专利汇可以提供一种高精密单面研磨机的上盘结构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 是一种高精密单面 研磨 机的上盘结构。包括 机架 、安装在机架上的移动平台以及安装在移动平台上的驱动装置,机架上安装有 导轨 ,移动平台安装在导轨上,移动平台与驱动装置连接,移动平台移动带动上盘运动,并实现 工件 的加压,驱动上盘旋转的旋转运动驱动 电机 固定在 基座 上,基座安装在移动平台上,旋转运动 驱动电机 输出轴 上安装的主动带轮与 主轴 上安装的从动带轮通过 同步带 连接,上盘安装在主轴的一端,旋转运动驱动电机通过带传动机构带动上盘旋转,上盘的下端面装设有用于固定工件的 吸盘 结构,吸盘结构通过主轴上设有的 真空 通道与真空发生器相连,主轴上装有控制上盘转速的旋转 编码器 。本发明加压平稳,对研磨环境无污染,工件更换方便。,下面是一种高精密单面研磨机的上盘结构专利的具体信息内容。
1.一种高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于包括有机架(11)、安装在机架(11)上的移动平台(9)以及安装在移动平台(9)上的驱动装置,机架(11)上安装有导轨(10),移动平台(9)安装在导轨(10)上,移动平台(9)与驱动装置连接,移动平台(9)上下移动带动上盘(5)运动,并实现工件的加压,驱动上盘(5)旋转的旋转运动驱动电机(6)固定在基座(4)上,基座(4)安装在移动平台(9)上,旋转运动驱动电机(6)输出轴上安装的主动带轮(8)与主轴(26)上安装的从动带轮(3)通过同步带连接,上盘(5)安装在主轴(26)的一端,旋转运动驱动电机(6)通过带传动机构带动上盘(5)旋转,上盘(5)的下端面装设有用于固定工件的吸盘结构(29),吸盘结构(29)通过主轴(26)上设有的真空通道与提供夹紧工件需要负压的真空发生器相连,主轴(26)上装有用于实时监测与控制上盘(5)转速的旋转编码器;上述主轴(26)的轴肩处有一个支撑环(15),支撑环(15)上套装有弹簧安装基座(16),缓冲弹簧(23)固定在弹簧安装基座(16)上,主轴(26)的外侧套装有套筒(22),套筒(22)通过螺栓与基座(4)固定连接,起到定位锁紧作用的法兰盘(25)与套筒(22)连接,用于实时监测与控制工件加工压力的片状压力传感器安装在支撑环(15)与缓冲弹簧(23)之间。
2.根据权利要求1所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述驱动装置包括有直线运动驱动电机(1)及丝杆螺母传动机构,直线运动驱动电机(1)固定在机架(11)上,丝杆螺母传动机构中的丝杆与直线运动驱动电机(1)的输出轴连接,移动平台(9)与丝杆螺母传动机构中螺母相连。
3.根据权利要求1所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述上盘(5)通过基座(4)安装在移动平台(9)上;上述旋转运动驱动电机(6)通过安装基板(7)固定在基座(4)上。
4.根据权利要求1所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述主轴(26)的一端装设有上端盖(12),主轴(26)通过上端盖(12)与真空发生器连接。
5.根据权利要求4所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述主轴(26)的上端盖(12)通过扩口式锥螺纹直角管接头(2)与提供夹紧工件所需要的负压的真空发生器连接。
6.根据权利要求4所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述上端盖(12)与主轴(26)间安装有深沟球轴承(13),主轴(26)中部位置装有角接触球轴承(24)。
7.根据权利要求1至6任一项所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述主轴(26)的中部通过角接触球轴承(17、19)支承在套筒(22)上,角接触球轴承(17、19)通过定位圆螺母(18)固定在套筒(22)上。
8.根据权利要求7所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述主轴(26)上设有的真空通道为直接做出在主轴(26)内的主轴空腔(27),上盘(5)中设有上盘空腔(28),真空发生器通过主轴空腔(27)及上盘空腔(28)与上盘(5)下端面装设的吸盘结构(29)连接,负压通过主轴空腔(27)及上盘空腔(28)进入到吸盘结构(29)中。
9.根据权利要求8所述的高精密单面研磨机的上盘结构,其特征在于上述主轴端与上盘(5)通过压铆螺钉连接,上盘空腔(28)的外端装有密封塞;上述吸盘结构(29)设有两个环形槽。
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