在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法
专利汇可以提供在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种在 钢 铁 表面制备类金刚石 薄膜 的方法。利用高功率脉冲 磁控溅射 技术在钢铁表面制备结合强度高的类金刚石薄膜。制备的薄膜结合 力 ≥80N， 摩擦系数 低至0.04N。对于类金刚石薄膜在苛刻环境下的应用提供了技术支持和保障。，下面是在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法专利的具体信息内容。
1.一种在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法，其特征在于具体步骤为：
A对钢铁表面进行常规除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次进行超声清洗；
-3
B将钢铁样品置于多靶复合溅射真空系统中并预抽真空至2×10 Pa；
C高功率脉冲磁控溅射粘着层，以金属靶为阴极，工作气体为氩气，沉积时间10～
30min；
D反应磁控溅射缓冲层，以金属靶为阴极，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯或氩气和氮气，沉积时间30～60min；
E反应溅射沉积成分渐变复合类金刚石薄膜，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间600～120min；自然冷却后得到多层类金刚石复合薄膜。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于C步骤中金属靶为Ti靶或Cr靶。
在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法
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