化学气相沉积装置
专利汇可以提供化学气相沉积装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且化学气相沉积 装置，包括一反应器、一防漏伸缩管结构以及一排气管。该防漏伸缩管结构包括一压缩性本体，一套筒以及一 垫圈 。该垫圈设置于该本体的一端，用来连接该排气管。该套筒设置于该本体内，该套筒的一端与该反应器相连接，该套筒可避免废气直接 接触 该本体而残留于该本体内。另外，由于该压缩性本体以一体成型的方式形成，在废气排出的过程中，可避免废气自该压缩性本体中 泄漏 出，因此可提高制作工艺的 质量 。，下面是化学气相沉积装置专利的具体信息内容。
1.一种化学气相沉积装置，其包括：
一反应器，具有一排气端；
一防漏伸缩管结构，其包括：
一压缩性本体，具有一波纹管；
一套筒，设置于该波纹管内，该套筒的一端连接该反应器的排气端；以 及
一垫圈，设置于该本体的一端；以及
一排气管，连接于该防漏伸缩管结构的垫圈，用以排出废气。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，其中该波纹 管为一焊接型波纹管。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，其中该套筒 为一铝合金套筒。
4.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，其中该垫圈 为一特氟龙垫圈。
5.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，其中该本体 为一不锈钢本体。
6.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，其中该本体 还包括一弹簧，该防漏伸缩管结构还包括一螺栓，套接于该弹簧中，用来在 该排气管施压于该垫圈时，提供一弹力于该垫圈以增加该垫圈与该排气管的 密合度。
7.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，其中该本体 还包括一锁杆，该垫圈具有一锁沟，用来与该锁杆相锁合，以结合该垫圈及 该本体。
8.一种防漏伸缩管结构，应用于化学气相沉积装置，其包括：
一压缩性本体，具有一波纹管；
一套筒，设置于该波纹管内，该套筒的一端连接一反应器的排气端；以 及
一垫圈，设置于该本体的一端，用来连接一排气管。
9.根据权利要求8所述的防漏伸缩管结构，其特征在于，其中该波纹管 为一焊接型波纹管。
10.根据权利要求8所述的防漏伸缩管结构，其特征在于，其中该套 筒为一铝合金套筒。
11.根据权利要求8所述的防漏伸缩管结构，其特征在于，其中该垫 圈为一特氟龙垫圈。
12.根据权利要求8所述的防漏伸缩管结构，其特征在于，其中该本 体为一不锈钢本体。
13.根据权利要求8所述的防漏伸缩管结构，其特征在于，其中该本 体还包括一弹簧，该防漏伸缩管结构还包括一螺栓，套接于该弹簧中，用来 于该排气管施压于该垫圈时，提供一弹力于该垫圈以增加该垫圈与该排气管 的密合度。
14.根据权利要求8所述的防漏伸缩管结构，其特征在于，其中该本 体还包括一锁杆，该垫圈具有一锁沟，用来与该锁杆相锁合，以结合该垫圈 及该本体。
技术领域
本发明提供一种化学气相沉积装置，特别是一种使用防漏伸缩管结构接 合反应器排气端与排气管的化学气相沉积装置。
背景技术
请参阅图1；图1为反应器10与排气管12接合的示意图。每一个反应 器10有两个排气端，连接于排气管(exhaust pipe)12，以将制作工艺废气 排出。而反应器10的排气端与排气管12之间必须有一个防漏伸缩管40，其 两端必须配合反应器10排气端与排气管12接口的结构，以使泵(pump)所抽 出的制作工艺废气不会因衔接不当而泄漏，造成整个设备的污染。另外，防 漏伸缩管40的材质均为铝合金材质，在排出制作工艺废气时不易残留污染 物质于管壁中。
请参阅图2；图2为传统技术中防漏伸缩管40的示意图。防漏伸缩管 40由两套管20、30接合而成。请一并参阅图3与图4，其分别为构成防漏 伸缩管40的两套管20、30的示意图。图3中的套管20包括多个贯穿孔24。 套管20为中空设计，中空部份以22标示之，中空部分22内还具有一凹槽 26，用来放置一全氟化O型环(perfluor O-ring)。图4中的套管30为中空 设计且包括多个螺牙34，套管30可套入图3中的套管20的中空部分22， 并借由螺栓42与弹簧44将套管20、30相连接，如图2所示。
如前所述，防漏伸缩管40由两个套管20、30接合而成，由于两套管20、 30相接合时管壁32与中空部分22并非完全密闭，为了避免气体自两套管 20、30的接合处外漏，因此套管20的中空部分22内设有一凹槽26，用来 放置一全氟化O型环，利用全氟化O型环于接合处作气密设计。然而，于 长期使用后，O型环易受反应器10温度及气体腐蚀而产生劣化，因而泄漏 出废气，污染整个设备。
发明内容
本发明公开一种化学气相沉积装置，其包括一反应器、一防漏伸缩管结 构以及一排气管。该反应器具有一排气端，该防漏伸缩管结构包括一压缩性 本体，一套筒以及一垫圈。该压缩性本体具有一波纹管，该套筒设置于该波 纹管内，该套筒的一端连接该反应器的排气端，该垫圈设置于该本体的一端， 该排气管连接于该防漏伸缩管结构的垫圈，用以排出废气。
附图说明
图1为反应器与排气管接合的示意图。
图2为传统防漏伸缩管的示意图。
图3与图4分别为图2中构成防漏伸缩管的两套管的示意图。
图5为本发明化学气相沉积装置的示意图。
图6为本发明防漏伸缩管的示意图。
图7为本发明防漏伸缩管的套筒的示意图。
图8为本发明防漏伸缩管的本体的示意图。
主要组件符号说明
10反应器 12排气管
22中空部分 24贯穿孔
26凹槽 32管壁
34螺牙 52压缩性本体
54垫圈 55套筒的一端
56套筒 57锁沟
58焊接型波纹管 59锁杆
20、30套管
40、50防漏伸缩管
42、51螺栓
44、53弹簧
具体实施方式
请参阅图6；图6为本发明防漏伸缩管50的示意图。防漏伸缩管50主 要结构分为一压缩性本体52、一套筒(bushing)56以及一垫圈(ring)54。压缩 性本体52可压缩部份为一焊接型波纹管(welded bellows)58，使整个防漏伸 缩管50形成可压缩性。
请参阅图7；图7为本发明防漏伸缩管50的套筒56的示意图。套筒56 的一端55其宽度较大，这是因为套筒56设置于压缩性本体52内部后，其 一端55突出于压缩性本体52外，用来连接反应器10的排气端。套筒56设 置于压缩性本体52内部可避免制作工艺废气接触到焊接型波纹管58而残留 于波纹管58的管壁内。由于套筒56的材质为铝合金(aluminum alloy)，而 且反应器10的排气端亦为铝合金材质，其热膨胀系数相同，因此在制作工 艺过程中反应器10加热至高温时，套筒56的一端55与反应器10的排气端 会互相贴紧，以使废气排出的过程中不会将污染物漏出。
垫圈54设置于压缩性本体52的一端，用来连接排气管12。请参阅图8； 图8为本发明防漏伸缩管50的本体52的示意图。压缩性本体52设置垫圈 54的地方设有一锁杆59，垫圈54借由一锁沟57与压缩性本体52上的锁杆 59锁合，以固定于压缩性本体52上。压缩性本体52的周围另设有多个弹簧 (spring)53，将多个螺栓(bolt)51套入各弹簧53中，可协助垫圈54密合于排 气管12。当排气管12施压力于垫圈54时，弹簧53可提供弹力于垫圈54， 以使垫圈54与排气管12更加密合。垫圈54的材质为特氟龙(teflon)材质， 其特性耐高温且硬度大，因此可承受排气管12的压力与弹簧53的弹力。
传统技术中利用两个铝合金的套管20、30相接合并使用全氟化O型环 作气密设计，仍有废气泄漏的问题发生。而本发明防漏伸缩管50的压缩性 本体52系以一体成型的方式形成，因此可避免废气自压缩性本体52中泄漏 出来。另外，压缩性本体52以不锈钢(stainless steel)材质制成，焊接型波 纹管58也是不锈钢材质，相较传统技术所使用的铝合金材质，本发明所使 用的不锈钢材质可延长防漏伸缩管50的使用寿命。铝合金套筒56可防止废 气直接与波纹管58接触，以避免污染物残留于波纹之间。此外，本发明可 压缩性本体52可为其它任何具有压缩性的管状物。
相较于传统技术，本发明一体成型的防漏伸缩管50可解决传统技术中 泄漏废气的问题。另外，本发明的设计可延长防漏伸缩管50的使用寿命、 增加防漏伸缩管50与排气管12的密合度，因而提升制作工艺的质量。
以上所述仅为本发明的优选实施例，凡依本发明所做的均等变化与修 饰，均应属本发明的涵盖范围。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 化学气相沉积装置 | 2020-05-11 | 501 |
| 化学气相沉积装置 | 2020-05-11 | 594 |
| 化学气相沉积反应器 | 2020-05-12 | 195 |
| 一种化学气相沉积装置 | 2020-05-13 | 365 |
| 化学气相沉积设备 | 2020-05-13 | 185 |
| 化学气相沉积装置 | 2020-05-12 | 656 |
| 化学气相沉积反应器 | 2020-05-12 | 507 |
| 化学气相沉积装置 | 2020-05-12 | 224 |
| 化学气相沉积优化腔室 | 2020-05-13 | 884 |
| 化学气相沉积装置 | 2020-05-11 | 944 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
