图案缺陷检测方法
专利汇可以提供图案缺陷检测方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 揭示一种图案 缺陷 检测方法,是在这种预先登记正品图案,并对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中,比较正品图案和对象图案,检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案,并利用缺陷图案的轮廓线特征,分类检测缺陷图案。本发明提供能对各种图案缺陷进行分类并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。，下面是图案缺陷检测方法专利的具体信息内容。
1.一种图案缺陷检测方法，预先登记正品图案，并对输入的对象图案和 正品图案进行比较，其特征在于，
比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作 为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案。
2.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含4个以上接点的场合，检测这种缺陷图案作为“本来应该 离开的图案而结合的缺陷”。
3.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含4个以上接点的场合，检测这种缺陷图案作为“本来应该 结合的图案而离开的缺陷”。
4.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案1个接点也不包含的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图 案不应该存在的区域内，图案孤立存在的缺陷”。
5.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案1个接点也不包含的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图 案应该存在的区域内，图案以外的区域孤立存在的缺陷”。
6.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含2个接点的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案不 存在的区域内，图案的一部分突出存在的缺陷”。
7.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含2个接点的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案存 在的区域内，图案以外的区域突出存在的缺陷”。
8.如权利要求1至7任一项所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
图案是电路图案。
9.如权利要求1至7任一项所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，
图案是半导体图案。
10.一种图案缺陷检测装置，其特征在于，包括
用如权利要求1至9任一项所述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手 段。
11.一种图案缺陷检查修复装置，其特征在于，包括
用如权利要求1至9任一项所述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手 段，和修复检测出的缺陷的修复手段。
12.一种图案缺陷检查修复方法，其特征在于，包括
用如权利要求1至9任一项所述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷，并 修复检测出的缺陷。
本发明涉及在半导体、印刷电路板、液晶、PDP等的布线图案，印刷、盖 章图案等的图案检查中，对缺陷进行分类检测的图案缺陷检测方法和检查装置 以及检查修复装置。
以往，作为检测图案上缺陷的方法，已知的有如图16所示的利用图像处 理检测图案的线宽和图案的间隔，检测布线规则上没有的图案的设计规则检查 (DRC)法，和如图17所示的对预先登记的正品的图像和输入的对象的图像进行 比较，检测其不同的部分作为缺陷图案的比较法。
但是，在DRC法中，有如图18所示，不能检测布线上允许的缺陷，和如 图19所示，将违反布线规则的正常图案作为次品检测的问题。
此外，在比较法中，有如图20所示，因不能与噪声干扰区别而不能检测 微小缺陷的问题。
本发明鉴于前述以往的问题，其目的在于提供能对各种图案缺陷进行分类 并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。
本发明的图案缺陷检测方法，是在预先登记正品图案，并对输入的对象图 案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中，
比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作 为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案，
能确切地分类检测各种图案缺陷，例如短路，断线，残留图案，图案脱离， 突起、粗，缺口、细，等。
具体地说，本发明的图案缺陷检测方法，
以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含4个以上接点的场合，分类检测这种缺陷图案作为“本来 应该离开的图案而结合的缺陷”。
此外，本发明的图案缺陷检测方法，
以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含4个以上接点的场合，分类检测这种缺陷图案作为“本来 应该结合的图案而离开的缺陷”。
此外，本发明的图案缺陷检测方法，
以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案1个接点也不包含的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图 案不应该存在的区域内，图案孤立存在的缺陷”。
此外，本发明的图案缺陷检测方法，
以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案1个接点也不包含的场合，分类检测这种缺陷图案作为“在本 来图案应该存在的区域内，图案以外的区域孤立存在的缺陷”。
此外，本发明的图案缺陷检测方法，
以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含2个接点的场合，分类检测这种缺陷图案作为“在本来图 案不存在的区域内，图案的一部分突出存在的缺陷”。
此外，本发明的图案缺陷检测方法，
以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，
检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以 上连接的场合，作为接点进行检测，
检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，
在缺陷图案包含2个接点的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案存 在的区域内，图案以外的区域突出存在的缺陷”。
此外，前述的图案缺陷检测方法，能很好地适用于
图案是电路图案的场合，和图案是半导体图案的场合。
此外，本发明的图案缺陷检测装置，包括
用前述各图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手段，执行这些方法能得到 相应的效果。
此外，本发明的图案缺陷检查修复装置，包括
用前述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手段，和修复检测出的缺陷 的修复手段，
此外，本发明的图案缺陷检查修复方法，
用前述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷，并修复检测出的缺陷，
因此，能分类检测缺陷，并对应于检测出的缺陷，适当地进行修复。
图1表示本发明一实施形态的图案缺陷检测方法的流程图。
图2表示同一实施形态的短路缺陷检测说明图。
图3表示同一实施形态的断路缺陷检测说明图。
图4表示同一实施形态的残岛缺陷检测说明图。
图5表示同一实施形态的图案脱离缺陷检测说明图。
图6表示同一实施形态的突起、粗缺陷检测说明图。
图7表示同一实施形态的缺口、细缺陷检测说明图。
图8表示同一实施形态的图像处理的正品图像说明图。
图9表示同一实施形态的图像处理的对象图像说明图。
图10表示同一实施形态的图像处理的比较图像说明图。
图11表示同一实施形态的图像处理的仅对象的轮廓线说明图。
图12表示同一实施形态的图像处理的接点说明图。
图13表示同一实施形态的图像处理的产生2个接点的场合的说明图。
图14表示同一实施形态的图像处理的产生4个接点的场合的说明图。
图15表示同一实施形态的图像处理的缺陷分类说明图。
图16表示作为以往例的图案缺陷检测方法的DRC法的说明图。
图17表示作为其它以往例的图案缺陷检测方法的比较法的说明图。
图18表示用以往的DRC法不能检测的缺陷的说明图。
图19表示用以往的DRC法检测的正品图案的说明图。
图20表示以往比较法的问题的说明图。
下面，参照图1～图15对本发明的图案缺陷检测方法的一实施形态进行 说明。
实施形态
如图1所示，在本实施形态的图案缺陷检测中，借助于输入对象图案的工 序，与预先登记的正品图像进行比较的工序，检测在正品图案和对象图案的区 域的任何一方的轮廓线上的并且与另一方区域不重叠的点，并检测这种点不与 同样的点2点连接的点，作为接点的工序，检测两区域相互不重叠的一连续区 域作为缺陷图案的工序，对包含在缺陷图案中的接点数进行计数并进行检测的 工序，和基于接点数，分类检测缺陷的工序，对图案缺陷进行分类检测。下面， 参照图2～图7具体地进行说明。
图2示出了短路缺陷检测的场合。在图2中，(a)表示作为检查的对象1 的输入图像(B)，(b)表示预先登记的对应的正品1的图像(A)。(c)表示对(a) 和(b)进行比较，与检测出的A不重叠的B的轮廓线1，(d)表示与A不重叠的 B的轮廓线的端点1、即接点。(e)表示作为缺陷图案检测出的A与不重叠的B 的区域和接点1，因在这种缺陷图案中包含4点接点，所以缺陷检测为“本来 应该离开的图案而结合的缺陷”、例如短路。
图3示出了断线缺陷检测的场合。在图3中，(a)表示作为检查的对象2 的输入图像(A)，(b)表示预先登记的对应的正品2的图像(B)。(c)表示对(a) 和(b)进行比较，与检测出的A不重叠的B的轮廓线2，(d)表示与A不重叠的 B的轮廓线的端点2、即接点。(e)表示作为缺陷图案检测出的A与不重叠的B 的区域和接点2，因在这种缺陷图案中包含4点接点，所以缺陷检测为“本来 应该结合的图案而离开的缺陷”、例如断路。
图4示出了图案残岛缺陷检测的场合。在图4中，(a)表示作为检查的对 象3的输入图像(B)，(b)表示预先登记的对应的正品3的图像(A)。(c)表示对 (a)和(b)进行比较，与检测出的A不重叠的B的轮廓线3，(d)表示与A不重叠 的B的轮廓线的端点3(不存在)、即接点。(e)表示作为缺陷图案检测出的A 与不重叠的B的区域和接点3(不存在)，因在这种缺陷图案中不包含接点，所 以缺陷检测为“在本来图案不应该存在的区域内，图案孤立存在的缺陷”、例 如图案残岛。
图5示出了图案脱离缺陷检测的场合。在图5中，(a)表示作为检查的对 象4的输入图像(A)，(b)表示预先登记的对应的正品4的图像(B)。(c)表示对 (a)和(b)进行比较，与检测出的A不重叠的B的轮廓线4，(d)表示与A不重叠 的B的轮廓线的端点4(不存在)、即接点。(e)表示作为缺陷图案检测出的A 与不重叠的B的区域和接点4(不存在)，因在这种缺陷图案中不包含接点，所 以缺陷检测为“在本来图案应该存在的区域内，图案以外的区域孤立存在的缺 陷”、例如图案脱离。
图6表示突起、粗缺陷检测的场合。在图6中，(a)表示作为检查的对象5 的输入图像(B)，(b)表示预先登记的对应的正品5的图像(A)。(c)表示对(a) 和(b)进行比较，与检测出的A不重叠的B的轮廓线5，(d)表示与A不重叠的 B的轮廓线的端点5、即接点。(e)表示作为缺陷图案检测出的A与不重叠的B 的区域和接点5，因在这种缺陷图案中包含2个接点，所以缺陷检测为“在本 来图案不存在的区域内，图案的一部分突出存在的缺陷”、例如突起、粗。
图7表示缺口、细缺陷检测的场合。在图7中，(a)表示作为检查的对象6 的输入图像(A)，(b)表示预先登记的对应的正品6的图像(B)。(c)表示对(a) 和(b)进行比较，与检测出的A不重叠的B的轮廓线6，(d)表示与A不重叠的 B的轮廓线的端点6、即接点。(e)表示作为缺陷图案检测出的A与不重叠的B 的区域和接点6，因在这种缺陷图案中包含2个接点，所以缺陷检测为“在本 来图案存在的区域内，图案以外的区域突出存在的缺陷”、例如缺口、细。
下面，对基于图像处理，进行前述的缺陷检测方法的过程进行说明。图8 示出了正品图像，图9示出了对象图像，图10示出了对2个图像进行比较的 图像。在这些图中，用值0表示的象素是既不存在正品也不存在对象的象素， 用值1表示的象素是仅正品存在的象素，用值2表示的象素是仅对象存在的象 素，用值3表示的象素是正品和对象都存在的象素。
在图11中用圆围住的象素是仅对象存在的象素并且在周围存在对象的象 素，是对象与正品不重叠的区域的轮廓线，在图12中用圆围住的象素是因是 在图11中用圆围住的象素并且不连接同样的象素2点以上，所以是接点。
此外，在注目于象素的轮廓时，在图13中用圆围住的象素，用黑点表示 的接点1点接着1点地存在2点，在图14中用圆围住的象素，用黑点表示的 接点2点接着2点地存在4点。因此，因在图15所示的区域S合计包含2个 接点，所以在图案检查中分类为突起状的缺陷，因区域T合计包含4个接点， 所以在图案检查中分类为短路缺陷。
此外，在前述实施形态中，虽然以电路图案、半导体图案等为对象进行了 说明，但本发明方法也适用于文字、记号等的图案检查。
由前述的说明可见，采用本发明的图案缺陷检测方法，则因在预先登记正 品图案，对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中，
比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作 为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案，
所以能确切地分类检测各种图案缺陷，例如短路，断线，残留图案，图案 脱离，突起、粗，缺口、细，等。
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