一种研磨材料
专利汇可以提供一种研磨材料专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 研磨 材料，包括 氧 化锆颗粒和铈盐；按重量计，氧化锆颗粒和铈盐的组合比例为7-5：3-5；氧化锆颗粒具有1～10m2/g 的 比表面积 ，氧化锆颗粒具有0.2μm以下的平均一次粒径；在每1mL含有1% 质量 的氧化锆颗粒的 水 分散液中，氧化锆颗粒之中具有4μm以上的二次粒径的颗粒的个数为20000000个以下。本发明的研磨材料更加适合用于蓝 宝石 、氮化 硅 、 碳 化硅、氧化硅、玻璃、氮化镓、砷化镓、砷化铟、磷化铟等硬脆材料的研磨中。，下面是一种研磨材料专利的具体信息内容。
1.一种研磨材料，包括氧化锆颗粒和铈盐；其特征在于，按重量计，所述氧化锆颗粒和
2
所述铈盐的组合比例为7-5：3-5；所述氧化锆颗粒具有1 ～ 10m/g 的比表面积，所述氧化锆颗粒具有0.2μm 以下的平均一次粒径；在每1mL 含有1 % 质量的氧化锆颗粒的水分散液中，所述氧化锆颗粒之中具有4μm 以上的二次粒径的颗粒的个数为20000000 个以下。
2.根据权利要求1所述的研磨材料，其特征在于，所述研磨材料还包括锆盐。
3.根据权利要求2所述的研磨材料，其特征在于，所述氧化锆颗粒、所述铈盐和所述锆盐的组合比例为7-5：2-4：1。
4.根据权利要求1所述的研磨材料，其特征在于，所述氧化锆颗粒和所述铈盐的组合比例为7：3。
5.根据权利要求3所述的研磨材料，其特征在于，所述氧化锆颗粒、所述铈盐和所述锆盐的组合比例为7：2：1。
6.根据权利要求1所述的研磨材料，其特征在于，所述氧化锆颗粒和所述铈盐的组合比例为6：4。
7.根据权利要求3所述的研磨材料，其特征在于，所述氧化锆颗粒、所述铈盐和所述锆盐的组合比例为6：3：1。
一种研磨材料
技术领域
背景技术
发明内容
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铈盐的组合比例为7-5：3-5；所述氧化锆颗粒具有1 ～ 10m/g 的比表面积，所述氧化锆颗粒具有0.2μm 以下的平均一次粒径；在每1mL 含有1 % 质量的氧化锆颗粒的水分散液中，所述氧化锆颗粒之中具有4μm 以上的二次粒径的颗粒的个数为20000000 个以下。
具体实施方式
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