专利汇可以提供一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,本发明使用 水 热法制备p型ZnO纳米柱,可以很好的控制掺杂的掺杂,提高掺杂浓度;同时,可以避免H 原子 进入ZnO当中,从而避免了Mg‑H 复合体 的产生,有利于提高Mg原子的激活浓度;此外,有利于进行多元素的复合掺杂,为高空穴浓度p型ZnO的制备创造有利条件;并且该水热法可控性好,设备简单,成本低廉,有利于降低生产成本;另一方面,Zn完全取消了Ga源和In源,有利于节约宝贵资源,提高贵重资源的有效利用率;同时,ZnO是无毒的,有利于实现绿色生产,保护环境。,下面是一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法专利的具体信息内容。
1.一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1)、在p型衬底上旋涂光刻胶;
S2)、采用预先制备好的掩膜板进行紫外曝光显影处理,获得微米/纳米柱生长的窗口,即获得图形化衬底;
S3)、将图形化衬底放入掺杂有p型掺杂原子的ZnO溶液当中,在60-100℃下生长p型ZnO微米/纳米柱2-12h,在生长过程中采用磁力搅拌机不断搅拌,保证溶液的均匀性;
S4)、将上步骤中生长p型ZnO微米/纳米柱的样品转移到掺杂有n型掺杂原子的ZnO溶液当中,在60-100℃下生长n型ZnO微米/纳米柱2-12h,在生长过程中采用磁力搅拌机不断搅拌,保证溶液的均匀性;
S5)、生长完成后除去光刻胶;
S6)、采用磁控溅射设备在n型ZnO微米/纳米柱外表面上沉积一层厚度为20-200nm的高导电率、透明性好的Al掺杂ZnO薄膜(AZO);
S7)、减薄衬底,然后在AZO和衬底背面镀上电极,即可获得结构完整的ZnO微米/纳米柱LED。
2.根据权利要求1所述的一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于:步骤S1)中,所述的p型衬底为单晶Si、LaAlO3、GaN、AlN中的任一种。
3.根据权利要求1所述的一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于:步骤S2)中,生长窗口的形状可为圆形或方形或正多边形。
4.根据权利要求1所述的一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于:步骤S3)中,所述的p型掺杂原子为Mg、Na、Mn中的一种或者几种。
5.根据权利要求1所述的一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于:步骤S4)中,所述的n型掺杂原子为Al、Cu、Sn中的一种或者几种。
6.根据权利要求1所述的一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于:步骤S6)中,溅射功率为350-550W,沉积温度为200-500℃,沉积气氛为0.1-10Pa的氧气,沉积靶材为掺杂5-10%Al的ZnO陶瓷靶。
7.根据权利要求3所述的一种ZnO微米/纳米柱LED的制备方法,其特征在于:生长窗口的形状为圆形,并且其直径为50-500000nm,微米/纳米柱中心距离为0.5-300微米。
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