专利汇可以提供一种硅片清洗周转盒专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 硅 片 清洗周转盒,其中,包括:清洗框;若干个靠板,所述靠板倾斜设置在清洗框内;若干个弹性 支架 ,所述弹性支架固定设置在靠板的一端,所述弹性支架具有弹性 底板 和一对底板固定 块 ,一对底板固定块分别固定在弹性底板的两端;若干个底板支架组合,所述底板支架组合固定设置在清洗框内,且抵挡在一对底板固定块上。本实用新型结构合理、使用寿命长、具有减振作用。,下面是一种硅片清洗周转盒专利的具体信息内容。
1.一种硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,包括:
若干个清洗框(1);
若干个靠板(4),所述靠板(4)倾斜设置在清洗框(1)内;
若干个弹性支架(5),所述弹性支架(5)固定设置在靠板(4)的一端,所述弹性支架(5)具有弹性底板(51)和一对底板固定块(52),一对底板固定块(52)分别固定在弹性底板(51)的两端;
若干个底板支架组合(6),所述底板支架组合(6)固定设置在清洗框(1)内,且抵挡在一对底板固定块(52)上。
2.根据权利要求1所述的硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,所述底板支架组合(6)包括本体、支架腿一(61)和支架腿二(62),所述支架腿一(61)连接在本体的中部,且一端延伸至清洗框(1)的内底,所述支架腿二(62)连接在本体的一端,且另一端延伸至清洗框(1)的内底。
3.根据权利要求2所述的硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,所述底板支架组合(6)还包括支架面一(63)、支架面二(64)和支架面三(65),所述支架面一(63)位于本体的一侧,且抵挡在一个底板固定块(52)上,所述支架面二(64)位于本体的一侧,且抵挡在另一个底板固定块(52)上,所述支架面三(65)位于位于本体的一侧,且抵挡在靠板(4)的一端。
4.根据权利要求3所述的硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,所述底板支架组合(6)还包括支架连接面(66),所述支架连接面(66)位于本体的另一端,且抵挡在靠板(4)的外侧面。
5.根据权利要求1所述的硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,还包括若干个靠板支架(7),所述靠板支架(7)的一端延伸至清洗框(1)的内底,另一端抵挡在靠板(4)的外侧面。
6.根据权利要求3所述的硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,所述两个底板固定块(52)上均设有凸缘,所述凸缘抵挡在本体的一侧。
7.根据权利要求6所述的硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,所述凸缘的横截面呈弧形。
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