专利汇可以提供一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器及其制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种III族氮化物 半导体 雪 崩光电探测器及其制备方法,包括有源层,所述有源层按 自下而上 的生长顺序,依次包括重掺杂n型AlxGa1-xN欧姆 接触 层,非故意掺杂AlyGa1-yN以及p型层;所述的p型层 自上而下 包括较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层和较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层,所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层呈中央薄边缘厚的凹型结构,所述较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层呈与所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层相匹配的中央厚边缘薄的凸型结构。与 现有技术 相比,所述p型层能将高 电场 限制在台型器件中央,在台型结构的边缘,电场强度被降低,解决了因边缘电场过高而导致的提前击穿问题,同时具有降低表面复合 电流 、提高器件工作可靠性的效果。,下面是一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器及其制备方法专利的具体信息内容。
1.一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,包括有源层,其特征在于,所述有源层按自下而上的生长顺序,依次包括重掺杂n型AlxGa1-xN欧姆接触层(101),非故意掺杂AlyGa1-yN层(102)以及p型层;所述的p型层自上而下包括较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(104)和较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(103),所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层呈中央薄边缘厚的凹型结构,所述较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(104)呈与所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(103)相匹配的中央厚边缘薄的凸型结构。
2.根据权利要求1所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,其特征在于,所述p型层的总厚度为50~200nm。
3.根据权利要求2所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,其特征在于,所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(103)和较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(104)的空穴浓度分别为p3与p4,p3、p4满足以下关系:p3
(1)所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(103)的中央厚度为10~50nm,边缘厚度为50~
150nm,边缘宽度≥0.5μm;
(2)所述较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(104)的中央厚度为40~150nm,边缘厚度10~
120nm,边缘宽度≥0.5μm。
5.根据权利要求4所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,其特征在于,所述较低掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(103)的Al组分z3=0~0.65,空穴浓度p3=1×1017~8×
1017cm-3;所述较高掺杂浓度的p型AlyGa1-yN层(104)的Al组分z4=0~0.65,空穴浓度p4=5×1017~1×1019cm-3。
6.根据权利要求1~3任一项所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,其特征在于,所述非故意掺杂AlyGa1-yN层(102)的厚度为100~300nm,Al组分y=0~0.65,电子浓度为1×1016~2×1017cm-3。
7.根据权利要求1~3任一项所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,其特征在于,所述重掺杂n型AlxGa1-xN欧姆接触层(101)的厚度为0.3~1μm;Al组分范围x=0~
0.8,层中电子浓度为5×1017~5×1018cm-3。
8.根据权利要求7所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器,其特征在于,所述重掺杂n型AlxGa1-xN欧姆接触层(101)和非故意掺杂AlyGa1-yN(102)中的Al组分满足x≥y。
9.根据权利要求1~8任一项所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于,在外延生长低掺杂p型层后,通过光刻形成掩模,其后对计划制作台型结构区域的器件中央部分的低掺杂p型层进行低损伤干法刻蚀,刻蚀表面损伤恢复处理,然后在此基础上二次外延生长一层高掺杂p型层,从而形成器件中央高掺杂层厚、边缘低掺杂层厚的p型层结构。
10.根据权利要求9所述的一种III族氮化物半导体雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于,外延生长采用金属有机化学气相沉积外延外生长法(MOCVD)或分子束外延生长法(MBE)。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种背照射紫外红外双色光电探测器及其制备方法 | 2020-05-08 | 182 |
复合晶体的包覆方法及复合晶体探测器 | 2020-05-11 | 309 |
一种MSM光电探测器的制备方法 | 2020-05-11 | 193 |
铟砷氮铋、使用该材料的激光器和探测器及制备方法 | 2020-05-15 | 344 |
一类含基于喹啉的稠环单元的D-π-A型聚合物及其制备方法与应用 | 2020-05-16 | 251 |
有机/金属肖特基结堆栈热电子光电探测器及制作方法 | 2020-05-17 | 556 |
超薄柔性有机电子器件制备与封装一体式结构设计和制备流程工艺 | 2020-05-14 | 567 |
一种去伪影方法 | 2020-05-17 | 223 |
一种紫外光电探测器及其制备方法 | 2020-05-08 | 944 |
一种基于AIE材料的倍增型有机光电探测器及制备方法 | 2020-05-14 | 590 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。