专利汇可以提供疾病检测仪专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且特别的,本 发明 提供了一种 疾病 检测的仪器,包含 生物 样品输送系统,检测器件和探测器件。所述检测器件和探测器件包含一种微型器件,支持微型器件的衬底, 接触 待测生物样品的微型器件,能够测量 生物材料 在微观尺度的电学、磁学、 电磁学 、热学、光学、声学、生物学、化学或 力 学性质。,下面是疾病检测仪专利的具体信息内容。
1.一种检测生物体疾病的检测仪,包括输运待测生物样本的传送系统与探测检测生物体的检测器件。
2.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于,所述探测器件包含一种微器件以及一个支撑其的基底,此微器件探触被检生物样本,并可以在微观水平下测量生物样本的如下性质:电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电机械学、电化学、电光学、电热学、电化学机械学、生物化学、生物机械学、生物光学、生物热学、生物物理学、生物电机械学、生物电化学、生物电光学、生物电热学、生物机械光学、生物机械热学、生物热光学、生物电化学光学、生物电机械光学、生物电热光学、生物电化学机械学、物理学或力学。
3.如权利要求2所述的检测仪,其特征在于,检测出的检测到的被测生物材料的特性与标准的生物样品的差异是可能发生的疾病的标志。
4.如权利要求2所述的检测仪,其特征在于,所述电学性质包括表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻。热学性质为生物体或分子的温度或震动频率。光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光。化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度。物理性质为密度或几何尺寸。声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振。机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性
5.如权利要求2中所述的检测仪,其特征在于探测检测器件向生物体施加1mV到10V
的电压。
6.如权利要求2中所述的检测仪,其特征在于探测检测器件向生物体施加1mV到1.0V
的电压。
7.如权利要求2中所述的检测仪,其特征在于,该检测仪包括导电材料、绝缘材料、生物类材料或半导体材料。
8.如权利要求2中所述的检测仪,其特征在于其中的第一微型器件的尺寸范围为1埃
到5毫米。
9.如权利要求2中所述的检测仪,其特征在于,所述探测器件进一步包含一个或多个微器件,所述微器件可以在微观下测量生物样本的如下性质:电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电机械学、电化学、点化学机械学、生物物理学、物理化学、生物化学、生物物理化学、生物机械学、生物电化学、生物电化学机械学、物理学或力学性质。
10.如权利要求9中所述的检测仪,其特征在于,所述的电学性质为表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电荷或电子云分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态表面电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电场分布变化、动态电子云分布或电阻变化;所述的热学性质为温度、生物体或生物分子的振动频率;所述的光学性质为光吸收、光透过、光反射、光电性质、亮度或荧光发射;所述的化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、电离强度、催化行为或键合强度;所述的物理性质为密度或几何尺寸;所述的声学性质为频率、声波波速、声学强度谱分布、声强、声学吸收或声学共振;所述的力学性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性。
11.如权利要求9中所述的检测仪,其特征在于附加的微型器件包括导电材料、电绝缘材料、生物材料或半导体材料。
12.如权利要求11中所述的检测仪,其特征在于每个附加的微型器件包括与第一微型器件相同或不同的材料、能够测量与第一微型器件所测的相同或不同的生物体性质。
13.如权利要求12中所述的检测仪,其特征在于第一微型器件及各附加微型器件能够测量表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电荷或电子云分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态表面电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电场分布变化、动态电子云分布或电阻变化、温度、生物体或生物分子的振动频率;光学性质包括光吸收、光透过、光反射、光电性质、亮度或荧光发射、PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、电离强度、催化行为或键合强度、度或几何尺寸、频率、声波波速、声学强度谱分布、声强、声学吸收或声学共振、内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性。
14.如权利要求9所述的检测仪,其特征在于,所述的检测器件与微型器件之间以所需的距离放置。
15.如权利要求13所述的检测仪,其特征在于能够在同一时间或不同时间测试相同或不同的特性。
16.如权利要求15所述的检测仪,其特征在于每个附加微型器件的尺寸范围为1埃到
大约5毫米。
17.如权利要求9所述的检测仪,其特征在于微型器件在衬底上被隔开的距离至少为
10埃。
18.如权利要求17所述的检测仪,其特征在于相邻的两个微型器件的距离范围大约从
5微米到100微米。
19.如权利要求2所述的检测仪,其特征在于,所述的衬底的形状为平板、管形、管阵列、矩形或矩形阵列。
20.如权利要求2所述的检测仪,其特征在于,所述的衬底为三维物体。
21.如权利要求2所述的检测仪,其特征在于,所述的检测和探测器件进而包括第二种衬底,它与第一种衬底是相同或者不同的材料。
22.如权利要求2所述的检测仪,其特征在于进而包括了能够读取来自探测和检测器
件测量数据的器件。
23.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于进而包括了流体输送系统,它包括压力发生器、压力调节器、压力表与分压装置。
24.如权利要求23所述的检测仪,其特征在于,所述的压力发生器包括马达活塞系统或含压缩空气的小容器。
25.如权利要求23所述的检测仪,其特征在于,所述的压力调节器可以向下或者向上调节压力值所需值。
26.如权利要求23所述的检测仪,其特征在于,所述的压力表将测量值反馈至节流阀,节流阀向目标值调整压力。
27.如权利要求23所述的检测仪,其特征在于,所述的输送的流体为液体或气体。
28.如权利要求27所述的检测仪,其特征在于,所述的液体是血液、尿液、唾液、眼泪、盐水或汗液。
29.如权利要求27所述的检测仪中,其特征在于,所述的气体是氮、氦、氩、氪、氙、氖或氡。
30.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于,所述的探测和检测器件进而包括一个控制系统,该系统包括前置放大器、锁相放大器、电表、温度计、开关矩阵、系统总线、非挥发性存储器件、一个随机存取存储器、逻辑电路、信号接收器、信号发射器,处理器和用户界面。
31.如权利要求30所述的检测仪,其特征在于,所述的界面包含了传感器。
32.如权利要求31所述的检测仪,其特征在于,所述的传感器为温度传感器、流量计、光学传感器或压电计。
33.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于进而包括生物界面、系统控制器或至少一个回收或处理医疗废弃物的系统。
34.如权利要求33所述的检测仪,其特征在于医疗废弃物的回收与处理由同一系统完成。
35.如权利要求33所述的检测仪,其特征在于医疗废弃物的回收与处理由两个不同系统完成。
36.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于进而包括待测样品的输送系统、待测样
品的分配系统、分配通道、检测器件、定位系统、运动部件、信号接收器、传感器、记忆存储单元、逻辑处理单元。
37.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于,所述的生物样品输送系统包括至少一个通道,通道内生物样品向一定的方向运动,探测和检测器件包括至少一个微型探测器件和一个微型检测器件,在生物样品的运动方向上,至少有一个微型探测器件在微型检测器件之前,微型探测器件和微型检测器件可以附加在通道的内壁或外壁上。
38.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于,所述的探测与检测器件包括至少微型检测器件,能够测量生物体在微观水平上相同或不同的特性。
39.如权利要求38中所述的检测仪,其特征在于,所述的微型检测器件能够测量表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电荷或电子云分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态表面电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电场分布变化、动态电子云分布或电阻变化、温度、生物体或生物分子的振动频率;光学性质包括光吸收、光透过、光反射、光电性质、亮度或荧光发射、PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、电离强度、催化行为或键合强度、度或几何尺寸、频率、声波波速、声学强度谱分布、声强、声学吸收或声学共振、内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性。
40.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于不同通道部分的形状与尺寸可以相同或不同。
41.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于,所述的通道的宽度范围约为1纳米至1毫米。
42.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于,所述的通道可以是直的、弯曲或者倾斜的。
43.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于,所述的通道的内壁可定义成圆形、椭圆形、长方形或多边形空间。
44.如权利要求43所述的检测仪,其特征在于,所述的通道的内壁可定义成圆形或长方形空间。
45.如权利要求44所述的检测仪,其特征在于,所述的通道是圆形的碳纳米管。
46.如权利要求45所述的检测仪,其特征在于,所述的碳纳米管的直径范围约为0.5纳米至100纳米,长度范围约为5.0纳米到10纳米。
47.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于,所述的通道的内壁上有至少一个凹陷,与探测或检测器件在同一部分上。
48.如权利要求47所述的检测仪,其特征在于,所述的凹型槽有一个立方体空间或一个角度空间。
49.如权利要求48所述的检测仪,其特征在于,所述的凹型槽的深度范围约为10纳米至1毫米。
50.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于,所述的流体通过注入进入通道,在生物体经过微型探测器件之前或之后,以帮助生物体在通道内运动或分离。
51.如权利要求50所述的检测仪,其特征在于分配的流体通过分配的通道连接到通道壁中的开口处,经注入进入通道。
52.如权利要求37所述的检测仪,用于检测超过一种的生物体,而该通道包含了根据同一特性在不同水平上分立生物体的器件。
53.如权利要求52所述的检测仪,其特征在于,所述分离或分割装置是一个狭缝,基于生物体表面电荷将其分立或分割。
54.如权利要求37所述的检测仪,其特征在于进而包括过滤器件,用于去除生物体内与检测无关的物体。
55.如权利要求1中所述的检测仪,其特征在于,所述的生物体是端粒基因或染色体。
56.如权利要求1中所述的检测仪,其特征在于进而包括生物体输送单元、通道、检测单元、数据存储单元、数据分析单元、中央控制单元、生物样品循环单元或废弃物处理单元。
57.如权利要求56中所述检测仪,其特征在于,所述的检测仪集成于一台仪器或主板。
58.如权利要求1中所述的检测仪,其特征在于进而包括预处理单元、信号处理单元或处置单元。
59.如权利要求58所述的检测仪,其特征在于,所述的预处理单元包括样品过滤单元、补给单元、恒压输送单元或样品探测前的干扰装置。
60.如权利要求59所述的检测仪,其特征在于,所述的样品过滤单元包括入口通道、扰流通道、加速腔或狭缝。
61.如权利要求60所述的检测仪,其特征在于一种生物适应性流体被注入到扰流通道进行分离。
62.如权利要求61所述的检测仪,其特征在于,所述的生物适应性流体从扰流通道的入口注入,输送至入口通道的开口处。
63.如权利要求62所述的检测仪,其特征在于,所述的生物适应性流体包括盐水、水、高含氧量流体或等离子体。
64.如权利要求60所述的检测仪,其特征在于,所述的入口通道与扰流通道的夹角范围为从0度到大约180度、从30度到大约150度、从60度到大约120度或从75度到大约
105度或者90度。
65.如权利要求60所述的检测仪,其特征在于每个通道的宽度范围约为1纳米至1毫
米。
66.如权利要求60所述的检测仪,其特征在于至少一个通道包含附着在侧壁的探测器件,能够测量生物体在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
67.如权利要求59所述的检测仪,其特征在于,所述的样品过滤单元包括入口通道、生物适应性微型过滤器或出口通道。
68.如权利要求67所述的检测仪,其特征在于,所述的生物适应性微型过滤器能够基于如下至少一种性质过滤生物体:电学、磁学、电磁学、物理尺寸、硬度、弹性、剪切强度、重量、表面特性、光学、声学、热学、化学、力学、生物学、生物化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学、电学、电化学、磁学、电磁学、电化学、电化学力学或电化学生物学性质。
69.如权利要求66所述检测仪,其特征在于,所述的电性能是表面电荷、表面电位、静息电位、动作电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电气或电荷云分布、在端粒DNA和染色体的电性能、电性能的动态变化、在表面的电荷电位、动态变化的动态变化、动态变化的电流、在电场中的动态变化、在电力的电压的动态变化、动态变化的配电、电子云分布的动态变化或阻抗;所述的热性质是温度或振动频率;所述的光学特性为光吸收、光传输、光的反射、光的电性能、亮度或荧光发射;所述的化学性质是pH值、化学反应、生化反应、生物电化学反应、反应速度、反应的能量、氧气浓度、氧气消耗速率、离子强度、催化行为或接合强度;所述的物理属性是密度或几何尺寸;所述的声学属性是频率、速度的声波、声波频率和强度的光谱分布、声强、吸音或声学共振;所述的机械性能是内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率的弹性、塑性或压缩性。
70.如权利要求66所述的检测仪,其特征在于,所述的通道中的至少一个包括至少两个探测装置连接到通道的侧壁,能够在微观水平测量的探测器件的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
71.如权利要求70所述的检测仪,其特征在于所述两个或更多的探测器件按照所需间隔放置。
72.如权利要求71所述的检测仪,其特征在于,所述的探测器件在同一次或不同次测量间测量相同或不同的特性。
73.如权利要求70中所述的检测仪,其特征在于电子学特性是表面电荷、表面电位、静息电位、动作电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电气或电荷云分布、在端粒DNA和染色体的电性能、电性能的动态变化、在表面的电荷电位、动态变化的动态变化、动态变化的电流、在电场中的动态变化、在电力的电压的动态变化、动态变化的配电、电子云分布的动态变化或阻抗;所述的热性质是温度或振动频率的光学特性的光吸收、光传输、光的反射、光的电性能、亮度或荧光发射;所述的化学性质是pH值、化学反应、生化反应、生物电化学反应、反应速度、反应的能量、氧气浓度、氧气消耗速率、离子强度、催化行为或健接强度;所述的物理属性是密度或几何尺寸;所述的声学属性是频率、速度的声波、声波频率和强度的光谱分布、声强、吸音或声学共振;所述的机械性能是内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率的弹性、塑性或压缩性。
74.如权利要求60所述的检测仪,其特征在于样品的探测前干扰单元包括配有如下部件的微型器件:通道,一对平板,将通道分为顶部通道和底部通道的狭缝。
75.如权利要求74所述的检测仪,其特征在于探测前干扰单元向生物体施加电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学信号。
76.如权利要求75所述的检测仪,其特征在于,所述的信号为脉冲或恒量信号。
77.如权利要求59所述的检测仪,其特征在于补给单元向生物体补充养分或者呼吸气体。
78.如权利要求77所述的检测仪,其特征在于,所述的养分包括生物相容性的强或弱的电解质、氨基酸、矿物质、离子、氧、富氧液体、静脉滴注、葡萄糖或蛋白质和呼吸气体包括氧气。
79.如权利要求58所述的检测仪,其特征在于,所述的信号处理单元包括放大器、锁相放大器、模数转换器、微型计算机、操纵器、示屏以及网络连接。
80.如权利要求79所述的检测仪,其特征在于,所述的信号处理单元收集超过一种的信号,信号经操作后可减少噪声,增强信噪比。
81.如权利要求1所述的检测仪,其特征在于,所述的生物样本包括血液、尿液、唾液、泪液、盐水或汗水。
82.一种检测生物样本疾病的检测仪,包括在需要的速度和方向上发射探测物的发射腔、检测单元、探测物、检测组件、输送待测生物样本和探测物的通道。
83.如权利要求82所述的检测仪,其特征在于,所述的发射腔包括用于释放探测物的活塞和为探测物导向的通道。
84.如权利要求82所述的检测仪,其特征在于,所述的检测单元或检测部件能够测量生物样本在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
85.如权利要求84所述的检测仪,其特征在于,所述的电子学性质为表面电荷、表面电位、静息电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电气或电荷云分布、在端粒DNA和染色体的电性能、电性能的动态变化、在表面的电荷电位、动态变化的动态变化、动态变化的电流、在电场中的动态变化、在电力的电压的动态变化、动态变化的配电、电子云分布的动态变化或阻抗;所述的热性质是温度或振动频率;所述的光学特性为光吸收、光传输、光的反射、光的电性能、亮度或荧光发射;所述的化学性质为pH值、化学反应、生化反应、生物电化学反应、反应速度、反应的能量、氧气浓度、氧气消耗速率、离子强度、催化行为或键接强度;所述的物理属性是密度或几何尺寸;所述的声学属性是频率、速度的声波、声波频率和强度的光谱分布、声强、吸音或声学共振;所述的机械性能是内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率的、弹性、塑性、压缩性。
86.一种用于生物样本中疾病检测的检测仪,其特征在于,该检测仪的制造方法包括以下步骤:
提供一个衬底;
依次淀积第一层材料与第二层材料至衬底上,形成材料堆叠;
对第二层材料图形化,形成所需的特性;
在材料堆叠上淀积第三层材料,覆盖第二层材料;
选择性的抛光或回蚀,使第三层材料平坦化;
选择性的图形化第一层材料以形成第二种所需特性;
选择性淀积第四层材料至材料堆叠中。
87.如权利要求86所述检测仪,其特征在于,该检测仪能够与生物样品相互作用,产生反应信号如电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学信号,且该检测仪能够在微观尺度上探测该反应信号。
88.如权利要求87所述的检测仪,其特征在于,所述的电子学性质包括表面电荷、表面电位、静息电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电气或电荷云分布,在端粒DNA和染色体的电性能,电性能的动态变化,在表面的电荷电位,动态变化的动态变化,动态变化的电流,在电场中的动态变化,在电力的电压的动态变化,动态变化的配电,电子云分布的动态变化或阻抗;所述的热性质是温度或振动频率;所述的光学特性为光吸收、光输、光的反射、光的电性能、亮度或荧光发射;所述的化学性质是pH值、化学反应、生化反应、生物电化学反应、反应速度、反应的能量、氧气浓度、氧气消耗速率、离子强度、催化行为或健接强度;所述的物理属性是密度或几何尺寸;所述的声学属性是频率、速度的声波、声波频率和强度的光谱分布、声强、吸音或声学共振;所述的机械性能是内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率的弹性、塑性、压缩性。
89.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种材料通过微电子工艺实现图形化。
90.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第一种材料和第三种材料可以相同或不同。
91.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第一种材料和第三种材料通过光刻与刻蚀工艺实现图形化,并对第二种材料具有选择性,并至少在第一、第三种材料上形成沟槽。
92.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括在材料堆叠的顶层封口,形成封闭的沟槽。
93.如权利要求92所述的检测仪,其特征在于,所述的封闭的沟槽可以用来输送生物样本,或观察和记录的生物样本的特性和行为。
94.如权利要求92所述的检测仪,其特征在于,所述的封口包括将第二种器件放置于材料堆叠的顶端,第二种器件可以是与探测器件相同的器件,一片玻璃或晶体或选自以下的器件:图像器件、光探测器、传感器、存储器件、信号传输器件、逻辑处理部件、数据存储电路、信号传输与处理器件。
95.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种材料使用光刻和刻蚀技术实现图形化,形成检测用的探针并对第一种材料具有选择性。
96.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第一种材料和第三种材料通过光刻与刻蚀工艺实现图形化,并对第二种材料具有选择性,并至少在第一、第三种材料上形成沟槽、并合理的使第二种材料和沟槽的侧边对齐。
97.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第四种材料比第三种材料薄。
98.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于进而包括图像器件,可以观察和记录生物样本的特征与行为。
99.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于进而包括预处理单元,其附带预筛选的腔体,可以增强待测生物样本中疾病样本的浓度,还包括通过样本的通道,探测或干扰待测生物样本的探针,以产生反应信号,测量生物样本的特性与响应信号。还包括图像器件、摄像头、观测台、声学探测器、光学探测器、电信号探测器、热探测器、离子发射探测器或热记录仪以观察和记录生物样本的特性与行为。
100.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于进而包括记忆存储器件、信号传输、逻辑处理部件、数据存储电路和信号传输与处理单元。
101.如权利要求100所述的检测仪,附加的器件通过微电子工艺在长有第一种材料的衬底上制造。
102.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于第一或第二种功能选自以下组合:分配腔室、与通道连接的腔室、通道、针发生器、检测用探针、连接的互连线、光传输线和压电电力线。
103.如权利要求102所述检测仪,其特征在于,所述的分配腔室用于生物样品的预处理,以筛选和提高疾病生物样本在待测样本中的浓度,与通道相连的腔室是用于预处理和检测,通道中有样品流过,探测发生器(探针)用于产生施加于生物样品的探测或干扰信号,以触发响应信号,检测探针用于测量生物样品的特性与响应信号,电导线和光导线用于信号传输,压电电线用于通过压电效应探测生物样品。
104.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的检测器件具有特征通道尺寸范围从约2×2微米至100×100微米的正方形横截面通道,半径范围约为1微米至20微米的圆形横截面的通道和一个特征尺寸约为0.5×0.5微米至20×20微米的正方形横截面的探针。
105.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的检测器件具有特征通道尺寸范围从约6×6微米至14×14微米的正方形横截面通道,半径范围约为3微米至8微米的圆
形横截面的通道和一个特征尺寸约为0.5×0.5微米至10微米×10微米的正方形横截面
的探针。
106.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第一种材料与第三者材料各自包含未掺杂氧化物(二氧化硅)、掺杂氧化物、氮化硅、多晶硅材料、玻璃或绝缘材料。
107.如权利要求86所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种材料包括导电材料、热敏材料、光学材料、离子发射敏感材料、铝、铝合金、铜、铜合金、钨、钨合金、金、金合金、银、银合金或压电材料。
108.如权利要求107中所述的检测仪,其特征在于,所述的压电材料为石英、磷铝盐、镓、正磷酸盐、磷酸镓、电气石、陶瓷、钡、钛酸钡、钛酸钡、锆酸铅、钛酸的PZT、氧化锌、氮化铝或聚偏二氟乙烯。
109.如权利要求86中所述的检测仪,其特征在于,所述的探测器件包括至少一个探
针,至少一个探测器或至少一对探针和探测器,探针向生物样品发出一个探测或干扰信号,产生响应信号,探测器测量由此产生的响应信号。
110.如权利要求86中所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种材料通过微电子工艺实现图案化,以形成第一种所需特性;第一种材料和第三种材料可选择性的通过微电子工艺实现图案化,以形成第二种所需特征;第一种材料和第三中材料可以相同或不同。
111.如权利要求110中所述的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括覆盖材料堆叠的覆盖层封口,以形成封闭的沟槽。
112.如权利要求111中所述的检测仪,其特征在于可用图像器件、传感器、光探测器、摄像头、观测台、升学探测器、光探测器、热探测器、离子发射探测器或热记录仪作为覆盖层密封或覆盖材料堆叠层的顶端。
113.如权利要求110中所述的检测仪,其特征在于,所述的方法进而包括预处理单元(腔体),用于生物样品的预处理,以筛选和提高疾病生物样本在待测样本中的浓度。通道中有样品流过,探针用于产生施加于生物样品的探测或干扰信号、以触发响应信号、检测探针用于测量生物样品的特性与响应信号或图像器件用于观察和纪律生物样品的特性与行为。
114.如权利要求110中所述的检测仪,其特征在于,所述的检测器件包括特征尺寸范围为2×2微米至大约100×100微米、横截面为方形的通道、半径范围与约为1至20微米、横截面为圆形的通道、以及特征尺寸范围约为0.5×0.5微米至20×20微米、横截面为方形的探针。
115.如权利要求110所述的检测仪,其特征在于,所述的检测器件具有特征通道尺寸范围从约6×6微米至14×14微米的正方形横截面通道,半径范围约为3微米至8微米的
圆形横截面的通道和一个特征尺寸约为0.5×0.5微米至10微米×10微米的正方形横截
面的探针。
116.如权利要求110所述的检测仪,其特征在于,所述的第一种材料与第三者材料各自包含未掺杂氧化物(二氧化硅)、掺杂氧化物、氮化硅、多晶硅材料、玻璃或绝缘材料。
117.如权利要求110所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种材料包括导电材料、热敏材料、光学材料、离子发射敏感材料、铝、铝合金、铜、铜合金、钨、钨合金、金、金合金、银、银合金、压电材料、热敏材料、光学材料或离子发射敏感材料。
118.如权利要求117所述的检测仪,其特征在于,所述的压电材料为石英、磷铝盐、镓、正磷酸盐、磷酸镓、电气石、陶瓷、钡、钛酸钡、钛酸钡、锆酸铅、钛酸的PZT、氧化锌、氮化铝或聚偏二氟乙烯。
119.如权利要求110中所述的检测仪,其特征在于,所述的探测器件包括至少一个探针,至少一个探测器或至少一对探针和探测器,探针向生物样品发出一个探测或干扰信号,产生响应信号,探测器测量由此产生的响应信号。
120.一种检测生物体中疾病的检测仪,其中的检测器件的制造方法包括以下步骤:
提供一个衬底;
依次淀积第一层材料与第二层材料至衬底上,形成材料堆叠;
用微电子工艺对第二层材料图形化,对第一层材料具有选择性,在第二层材料中形成部分的凹陷区域;
在材料堆叠上淀积第三层材料,覆盖第二层材料;
通过抛光或回蚀工艺,去除第二层材料上部的第三层材料;
选择性的用微电子工艺图形化第三层材料,以形成至少部分凹陷区域;
淀积第四层材料至材料堆叠上;
通过抛光或回蚀工艺,选择性去除第二、第三层材料上部的第四层材料;
选择性的淀积第五种材料;
选择性的图形化第五种材料以形成沟槽;和
选择性的以平板或另一器件覆盖材料堆叠。
121.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种和第四种材料可以相同或不同。
122.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第三种材料通过微电子工艺实现图形化,以形成至少部分的凹陷区域。第四种材料在第二、第三种材料上部的部分通过抛光或回蚀工艺去除,第五层材料淀积和图形化后形成沟槽。
123.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、清洗、离子注入、扩散或封装。
124.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第二层材料通过光刻和刻蚀工艺实现图形化,对第一种材料具有选择性,以形成第二层材料中的部分凹陷区域。
125.权利要求124所述的检测仪,其特征在于,所述的第二层材料通过图形化形成能够探测或干扰生物样品的探针。
126.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第四层材料通过化学机械抛光或回蚀工艺实现图形化,截止于第二和第三层材料上,以形成能够探测来自生物体的响应信号的探测器。
127.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第四层材料通过化学机械抛光,回蚀工艺或者同时使用两种工艺实现图形化,形成第二个探针。
128.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第五层材料通过图形化形成可以在检测中通过流体样品的通道,通道底部合理的分布着检测用的探针。
129.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括在材料堆叠顶端放置另外一个器件以封口,形成封闭沟槽的方法。
130.如权利要求120中的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括覆盖材料堆叠的顶端,形成封闭沟槽的方法。
131.如权利要求130中的检测仪,其特征在于,所述的封闭的凹槽可用于观察和记录的生物样品的特性和行为。
132.如权利要求130中所述的检测仪,其特征在于,所述的覆盖包括将另外的器件放置于材料堆叠的顶端,另外的器件可以是与被覆盖的探测器件相同器件、一片玻璃或晶体、或选自以下的器件:图像器件、传感器、存储器件、信号传输器件、逻辑处理部件、数据存储电路、信号传输与处理器件。
133.如权利要求120中所述该检测仪,其特征在于,所述的制造方法包括使用微电子工艺在衬底上制造传感器、存储器件、信号传输器件、逻辑处理部件、数据存储电路、信号传输与处理器件。
134.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的第二种和第四种材料可以相同或不同。
135.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、清洗、离子注入、扩散或封装。
136.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的第三层材料通过光刻和刻蚀工艺完成图形化,对第一、第二层材料具有选择性,图形化过程中去除至少部分第三层材料并保护第二层材料。
137.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的第三层材料通过光刻和刻蚀工艺完成图形化,去除至少部分第三层材料,并对第一、第二层材料具有选择性。
138.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的第三层材料通过化学机械抛光或回蚀工艺实现图形化,截止于第二层材料。
139.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的第四层材料通过化学机械抛光或回蚀工艺实现图形化,截止于第二个探测器。
140.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的第五层材料通过光刻和刻蚀工艺实现图形化。
141.如权利要求140中所述的检测仪,其特征在于,所述的第五层材料通过图形化以形成至少一个通道或至少一个检测腔,疾病检测过程中通道或检测腔中可以通过流体,通道内壁合理的排布着检测探针。
142.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的方法进而包括放置另一器件至材料堆叠层顶端以形成封闭的沟槽。
143.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的方法进而包括覆盖材料堆叠层顶端以形成封闭的沟槽。
144.如权利要求143中所述的检测仪,其特征在于,所述的封闭的沟槽可用于观察并记录生物样品的特性与行为。
145.如权利要求143中所述的检测仪,其特征在于,所述的覆盖包括将另外的器件放置于材料堆叠的顶端,另外的器件可以是与被覆盖的探测器件相同器件,一片玻璃或晶体或选自以下的器件:图像器件,传感器,存储器件、信号传输器件、逻辑处理部件、数据存储电路、信号传输与处理器件。
146.如权利要求134中所述的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括通过微电子工艺制造传感器、存储器件、信号传输器件、逻辑处理部件、数据存储电路、信号传输与处理器件。
147.如权利要求120中所述的检测仪,其特征在于,所述的器件能够测量生物体在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
148.如权利要求147所述的检测仪,其特征在于,所述的电学性质包括表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻;所述的热学性质为生物体或分子的温度或震动频率;所述的光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光。化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度;所述的物理性质为密度或几何尺寸;所述的声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振;所述的机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性
149.一种检测生物体中疾病的检测仪,包括一个检测器件和一个包括以下步骤的方法制造成的通道或腔室:
提供一个衬底;
选择性图形化衬底以形成至少一个凹陷区域;
将材料A淀积至衬底上以覆盖至少衬底上部分的凹陷区域;
将材料A平坦化以去除衬底上至少部分材料A,并在部分凹陷区域
保留材料A;
将材料B淀积至材料A上及衬底上部分的凹陷区域;
将材料B图形化以形成至少一个凹陷区域;
将材料X淀积至材料B上以覆盖材料B及其凹陷区域;
将材料X图形化以形成至少一个比材料B凹陷区域上形成比凹陷区域小的通孔;
通过湿法刻蚀,等离子可以活气相刻蚀去除至少部分材料B与部分
材料A,以形成材料X与衬底或材料A间的通道或空腔;和
淀积材料Y以密封材料X上的至少一个小通孔
150.如权利要求149中所述的检测仪,其特征在于,所述的探测器件能够测量生物体在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
151.如权利要求150所述的检测仪,其特征在于,所述的电学性质包括表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻;所述的热学性质为生物体或分子的温度或震动频率;所述的光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光;所述的化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度;所述的物理性质为密度或几何尺寸;所述的声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振;所述的机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性。
152.如权利要求149中所述该检测仪,其特征在于,所述的凹陷区域有重叠。
153.如权利要求149中所述的检测仪。其特征在于,所述的凹陷区域有重叠,材料A包括电绝缘材料,材料B包括导电材料和压电材料、半导体材料、热敏材料、光学材料、压敏材料、离子发射敏感材料或以上的任意组合。
154.如权利要求149中所述的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括:
材料B完成图形化后,材料X淀积之前,淀积材料C至材料B上以覆盖材料B上凹陷区
域;
选择性的平坦化材料C,并
图形化材料C以形成部分凹陷区域并与材料B上的凹陷区域有交叠;和
材料C可以与材料A相同或不同。
155.如权利要求154中所述的凹陷区域有重叠。
156.如权利要求154中所述的检测仪,其特征在于,所述的材料C包括电绝缘材料、导电材料、压电材料、半导体材料、热敏材料、光学材料、压敏材料或离子发射敏感材料。
157.如权利要求154中所述的检测仪,其特征在于,所述的凹陷区域有重叠。
158.如权利要求157中所述的检测仪,其特征在于,所述的制造方法进而包括:
材料C完成图形化后,材料X淀积之前,淀积材料D至材料C上以覆盖材料C上凹陷区
域;
去除材料C上部的材料D,保留材料C凹陷区域内的材料D;和
材料D和材料B可以是相同或者不同种材料
159.如权利要求157中所述的检测仪,其特征在于,所述的凹陷区域有重叠。
160.权利要求159中所述的检测仪,其特征在于,所述的方法进而包括:材料C图形化后,淀积材料X之前,淀积材料E到材料D上,以至少覆盖所述材料D的凹区域,和除去上述材料D上部的材料E,保留材料D凹陷区域中的材料E,选择性的重复类似步骤,在至少一个凹陷区上淀积附加材料和除去上述凹陷区域以上的附加材料,留下的凹陷区域中的附加材料。
161.如权利要求160中所述的检测仪,其特征在于,所述的凹陷区域有重叠。
162.如权利要求149中所述的检测仪,进而包括一个微注射器,用于向生物样品注射某个物体以产生响应,以及一个检测器,用于检测注射完成后由生物样品产生的响应。
163.一种包括两个微型器件的检测仪,其中每个微型器件都可以通过包含如下步骤的方法制造:
提供一个衬底;
淀积第一层材料至衬底上;
淀积第二层材料至第一层材料上,然后用微电子工艺图形化第二层材料;
用可以与第一层材料相同或不同的第三次材料重复第二步至少一次;其中,微型器件可以刺穿细胞膜,向不同方向运动。
164.如权利要求163所述的检测仪,其特征在于,所述的微型器件能够测量细胞膜在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
165.如权利要求163中所述的检测仪,其特征在于,所述的微型器件可以测量细胞膜在微观尺度上的力学性质。
166.如权利要求163中所述的检测仪,其特征在于制造的微型器件在物理学或电学性质上是耦合或整合在一起的。
167.如权利要求163中所述的检测仪,其特征在于,所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、抛光、清洗、离子注入、扩散或封装。
168.如权利要求163中所述的检测仪,其特征在于,所述的检测仪整合至单独的仪器上火装配至单独的主板上。
169.一种微型器件,包括微型过滤器、开关、细胞计数器、选择器、微型手术配件、计时器或数据处理电路。
170.如权利要求169中所述的微型器件,其特征在于,所述的微型过滤器通过物理学、力学、电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、生物物理学、生物物理化学、物理化学、生物电化学或生物电化学力学性质来区分异常细胞。
171.如权利要求169中所述的微型器件,其特征在于进而包括一个或多个微型过滤
器。
172.如权利要求171中所述的微型器件,其特征在于每个微型过滤器都整合有两个细胞计数器,一个装配在过滤池的入口,另一个装配在过滤池的出口。
173.如权利要求169中所述的微型器件,其特征在于,所述的开光在两个过滤的细胞壁之间。
174.如权利要求169中所述的微型器件,其特征在于,所述的开关通过计时器控制。
175.如权利要求174中所述的微型器件,其特征在于,所述的计时器通过细胞计数器触发。
176.如权利要求171中所述的微型器件,其特征在于,所述的微型过滤器的过滤池的形状为矩形、椭圆形、圆形或多边形。
177.如权利要求171中所述的微型器件,其特征在于,所述的微型过滤器的尺寸范围为0.1微米至大约500微米。
178.如权利要求171中所述的微型器件,其特征在于,所述的微型过滤器的尺寸范围为1微米至大约200微米。
179.如权利要求171中所述的微型器件,其特征在于,所述的微型过滤器覆盖有生物的或者生物的剥膜。
180.一种微型器件,包括了带侧壁的微型沟槽与,植入沟槽的侧壁或底部的探针,使探针运动的支撑结构,控制电路;该微型器件能够捕获得、分类、探测、通信、处理、修改的生物样品、测量其在微观尺度上的性质。
181.如权利要求180中所述的微型器件,其微型沟槽宽度范围为0.1纳米至约100微
米,其深度为0.1纳米至约100微米,其长度为0.5纳米至约10毫米。
182.如权利要求180中所述的微型器件,其特征在于,所述的探针包扩导电材料,并选配有可伸缩的支撑结构以伸缩探针。
183.如权利要求180中所述的微型器件,其特征在于,所述的探针尖端沿着沟槽侧边,并在空间上与DNA的大沟或小沟匹配。
184.如权利要求183中所述的微型器件,其特征在于其尖端在空间上与DNA的间隔沟
匹配。
185.如权利要求184中所述的微型器件,其特征在于,所述的沟的间隔是可变的。
186.如权利要求183所述的微型器件,其特征在于在沟槽的末尾探针尖端与每个DNA
螺旋链的末尾匹配。
187.如权利要求183所述的微型器件,其特征在于,所述的其尖端的直径范围为1埃至约10微米。
188.如权利要求180所述的微型器件,其特征在于进而包括沟槽的阵列。
189.如权利要求180所述的微型器件,其特征在于该生物样品为细胞、细胞的子结构、DNA、RNA、蛋白质或病毒。
190.如权利要求180所述的微型器件,其特征在于其探针连接至控制电路,能够接收或执行来自控制电路的指令。
191.如权利要求180所述的微型器件,其特征在于,所述的探针能够向生物样品移动。
192.如权利要求191所述的微型器件,其特征在于,所述的探针包括了可动结构,可使探针伸缩,向样品移动。
193.如权利要求180所述的微型器件,其特征在于测量的微观尺度的性质包括电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
194.如权利要求193所述的微型器件,其特征在于,所述的电学性质包括表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻;所述的热学性质为生物体或分子的温度或震动频率;所述的光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光;所述的化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度;所述的物理性质为密度或几何尺寸;所述的声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振;所述的机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性。
195.一种与生物样品进行交互作用的检测仪,包括一个微型器件,能够向生物样品发送信号,接收来自生物样品的响应信号。
196.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的交互作用是指探测、检测、通信、处理和修饰电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学信号。
197.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于包括多个覆盖有一种或多种元素的表面,以及一个控制系统,能够释放一种或多种元素。
198.如权利要求197所述的检测仪,其特征在于,所述的控制系统通过热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学能量从器件表面释放元素。
199.如权利要求198所述的检测仪,其特征在于,所述的能量以脉冲的形式形成并有所需频率。
200.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于进而包括第一部件,用于存储或释放一种或多种元素至细胞表面或进入细胞;第二部件用于控制一种或多种元素的释放。
201.如权利要求200所述的检测仪,其特征在于第二部件是控制元素释放的电路。
202.如权利要求200所述的检测仪,其特征在于,所述的元素为生物学成分、化合物、生物物理学成分、生物化学成分、钙、碳、氯、钴、铜、氢、碘、铁、镁、锰、氮、氧、磷、氟、钾、钠、硫、锌或它们的组合。
203.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的信号是以一种或多种元素成分释放的形式存在。
204.如权利要求203所述的检测仪,其特征在于,所述的信号通过溶液、气体或两者的组合携带。
205.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的信号为脉冲的或者恒量的。
-4
206.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的信号频率范围为1x10 赫到
100兆赫。
207.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的信号包括生物学、化合物、生物物理学成分生物化学成分、钙、碳、氯、钴、铜、氢、碘、铁、镁、锰、氮、氧、磷、氟、钾、钠、硫、锌或它们的组合的振荡。
208.如权利要求207所述的检测仪,其特征在于,所述的信号包括生物学、化合物、生物物理学成分生物化学成分、钙、碳、氯、钴、铜、氢、碘、铁、镁、锰、氮、氧、磷、氟、钾、钠、硫、-4
锌或它们的组合的振荡,振荡频率范围约为1x10 赫到100兆赫。
209.如权利要求207所述的检测仪,其特征在于,所述的信号包括生物学、化合物、生物物理学成分生物化学成分、钙、碳、氯、钴、铜、氢、碘、铁、镁、锰、氮、氧、磷、氟、钾、钠、硫、锌或它们的组合的振荡,其浓度振荡范围约1.0纳摩/升至10.0毫摩/升。
210.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的响应是来自生物样品的包括化合物、生物成分、生物化学成分、元素、动态电位、静态电位、静态电位的变化、动态电位的变化、离子梯度的变化中、离子浓度的变化、局部离子浓度的变化、化学成分浓度的变化、生物成分的变化、生物化学成分的变化、元素的变化或其组合。
211.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于来自生物样品的响应为一个振荡频
率。
212.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的器件涂覆了生物相容性薄膜。
213.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的器件包括用于产生信号,发送至生物样品,接收来自生物样品的响应信号,分析和处理该响应信号,衔接器件与生物样品的器件。
214.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的发送至生物样品的信号以元素、离子、化合物、生物成分、生物化学成分、元素、动态电位、静态电位、静态电位的变化、动态电位的变化、离子梯度的变化中、离子浓度的变化、局部离子浓度的变化、化学成分浓度的变化、生物成分的变化、生物化学成分的变化、元素的变化或其组合的振荡形式发出。
215.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的探针能够向生物样品移动。
216.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的探针包括可动的支撑结构,使探针伸缩并向生物样品移动。
217.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于检测仪的探针连接至控制电路。
218.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于,所述的生物样品为DNA、端粒DNA、RNA、细胞、子结构、病毒、染色体或蛋白质。
219.如权利要求195所述的检测仪,其特征在于进而包括生物样品的输送单元,数据处理单元,预处理单元,通道,检测单元,数据存储单元,数据分析单元,中央控制单元,生物样品循环单元和废弃物处理单元。
220.如权利要求219所述的检测仪,其特征在于整合至独立的设备或装备至主板上。
221.一种制造微型器件的方法,其特征在于包括淀积多种材料至衬底,在每两种材料的淀积之间,通过微电子工艺图形化部分或全部的淀积材料。微型器件能够测量与其相接触的生物样品在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、电力学、点化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
222.如权利要求221中所述的制造方法,其特征在于,所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、清洗、离子注入、扩散或封装。
223.如权利要求221所述的制造方法,其特征在于,所述的电学性质包括表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻;热学性质为生物体或分子的温度或震动频率;所述的光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光;所述的化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度;所述的物理性质为密度或几何尺寸;所述的声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振;所述的机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性。
224.一种微型器件的制造方法,其特征在于包括以下步骤:
提供一个衬底
淀积第一层材料至衬底上
淀积第二层材料至第一层材料上,用微电子工艺图形化第二层材料重复第二步至少一次,所淀积的材料可以与之前淀积的材料相同或不同。
225.如权利要求224所述的制造方法,其特征在于,所述的微电子工艺包括光刻、刻蚀、直写、分子自组装、激光烧蚀、电子束直写、X射线直写、扩散、离子注入、清洗、抛光、以化学机械抛光平坦化和封装。
226.如权利要求224所述的制造方法,其特征在于进而包括通过湿法刻蚀、干刻或气相刻蚀去除多层的材料堆叠。
227.如权利要求224所述的制造方法,其特征在于重复步骤中所用材料可以与第一层和第二层材料相同或不同。
228.权利要求224所述的制造方法,其特征在于,所述的微型器件可以朝任意方向移动。
229.权利要求224所述的制造方法,其特征在于,所述的制造微型器件的材料可以是生物材料、聚合物、压电材料、半导体材料、电绝缘材料或导电材料。
230.权利要求229中所述的制造方法,其特征在于,所述的压电材料为石英、磷铝盐、镓、正磷酸盐、磷酸镓、电气石、陶瓷、钡、钛酸钡、钛酸钡、锆酸铅、钛酸的PZT、氧化锌、氮化铝或聚偏二氟乙烯。
231.权利要求224中所述的制造方法,其特征在于,所述的微型器件能够分类、探测、测量、通信或修饰生物样本。
232.如权利要求224中所述的制造方法,其特征在于,所述的微型器件包括微型沟槽,沟槽的侧壁植入了探针,该方法包括:
提供一个衬底
淀积第一层材料至衬底上
淀积第二层材料至第一层材料上,并以微电子工艺图形化第二层材料,以形成探测夹端
淀积第三层材料至第二层材料上,通过平坦化工艺对第三层材料图形化
淀积第四层材料至第三层材料上,通过微电子工艺对第四层材料图形化
用第四种材料作为硬掩模,对第三层材料图形化
233.如权利要求232中所述的制造方法,其特征在于所述的微电子工艺包括薄膜淀
积、光刻、刻蚀、清洗、离子注入、扩散或封装。
234.如权利要求232所述的制造方法,其特征在于还包括连接两个器件,对称的制造并形成带通道的检测器件或形成探测器件,能够向生物样品发送信号并产生响应。
235.如权利要求234所述的制造方法,其特征在于,所述的每个通道的入口是喇叭口状的。
236.如权利要求234所述的制造方法,其特征在于,所述的每个通道的截面形状是矩形、椭圆形、圆形或多边形。
237.如权利要求234所述的制造方法,其特征在于耦合的两个微器件的微沟槽通过模块上的布局设计的微型装置的对准标记的对准。
238.如权利要求232所述的制造方法,其特征在于,所述的微型沟槽的尺寸范围为0.1到500微米。
239.如权利要求232所述的制造方法,其特征在于进而包括整合三个或多个微型器件以形成有通道阵列的增强器件。
240.如权利要求232所述的制造方法,其特征在于进而包括以平板或耦合的双沟槽覆盖微型器件的沟槽,以形成一个或多个通道。
241.如权利要求240所述的制造方法,其特征在于,所述的平板包括硅、锗化硅、二氧化硅、氧化铝、丙烯酸酯聚合物、银铟锑碲、合成的翠绿宝石、三硒化砷、三硫化二砷、氟化钡、CR-39、硒化镉、铯、氯化镉、方解石、氟化钙、硫系玻璃、磷化镓、锑碲锗合金、锗、二氧化锗、玻璃、氢倍半硅氧烷、冰洲石、液晶、氟化锂、陶瓷材料、光超导材料、氟化镁、氧化镁、负折射率材料、中子超镜面、荧光体、光学塑料、聚(甲基丙烯酸甲酯)、聚碳酸酯、溴化钾、蓝宝石、暗光磷光体、Spectralon(反射参考白板)、制镜合金、开环谐振器、氟化锶、钇铝石榴石、氟化锂钇、钒酸钇、氟锆酸盐玻璃、硒化锌或硫化锌。
242.如权利要求224所述的制造方法,其特征在于进而包括:
在淀积第二层材料之前,通过微电子工艺图形化第一层材料,使图形化后
至少一部分的第一层材料突出,并露出部分衬底材料
在第二层材料上开口,露出部分第一层材料
用第三层填充第二层材料上的开口
第二层材料为非导电材料
243.如权利要求242中所述的制造方法,其特征在于,所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、抛光、清洗、离子注入、扩散或封装。
244.一种用于制造检测疾病的微型器件的方法,其特征在于包括以下步骤:提供一个衬底;
一次淀积第一、第二层材料至衬底上形成材料堆叠;
用微电子工艺图形化第二层材料,形成第一种所需的特性;
淀积第三层材料至材料堆叠上以覆盖第二层材料和部分第一层材料;
用微电子工艺选择性的图形化第一、第三层材料以形成第二种所需特性;
和
选择性淀积第四层材料至材料堆叠上。
245.如权利要求244中的制造方法,其特征在于进而包括在依次淀积第一、第二层材料前制造至少一个附件部件至衬底上,附加部件包括数据存储部件、信号处理部件、记忆存储部件、信号接收器、信号传送器、逻辑处理部件或射频部件。
246.如权利要求244中的制造方法,其特征在于进而包括在依次淀积第一、第二层材料前制造至少一个电路至衬底上,电路包括数据存储电路、信号处理电路、记忆存储电路、信号传输电路或逻辑处理电路。
247.如权利要求244中的制造方法,其特征在于,所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、抛光、清洗、离子注入、扩散或封装。
248.如权利要求244中的制造方法,其特征在于,所述的第一和第三层材料是相同的。
249.如权利要求248中的制造方法,其特征在于,所述的第一和第三层材料是电性绝缘的。
250.如权利要求248中的制造方法,其特征在于,所述的第一层或第三层材料是氧化物、掺杂氧化物、氮化硅或聚合物。
251.如权利要求244中的制造方法,其特征在于,所述的第二层材料为导电材料、压电材料、半导体材料、热敏材料、磁性材料、压敏材料、应力敏感材料、离子发射敏感材料、光学材料或其组合。
252.如权利要求251中的制造方法,其特征在于,所述的第二层材料包括铜、铝、钨、金、银或其合金、或玻璃
253.如权利要求244中的制造方法,其特征在于,所述的第一种所需特性为能够探测或干扰待测生物样品的探针。
254.如权利要求244中的制造方法,其特征在于,所述的第二种所需特性为第一层和第三层材料中国的凹陷或沟槽形状。
255.如权利要求254中的制造方法,其特征在于,所述的第二层材料与第三层和第一层材料层中沟槽的侧壁对齐。
256.如权利要求244中的制造方法,其特征在于进而包括覆盖材料堆叠的顶部的第三层材料并形成封闭的沟槽。
257.如权利要求256中的制造方法,其特征在于,所述的覆盖包括用某种材料、图像器件、摄像头、观察台、声学探测器、热探测器、离子发射探测器或热记录器一起密封或包裹材料堆叠的顶部。
258.如权利要求244中的制造方法,其特征在于,所述的第二层材料可以与第三层材料相同或不同,第二层材料通过微电子工艺图形化造成第二层材料中的至少部分的凹陷区域,此方法进而包括:
采用化学机械抛光、刻蚀或其组合的工艺选择性的平坦化第三层材料
通过微电子工艺图形化第三层材料,去除至少部分第三层材料
259.如权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括在依次淀积第一、第二层材料前制造至少一个附件部件至衬底上,附加部件包括数据存储部件、信号处理部件、记忆存储部件、信号接收器、信号传送器、逻辑处理部件或射频部件。
260.如权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括在依次淀积第一、第二层材料前制造至少一个电路至衬底上,电路包括数据存储电路、信号处理电路、记忆存储电路、信号传输电路或逻辑处理电路
261.如权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括在淀积完第三层材料后、图形化第一和第三层材料前,通过化学机械抛光或回蚀工艺平坦化第三层材料。
262.如权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括通过化学机械抛光或回蚀工艺平坦化第三层材料以形成能够探测生物样品响应的探测器。
263.如权利要求258中的制造方法,其特征在于所述的微电子工艺包括薄膜淀积、光刻、刻蚀、抛光、清洗、离子注入、扩散或封装。
264.如权利要求258中的制造方法,其特征在于,所述的第一和第四层材料是相同的。
265.如权利要求264中的制造方法,其特征在于,所述的第一和第四层材料是电性绝缘的
266.如权利要求265中的制造方法,其特征在于,所述的第一和第四层材料为非掺杂氧化物、掺杂氧化物、氮化硅、聚合物材料或玻璃。
267.如权利要求258中的制造方法,其特征在于所述的第二和第三层材料是相同的。
268.如权利要求267中的制造方法,其特征在于,所述的第二层材料或第三层材料为导电材料、磁性材料、电磁材料、光学材料、热敏材料、压敏材料、离子发射敏感材料或压电材料。
269.权利要求268中的制造方法,其特征在于,所述的压电材料为石英、磷铝盐、镓、正磷酸盐、磷酸镓、电气石、陶瓷、钡、钛酸钡、钛酸钡、锆酸铅、钛酸的PZT、氧化锌、氮化铝或聚偏二氟乙烯。
270.如权利要求258中的制造方法,其特征在于,所述的探针排布在通道的侧壁上。
271.权利要求268中的制造方法,其特征在于进而包括淀积第四层材料后,将其图形化以形成该层上选定区域处的通孔。
272.权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括通过湿法,气相刻蚀技术出去材料堆叠上的第三层材料,以形成第四层材料与衬底间的检测墙体。
273.权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括通过湿法或气相刻蚀技术出去材料堆叠上的第一层材料以形成通道。
274.权利要求273中的制造方法,其特征在于,所述的通道连接着检测腔体与至少一个另外的检测腔体。
275.权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括覆盖材料堆叠的顶部以形成封闭的沟槽或通道。
276.权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括以第五次材料覆盖或封闭材料堆叠的顶端以形成能够观察和记录生物样品的通道。
277.权利要求258中的制造方法,其特征在于进而包括以如下器件覆盖材料堆叠顶
部:图像器件、检测器、光学传感器、摄像头、观测台、声学探测器、热探测器、离子发射探测器或热记录仪。
278.一种制造用于检测生物样品中疾病的检测器件的方法,其特征在于包括以下步
骤:
提供一个衬底;
依次淀积第一、第二层材料至衬底以形成材料堆叠;
用对第一层材料具有选择性的微电子工艺对第二层材料图形化并在第二层材料中形
成部分的凹陷区域;
在材料堆叠上淀积第三层材料并覆盖第二层材料;
通过抛光或回蚀工艺,去除第二层材料上部的第三层材料,去除第二层材料上的部分第三层材料;
通过光刻和刻蚀工艺图形化第三层材料,去除部分第三层材料;
淀积第四层材料至材料堆叠上覆盖第二和第三层材料,通过回蚀或抛光工艺去除位于第二和第三层材料上的第四层材料的一部分;和
选择性地淀积第五种材料,对第三层材料重复以上工艺步骤。
279.如权利要求278的制造方法,其特征在于进而包括在依次淀积第一、第二层材料前制造至少一个附件部件至衬底上,附加部件包括数据存储部件、信号处理部件、记忆存储部件、信号接收器、信号传送器、逻辑处理部件或射频部件。
280.如权利要求278的制造方法,其特征在于,所述的方法进而包括在依次淀积第一、第二层材料前制造至少一个电路至衬底上,电路包括数据存储电路、信号处理电路、记忆存储电路、信号传输电路或逻辑处理电路
281.如权利要求278的制造方法,其特征在于,所述的衬底是硅、多晶硅、氮化硅或聚合物材料。
282.如权利要求278的制造方法,其特征在于,所述的第一层材料是氧化物、掺杂氧化物、氮化硅或聚合物材料。
283.如权利要求278的制造方法,其特征在于对第二层材料图形化以形成探针、探测器或用于检测的集成单元。
284.如权利要求278的制造方法,其特征在于第四层材料形成探针、探测器或用于检测的集成单元。
285.如权利要求278的制造方法,其特征在于第二和第四层材料是相同的。
286.如权利要求285的制造方法,其特征在于,所述的第二和第四层材料是导电材料、半导体材料、压电材料、热敏材料、离子发射敏感材料、磁性材料、压敏材料、应力敏感材料或光学材料。
287.如权利要求286的制造方法,其特征在于,所述的第二或第四层材料是铝、铜、金、钨、银或其合金、石英磷铝盐、镓、正磷酸盐、磷酸镓、电气石、陶瓷、钡、钛酸钡、钛酸钡、锆酸铅、钛酸的PZT、氧化锌、氮化铝或聚偏二氟乙烯。
288.一种检测生物样品中的疾病的方法,其特征在于包括以下步骤:
提供一个包括通道、检测探针、图像器件、记忆存储部件、信号传输部件
或立即处理部件的检测仪;
预处理生物样品以提高其浓度;
测量微观尺度上的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质;
通过探针和通道选择性的接触生物样品,施加第一种响应信号,将患病的样品做进一步测试;
通过探针检测来自生物样品的第一种响应信号;
根据响应信号选择性的分离正常样品与患病样品;和
分析响应信号做出诊断结论。
289.如权利要求288的检测方法,其特征在于,所述的生物样品包括了
DNA、RNA、细胞中的子结构、细胞或蛋白质。
290.如权利要求288的检测方法,其特征在于,所述的方法进而包括了探测来自生物样品的第二种响应信号,以及至少两个生物样品间的相互作用行为或事件。
291.如权利要求290的检测方法,其特征在于,所述的至少两个生物样品是相同的。
292.如权利要求290的检测方法,其特征在于,所述的第二种响应信号产生于:当DNA接触另外一个DNA时、当细胞接触另外一个细胞时、当DNA接触细胞时、当蛋白质接触另一个蛋白质时或DNA接触蛋白质时。
293.如权利要求288的检测方法,其特征在于所述的方法包括探测第二种信号和至少一个生物样品与一个非生物样品间的行为和相互作用。
294.如权利要求293的检测方法,其特征在于,所述的第二种信号产生于一个无机离子与生物样品接触后、一个有机离子与生物样品接触后或一个化合物离子与生物样品接触后。
295.如权利要求288的检测方法,其特征在于,所述的第一种信号包括电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学信号。
296.一种检测生物样品中的疾病方法,其特征在于包括了:
提供一个包括预处理单元、至少一个检测器件、一个带有连接至预处理单
元和检测器件的通道的分隔腔以及注射器件;
将探测材料注入至待测生物样品以产生响应信号;
通过检测仪的检测器件测量来自生物样品的响应信号,
探测材料包括生物样品、非生物样品和化合物样品。
297.一种用于检测生物样品中疾病的方法,包括:
提供一包括发射腔,检测单元和通道的检测仪
发射一个探测物至生物样品,从而导致探测物与生物样品的碰撞,从而引起响应信
号;
检测和记录碰撞期间和碰撞后的响应信号
探测物体包括生物样品、非生物样品或化合物样品。
298.一种用于检测第一种生物体内早期疾病的方法,其特征在于包括:
收集第一种生物体的潜在携带疾病的组织或器官的第一份样品;
收集同样的来自于无病生物体的组织或器官的第二份样品或者收集第一种生物体相
同组织和器官的不同部位的第二份样品;
分别用包括微型检测器件和衬底支撑检测器件的检测仪接触第一和第二份样品,微型检测器件能够检测生物体的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质;
比较第一和第二份样品的检测数据。
299.一种用于检测的生物样品的动态信息的方法,其特征在于包括:
提供一个包括两个微型器件的检测仪,其中一个包括两个微型器件是一个时钟微器
件,另一个微型器件是第一检测微型器件,两者相距一定距离;
生物样品与时钟微型器件接触,时钟微型器件记录了生物样品的到达,选择性的测量生物样品在微观水平的特性;
生物样品与微型检测器件接触,检测微型器件记录了生物样品的到达,测量生物样品在微观水平的特性。
300.如权利要求299中、的检测方法,其特征在于,所述时钟微型器件与第一微型检测器件之间距离至少为10埃。
301.如权利要求299的检测方法,其特征在于进而包括在时钟微型器件与第一微型检测器件之间的第一探测微型器件,第一探测微型器件与生物样品接触并发出刺激信号,并测量和第一微型检测器件一样测量的生物样品的相同或不同的性质。
302.如权利要求301的检测方法,其特征在于,所述的信号包括电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学信号。
303.如权利要求301的检测方法,其特征在于,所述的第一微型探测器件选择性的测量与第一检测器件相同的生物样品在微观尺度上的性质。
304.如权利要求301的检测方法,其特征在于,所述方法进而包括第二微型探测器件,能够发送与第一微型探测器件不同国的刺激信号至生物样品。
305.如权利要求301的检测方法,其特征在于,所述方法中进而包括第二微型探测器件,能够测量与第一检测器件相同的生物样品在微观尺度上的性质。
306.如权利要求301的检测方法,其特征在于,所述性质为微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
307.如权利要求306的检测方法,其特征在于,所述电学性质为表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻;热学性质为生物体或分子的温度或震动频率;光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光;化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度;物理性质为密度或几何尺寸;声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振;机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性
308.如权利要求299的检测方法,其特征在于通过第一微型检测器件记录的数据通过相位锁定技术过滤后,去除噪声,与第一微型探测器件或时钟微型器件记录的数据同步。
309.如权利要求308的检测方法,其特征在于过滤后的数据具有更高的信噪比。
310.一种检测生物样品的动态信息的方法,其特征在于包括:
提供一个检测仪,包括一个时钟微型器件,探测微型器件和第一检测器件以及位于两者之间的探测微型器件;
生物样品与时钟微型器件接触,以使时钟微型器件记录了生物样品的到达,选择性地测量生物样品在微观水平的性质;
生物样品与微型探测器件接触,探针向生物样品施加周期性探测信号;
通过微型检测器件检测来自生物样品的响应信号;
由微型检测器件检测到的信号经相位锁定技术处理后过滤掉信号中与探测信号不同
步的部分,放大与其同步的信号。
311.如权利要求310的方法,其特征在于,所述的时钟微型器件与第一微型检测器件间距离至少为10埃。
312.如权利要求310的方法,其特征在于,所述的信号为微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学信号。
313.如权利要求310的方法,其特征在于,所述的第一微型探测器件选择性的测量与第一微型探测器件所测相同的生物样品在微观尺度的特性。
314.如权利要求310的方法,其特征在于,所述的检测仪进而包括第二微型探测器件,能够向生物样品发送刺激信号,该信号与第一微型探测器件发出的不同。
315.如权利要求310的方法,其特征在于,所述的检测仪进而包括第二微型检测器件,能够测量与第一微型探测器件所测来自生物样品的相同的微观水平的性质。
316.如权利要求310的方法,其特征在于,所述性质为微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学、物理化学、生物物理学、生物物理化学电力学、电化学、电化学力学、生物化学、生物力学、生物电力学、生物电化学、生物电化力学、物理学或力学性质。
317.如权利要求316的方法,其特征在于,所述电学性质为表面电荷、表面电位、静态电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、电子或电荷云的三维分布、DNA端粒酶与染色体电性、动态电性变化、动态电势变化、动态表面电荷变化、动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化、动态电学分布变化或电阻;热学性质为生物体或分子的温度或震动频率;光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度、荧光发光;化学性质为PH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化行为或化学键强度;物理性质为密度或几何尺寸;声学性质为频率、声波速度、声频、声强谱分布、声强、声吸收、声谐振;机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性或压缩性
318.如权利要求310的方法,其特征在于由第一微型检测收集的数据通过相位锁定技术过滤后去除了与第一微型探测器件或微型时钟器件不同步的噪声。
319.如权利要求318的方法,其特征在于,所述过滤后的数据信号具有更高的信噪比。
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