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一种 蒸发源系统

阅读：399发布：2023-02-06

专利汇可以提供一种蒸发源系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及OLED 真空蒸镀工艺技术领域，具体公开了一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板，本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节，实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能，通过改变蒸镀角度来降低shadow的产生，解决了混色状况，提升了产品良率。，下面是一种蒸发源系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，其特征在于：所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板（1）。
2.根据权利要求1所述的蒸发源系统，其特征在于：所述蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板（1）。
3.根据权利要求2所述的蒸发源系统，其特征在于：所述驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机（2）。
4.根据权利要求3所述的蒸发源系统，其特征在于：所述线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构（3），所述加热机构（3）上设有线性喷嘴组（4）。
5.根据权利要求4所述的蒸发源系统，其特征在于：所述加热机构（3）是蒸镀坩埚。
6.根据权利要求4所述的蒸发源系统，其特征在于：所述线性喷嘴组（4）包括多个喷嘴（41）。
7.根据权利要求6所述的蒸发源系统，其特征在于：所述喷嘴（41）上设有用于调节喷嘴孔径大小的遮挡片。
8.根据权利要求5所述的蒸发源系统，其特征在于：所述蒸镀坩埚底部内表面设有凸起结构（31）。
9.根据权利要求8所述的蒸发源系统，其特征在于：所述凸起结构（31）上设有导热膜层。
10.根据权利要求1 9任一项所述的蒸发源系统，其特征在于：所述挡板（1）为金属挡~
板。

说明书全文

一种蒸发源系统

技术领域

[0001] 本本实用新型涉及OLED 真空蒸镀工艺技术领域，尤其涉及一种蒸发源系统。

背景技术

[0002] 真空蒸镀技术是小尺寸OLED生产工艺的核心技术之一，有机材料成膜的质量是影响OLED性能的重要因素。有些膜层需要通过共蒸发工艺来实现主体材料和客体材料共同蒸镀在同一膜层，由于传统分层挡板是根据需求一次性设计做成的挡板，结构固定不变。在生产时，受温度影响产生的挡板形变，以及挡板对不同蒸镀速率具有不同遮挡效果，不同有机材料具有不同理化特性等，这些因素造成蒸镀区微量改变会叠加造成蒸镀区产生较明显变化，导致主体材料和客体材料不能最优化重叠，掺杂的均匀性没有得到很好的保证，导致薄膜掺杂均匀性差。实用新型内容

[0003] 针对上述技术问题，本实用新型提供了一种实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能、通过改变蒸镀角度来降低shadow产生以及提高产品良率的蒸发源系统。

[0004] 为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板。

[0005] 优选的，所述蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板。

[0006] 优选的，所述驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机，伺服电机连接挡板，驱动挡板上下运动以调整其高度，进而调节蒸镀角度。

[0007] 优选的，所述线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构，所述加热机构上设有线性喷嘴组。

[0008] 优选的，所述加热机构是蒸镀坩埚。

[0009] 优选的，所述线性喷嘴组包括多个喷嘴，喷嘴的数量可以根据实际生产需求进行设置。

[0010] 优选的，所述喷嘴上设有用于调节喷嘴孔径大小的遮挡片，遮挡片调节喷嘴孔径大小，使得膜厚均匀性好。

[0011] 优选的，所述蒸镀坩埚底部内表面设有凸起结构，能够较大程度的增加材料与坩埚的接触面积，提高蒸镀效率。

[0012] 优选的，所述凸起结构上设有导热膜层，使得加热更加均匀。

[0013] 进一步优选的，所述挡板为金属挡板，使用寿命长。

[0014] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节，驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机，通过控制器设置好调整参数并由伺服电机驱动挡板运动，实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能，通过改变蒸镀角度来降低shadow的产生，解决了混色状况，提升了产品良率；通过设置遮挡片调节喷嘴孔径大小使得膜厚均匀性更好；坩埚底部内表面设置凸起，增加材料与坩埚的接触面积，提高蒸镀效率。附图说明

[0015] 图1为现有技术中蒸发源系统结构示意图；

[0016] 图2为实施例一调节挡板高度后的蒸发源系统结构示意图；

[0017] 图3为实施例二的加热机构的结构示意图；

[0018] 其中，1为挡板；2为伺服电机；3为加热机构；31为凸起结构；4为线性喷嘴组；41为喷嘴。

具体实施方式

[0019] 为了使本领域的技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。

[0020] 实施例一：如图2所示，一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，线性蒸发源单元之间以及蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板，传统分层挡板是根据需求一次性设计做成的挡板，结构固定不变，而本实施例实现了在不打开腔体的情况下即可自动调节挡板的高度，改变了蒸镀角度进而降低shadow的产生。

[0021] 本实施例的挡板采用金属材质，即金属挡板，应用在蒸镀腔体内能够有较长的使用寿命，且不容易发生形变，便于计算和调整其高度参数，误差小，作为一种优选的方案，本实施例中的挡板采用钛金属材料制成，具有熔点高、比重小、韧性好、抗疲劳、耐腐蚀、导热系数低、高低温度耐受性能好的优点，当然，此处并不限制于钛金属材料，也可以是其他耐热耐高温的金属。

[0022] 驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机，伺服电机连接挡板，驱动挡板上下运动以调整其高度，进而调节蒸镀角度。

[0023] 本实施例在具体实施过程中，在不开腔情况下，操作人员通过控制器设置好参数高度，伺服电机驱动挡板做相应运动，使挡板自动调整好到设定的参数高度，调节镀膜区域和改善蒸镀角度，减少混色状况的发生。

[0024] 实施例二：如图2、3所示，本实施例类似于实施例一，进一步的，线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构，加热机构上设有线性喷嘴组，线性喷嘴组包括多个喷嘴，此处并没有对喷嘴的数量进行限制，可以根据实际生产需求进行设置，喷嘴上设有用于调节喷嘴孔径大小的遮挡片，由于存在蒸镀材料蒸发后形成的蒸镀气体从各个喷嘴喷出的喷出压力不同，导致蒸镀膜的膜厚分布呈U型形状，此时，可以通过遮挡片来调整各个喷嘴的孔径大小，使蒸镀气体的喷出压力相同，有利于改善蒸镀膜的膜厚均一性。

[0025] 本实施例中的加热机构是蒸镀坩埚，蒸镀坩埚的底部内表面设有凸起结构，能够较大程度的增加材料与坩埚的接触面积，提高蒸镀效率，凸起结构上设有导热膜层，使得加热更加均匀，提升产品良率。

[0026] 导热膜层采用氧化铝材料，即为氧化铝膜层，氧化铝材料具有较高的熔点且有利于导热，使得加热更加均匀，当然，此处并不对导热膜层的材料进行限制，也可以是其他熔点高与导热性好的材料。

[0027] 最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制，凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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