专利汇可以提供接触扫描探头的等张力悬吊机构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了 接触 扫描 探头 的等张 力 悬吊机构:具有一固定环,固定环内通过对称的四条线悬吊有悬浮片,悬浮片中心固定有扫描探针,扫描探针前端具有球形头,悬浮片上面贴有若干高精密平面反射镜。所述的高精密平面反射镜为2-5片。本发明通过在固定环内通过对称的四条线悬吊有悬浮片,悬浮片中心固定有扫描探针,悬浮片上面贴有若干高精密平面反射镜的结构,可以将扫描探针的空间位移转 化成 平面镜在竖直方向的移动和绕悬线的转动。平面反射镜的位移和转 角 可以通过布置在平面反射镜上方的 传感器 测得,经过换算即可得知扫描探针的位移,从而实现测量。,下面是接触扫描探头的等张力悬吊机构专利的具体信息内容。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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