液体过滤器用基材
阅读：511发布：2021-06-12
专利汇可以提供液体过滤器用基材专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 的课题在于提供一种液体 过滤器 用基材，其虽然是 薄膜 ，但在高压 力 下仍具有高的液体透过性和高的微小粒子捕集性这两者。 液体过滤器 用基材，其是由聚烯 烃 微多孔膜形成的液体过滤器用基材，基于气相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP为1nm以上20nm以下，基于液相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dLLP为1nm以上15nm以下，并且，上述平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差(dPP‑dLLP)为12nm以下，上述聚烯烃微多孔膜的厚度为4～25μm。，下面是液体过滤器用基材专利的具体信息内容。
1.液体过滤器用基材，其是由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材，在基于气相/液相置换的利用半干法测得的所述聚烯烃微多孔膜的孔径分布中，平均流量孔径dPP为1nm以上20nm以下，在基于液相/液相置换的利用半干法测得的所述聚烯烃微多孔膜的孔径分布中，平均流量孔径dLLP为1nm以上15nm以下，并且，所述平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差dPP-dLLP为12nm以下，
所述聚烯烃微多孔膜的厚度为4～25μm。
2.如权利要求1所述的液体过滤器用基材，其中，所述dLLP及dPP各自的孔径分布中的平均流量孔径的标准偏差为1nm以上5nm以下。
3.如权利要求1或2所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的孔径分布中的最大孔径为15nm以上25nm以下。
4.如权利要求1或2所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃是将重均分子量为400万以上600万以下的高分子量聚乙烯、和重均分子量为20万～80万的低分子量聚乙烯按照以质量比计为50:50～80:20的比例混合而成的聚乙烯组合物。
5.如权利要求1或2所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的透水性能在90kPa的减压下为0.10～0.40ml/min/cm2。
6.如权利要求1或2所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的孔隙率为
39～70％。
液体过滤器用基材
技术领域
背景技术
[0002] 近年来，电子设备的小型化、高性能化日益进展，尤其是以个人电脑、智能手机为代表的数码设备、移动终端正在实现飞跃性的进步。众所周知，在牵引、支持该进步的各种各样的技术中，半导体产业的技术革新发挥了重大作用。在近年来的半导体产业中，就布线图案尺寸而言，已呈现为在小于20nm的领域开发竞争的态势，各公司正急于建立最先进的生产线。
[0003] 光刻(lithography)工序是在半导体部件的制造中形成图案的工序。随着近年来的图案微细化，不仅对光刻工序中使用的化学药液本身的性状有所要求，而且，对直到向晶片上涂布为止的对化学药液的操作也逐渐在要求非常高水平的技术。
[0004] 对于经复杂制备而得的化学药液，在马上要向晶片上涂布之前用细密的过滤器对其进行过滤，从而除去对图案形成、成品率产生较大影响的颗粒。在最先进的小于20nm的图案形成中，要求能够捕集小于约10nm的颗粒，各过滤器制造公司正在大力进行开发。
[0005] 一般而言，液体过滤器将由聚乙烯、聚四氟乙烯、尼龙、聚丙烯等树脂形成的多孔质膜作为基材，加工成筒(cartridge)形来使用。从与化学药液的相容性、捕集性能、处理能力、寿命等观点考虑，基材根据目的用途而被区别使用。最近，特别重视使来自基材的溶出物减少，已在逐渐大量使用聚乙烯微多孔膜作为基材。
[0006] 作为聚乙烯微多孔膜的代表性制造方法，可举出相分离法、拉伸法。相分离法是利用高分子溶液的相分离现象而形成细孔的技术，例如包括日本特开平2-251545号公报这样的通过热而诱导相分离的热诱导相分离法、利用高分子在溶剂中的溶解度特性的非溶剂诱导相分离法等。另外，也可将热诱导相分离和非溶剂诱导相分离这两种技术组合，或者还通过拉伸来调节孔结构的形状、大小，从而丰富其变化(variation)。例如如日本特开2010-053245号公报、日本特开2010-202828号公报、日本特开平7-246322号公报及日本特开平
10-263374号公报中记载的那样，拉伸法是下述方法：对已成型为片状的聚乙烯坯料片进行拉伸，调节速度、倍率、温度等拉伸条件，将晶体结构中的非晶质部分拉长，在形成微纤维(microfibril)的同时在片状(lamellar)层之间形成微细孔。
10-263374号公报中记载的那样，拉伸法是下述方法：对已成型为片状的聚乙烯坯料片进行拉伸，调节速度、倍率、温度等拉伸条件，将晶体结构中的非晶质部分拉长，在形成微纤维(microfibril)的同时在片状(lamellar)层之间形成微细孔。
[0007] 然而，想要高效地捕集小于约10nm的微细颗粒时，反而存在液体透过性变差的倾向。即，捕集性能与液体透过性存在制衡(trade-off)关系。在日本特开平2-251545号公报、日本特开2010-053245号公报、日本特开2010-202828号公报、日本特开平7-246322号公报及日本特开平10-263374号公报这样的现有技术中，在同时实现对小于约10nm的微细颗粒的捕集性能和液体透过性的方面是不充分的。
[0008] 针对这样的课题，在国际公开第2014/181760号小册子中，通过控制聚烯烃微多孔膜的透水性能、泡点(bubble point)及膜厚，从而同时实现了对小于约10nm的微细颗粒的捕集性能及液体透过性。
发明内容
[0009] 发明所要解决的课题
[0010] 此处，在使用液体过滤器时，存在下述情况：由于微小粒子的堵塞或根据过滤条件的不同，聚烯烃微多孔膜承受高的压力，导致多孔质结构发生变化。这种情况下，有可能发生对所期望尺寸的粒子的捕集性能降低这样的不良情况。
[0011] 上述的国际公开第2014/181760号小册子这样的现有技术中，虽然在低压力下可得到优异的捕集性能，但在高压力下存在多孔质结构发生变化从而使得捕集性能降低的情况。
[0012] 从防止所述的多孔结构的变化这样的观点考虑，认为通过较厚地形成微多孔膜，从而即使在高的压力下也不易破坏多孔质结构。然而，微多孔膜越厚，越会发生以下情况：液体透过性变差，并且可放入到一定大小的滤筒(filter cartridge)中的微多孔膜的面积变小，过滤面积变小，过滤器的压力损失也变高。尤其是，对于具有更小孔径化的趋势的过滤器用基材而言，若谋求小孔化，则过滤器压力损失将进一步提高。结果，担心对操作过滤器的工序造成的负担也变大。因此，对于微多孔膜而言，理想的是，尽可能制成薄膜，并且，即使在高的压力下也不易破坏多孔质结构。
[0013] 因此，为了解决上述的课题，本发明的目的在于提供一种液体过滤器用基材，其虽然是薄膜，但在高压力下仍具有高的液体透过性和高的微小粒子捕集性这两者。
[0014] 用于解决课题的手段
[0015] 为了解决上述课题，本发明采用以下的构成。
[0016] [1]液体过滤器用基材，其是由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材，在基于气相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的孔径分布中，平均流量孔径dPP为1nm以上20nm以下，基于液相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的孔径分布中的平均流量孔径dLLP为1nm以上15nm以下，并且，上述平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差(dPP-dLLP)为12nm以下，上述聚烯烃微多孔膜的厚度为4～25μm。
[0017] [2]如[1]所述的液体过滤器用基材，其中，上述dLLP及dPP各自的孔径分布中的平均流量孔径的标准偏差为1nm以上5nm以下。
[0018] [3]如[1]或[2]所述的液体过滤器用基材，其中，上述聚烯烃微多孔膜的孔径分布中的最大孔径为15nm以上25nm以下。
[0019] [4]如[1]～[3]中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，上述聚烯烃是将重均分子量为400万以上600万以下的高分子量聚乙烯、和重均分子量为20万～80万的低分子量聚乙烯按照以质量比计为50:50～80:20的比例混合而成的聚乙烯组合物。
[0020] [5]如[1]～[4]中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，上述聚烯烃微多孔膜的透水性能在90kPa的减压下为0.10～0.40ml/min/cm2。
[0021] [6]如[1]～[5]中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，上述聚烯烃微多孔膜的孔隙率为39～70％。
[0022] 发明的效果
[0023] 通过本发明，可提供一种液体过滤器用聚烯烃基材，其虽然是薄膜，但在高压力下仍具有高的液体透过性和高的微小粒子捕集性这两者。
具体实施方式
[0024] 以下，对本发明的实施方式依次进行说明，但这些说明及实施例是为了对本发明进行示例，并不限制本发明的范围。需要说明的是，本说明书全文中，在数值范围中使用“～”时，各数值范围中包含其上限值和下限值。另外，关于聚烯烃微多孔膜，“长度方向”是指被制造成长条状的聚烯烃微多孔膜的长尺寸方向，“宽度方向”是指与聚烯烃微多孔膜的长度方向正交的方向。以下，也将“宽度方向”称为“TD”，也将“长度方向”称为“MD”。
[0025] [液体过滤器用基材]
[0026] 本发明的液体过滤器用基材是由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材，基于气相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP为1nm以上20nm以下，基于液相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dLLP为1nm以上15nm以下，并且，上述平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差(dPP-dLLP)为
12nm以下，上述聚烯烃微多孔膜的厚度为4～25μm。
12nm以下，上述聚烯烃微多孔膜的厚度为4～25μm。
[0027] 通过这样的本发明，可提供一种液体过滤器用聚烯烃基材，其虽然是薄膜，但在高压力下仍具有高的液体透过性和高的微小粒子捕集性这两者。以下，对各结构的详细情况进行说明。
[0028] (聚烯烃微多孔膜)
[0029] 作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜是包含聚烯烃而构成的微多孔膜。此处，微多孔膜是指下述膜：形成为在内部具有大量的微细孔、并且这些微细孔被连接的结构，气体或液体可从一侧的面向另一侧的面通过。需要说明的是，聚烯烃微多孔膜中，优选包含90重量份以上的聚烯烃，作为剩余部分，可在不影响本发明的效果的范围内包含有机或无机的填料、表面活性剂等添加剂。
[0030] (平均流量孔径dPP)
[0031] 作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜的特征在于，其虽然是薄膜，但由于在高的压力条件下具有稳定的多孔结构，从而具有高的微小粒子捕集性。对于该聚烯烃微多孔膜而言，基于气相/液相置换的利用半干法测得的上述聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP必须为1nm以上，作为上限值，必须为20nm。本发明中，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP小于1nm时，难以得到充分的液体透过性。从这样的观点考虑，dPP优选为5nm以上，更优选为8nm以上，进一步优选为10nm以上。另一方面，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP大于20nm时，无法非常高效地捕集例如小于10nm的微小粒子。从这样的观点考虑，dPP优选为18nm以下，更优选为16nm以下。
[0032] (平均流量孔径dLLP)
[0033] 本发明中，聚烯烃微多孔膜的基于液相/液相置换的利用半干法测得的平均流量孔径dLLP必须为1nm以上，作为上限值，必须为15nm以下。本发明中，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dLLP小于1nm时，难以得到充分的液体透过性。从这样的观点考虑，dLLP优选为3nm以上，更优选为5nm以上。另一方面，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dLLP大于15nm时，无法非常高效地捕集例如小于10nm的微小粒子。从这样的观点考虑，dLLP优选为12nm以下，更优选为10nm以下。
[0034] (平均流量孔径dLLP与平均流量孔径dPP之差)
[0035] 本发明中，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差(dPP-dLLP)必须为12nm以下。本发明中，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差(dPP-dLLP)为12nm以下时，可具有在高压力下稳定的多孔结构，因此，即使在由于微小粒子的堵塞或过滤条件等导致的高压力下，也能保持稳定的捕集性能。从这样的观点考虑，平均流量孔径dLLP与平均流量孔径dPP之差(dPP-dLLP)进一步优选为7nm以下，特别优选为5nm以下。
[0036] 需要说明的是，本发明中，如上所述，重要的是，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dPP为1～20nm，平均流量孔径dLLP为1～15nm，并且dPP-dLLP为12nm以下。基于气相/液相置换的利用半干法测得的平均流量孔径dPP反映微多孔膜的在高压下流入液体时的孔径。基于液相/液相置换的利用半干法测得的平均流量孔径dLLP反映微多孔膜的在低压下流入液体时的孔径。而且，平均流量孔径dPP与平均流量孔径dLLP之差(dPP-dLLP)是指高压状态与低压状态的孔径之差，即，孔在压力下变形的难易度。即，本发明中的聚烯烃微多孔膜具有大量非常微细的孔隙以均匀的大小整齐排列而成的多孔质结构，因此，成为下述多孔质结构：尽管聚烯烃微多孔膜的厚度薄，但在使用液体过滤器时，在低压力下当然不易发生孔的变形，即使在高压力下也不易发生孔的变形。
[0037] 这样的多孔质结构的控制方法没有特别限制，可通过例如聚烯烃树脂的组成、原料中的聚烯烃树脂浓度、在原料中混合多种溶剂而使用时的所述溶剂的混合比率、用于将经挤出的片状物内部的溶剂压挤出来的加热温度、挤压压力、加热时间、拉伸倍率、拉伸后的热处理(热固定)温度、在提取溶剂中的浸渍时间、退火处理温度、处理时间等来进行控制。
[0038] (厚度)
[0039] 对于作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜而言，重要的是，其厚度为4～25μm。聚烯烃微多孔膜的膜厚为4μm以上时，容易得到充分的力学强度，容易得到聚烯烃微多孔膜的加工时等时候的操作性、滤筒的长期使用时的耐久性，因而优选。从这样的观点考虑，聚烯烃微多孔膜的膜厚更优选为5μm以上，进一步优选为6μm以上。另一方面，厚度为25μm以下时，不仅容易利用该微多孔膜单膜得到充分的透水性能，而且在规定大小的滤筒中也容易得到更大的过滤面积，聚烯烃微多孔膜的加工时的过滤器的流量设计、结构设计变得容易，因而优选。从这样的观点考虑，聚烯烃微多孔膜的膜厚更优选为20μm以下，进一步优选为16μm以下，特别优选为13μm以下。
[0040] 例如，设想在相同大小的外壳中收纳滤筒时，滤材(包含过滤器用基材在内的结构材料整体)的厚度越薄，越能增大滤材面积，因此，作为液体过滤器而优选的高流量·低过滤压力的设计能够得以实现。即，作为液体过滤器，能以下述方式进行设计：在想要维持相同流量时，过滤压力降低，在想要维持相同过滤压力时，流量升高。尤其是，通过使过滤压力降低，从而可期待下述理想的效果：本已暂被捕集的异物因在滤材内部持续地暴露于过滤压力、从而随着时间经过与过滤液一同从滤材内部被挤出而导致泄漏的概率显著降低；溶解存在于将要过滤的液体中的气体由于过滤前后的压力差(过滤后的压力降低)而以微小气泡的形态出现的概率显著降低；等等，还可期待下述效果：化学药液等过滤对象物的过滤有效率提高；在长时间内高度地维持它们的品质。
[0041] 另一方面，滤材的厚度越薄，则滤材的强度、耐久性能越会降低，但是，例如在过滤器的设计中，也可在通过与粗筛目的高强度支撑体进行复合化(例如，进行叠合夹入等的加工)来进行增强的同时对耐久性和流量的设计加以调整。
[0042] (平均流量孔径dLLP及dPP的标准偏差)
[0043] 对于作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜而言，平均流量孔径dLLP及dPP各自的标准偏差优选为1nm以上5nm以下。平均流量孔径dLLP及dPP的标准偏差为5nm以下时，容易捕集粒径为数nm的微小粒子，而且，即使在使用液体过滤器时暴露于高压下的情况下，多孔质结构也不易破坏，因而优选。从这样的观点考虑，平均流量孔径dLLP及dPP各自的标准偏差特别优选为3nm以下。另一方面，聚烯烃微多孔膜的平均流量孔径dLLP及dPP的标准偏差为1nm以上时，容易非常高效地捕集粒径为数nm～数十nm左右的微小粒子，因而优选。
[0044] (最大孔径)
[0045] 对于作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜而言，利用泡点法测得的最大孔径进一步优选为15nm以上25nm以下，特别优选为17nm以上20nm以下。聚烯烃微多孔膜的最大孔径为25nm以下时，容易高效地捕集粒径为数nm的微小粒子，因而优选。另一方面，聚烯烃微多孔膜的最大孔径为15nm以上时，不仅容易非常高效地捕集微小粒子，而且容易得到充分的透液性能，因而优选。
[0046] (孔隙率)
[0047] 作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜的孔隙率优选为39～70％，更优选为45％～65％。该聚烯烃微多孔膜的孔隙率为39％以上时，透液性能变得良好，从该方面考虑是优选的。另一方面，孔隙率为70％以下时，聚烯烃微多孔膜的力学强度变得良好，操作性也提高，从该方面考虑是优选的。此处，聚烯烃微多孔膜的孔隙率(ε)利用下式算出。
[0048] ε(％)＝{1-Ws/(ds·t)}×100
[0049] Ws：聚烯烃微多孔膜的单位面积重量(g/m2)
[0050] ds：聚烯烃的真密度(g/cm3)
[0051] t：聚烯烃微多孔膜的膜厚(μm)
[0052] (透水性能(水流量))
[0053] 本发明中，聚烯烃微多孔膜的透水性能在90kPa的减压下优选为0.10～0.40ml/min/cm2。聚烯烃微多孔膜的透水性能为0.10ml/min/cm2以上时，不仅容易充分地得到作为液体过滤器的透水性能，而且容易在长时间内得到经由过滤器的送液的稳定性(例如，用于维持一定的送液量的动力负荷的稳定性、一定的送液压力(一定的动力负荷)下的送液量的稳定性)，因而优选。从这样的观点考虑，进一步优选为0.15ml/min/cm2以上。另一方面，聚烯烃微多孔膜的透水性能为0.40ml/min/cm2以下时，容易高效地捕集例如约10nm或更小的颗粒，因而优选。
[0054] (聚烯烃)
[0055] 本发明中，作为构成聚烯烃微多孔膜的聚烯烃，可使用例如聚乙烯、聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等的均聚物或共聚物、或它们中1种以上的混合体。其中优选聚乙烯。作为聚乙烯，高密度聚乙烯、高密度聚乙烯与超高分子量聚乙烯的混合物等是优选的。另外，也可将聚乙烯与聚乙烯之外的成分组合使用。作为聚乙烯以外的成分，可举出例如聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯、聚丙烯与聚乙烯的共聚物等。另外，作为聚烯烃，可使用性质互不相同的聚烯烃，即，可以将相互间缺乏相容性的聚合度、分支性不同的聚烯烃组合使用，换言之，可以将结晶性、拉伸性·分子取向性不同的聚烯烃组合使用。
[0056] 尤其是，作为本发明中使用的聚烯烃，优选使用将重均分子量为400万以上600万以下的高分子量聚乙烯和重均分子量为20万～80万的低分子量聚乙烯混合而成的聚乙烯组合物。这将具有下述作用效果：通过适量地配合2种以上的聚乙烯，从而形成伴随拉伸时的原纤维化而产生的网络网状结构，增加孔隙产生率。尤其是，高分子量聚乙烯与低分子量聚乙烯的配合比以质量比计优选为50:50～80:20。作为低分子量聚乙烯，优选密度为0.92～0.96g/cm3的高密度聚乙烯。
[0057] 需要说明的是，重均分子量可通过将聚烯烃微多孔膜的试样在邻二氯苯中加热溶解，利用GPC(Waters公司制Alliance GPC 2000型，柱：GMH6-HT及GMH6-HTL)，在柱温为135℃、流速为1.0mL/分钟的条件下进行测定而得到。对于分子量的校正而言，可使用分子量单分散聚苯乙烯(Tosoh公司制)。
[0058] [液体过滤器]
[0059] 对于上述本发明的液体过滤器用基材而言，可以在适当地进行赋予与化学药液的亲和性的加工之后加工成圆筒形体，作为液体过滤器使用。液体过滤器是用于从包含或可能包含由有机物及/或无机物形成的粒子的被处理液中除去该粒子的器具。粒子在被处理液中以固体状或凝胶状存在。本发明适用于除去粒径为数nm左右的非常微细的粒子的情况。另外，液体过滤器不仅可在半导体的制造工序中使用，而且还可在例如显示器制造、研磨等其他制造工序中使用。
[0060] 作为液体过滤器用基材，例如聚四氟乙烯等的多孔质基材已广为人知。在将上述本发明的由聚烯烃微多孔膜形成的基材作为液体过滤器用基材使用时，与聚四氟乙烯多孔质基材相比，其与化学药液的亲和性良好，因此，例如呈现出下述效果：容易进行向过滤器赋予与化学药液的亲和性的加工；在向过滤器外壳(filter housing)内装填滤筒并在开始进行化学药液的过滤时向过滤器内填充化学药液的时候，不易在滤筒内产生气泡，化学药液的过滤有效率变得良好；等等，除此之外，由于聚乙烯树脂本身不含卤族元素，因此容易对使用完毕的滤筒进行处置，具有可降低环境负担等的效果。
[0061] [聚烯烃微多孔膜的制造方法及孔结构的控制方法]
[0062] 作为本发明的液体过滤器用基材的聚烯烃微多孔膜可利用如下所示的方法适宜地制造。即，可通过依次实施下述工序(I)～(V)而适宜地制造：
[0063] 工序(I)，制备包含聚乙烯组合物和溶剂的溶液；
[0064] 工序(II)，将其熔融混炼，将得到的熔融混炼物从模头挤出，进行冷却固化，得到凝胶状成型物；
[0065] 工序(III)，预先从凝胶状成型物压挤出一部分溶剂；
[0066] 工序(IV)，沿至少一个方向对凝胶状成型物进行拉伸；
[0067] 工序(V)，从经拉伸的中间成型物的内部提取溶剂并清洗。
[0068] 工序(I)中制备包含聚烯烃组合物和溶剂的溶液，制备至少包含大气压下的沸点低于210℃的挥发性溶剂的溶液。此处，溶液优选为热可逆性的溶胶·凝胶溶液，即，将该聚烯烃加热溶解在该溶剂中而使其溶胶化，由此制备热可逆性的溶胶·凝胶溶液。作为工序(I)中的大气压下的沸点低于210℃的挥发性的溶剂，只要能使聚烯烃充分溶胀或能使其溶解即可，没有特别限制，可优选举出四氢化萘、乙二醇、萘烷、甲苯、二甲苯、二乙基三胺、乙二胺、二甲基亚砜、己烷等液态溶剂，它们可单独使用，也可组合2种以上而使用。其中，优选萘烷、二甲苯。另外，在该溶液的制备中，除了包含上述的大气压下的沸点低于210℃的挥发性的溶剂以外，还可包含液体石蜡、石蜡油、矿物油、蓖麻油等沸点为210℃以上的非挥发性溶剂。
[0069] 工序(I)的溶液中，从控制聚烯烃微多孔膜的液体透过性能和作为滤材的除去性能的观点考虑，优选使聚烯烃组合物的浓度为15～45重量％，进一步优选为20～40重量％。若降低聚烯烃组合物的浓度，则存在力学强度降低的倾向，因此操作性变差，进而，有在制造聚烯烃微多孔膜期间发生断裂的频率增加的倾向。另外，若提高聚烯烃组合物的浓度，则存在难以形成孔隙的倾向。
[0070] 工序(II)中，对工序(I)中制备的溶液进行熔融混炼，将得到的熔融混炼物从模头挤出，进行冷却固化，得到凝胶状成型物。优选地，在聚烯烃组合物的熔点至熔点+65℃的温度范围内从模头挤出而得到挤出物，接下来将上述挤出物冷却而得到凝胶状成型物。作为成型物，优选赋型为片状。冷却可以是在水溶液或有机溶剂中的淬灭(quench)，也可以是在经冷却的金属辊上的浇铸，任一方式均可，通常采用利用在水或制备溶胶·凝胶溶液时所使用的挥发性溶剂中的淬灭的方法。冷却温度优选为10～40℃。需要说明的是，优选地，在水浴的表层设置水流，从而得以在制作凝胶状片材的同时，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材。
[0071] 工序(III)是在将凝胶状成型物在至少一个方向进行拉伸之前预先压挤出凝胶状成型物内的一部分溶剂的工序。在工序(III)的工序中，例如，利用使凝胶状成型物通过上下两条输送带(belt)或两个辊的间隙等的方法，对凝胶状成型物的面施加压力，由此能够适当地实施。关于压挤出的溶剂的量，需要根据聚烯烃微多孔膜所要求的液体透过性能、过滤对象物的除去性能进行调整，该调整可以通过上下的输送带或辊之间的挤压压力、压挤工序的温度、挤压次数来调整至适当的范围。需要说明的是，对于凝胶状成型物受到的压力而言，优选使用辊等在0.01～0.5MPa的范围内实施。进一步优选为0.05～0.2MPa的范围。压挤温度优选为40～100℃。另外，对于挤压次数而言，由于取决于设备的允许空间(space)，因而可没有特别限制地实施。需要说明的是，根据需要，可在压挤溶剂之前进行一阶段或多阶段的预加热，从片材内除去一部分挥发性溶剂。这种情况下，预加热温度优选为50～100℃。另外，进行该预加热时，时间优选为每1阶段5～9分钟。这种情况下，利用进行加热的距离及输送速度进行调节。
[0072] 工序(IV)是沿至少一个方向对凝胶状成型物进行拉伸的工序。此处，工序(IV)的拉伸优选为双轴拉伸，逐次双轴拉伸(分别实施纵向拉伸、横向拉伸)、同时双轴拉伸(同时实施纵向拉伸、横向拉伸)中的任一种方法均可合适地使用。此外，下述方法也是优选的：在纵向上拉伸多次后、在横向上拉伸的方法；在纵向上拉伸、并在横向上拉伸多次的方法；进行逐次双轴拉伸后、进一步在纵向及/或横向上拉伸1次或多次的方法。
[0073] 从控制聚烯烃微多孔膜的液体透过性能和过滤对象物的除去性能的观点考虑，拉伸倍率(纵向拉伸倍率与横向拉伸倍率的乘积)优选为40～120倍，更优选为50～100倍。若增大拉伸倍率，则有在制造聚烯烃微多孔膜期间发生断裂的频率增加的倾向。另外，若降低拉伸倍率，则存在厚度不均变大的倾向。在使溶剂以适当的状态残存的状态下进行拉伸是优选的。拉伸温度优选为80～125℃。特别优选为100～110℃。
[0074] 另外，可以在(IV)的拉伸工序之后进行热固定处理。从控制聚烯烃微多孔膜的液体透过性能和过滤对象物的除去性能的观点考虑，热固定温度优选为110～143℃。进一步优选为125～138℃。若提高热固定温度，则存在聚烯烃微多孔膜对过滤对象物的除去性能显著变差的倾向，若降低热固定温度，则存在液体透过性能显著降低的倾向。
[0075] 工序(V)是从经拉伸的中间成型物的内部提取溶剂并清洗的工序。此处，对于工序(V)而言，为了从经拉伸的中间成型物(拉伸膜)的内部提取出溶剂，优选使用二氯甲烷等卤代烃溶剂、己烷等烃溶剂进行清洗。浸渍于装储有溶剂的槽内进行清洗时，经过20～150秒的时间能得到溶出成分少的聚烯烃微多孔膜，因而优选，更优选为30～150秒，特别优选为30～120秒。另外，为了进一步提高清洗的效果，优选的是，将槽分成数段，从聚烯烃微多孔膜的输送工序的下游侧注入清洗溶剂，使清洗溶剂向输送工序的上游侧流动，从而使下游槽中的清洗溶剂的纯度比上游槽高。另外，根据对聚烯烃微多孔膜要求的性能，也可以通过退火处理进行热固化(hot set)。需要说明的是，从在工序中的输送性等观点考虑，退火处理优选于50～150℃实施，进一步优选为50～140℃。
[0076] 通过上述制造方法，可提供由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材，其虽然是薄膜，但在高压力下仍兼具优异的液体透过性能和优异的过滤对象物的除去性能。
[0077] 实施例
[0078] 以下，对本发明的实施例、比较例及各种测定方法进行说明，但本发明不受这些实施例的任何限制。
[0079] [测定方法]
[0080] (平均流量孔径dPP)
[0081] 基于气相/液相置换的平均流量孔径dPP及孔径分布σdPP通过使用PMI公司制的孔径分布测定仪(perm-porometer)多孔质材料自动细孔径分布测定系统〔Capillary Flow Porometer〕、利用细孔径分布测定试验法〔半干法(ASTM E1294-89)〕而进行测定。需要说明的是，使用的试液为全氟聚酯(商品名Galwick)(表面张力值：15.9dyne/cm)，测定温度为25℃，使测定压力在50～500psi的范围内变化。
[0082] (平均流量孔径dLLP)
[0083] 基于液相/液相置换的平均流量孔径dLLP及孔径分布σdLLP通过使用PMI公司制的液液孔径分析仪(liquid-liquid porometer)LLP-1500A(超低压·细孔径分布·透过性能测定装置)、利用细孔径分布测定试验法〔半干法(ASTM E1294-89)〕而进行测定。需要说明的是，使用的试液为全氟聚酯(商品名Galwick)和异丙醇(表面张力值：4.6dyne/cm)。向膜的孔隙中填充异丙醇，用Galwick充满膜的上部，将压缩的空气从其上方挤出，阶段性地提高压力。测定温度为25℃，使测定压力在50～500psi的范围内变化。
[0084] (最大孔径)
[0085] 基于泡点法的最大孔径通过使用基于气-液置换的PMI公司制的孔径分布测定仪多孔质材料自动细孔径分布测定系统〔Capillary FlowPorometer〕、利用细孔径分布测定试验法〔半干法(ASTM E1294-89)〕而进行测定。将由测定中的产生流量的最小压力求出的孔径作为最大孔径。需要说明的是，使用的试液为全氟聚酯(商品名Galwick)(表面张力值：15.9dyne/cm)，测定温度为25℃，使测定压力在50～500psi的范围内变化。
[0086] (厚度)
[0087] 使用接触式膜厚计(mitutoyo公司制)，测定20处的聚烯烃微多孔膜的膜厚，取它们的平均值，由此求出厚度。此处，作为接触端子，使用底面直径为0.5cm的圆柱状的接触端子。使测定压力为0.1N。
[0088] (孔隙率)
[0089] 聚烯烃微多孔膜的孔隙率(ε)利用下式算出。
[0090] ε(％)＝{1-Ws/(ds·t)}×100
[0091] Ws：聚烯烃微多孔膜的单位面积重量(g/m2)
[0092] ds：聚烯烃的真密度(g/cm3)
[0093] t：聚烯烃微多孔膜的膜厚(μm)
[0094] 需要说明的是，对于聚烯烃微多孔膜的单位面积重量而言，将样品切成10cm×10cm，测定其质量，将质量除以面积，由此求出单位面积重量。
[0095] (聚烯烃的重均分子量)
[0096] 重均分子量如下得到，即，将聚烯烃微多孔膜的试样加热溶解于邻二氯苯中，利用GPC(Waters公司制Alliance GPC 2000型，柱：GMH6-HT及GMH6-HTL)，在柱温为135℃、流速为1.0mL/分钟的条件下进行测定。对于分子量的校正而言，使用了分子量单分散聚苯乙烯(Tosoh公司制)。
[0097] (透水性能(水流量))
[0098] 预先将聚烯烃微多孔膜浸渍在乙醇中，于室温下干燥。将该聚烯烃微多孔膜设置在直径为47mm的不锈钢制透液池(透液面积为Scm2)中。用少量(0.5ml)的乙醇使透液池上的该聚烯烃微多孔膜湿润后，在90kPa的压差下使预先计量过的纯水V(100ml)透过，计测纯水总量透过所需要的时间Tl(min)。从该纯水的液量和纯水透过所需要的时间，利用下式计算90kPa压差下的每单位时间(min)·单位面积(cm2)的透水量Vs，将其作为透水性能(ml/min·cm2)。测定是在室温24℃的温度气氛下进行的。
[0099] Vs＝V/(Tl×S)
[0100] (低压条件下及高压条件下的捕集率)
[0101] 在高压条件下以1.0MPa的压差、在低压条件下以0.1MPa的压差经由聚烯烃微多孔膜对含有下述粒子(1)的水溶液30ml进行过滤。利用下述(式1)，由过滤前的混合溶液的铂浓度(M1)和从聚烯烃微多孔膜中通过后的滤液的铂浓度(M2)求出粒子的捕集率。需要说明的是，将捕集率为70％以上的情况判断为最好(A)，将捕集率为50％以上且低于70％的情况判断为良好(B)，将捕集率为20％以上且低于50％的情况判断为稍微不良(C)，将捕集率低于20％的情况判断为不良(D)。对于溶液的铂浓度而言，使用ICP-AES，将ICP-AES用铂标准试剂稀释，在0～100ppb浓度范围内取5点以上而绘出标准曲线，利用该标准曲线来确定铂浓度。
[0102] 粒子(1)：铂胶体(田中贵金属制)，平均粒径为2nm，粒子浓度为40ppb[0103] 捕集率(％)＝((M1-M2)/(M1))×100…(式1)
[0104] [实施例1]
[0105] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)15质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)15质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为30质量％的方式，与预先准备的液体石蜡67.5质量份与萘烷(十氢萘)2.5质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0106] 于155℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于20℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带(base tape))。将该基带于60℃干燥7分钟，进而于95℃干燥7分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至90℃的辊上施加0.05MPa的按压一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。
然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.9倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.9倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
[0107] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至120℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到本发明的由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0108] 将上述的制造条件示于表1，将得到的液体过滤器用基材的物性示于表2。需要说明的是，对于以下的实施例及比较例，也同样地归纳示于表1～2。
[0109] [实施例2]
[0110] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)18质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)5质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为23质量％的方式，与预先准备的液体石蜡75.9质量份与萘烷(十氢萘)1.1质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0111] 于158℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于18℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥7分钟，进而于95℃干燥7分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至
90℃的辊上施加0.05MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以7.0倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
90℃的辊上施加0.05MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以7.0倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
[0112] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至100℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到本发明的由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0113] [实施例3]
[0114] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)18质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)5质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为23质量％的方式，与预先准备的液体石蜡75.9质量份与萘烷(十氢萘)1.1质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0115] 于156℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于18℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥7分钟，进而于95℃干燥7分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至
110℃的辊上施加0.05MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于105℃的温度、以6.5倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于115℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
110℃的辊上施加0.05MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于105℃的温度、以6.5倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于115℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
[0116] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至100℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到本发明的由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0117] [实施例4]
[0118] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)15质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)15质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为30质量％的方式，与预先准备的液体石蜡67.5质量份与萘烷(十氢萘)2.5质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0119] 于164℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于16℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥7分钟，进而于95℃干燥7分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至
30℃的辊上施加0.05MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.9倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于120℃进行热处理(热固定)。
30℃的辊上施加0.05MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.9倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于120℃进行热处理(热固定)。
[0120] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至120℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到本发明的由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0121] [比较例1]
[0122] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)6质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)24质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为30质量％的方式，与预先准备的液体石蜡67.5质量份与萘烷(十氢萘)2.5质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0123] 于158℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于18℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至90℃的辊上施加0.25MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.9倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于118℃进行热处理(热固定)。
[0124] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至120℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0125] [比较例2]
[0126] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)5质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)18质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为23质量％的方式，与预先准备的液体石蜡75.9质量份与萘烷(十氢萘)1.1质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0127] 于158℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于16℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至80℃的辊上施加0.35MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以6.5倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于125℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于130℃进行热处理(热固定)。
[0128] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至100℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0129] [比较例3]
[0130] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)6质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)24质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为30质量％的方式，与预先准备的液体石蜡67.5质量份与萘烷(十氢萘)2.5质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0131] 于156℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于20℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至90℃的辊上施加0.40MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以4.8倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于106℃的温度、以10倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于140℃进行热处理(热固定)。
[0132] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至120℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0133] [比较例4]
[0134] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)15质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)15质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为30质量％的方式，与预先准备的液体石蜡75.9质量份与萘烷(十氢萘)1.1质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0135] 于153℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于14℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于60℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至90℃的辊上施加0.20MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.9倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于105℃的温度、以13倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于116℃进行热处理(热固定)。
[0136] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于40℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至120℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0137] [比较例5]
[0138] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)5质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)23质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为28质量％的方式，与预先准备的液体石蜡69质量份与萘烷(十氢萘)3质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0139] 于160℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于25℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于55℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至40℃的辊上施加0.40MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于90℃的温度、以5.8倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于90℃的温度、以14倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于124℃进行热处理(热固定)。
[0140] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于45℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至110℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0141] [比较例6]
[0142] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)8质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)24质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为32质量％的方式，与预先准备的液体石蜡53质量份与萘烷(十氢萘)15质量份的混合溶剂混合，制备聚乙烯溶液。
[0143] 于160℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于25℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于55℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至85℃的辊上施加0.20MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于100℃的温度、以4.0倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于100℃的温度、以15倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于118℃进行热处理(热固定)。
[0144] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于45℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至110℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0145] [比较例7]
[0146] 使用将重均分子量为460万的高分子量聚乙烯(PE1)32质量份、和重均分子量为56万的低分子量聚乙烯(PE2)8质量份混合而成的聚乙烯组合物。以聚乙烯树脂总量的浓度成为40质量％的方式，与液体石蜡60质量份混合，制备聚乙烯溶液。
[0147] 于160℃的温度，将该聚乙烯溶液从模头呈片状挤出，接下来，在水浴中于25℃将上述挤出物冷却，并且一边在水浴的表层设置水流，使得从在水浴中凝胶化了的片材中排出而悬浮在水面的混合溶剂不重新附着于片材，一边制作凝胶状片材(基带)。将该基带于55℃干燥10分钟，进而于95℃干燥10分钟从而将萘烷从基带内除去后，接着一边在已加热至85℃的辊上施加0.20MPa的按压，一边进行输送，从基带内除去一部分液体石蜡。然后，对于该基带，于100℃的温度、以5.8倍的倍率沿长度方向进行拉伸(纵向拉伸)，接下来，于100℃的温度、以14倍的倍率沿宽度方向进行拉伸(横向拉伸)，然后，立即于105℃进行热处理(热固定)。
[0148] 接下来，一边将基带在分为2个槽的二氯甲烷浴中分别以各30秒钟连续地浸渍，一边提取液体石蜡。需要说明的是，将开始浸渍侧作为第1槽、将结束浸渍侧作为第2槽时，清洗溶剂的纯度为(低)第1槽＜第2槽(高)。然后，于45℃将二氯甲烷干燥除去，一边在已加热至110℃的辊上输送，一边进行退火处理，由此，得到由聚烯烃微多孔膜形成的液体过滤器用基材。
[0149] [表1]
[0150]
[0151] [表2]
[0152]
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