不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法
专利汇可以提供不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且不锈 钢 手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN 薄膜 的方法，它涉及一种 不锈钢 器械表面制备薄膜的方法。本 发明 的目的是要解决现有现在手术器械存在黏附血液等体液比较严重，术后清洗不干净，导致消毒杀菌不完全，做手术时存在交叉感染患者的问题。方法：一、超声清洗；二、化学 刻蚀 ；三、Ar离子溅射清洗；四、Cr离子溅射清洗；五、沉积Cr层；六、沉积CrN层；七、沉积Cu-TiN层，即完成不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜。优点：Cr/CrN/Cu-TiN膜层厚度远小于传统的Cr或Ni厚度，节省了成本，增加了抗黏抗菌性。本发明主要用于锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜。，下面是不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法专利的具体信息内容。
1.不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法，其特征在于不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法是按以下步骤完成的：
一、超声清洗：首先以浓度为40g/L的氢氧化钠水溶液为清洗剂在超声频率为40kHz对不锈钢手术器械进行超声清洗10min～20min，然后以质量分数为≥99.7％酒精为清洗剂在超声频率为40kHz超声清洗10min～20min，最后以蒸馏水为清洗剂在超声频率为40kHz超声清洗5min～15min，得到清洗后不锈钢手术器械；
二、化学刻蚀：将清洗后不锈钢手术器械浸入刻蚀液中，浸蚀5min～15min，然后采用蒸馏水清洗至不锈钢手术器械表面黑色物质完全消失，得到化学刻蚀后不锈钢手术器械；
三、Ar离子溅射清洗：将化学刻蚀后不锈钢手术器械放入高功率脉冲磁控溅射系统-3
的真空室Cr靶正前方10cm处，将真空室气压抽至真空度为5.0×10 Pa，然后以流量为
12sccm通入Ar，将真空室气压调节至2.0Pa～4.0Pa，然后在Ar的流量为12sccm、基体偏压为-500V～-800V下溅射清洗10min～20min；
四、Cr离子溅射清洗：将Ar的流量从12sccm调至8sccm，将真空室气压调节至0.1Pa～
0.3Pa，在基体偏压为-500V～-800V下开Cr靶电源，调节Cr靶电源参数直流为0.1A～
0.3A、脉冲幅值为700V～1000V、脉冲宽度为250μs和脉冲频率为50Hz，在Ar的流量为
8sccm、真空室气压为0.1Pa～0.3Pa、基体偏压为-500V～-800V、Cr靶电源直流为0.1A～
0.3A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下溅射清洗2min～8min；
五、沉积Cr层：将Ar的流量从8sccm调至12sccm，将真空室气压调节至0.5Pa～
1.0Pa，将基体偏压调节至-30V～-100V下，将Cr靶电源直流调节至0.3A～0.7A，在Ar的流量为12sccm、真空室气压为0.5Pa～1.0Pa、基体偏压为-30V～-100V、Cr靶电源直流为
0.3A～0.7A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下沉积2min～8min；
六、沉积CrN层：以流量为4sccm通入N2，将真空室气压调节至0.5Pa～1.0Pa，然后在Ar的流量为12sccm、N2的流量为4sccm、真空室气压为0.5Pa～1.0Pa、基体偏压为-30V～-100V、Cr靶电源直流为0.3A～0.7A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下沉积2min～8min，得到沉积CrN层不锈钢手术器械；
七、沉积Cu-TiN层：将沉积CrN层不锈钢手术器械从Cr正前方转至Ti镶嵌Cu靶正前方10cm处，并关闭Cr靶电源，开启Ti镶嵌Cu靶，调节Ti镶嵌Cu靶电源参数直流0.3A～
0.7A、脉冲幅值700V～1000V、脉冲宽度250μs和脉冲频率50Hz，在Ar的流量为12sccm、N2的流量为4sccm、真空室气压为0.5Pa～1.0Pa、基体偏压为-30V～-100V、Ti镶嵌Cu靶电源直流0.3A～0.7A、Ti镶嵌Cu靶电源脉冲幅值500V～1000V、Ti镶嵌Cu靶电源脉冲宽度250μs和Ti镶嵌Cu靶电源脉冲频率50Hz下沉积30min～50min，即完成不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜。
2.根据权利要求1所述的不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法，其特征在于步骤一中所述的不锈钢手术器械为手术刀刀柄、手术剪、手术镊或手术钳。
3.根据权利要求1所述的不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法，其特征在于步骤一中首先以浓度为40g/L的氢氧化钠水溶液为清洗剂在超声频率为40kHz对不锈钢手术器械进行超声清洗15min，然后以质量分数为≥99.7％酒精为清洗剂在超声频率为40kHz超声清洗15min，最后以蒸馏水为清洗剂在超声频率为40kHz超声清洗10min，得到清洗后不锈钢手术器械。
4.根据权利要求1所述的不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法，其特征在于步骤二中所述的刻蚀液由4gFeCl3·6H2O、2mL质量浓度为36％～38％的HCl水溶液、2mL质量浓度为85％的H3PO4水溶液和30mL蒸馏水混合而成。
5.根据权利要求1所述的不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法，其特征在于步骤二中将清洗后不锈钢手术器械浸入刻蚀液中，浸蚀10min，然后采用蒸馏水清洗至不锈钢手术器械表面黑色物质完全消失，得到化学刻蚀后不锈钢手术器械。
不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜的方法
技术领域
背景技术
发明内容
40kHz超声清洗5min～15min，得到清洗后不锈钢手术器械；
12sccm通入Ar，将真空室气压调节至2.0Pa～4.0Pa，然后在Ar的流量为12sccm、基体偏压为-500V～-800V下溅射清洗10min～20min；
0.1A～0.3A、脉冲幅值为700V～1000V、脉冲宽度为250μs和脉冲频率为50Hz，在Ar的流量为8sccm、真空室气压为0.1Pa～0.3Pa、基体偏压为-500V～-800V、Cr靶电源直流为
0.1A～0.3A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下溅射清洗2min～8min；
0.3A～0.7A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下沉积2min～8min；
12sccm、N2的流量为4sccm、真空室气压为0.5Pa～1.0Pa、基体偏压为-30V～-100V、Ti镶嵌Cu靶电源直流0.3A～0.7A、Ti镶嵌Cu靶电源脉冲幅值500V～1000V、Ti镶嵌Cu靶电源脉冲宽度250μs和Ti镶嵌Cu靶电源脉冲频率50Hz下沉积30min～50min，即完成不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜。
附图说明
具体实施方式
40kHz超声清洗5min～15min，得到清洗后不锈钢手术器械；
12sccm通入Ar，将真空室气压调节至2.0Pa～4.0Pa，然后在Ar的流量为12sccm、基体偏压为-500V～-800V下溅射清洗10min～20min；
0.1A～0.3A、脉冲幅值为700V～1000V、脉冲宽度为250μs和脉冲频率为50Hz，在Ar的流量为8sccm、真空室气压为0.1Pa～0.3Pa、基体偏压为-500V～-800V、Cr靶电源直流为
0.1A～0.3A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下溅射清洗2min～8min；
0.3A～0.7A、Cr靶电源脉冲幅值为700V～1000V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下沉积2min～8min；
12sccm、N2的流量为4sccm、真空室气压为0.5Pa～1.0Pa、基体偏压为-30V～-100V、Ti镶嵌Cu靶电源直流0.3A～0.7A、Ti镶嵌Cu靶电源脉冲幅值500V～1000V、Ti镶嵌Cu靶电源脉冲宽度250μs和Ti镶嵌Cu靶电源脉冲频率50Hz下沉积30min～50min，即完成不锈钢手术器械表面制备Cr/CrN/Cu-TiN薄膜。
10min，得到清洗后不锈钢手术器械；
12sccm通入Ar，将真空室气压调节至3.0Pa，然后在Ar的流量为12sccm、基体偏压为-700V下溅射清洗15min；
800V、脉冲宽度为250μs和脉冲频率为50Hz，在Ar的流量为8sccm、真空室气压为0.25Pa、基体偏压为-600V、Cr靶电源直流为0.1A、Cr靶电源脉冲幅值为800V、Cr靶电源脉冲宽度为250μs和Cr靶电源脉冲频率为50Hz下溅射清洗5min；
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