专利汇可以提供闸装置、生产线和方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种闸装置(10、11),基体(8)可穿过闸装置送入 处理室 (4)和/或从处理室(4)移出,该闸装置(10、11)包括隔离 阀 (12、22),基体(8)穿过隔离阀导入处理室(4)和/或从处理室(4)移出。根据本发明,闸装置(10、11)包括与隔离阀(12、22)相连的至少一个扩散闸(14、16、24、26),当将基体导入和/或移出处理室(4)时,基体(8)在穿过闸装置(10、11)的同时大体上阻塞该扩散闸。本发明还涉及包括该闸装置(10、11)的生产线和用于将基体(8)送入和/或移出处理室(2、4、6)的方法。,下面是闸装置、生产线和方法专利的具体信息内容。
1.一种闸装置(10、11),基体(8)能够穿过闸装置被送入处理室(4)和/或从处理室(4)移出,该闸装置(10、11)包括隔离阀(12、22),基体(8)穿过该隔离阀被送入处理室(4)和/或从处理室(4)移出,其特征在于,闸装置(10、11)包括与隔离阀(12、22)相连的至少一个扩散闸(14、16、24、26),当将基体送入和/或移出处理室(4)时,基体(8)在穿过闸装置(10、11)的同时大体上阻塞扩散闸。
2.根据权利要求1所述的闸装置(10、11),其特征在于,闸装置(10、11)包括相对于隔离阀(12、22)处于处理室(4)内或外的扩散闸(14、16、24、26)。
3.根据权利要求1所述的闸装置(10、11),其特征在于,闸装置(10、11)包括相对于隔离阀(12、22)处于处理室(4)外的第一扩散闸(14、26)和处于处理室(4)内的第二扩散闸(14、24)。
4.根据权利要求1至3中任何一项所述的闸装置(10、11),其特征在于,扩散闸(14、
16、24、26)包括孔(18、20、28、30),用于经由扩散闸(14、16、24、26)输送基体(8)穿过隔离阀(12、22),孔(18、20、28、30)的形状和尺寸大体上对应于要送入处理室(4)的基体(8)的形状和尺寸,以使得基体(8)在通过孔(18、20、28、30)的同时大体上封闭孔(18、20、28、
30)。
5.根据权利要求4所述的闸装置(10、11),其特征在于,扩散闸(14、16、24、26)的孔(18、20、28、30)的尺寸设计为使得基体(8)穿过孔(18、20、28、30)时,基体(8)的外表面和孔(18、20、28、30)的内表面之间的间隙小于或大体上等于分子的平均自由行程。
6.根据权利要求1至5中任何一项所述的闸装置(10、11),其特征在于,扩散闸(14、
16、24、26)为管状或套筒状。
7.根据权利要求6所述的闸装置(10、11),其特征在于,管状或套筒状扩散闸(14、16、
24、26)的横截面积从隔离阀(12、22)向孔(18、20、28、30)减小。
8.根据权利要求6或7所述的闸装置(10、11),其特征在于,扩散闸(14、16、24、26)被设置成是在离开隔离阀(12、22)的方向上渐缩的凸轮管。
9.根据权利要求1至5中任何一项所述的闸装置(10、11),其特征在于,扩散闸(14、
16、24、26)为板状。
10.根据权利要求9所述的闸装置(10、11),其特征在于,板状扩散闸(14、16、24、26)包括管状或套筒状孔(18、20、28、30),该孔具有在离开隔离阀(12、22)的方向上减小的横截面积或者具有保持不变的横截面积。
11.根据权利要求4至10中任何一项所述的闸装置(10、11),其特征在于,孔(18、20、
28、30)具有间隙状和矩形形状,使得孔布置成接收板状或平面基体(8)。
12.根据权利要求6至11中任何一项所述的闸装置(10、11),其特征在于,管状或套筒状扩散闸(14、16、24、26)的长度或者扩散闸(14、16、24、26)的管状或套筒状孔的长度大体上等于或大于分子的自由行程。
13.根据权利要求1至12中任何一项所述的闸装置(10、11),其特征在于,闸装置(10、
11)还包括抽吸装置,该抽吸装置布置成与隔离阀(12、22)相连以产生扩散闸流动。
14.根据权利要求13所述的闸装置(10、11),其特征在于,抽吸装置布置成在第一和第二扩散闸(14、16;24、26)之间的空间中产生扩散流。
15.一种生产线,包括两个或更多个用于对基体(8)表面进行改性和/或生长的连续处理单元,这些处理单元中的至少一个包括处理室(2、4、6),在该生产线中用闸装置(10、11)把至少一个处理室(2、4、6)与前面和/或后面的处理单元分隔开,闸装置(10、11)包括隔离阀(12、22),基体(8)穿过该隔离阀被送入和/或移出处理室(2、4、6),其特征在于,闸装置(10、11)设有与隔离阀(12、22)相连的至少一个扩散闸(14、16、24、26),当将基体送入和/或移出处理室(4)时,基体(8)在穿过闸装置(10、11)的同时大体上阻塞扩散闸。
16.根据权利要求15所述的生产线,其特征在于,闸装置(10、11)包括相对于隔离阀(12、22)处于处理室(2、4、6)内或外的扩散闸(14、16、24、26)。
17.根据权利要求15所述的生产线,其特征在于,闸装置(10、11)包括相对于隔离阀(12、22)处于处理室(2、4、6)外的第一扩散闸(14、26)和处于处理室(2、4、6)内的第二扩散闸(14、24)。
18.根据权利要求15所述的生产线,其特征在于,闸装置(10、11)包括分别在隔离阀(12、22)相对两侧上的第一和第二扩散闸(14、16、24、26),当将基体送入和/或移出处理室(2、4、6)时,基体(8)在穿过闸装置(10、11)的同时大体上阻塞第一和第二扩散闸。
19.根据权利要求15至18中任何一项所述的生产线,其特征在于,处理室(2、4、6)包括在其两个相对壁上的闸装置(10、11),以便能穿过处理室(2、4、6)在生产线上输送基体(8)。
20.根据权利要求15至19中任何一项所述的生产线,其特征在于,该生产线包括传输装置(32、34、36),通过该传输装置将基体(8)在处理室(2、4、6)内和在各处理单元之间传输。
21.根据权利要求20所述的生产线,其特征在于,闸装置(10、11)布置成使得能够利用处理室(2、4、6)以及前面或后面处理单元的传输装置(32、34、36)来输送基体(8)穿过闸装置(10、11)。
22.根据权利要求15至21中任何一项所述的生产线,其特征在于,基体(8)布置成阻塞扩散闸(14、16、24、26),以使得在扩散闸(14、16、24、26)中基体(8)和扩散闸(14、16、
24、26)之间的间隙小于或大体上等于分子的平均自由行程。
23.根据权利要求15至22中任何一项所述的生产线,其特征在于,扩散闸(14、16、24、
26)为管状或套筒状。
24.根据权利要求23所述的生产线,其特征在于,管状或套筒状扩散闸(14、16、24、26)的横截面积从隔离阀(12、22)向扩散闸(14、16、24、26)减小。
25.根据权利要求15至22中任何一项所述的生产线,其特征在于,扩散闸(14、16、24、
26)为板状。
26.根据权利要求25所述的生产线,其特征在于,板状扩散闸(14、16、24、26)包括管状或套筒状孔(18、20、28、30),该孔具有在离开隔离阀(12、22)的方向上减小的横截面积或者具有保持不变的横截面积。
27.根据权利要求15至26中任何一项所述的生产线,其特征在于,扩散闸(14、16、24、
26)具有间隙状和矩形形状,使得扩散闸布置成接收板状或平面基体(8)。
28.根据权利要求23、24、26或27中任何一项所述的生产线,其特征在于,管状或套筒状扩散闸(14、16、24、26)的长度或者扩散闸(14、16、24、26)的管状或套筒状孔的长度大体上等于或大于分子的自由行程。
29.根据权利要求15至28中任何一项所述的生产线,其特征在于,闸装置(10、11)设有抽吸装置,以便在闸装置(10、11)中产生扩散闸流动。
30.根据权利要求15至29中任何一项所述的生产线,其特征在于,该生产线是用于制造太阳能电池的生产线。
31.一种方法,用于将基体(8)穿过闸装置(10、11)送入和/或移出处理室(4),其特征在于,在该方法中,输送基体(8)穿过闸装置(10、11),该闸装置包括隔离阀(12、22)和布置在隔离阀至少一侧上的扩散闸(14、16、24、26),其中,在该方法中,引导基体(8)穿过闸装置(10、11),使得当将基体(8)送入和/或移出处理室(4)时,基体(8)在穿过隔离阀(12、22)的同时大体上阻塞该扩散闸(14、16、24、26)。
32.根据权利要求31所述的方法,其特征在于,闸装置包括布置在隔离阀(12、22)相对两侧上的扩散闸(14、16、24、26),其中,该方法包括以下步骤:
沿基体行进方向将基体(8)输送到闸装置(10、11)的第一扩散闸(14、24)的孔(18、
28)中,基体(8)大体上封闭该孔;
在基体(8)仍然大体上封闭第一扩散闸(14、24)的孔(18、28)的同时打开隔离阀(12、
22);
沿基体(8)的行进方向把基体(8)穿过隔离阀(12、22)向前输送到处于隔离阀(12、
22)后面的第二扩散闸(16、26)的孔(20、30)中,基体(8)大体上封闭该孔,并且关闭隔离阀(12、22),以及
沿基体的行进方向输送基体(8)离开第二扩散闸(16、26)的孔(20、30)。
33.根据权利要求32所述的方法,其特征在于,在打开隔离阀(12、22)之前停止基体(8)的移动,此时基体(8)在其行进方向上处于第一扩散闸(14、24)的孔(18、28)中;和/或在关闭隔离阀(12、22)之前停止基体(8)的移动,此时基体(8)在其行进方向上处于第二扩散闸(16、26)的孔(20、30)中。
34.根据权利要求31至33中任何一项所述的方法,其特征在于,利用抽吸装置在闸装置(10、11)中产生扩散闸流动。
35.根据权利要求31至34中任何一项所述的方法,其特征在于,在生产线中采用该方法用于将基体(8)送入和/或移出原子层沉积单元(4)。
36.根据权利要求31至35中任何一项所述的方法,其特征在于,在太阳能电池的生产线中采用该方法。
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