专利汇可以提供一种自动去边机用硅片暂存装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型提供了一种自动去边机用 硅 片 暂存装置,包括 支撑 座,在所述支撑座上部依次设有微调滑台、 角 度调整板、连接板和 吸附 平台,所述支撑座、微调滑台、角度调整板、连接板和吸附平台之间均通过 螺栓 连接;所述吸附平台上设有 定位 开口,所述吸附平台上端面开有凹槽,所述吸附平台的外 侧壁 上开有与所述凹槽连通的气道;所述角度调整板边缘开有两个对称的弧形长孔。本实用新型所述的自动去边机用 硅片 暂存装置设计有微调滑台和角度调整版,定位校准时能够对 位置 进行微调,保证了 精度 ,并且支撑座刚性好,避免了 吸盘 下伸取片过程中的 变形 。,下面是一种自动去边机用硅片暂存装置专利的具体信息内容。
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