一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置
专利汇可以提供一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种卷绕式 纤维 镀 膜 磁控溅射 装置，包括纤维丝线、 真空 腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的 位置 设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在 滑轮 之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。，下面是一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置专利的具体信息内容。
1.一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线(11)、真空腔体（14）、升降台（2）及靶材支座（12），其特征在于，所述真空腔体（14）内部在位于靶材支座（12）一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线(11)进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线(11)进行收卷。
2.根据权利要求1所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷绕装置包括电机（10）、支撑座（6）、小齿轮（9）、大齿轮（8）、传动轴（7）、卷筒（4）及支撑座（6），所述小齿轮（9）设置在电机上，且小齿轮（9）与大齿轮（8）啮合设置，所述传动轴（7）穿设在支撑座（6）上，且其一端与大齿轮（8）相连，另一端与卷筒（4）相连。
3.根据权利要求1所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述丝架装置包括支撑架(17)、滑杆(19)及滑轮组，所述滑轮组包括滑轮一(16)、滑轮二(18)及滑轮三(20)，所述滑轮一(16)及滑轮二(18)分别设置在支撑架(17)上，所述滑轮三(20)设置在滑杆(19)上。
4.根据权利要求2所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷筒
(4)由上下两线槽组成，其中下线槽底部设有截面为矩形的伸出端，并通过伸出端直接插入传动轴(7)之中，从而实现连接与传动。
5.根据权利要求3所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑杆
(19)可在支撑架(17)上水平滑动，所述支撑架(17)上设有预紧螺钉(15)，通过预紧螺钉(15)能够调节滑杆(19)的水平位置，从而起到预紧的作用。
6.根据权利要求1所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑轮一(16)与滑轮三(19)设置在同一平面，滑轮二(18)与滑轮一(16)、滑轮三(19)均不在同一个平面上。
一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置
技术领域
背景技术
发明内容
图3为本发明的丝架结构图；
图中：1-密封盖，2-升降台，3-丝架，4-卷筒，5-支撑轴承，6-支撑座，7-传动轴，8-大齿轮，9-小齿轮，10-电机，11-纤维丝线，12-靶材支座，13-靶材，14-腔体，15-预紧螺钉，16-滑轮一，17-支撑架，18-滑轮二，19-滑杆，20-滑轮三。
具体实施方式
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