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薄膜沉积用电泳设备

阅读:179发布:2020-05-11

专利汇可以提供薄膜沉积用电泳设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种 薄膜 沉积用 电泳 设备,底座上安放有电泳槽和四根 支撑 杆,支撑杆间承载有 水 平滑槽;水平滑槽的顶板和 底板 分别开有一滑道,两滑道间插有两个 电极 夹具,水平滑槽的两侧分别设有一螺旋测微器头,螺旋测微器头通过绝缘连接件连接相近的电极夹具,旋转螺旋测微器头推动相接电极夹具在滑槽内水平移动,旋转螺旋测微器头和电极夹具之间还接有 弹簧 ;两电极夹具底部分别夹持一电极,电极位于电泳槽内。本发明可精密调节电极间距,操作方便、稳定、可靠。,下面是薄膜沉积用电泳设备专利的具体信息内容。

1.薄膜沉积用电泳设备,包括一底座(8),底座(8)上安放有电泳槽(7),底座(8)上还固定有四根支撑杆,四支撑杆间承载有平滑槽;水平滑槽的顶板(4)与底板(5)之间通过四个相同高度的不锈柱体连接,顶板(4)和底板(5)分别开有一滑道,两滑道间插有两个电极夹具(1),水平滑槽顶板(4)的滑道边沿划有刻度线;水平滑槽的两侧分别设有一螺旋测微器头(3),螺旋测微器头(3)与最相近的电极夹具之间通过弹簧相接,弹簧始终处于被拉伸的状态,旋转螺旋测微器头能推动相接电极夹具在滑槽内水平移动;两电极夹具底部分别夹持一电极(1-5);电极夹具包括头部(1-1)、中间部分(1-3)和尾杆(1-4),头部(1-1)伸出滑槽顶板(4),中间部分(1-3)为方形结构夹在顶板(4)和底板(5)之间,中间部分(1-3)通过绝缘连接件(9)连接最相近的螺旋测微器头(3),尾杆(1-4)为方形柱体伸出底板(5);尾杆(1-4)底部开有凹槽,电极被夹持端放入凹槽,采用螺母旋紧固定,电极位于电泳槽(7)内。
2.根据权利要求1所述的薄膜沉积用电泳设备,其特征在于,所述电极夹具(1)采用合金材料。
3.根据权利要求1所述的薄膜沉积用电泳设备,其特征在于,所述电泳槽(7)为方形槽。
4.根据权利要求1所述的薄膜沉积用电泳设备,其特征在于,所述支撑杆(2)上套有用以承载水平滑槽的螺母。
5.根据权利要求1所述的薄膜沉积用电泳设备,其特征在于,所述底座(8)表面开有一凹槽,电泳槽(7)放入凹槽内。

说明书全文

薄膜沉积用电泳设备

技术领域

[0001] 本发明涉及一种应用电泳技术在导电衬底上沉积膜层的电泳设备。

背景技术

[0002] 目前薄膜沉积一般都采用自行组装的设备,如用烧杯或其它槽状容器作为电泳槽,用普通的夹具固定导电电极,一般很难精确控制电极间距以及保持其平行和处于竖直,或保持电极间距不动,实验误差较大。由于大多数有机溶剂都有腐蚀性,以及在长时间的通过较高的直流电压的情况下,腐蚀会很严重,对电极夹具和槽都有很大的损伤,也会影响到实验本身。同时,对于固定电泳槽的位置,单单改变电极的位置,也是很难实现的。

发明内容

[0003] 本发明的目的是克服当前自行组装简易的膜层沉积电泳设备的缺陷,提供一种薄膜沉积用可调电泳设备,可精密调节电极间距,操作方便、稳定、可靠。
[0004] 薄膜沉积用电泳设备,包括一底座8,底座8上安放有电泳槽7,底座8上电泳槽7四上分别固定有一支撑杆2,支撑杆间承载有平滑槽;水平滑槽的顶板4和底板5分别开有一滑道,两滑道间插有两个电极夹具1,水平滑槽的顶板4滑道边沿刻划有刻度线;水平滑槽的两侧分别设有一螺旋测微器头3,螺旋测微器头3通过绝缘连接件9连接相近的电极夹具,旋转螺旋测微器头推动相接电极夹具在滑槽内水平移动,旋转螺旋测微器头3和电极夹具1之间还接有弹簧;两电极夹具底部分别夹持一电极1-5,电极位于电泳槽7内。
[0005] 薄膜沉积用精密可调电泳设备有如下优点:
[0006] 与现有的自组装的简易电泳设备比较,优点为:(1)电极位置的精密可调:电极在水平的间距通过螺旋测微器头控制,可调范围是1.2cm~6.2cm,最小可调0.01mm,且可以固定;在竖直方向,电极可以整体移动,自身保持水平,移动范围10cm;沉积过程中,两电极始终保持互相平行,并且处于竖直的方向,极大的降低了实验的误差。(2)安全措施良好,电泳槽的关键位置都有绝缘保护,在高电压下电泳不会有危险。(3)使用方便,电极夹具顶端可以直接外接直流电源,根据需要选择量程;水平滑槽顶端的标尺,可以直观显示电极的间距;底座上开出的槽用于安放电泳槽,同时也方便沉积完毕时槽的取出。现有的电泳槽都不能同时具有上述功能。附图说明
[0007] 图1是本发明的结构示意图的正视图。
[0008] 图2是本发明的结构示意图的俯视图。
[0009] 图3是本发明的电极夹具1的结构图。
[0010] 图4是本发明的电泳槽7的结构图。
[0011] 图5是本发明的水平滑槽底板5的结构图。
[0012] 图6是本发明的水平滑槽顶板4的结构图。
[0013] 图7是本发明的底座8结构图。

具体实施方式

[0014] 参考图1和2,电泳设备包括一底座8,底座8上安放有电泳槽7,底座8上电泳槽7四角上分别固定有一支撑杆2,支撑杆间承载有水平滑槽。水平滑槽包括顶板4和底板5,为了保证两板维持较好的平行度,两板之间通过四个相同高度的不锈柱体6连接。
[0015] 为了实现电极夹具之间水平间距可调,在滑槽的顶板4和底板5上分别开有一滑道(如图5所示),顶板4滑道边沿还刻划有刻度线4-1(如图6所示),将两个电极夹具1插入两滑道间。水平滑槽的两侧分别设有一螺旋测微器头3,螺旋测微器头3固定于底板5上,螺旋测微器头3通过绝缘连接件9连接与其相近的电极夹具,旋转螺旋测微器头可推动相接电极夹具在滑槽内水平移动。电极夹具1与螺旋测微器头固定部件之间有弹簧相接,弹簧始终处于被拉伸的状态,保证只有在旋转螺旋测微器头的情况下,电极夹具1才能向中间移动。
[0016] 电极夹具结构见图3所示,其包括头部1-1、中间部分1-3和尾杆1-4三个部分。头部1-1伸出滑槽顶板4,用于外接直流电源;中间部分1-3宽于头部1-1和尾部1-4,夹在滑槽顶板4和底板5之间,为方形结构,中间部分1-3侧面通过绝缘连接件与螺旋测微器头
3连接,保证电极夹具在滑动时能够平稳。尾杆1-4底端伸出滑槽底板5用于夹持电极1-5。
尾杆1-4特别设计为方形柱体,这样在通过移动两电极夹具1进行水平调距的过程中,有效保证两电极1-5的平行。尾杆1-4夹持电极的部位设计为一凹槽形式,电极1-5被夹持端放入凹槽,再采用螺母1-6旋紧固定,这里没有采用夹子等其它夹持方式,是因为凹槽和方形柱体的尾杆1-4能够保证电极维持竖直。
[0017] 电泳槽7优选为方形槽,有利于电场在两电极之间的均匀分布。在电泳过程中,需要保证电泳槽位置固定,因此本发明在底座8上开有方形凹槽,如图8所示,方形凹槽既可以固定电泳槽,又方便电泳槽的取出。
[0018] 通过水平滑槽和螺旋测微器头3,水平夹具能够在水平反向移动从而实现水平间距的调节。为了实现电极1-5在竖直反向高度的调节,本发明采用整体移动水平滑槽的方式实现,具体为:在四个支撑杆2上分别套有一螺母,底板8的四个角搭放在螺母上,若需调节电极高度,只需要调节螺母在支撑杆上的高度位置。
[0019] 因为电泳液大部分采用有腐蚀性的有机溶剂,所以需要设备具有抗腐蚀性。本发明中的底座8采用经表面处理过的材,滑槽的顶板4和底板5采用环板,电泳槽7采用聚四氟乙烯材料,电极夹具1采用合金材料制成。将电压输送到Ti合金材料的电极夹具采用,在高直流电压下也不会生锈。由于电泳槽材料为抗腐蚀的聚四氟乙烯,适用的溶剂范围广,适用于乙醇、乙酰丙、乙二醇甲醚等多种有机溶剂以及水中的电泳操作。
[0020] 工作过程具体为:将电极1-5夹在电极夹具1上,导电面向内,电极用螺母1-6固定;将适量的电泳液倒入电泳槽7中,竖直方向上抬高电极1-5,将电泳槽放在底座8的凹槽内,然后,同时调整四根支撑杆2上的螺母,使电极1-5进入电泳液适当深度,调整完毕,旋动螺旋测微器头3调整电极1-5的水平间距,调整完毕,水平间距可固定不动,从电极夹具1头部1-1接通直流电源,开始进行电泳的实验研究。沉积完毕,旋动竖直支撑杆2的螺母,抬高水平滑槽,从底座8的槽中取出电泳槽7,旋松电极夹具1的螺母1-6,取出沉积膜层的电极1-5.。通过本仪器,可以沉积水基、非水基的多种物质的膜,适用于包括不锈钢片,ITO,Si/SiO2/Ti/Pt,Al2O3/Ag,Al2O3/Pt在内的多种电极衬底,可用于测量电泳工艺中的单位面积增重-沉积时间,单位面积增重-所施电压,单位面积增重-电极间距,电流强度-时间等多种曲线的研究。
[0021] 本发明不同于一般的生物分析用电泳设备本,发明利用电泳工艺沉积膜层,其原理是在直流电场的作用下,水溶液或非水溶液中携带电荷的陶瓷粉体悬浊液发生泳动,沉积在电极表面制成陶瓷膜。电泳沉积膜层在电材料、介电材料以及一些前沿领域如多铁性材料的制备都有应用的前景。目前还没有关于实验用简易的沉积膜层的电泳设备的专利
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