具有磁性支持之高生產率沈積裝置 HIGH THROUGHPUT DEPOSITION APPARATUS WITH MAGNETIC SUPPORT
阅读：1040发布：2020-10-16
专利汇可以提供具有磁性支持之高生產率沈積裝置 HIGH THROUGHPUT DEPOSITION APPARATUS WITH MAGNETIC SUPPORT专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一種裝置,用以將一或多個 薄膜 層沈積至一或多個連續捲材或離散基材上。該裝置包含:一供應單元,用以分散一或複數個捲材;一沈積單元,將一系列之一或多個薄膜層沈積於其上;及一接收單元,在沈積後接收並儲存捲材。在一較佳實施例中,經由電漿增强化學氣相沈積來進行沈積,其中電漿區域係形成在沈積單元中之陰極與一或多個垂直地定向之捲材之間。本沈積裝置包含一支持系統,其用以導引及穩定一或多個捲材或基材傳送通過沈積室。支持系統包含一 磁性 導引組合件及一邊緣穩定組合件,以操作仰制捲材或基材在非傳送通過裝置之方向的方向上的移動之擾動。，下面是具有磁性支持之高生產率沈積裝置 HIGH THROUGHPUT DEPOSITION APPARATUS WITH MAGNETIC SUPPORT专利的具体信息内容。
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