专利汇可以提供晶体微缺陷扫描仪专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且晶体微 缺陷 扫描仪 ,它涉及一种检测设备。激光发生器通过 螺纹 连接固定于立柱上,散射 信号 收集器通过 螺纹连接 固定于激光扫描系统下部,双轴自控台通过螺纹连接固定在底座上,立柱与底座均通过螺纹连接固定于大理石平台上,大理石平台与柜架之间装设有 隔震 调平系统,配电箱与电脑主机放置于柜架内,悬臂通过螺纹连接固定于柜架侧面,电脑显示器通过螺纹连接固定于悬臂上,输入设备安装于悬臂板上;本实用新型能实现对晶体类产品如LED 外延 片、 薄膜 太阳能 电池 基板 、 液晶 面板等在 抛光 及 镀 膜 工艺过程中所产生的微细缺陷进行快速全自动扫描分析的能 力 ;最精细级别的缺陷 分辨率 可达2微米。,下面是晶体微缺陷扫描仪专利的具体信息内容。
1.晶体微缺陷扫描仪,其特征在于它包含激光发生器(1)、散射信号收集器(2)、立柱(3)、双轴自控台(4)、底座(5)、大理石平台(6)、隔震调平系统(7)、柜架(8)、配电箱(9)、主机(10)、悬臂(11)、电脑显示器(12)、输入设备(13);激光发生器(1)通过螺纹连接固定于立柱(3)上,散射信号收集器(2)通过螺纹连接固定于激光扫描系统(1)下部,双轴自控台(4)通过螺纹连接固定在底座(5)上,立柱(3)与底座(5)均通过螺纹连接固定于大理石平台(6)上,大理石平台(6)与柜架(8)之间装设有隔震调平系统(7),配电箱(9)与电脑主机(10)放置于柜架(8)内,悬臂(11)通过螺纹连接固定于柜架(8)侧面,电脑显示器(12)通过螺纹连接固定于悬臂(11)上,输入设备(13)安装于悬臂(11)板上。
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