约 束而仅能够向以Z轴为中心的θ方向旋转的状态，并且通过以Z轴为 中心的θ旋转受到约束的、能够在X轴方向及Y轴方向任意移动地支 持上述固定涡盘的X-Y可任意移动机构，在所述固定涡盘一侧处于向 以Z轴为中心的θ方向的旋转受到约束而能够向X轴及Y轴方向任意 移动的状态，并且在通过上述驱动轴使上述回转涡盘回转的同时，使 所述主框架在θ方向上旋转，通过用于检测随着该回转涡盘的回转 的、所述固定涡盘在X轴方向及Y轴方向的移动位移量的固定涡盘位 移检测机构，检测出所述固定涡盘的移动位移量，在调整所述主框架 的θ旋转角以使所述固定涡盘的移动位移量变为最小之后，通过所述X -Y可任意移动机构使所述固定涡盘在X轴和Y轴方向上移动，按X轴 和Y轴方向求出所述固定涡盘被所述回转涡盘推回时的所述固定涡盘 的最大位移量，并且使所述固定涡盘移动到所述最大位移量的中间位 置处。
8.如权利要求7所述的涡旋压缩机的调芯方法，其特征是，设上 述主框架正方向旋转时上述固定涡盘的移动位移量为最小时的旋转角 为θ1，而负方向旋转时上述固定涡盘的移动位移量为最小时的旋转角 为θ2时，上述主框架的旋转角设定为(θ1+θ2)/2。
9.如权利要求7所述的涡旋压缩机的调芯方法，其特征是，设随 着上述回转涡盘的旋转而产生的上述固定涡盘的初始位移量为W，上述 回转涡盘的基圆的半径为a时，以公式
[(W/2a)/π]×180°
求出旋转修正角θb，将上述主框架的θ旋转角调整为上述旋转修 正角θb。
10.如权利要求7所述的涡旋压缩机的调芯方法，其特征是，使上 述固定涡盘在Z轴方向上移动，进一步对上述固定涡盘在Z轴方向上 的位置进行调整，以使得上述固定涡盘相对所述回转涡盘的荷重实质 上为“0”。
技术领域
本发明涉及涡旋压缩机的调芯装置及其调芯方法，具体地说，涉 及能够在短时间内准确地对固定涡盘和回转涡盘进行调芯的调芯(定 心)技术。
背景技术
此外，特许第2811715号公报(现有技术2)提出了这样一种涡 旋压缩机的调芯方法，即，使固定涡盘与回转涡盘二者啮合，在固定 涡盘与回转涡盘的组装接触面相接触的状态下，将回转涡盘的轴承固 定住而使回转涡盘依次旋转0°、90°、180°、270°，在回转涡盘 的各个旋转位置处，使固定涡盘朝向旋转中心移动直到固定涡盘与回 转涡盘接触为止，在静、动两种涡盘相接触时，求取X、Y坐标，依据 在上述各旋转位置检测出的X、Y坐标求出坐标中心，作为固定涡盘和 回转涡盘的定位中心。
但是，上述现有技术1中，是将固定涡盘从回转涡盘上抬起若干 的状态下进行调芯的，因此，调芯后将固定涡盘放下而组装到回转涡 盘上时有可能产生误差。此外，在沿X、Y轴方向微小移动固定涡盘而 进行暂时性定位后，还要再进行微调，故定心需耗费较多时间。再有， 固定涡盘与回转涡盘在相对旋转方向上的定位未予考虑，故涡盘齿的 左右间隙有可能不均匀。
在上述现有技术2中，也需要每回转90°角使其停止以检测坐标 轴，因此，定心也需耗费较多时间。此外，与上述现有技术1同样， 固定涡盘与回转涡盘在相对旋转方向上的定位未予考虑，故涡盘齿的 左右间隙有可能不均匀。
发明内容
首先，第1发明属于这样一种涡旋压缩机的调芯装置，即，包括 各自在镜面板上呈直立状形成有涡旋状的涡盘齿而成的、该各涡盘齿 彼此相啮合而在内部形成密闭工作腔的固定涡盘和回转涡盘，以及具 有上述回转涡盘的驱动轴的主框架；上述回转涡盘被收容在上述主框 架内并能够通过欧氏环作回转运动，其特征是，该调芯装置具有：以Z 轴为中心的θ旋转受到约束的、能够在X轴方向及Y轴方向任意移动 地支持上述固定涡盘的X-Y可任意移动机构；通过上述X-Y可任意 移动机构使上述固定涡盘至少在X轴方向和Y轴方向移动的固定涡盘 移动机构；X轴方向及Y轴方向的移动受到约束的、能够通过上述主框 架在以Z轴为中心的θ方向旋转地支持所述回转涡盘的回转涡盘旋转 修正机构；与上述驱动轴相连结的、驱动上述回转涡盘的回转涡盘驱 动机构；固定涡盘位移检测机构，它检测随着上述回转涡盘的回转的、 所述固定涡盘在X轴方向及Y轴方向上的移动位移量；依据来自上述 固定涡盘位移检测机构的检测信号实施既定的运算而对上述回转涡盘 旋转修正机构及上述固定涡盘移动机构进行控制的控制机构；在以上 述回转涡盘驱动机构使上述回转涡盘连续作回转运动的状态下，上述 控制机构依据在以上述回转涡盘旋转修正机构使上述回转涡盘作θ旋 转时从上述位移检测机构所获得的检测信号，对上述回转涡盘旋转修 正机构进行控制以使得上述固定涡盘的移动位移量为最小，并且，依 据所述固定涡盘移动机构和所述X-Y可任意移动机构，使上述固定涡 盘分别在X轴方向及Y轴方向移动，而当上述固定涡盘被上述回转涡 盘推回时，由所述位移检测机构获得检测信号，由此求出容许齿隙的 中间值而进行上述固定涡盘的位置修正。
由此，对于X轴及Y轴方向的定心(并进修正)，以及回转涡盘 与固定涡盘在相对旋转方向上的定心(旋转修正)二者能够同时且高 精度地进行管理。
通过进一步设置使上述固定涡盘在Z轴方向移动的固定涡盘升降 机构，除了上述并进修正及旋转修正之外，在组装涡旋压缩机时，还 能够同时对固定涡盘相对于回转涡盘的荷重进行修正。
按照本发明的最佳形态，上述X-Y可任意移动机构具有设置在上 述固定涡盘移动机构一侧的第1支持板、对上述固定涡盘进行支持的 第2支持板、以及配置在它们之间的中间板，上述第1支持板和上述 中间板通过仅能够向X轴方向或Y轴方向中的某一个方向发生弹性变 形的、相互平行地排列的一对第1板簧而相连结，上述第2支持板和 上述中间板通过仅能够向X轴方向或Y轴方向中的另一个方向发生弹 性变形的、相互平行地排列的一对第2板簧而相连结。由此，能够在 约束固定涡盘向θ方向进行旋转的情况下，使固定涡盘向X-Y方向作 任意的移动，而且，即使固定涡盘移动后，也能够被弹簧的弹性恢复 到初始状态。
作为另一个形态，也可以这样构成，即，上述X-Y任意移动机构 具有设置在上述固定涡盘移动机构一侧的第1支持板、对上述固定涡 盘进行支持的第2支持板、以及配置在它们之间的中间板，上述第1 支持板和上述中间板通过仅能够向X轴方向或Y轴方向中的某一个方 向滑动的第1直线导向机构而相连结，上述第2支持板和上述中间板 通过仅能够向X轴方向或Y轴方向中的另一个方向滑动的第2直线导 向机构而相连结。作为上述各直线导向机构的典型例子，可列举出键 槽及卡合在该键槽内的导轨的组合。
作为对固定涡盘的位移量进行检测的检测机构，有接触式、非接 触式等各种传感器，尤其是，上述位移检测机构最好是由非接触式传 感器构成的。作为上述非接触式传感器，可列举出激光距离传感器。 这样，能够在不对固定涡盘施加外力的情况下，准确地测出其位移量。 另外，位移检测机构也可以是安装在上述各板簧上的应变传感器。
本发明还提供一种涡旋压缩机的调芯方法，其特征是，在对包括 有各自在镜面板上呈直立状形成有涡旋状的涡盘齿而成而该各涡盘齿 彼此相啮合从而在内部形成密闭工作腔的固定涡盘和回转涡盘以及具 有上述回转涡盘的驱动轴的主框架的、回转涡盘被收容在主框架内并 能够作回转运动的涡旋压缩机进行定心时，通过X轴方向及Y轴方向 的移动受到约束的、能够通过主框架在以Z轴为中心的θ方向旋转地 支持回转涡盘的回转涡盘旋转修正机构，在主框架一侧处于X轴方向 及Y轴方向的移动受到约束而仅能够向以Z轴为中心的θ方向旋转的 状态，并且通过以Z轴为中心的θ旋转受到约束的、能够在X轴方向 及Y轴方向任意移动地支持上述固定涡盘的X-Y可任意移动机构，在 固定涡盘一侧处于向以Z轴为中心的θ方向的旋转受到约束而能够向 X轴及Y轴方向任意移动的状态，并且在通过驱动轴使上述回转涡盘回 转的同时，使主框架在θ方向上旋转，通过用于检测随着该回转涡盘 的回转的、固定涡盘在X轴方向及Y轴方向的移动位移量的固定涡盘 位移检测机构，检测出固定涡盘的移动位移量，在调整主框架的θ旋 转角以使固定涡盘的移动位移量变为最小之后，通过X-Y可任意移动 机构使固定涡盘在X轴和Y轴方向上移动，按X轴和Y轴方向求出固 定涡盘被回转涡盘推回时的固定涡盘的最大位移量，并且使固定涡盘 移动到最大位移量的中间位置处。
这样一来，除了进行旋转修正之外，还能够一起进行X方向及Y 方向的修正(并进修正)。
在确定该旋转修正时的修正位置时，若设上述主框架正方向旋转 时上述固定涡盘的移动位移量为最小时的旋转角为θ1，而负方向旋转 时上述固定涡盘的移动位移量为最小时的旋转角为θ2，则通过将上述 主框架的旋转角设定为(θ1+θ2)/2，便能够确定可获得最佳压 缩效率的回转涡盘和回转涡盘的相对旋转位置。
作为另一个方法，也可以是，当设随着上述回转涡盘的回转而产 生的上述固定涡盘的初始位移量为W，上述回转涡盘的基圆的半径为a 时，以公式[(W/2a)/π]×180°求出旋转修正角θb，将上述主框 架的θ旋转角调整为上述旋转修正角θb。
在旋转修正和并进修正的基础上，使上述固定涡盘在Z轴方向上 移动，进一步对上述固定涡盘在Z轴方向上的位置进行调整，以使得 上述固定涡盘相对于上述回转涡盘的荷重实质上为“0”，这样，能够 避免组装涡旋压缩机时产生误差。
如以上所说明的，根据本发明，能够以短时间高精度地完成包括 固定涡盘与回转涡盘在相对旋转方向上的定位在内的涡盘压缩部的调 芯。
附图说明
图1为表示本发明的涡旋压缩机的调芯装置的实施形式的主视 图。
图2为表示适用于上述实施形式中的X-Y可任意移动机构的立体 图。
图3为表示上述X-Y可任意移动机构的变形例的立体图。
图4为用于说明固定涡盘和回转涡盘的容许齿隙的模式图。
图5为表示固定涡盘和回转涡盘的最佳相对角度的模式图。
图6为用于说明必须进行旋转修正的理由的模式图。
图7为表示旋转修正时使回转涡盘向Q方向回转时的模式图。
图8为用于说明最佳相对角度的模式图。
图9为用于说明回转涡盘的驱动轴与回转轴的相对关系的模式 图。
图10是为了求出容许齿隙而使固定涡盘向-Δ方向移动时的模式 图。
图11为固定涡盘从图10的状态向+Δ方向移动时的模式图。
图12为说明X、Y轴方向的容许齿隙位置的模式图。
具体实施方式
如图1所示，本发明的调芯装置1具有由金属等坚固的板体构成 的底板11和自底板11垂直竖立的呈L形的支持框架12。在支持框架 12的上方，设有对涡旋压缩机3的固定涡盘31进行支持并使其能够在 X-Y方向移动的固定涡盘移动机构2。
在支持框架12的中间台13上，设有对涡旋压缩机3的主框架33 使之能够作θ旋转地进行支持的回转涡盘旋转修正机构4。此外，在底 板11上，设有经由卡具61而能够有选择地与回转涡盘32的驱动轴5 相连结的马达6。
在支持框架12的侧壁表面上，设有对自各检测机构送来的检测数 据进行测定、运算以及输出的运算机构8。在该运算机构8上组装有未 图示的操作面板等，可任意地输入设定值而对精度和调芯时间等进行 调节。
在该实施形式中，固定涡盘移动机构2按照从上而下的顺序具有 Z轴移动机构21、X-Y移动机构22以及X-Y任意移动机构23，在 X-Y任意移动机构23的下端设有固定涡盘31的固定部24。作为固 定涡盘移动机构2，以Z轴为中心的θ旋转受到约束，能够使固定涡 盘31在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向上任意地进行移动。
Z轴移动机构21是使固定涡盘31向上下方向移动的所谓的升降 机构，在其内部或外部设有荷重传感器之类未图示的荷重检测机构。 该Z轴移动机构21经信号线81与运算机构8相连接，按照运算机构 8的命令动作。
X-Y移动机构22是以Z轴为中心的θ旋转受到约束，用来使固 定涡盘31仅能够在X、Y方向上移动的移动机构。在该X-Y移动机 构22中组装有未图示的驱动机构，依据运算机构8通过信号线82送 来的控制信号而动作。
如图2所示，X-Y任意移动机构23具有设在固定涡盘移动机构 2一侧的第1支持板231、支持固定涡盘31的第2支持板(固定部) 24、以及配置在第1支持板231和第2支持板24之间的中间板233。
第1支持板231与中间板233二者之间被仅能够在X轴方向上发 生弹性变形的相互平行配置的一对第1板簧232、232所连结，而中 间板233与第2支持板24之间被仅能够在Y轴方向上发生弹性变形 的相互平行配置的一对第2板簧234、234所连结。
作为X-Y任意移动机构23的一个变型例，也可以如图3所示， 第1支持板231与中间板233之间以及中间板233与第2支持板24 之间被能够沿X轴方向、Y轴方向滑动的直线导向机构所连结。
即，在第1支持板231一侧上沿X轴方向形成有键槽236，在相 应的中间板233上设置与键槽232形状相符的导轨237而将它们连结 起来。同样地，也可以在中间板233的下面一侧沿Y轴方向形成键 238，在第2支持板24上形成与键238的形状相符的导轨239而将它 们连结起来。
虽然图1中仅示出一个，但在固定部(第2支持板)24的X、Y 方向的两个侧面上分别设置有用来对固定部24的位移量进行检测的 位移传感器7。位移传感器7通过信号线83与运算机构8相连接， 经位移传感器7检测的检测数据向运算机构8输出。位移传感器7最 好是非接触式传感器，例如可列举出以激光检测与固定部24之间的 距离的距离传感器。
除此之外，作为检测机构，也可以是如图2所说明的、在X-Y 任意移动机构23的各板簧232、234的侧面安装形变传感器235，在 向X、Y方向移动时测定板簧232、234所产生的形变，这种形态也包 括在本发明中。
涡旋压缩机3具有彼此的涡盘齿相啮合的固定涡盘31和回转涡 盘32，回转涡盘32在主框架33内受到防自转用的未图示的欧氏环 的保持。与回转涡盘32相连结的驱动轴5贯穿主框架33而得到支 持。在驱动轴5的一端上设有使回转涡盘32作回转运动的回转轴 51。
回转涡盘旋转修正机构4具有对主框架33进行支持的主框架保 持部42，能够使主框架保持部42以Z轴为中心向θ方向旋转的θ旋 转机构41。作为回转涡盘旋转修正机构4，向X轴方向及Y轴方向的 移动受到约束而仅能够作θ旋转方向的旋转。θ旋转机构41经信号 线84与运算机构8相连接，按照运算机构8所发出的命令而动作。
参照图4，设固定涡盘31的相邻的固定涡盘齿311的齿间距离 为Lf，回转涡盘32的回转涡盘齿321的回转移动距离为Lo，则式 Lf-Lo＝Lc所表达的值Lc为容许齿隙，本发明中，对固定涡盘31 和回转涡盘32所进行的定心是要使该容许齿隙Lc达到最佳值。
定心是分为旋转修正和并进修正两个阶段进行的，首先，先进行 对固定涡盘31和回转涡盘32的相对角度进行修正的旋转修正。如图 5所示，固定涡盘31和回转涡盘32的相对角度为180°时为最佳状 态。
但是，当如图6(a)所示，各涡盘31、32的相对角度偏离180 °时，随着回转涡盘32作回转运动，将如图6(b)所示，各涡盘31、 32产生干涉，固定涡盘31的中心旋转。
为此，在将X-Y移动机构22关闭，固定涡盘31在X-Y任意移 动机构23的驱动下能够在X-Y轴方向上自由移动的状态下，边以马 达6驱动回转涡盘32作回转旋转，边对固定涡盘31的X轴方向及Y 轴方向的位移量X1、Y1分别进行测定。将此时的初始位移量作为X1、 Y1。
之后，如图7所示，以回转涡盘旋转修正机构4的θ旋转机构41 使主框架33一侧向+方向旋转θ°并求取固定涡盘31的X轴方向及 Y轴方向的位移量为最小时的旋转角θ1。然后，使其从已旋转θ° 的位置向一方向旋转θ°，求取此时固定涡盘31的X轴方向及Y轴 方向的位移量为最小时的旋转角θ2。
进行该旋转修正时所获得的主框架33的旋转角θ与固定涡盘31 的位移量二者的关系曲线示于图8。上述旋转角θ1、θ2所对应的是 X、Y方向上彼此的齿不发生干涉的区域的最外点，因此，其中间值 (θ1+θ2)/2＝θc便是最佳旋转修正角。
这一系列的运算处理由运算机构8进行，运算机构8将θ旋转机 构41控制在旋转位置θc上，固定涡盘31和回转涡盘32的相对旋 转修正作业即结束。
作为旋转修正的另一种方法，也可以是，从回转涡盘32每旋转 一周时的固定涡盘31的初始位移量W以及回转涡盘32的基圆半径a 求出主框架33的旋转修正角θb。
即，由式[(W/2a)/π]×180°求出旋转修正角θb，通过将 主框架33的旋转角调整为该旋转修正角θb而能够使固定涡盘的移 动位移量为最小。
其次，作为并进修正，这样进行调芯，即，求出固定涡盘齿311 和回转涡盘齿321的容许齿隙Lc，使固定涡盘31移动到其中点，也 就是将容许齿隙Lc均等地分配在齿的左右。
如图9(a)所示，驱动回转涡盘32作回转运动的回转轴51配 置在自驱动轴5的轴中心5a偏心Δr处。因此，如图9(b)所示， 回转轴51在使回转涡盘32回转的同时围绕驱动轴5的轴中心5a旋 转。
在求取容许齿隙Lc时，运算机构8检测回转轴51在以驱动轴5 的轴中心5a为原点的X-Y坐标上位于正负的哪一侧。
下面，就求取X轴方向的容许齿隙Lc进行说明。首先，如图10 (a)所示，当从驱动轴5的轴中心5a看过去回转轴51移动到-X 一侧时，使X-Y移动机构22移动-ΔX而通过X-Y任意移动机构 23使固定涡盘31跟随位于-X一侧的回转涡盘32。X-Y移动机构 22的移动距离ΔX为大于容许齿隙Lc的值。X-Y任意移动机构23 允许该X-Y移动机构22向-X一侧移动。
其次，如图10(b)所示，当回转轴51从驱动轴5的轴中心5a 看过去移动到+X一侧时，通过固定涡盘齿311和回转涡盘齿32二 者的接触，固定涡盘31被回转涡盘32推回+X一侧。以位移传感器 7读取该+X一侧的位移量而作为最大位移量X1。
此外，如图11(a)所示，从驱动轴5的轴中心5a看过去回转 轴51移动到+X一侧时，使X-Y移动机构22移动+Δ而通过X-Y 任意移动机构23使固定涡盘31跟随位于+X侧的回转涡盘32。
之后，如图11(b)所示，当回转轴51从驱动轴5的轴中心5a 看过去移动到-X一侧时，通过固定涡盘齿311和回转涡盘齿32二 者的接触，固定涡盘31被回转涡盘32推回-X一侧。以位移传感器 7读取该+X一侧的位移量而作为最大位移量X。
图12示出以横轴为X轴方向的固定涡盘31的+、-方向最大位 移量的曲线。由该曲线可知，X1、X2之间为容许齿隙Lc，通过以X -Y移动机构22将固定涡盘31定位在其中间值的(X1+X2)/2＝ Xc处，可使容许齿隙Lc均等地分布在齿的左右。对于Y轴方向，进 行同样的操作从而完成并进修正。
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