专利汇可以提供旋涂成型一体化装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 旋涂 成型一体化装置,包括 旋涂机 ,旋涂机的一侧设有基片移动台和放取样机械手,另一侧设有点胶模 块 ,点胶模块上设有 光源 模块。点胶模块包括点胶机,点胶机上设有移动 导轨 ,移动导轨的下端设有点胶针筒,点胶针筒连接有进料管道。光源模块包括光 固化 灯,光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。放取样机械手的下端设有三爪卡盘。整体具有自动化和流 水 线式控制的特点,使放样、点胶、旋涂、光固化(特别对于光敏材料)、取样等加工流程能自动控制完成,实现旋涂样品的流水线式生产,提高加工效率和 精度 。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利,下面是旋涂成型一体化装置专利的具体信息内容。
1.一种旋涂成型一体化装置,其特征在于,包括旋涂机,所述旋涂机的一侧设有基片移动台和放取样机械手,另一侧设有点胶模块,所述点胶模块上设有光源模块。
2.根据权利要求1所述的旋涂成型一体化装置,其特征在于,所述点胶模块包括点胶机,所述点胶机上设有移动导轨,所述移动导轨的下端设有点胶针筒,所述点胶针筒连接有进料管道。
3.根据权利要求2所述的旋涂成型一体化装置,其特征在于,所述光源模块包括光固化灯,所述光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。
4.根据权利要求3所述的旋涂成型一体化装置,其特征在于,所述光固化灯包括紫外灯。
5.根据权利要求1至4任一项所述的旋涂成型一体化装置,其特征在于,所述放取样机械手的下端设有三爪卡盘。
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