一种磁控溅射织物样品夹持器
专利汇可以提供一种磁控溅射织物样品夹持器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 磁控溅射 织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；固定架包括底架、左挡 块 、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，底架设有U型槽，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的 位置 ；样品盘设有一圆形凹槽，样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受 力 使表面平整，样品 正面 向下受溅射作用而 镀 膜 ，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。，下面是一种磁控溅射织物样品夹持器专利的具体信息内容。
1.一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：包括固定架(1)、样品盘(2)和样品夹紧圈(3)；所述固定架(1)包括底架(11)，及设置在底架(11)上的左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)、左弹性片(14a)和右弹性片(14b)，所述底架(11)设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)和后挡块(13)分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)形成用于容置样品盘(2)的固定腔，所述样品盘(2)通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)对应设置于左挡块(12a)和右挡块(12b)的内侧靠近U型槽的位置，并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘(2)的拱形部(141)；所述样品夹紧圈(3)具有弹性且设置有缺口(31)，所述样品盘(2)设有一圆形凹槽(22)，所述样品夹紧圈(3)弹性安装在样品盘(2)的圆形凹槽(22)里。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述样品盘(2)连接有把手(21)。
3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述把手(21)设有从样品盘(2)表面逐渐向下的阶梯部。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述后挡块(13)中间设置有向前侧开口的定位槽(131)，所述样品盘(2)设有与所述定位槽(131)配合的定位凸柱(23)。
5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)设有对应的用于安装螺钉的通孔，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)通过螺钉固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)的前后端分别设置有向外侧延伸的连接部(142)，所述左挡块(12a)和右挡块(12b)下表面设有供所述连接部(142)伸入的凹位，所述连接部(142)设有用于安装螺钉的通孔，所述左弹性片(14a)、右弹性片(14b)分别通过螺钉与左挡块(12a)、右挡块(12b)及底架(11)固定连接。
一种磁控溅射织物样品夹持器
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
12a和右挡块12b的内侧靠近U型槽的位置，其具有向上凸起的用于顶压样品盘2的拱形部
141。请参见图6，所述夹持器的固定架1固定在磁控溅射镀膜设备的真空腔室内的样品台4底面，可根据靶位数量安装数个固定架1，固定架1下方为对应的靶。安装时，所述左挡块
12a、右挡块12b、后挡块13、左弹性片14a和右弹性片14b贴近样品台4底面，底架11则正对靶安装。
2在固定腔内转动。U型槽两侧的左弹性片14a和右弹性片14b向上将样品盘2顶压在样品台4底面，实现样品盘2被稳固夹持在固定架1内。
22对样品夹紧圈3的应力过大导致所述样品夹紧圈3变形。
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