专利汇可以提供一种双面发电的背接触异质结太阳能电池及其制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种双面发电的背 接触 异质结 太阳能 电池 及其制作方法,其结构包括双面制绒的N型或P型单晶 硅 片 ,依次设在单晶 硅片 正面 上的 钝化 膜层和透明减反层,交叉设置在 单晶硅 片背面上的第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层,设在第一本征非晶硅层上的P型非晶硅层和第二本征非晶硅层上的N型非晶硅层,设在P型非晶硅层和N型非晶硅层之间交叠区的第一透明绝缘层,设在P型非晶硅层和N型非晶硅层上的透明导电层,依次设在透明导电层上的金属导电层、金属 电极 及其保护层。本发明具有双面受光发电的优异特性,正面受光面积达100%,背面受光面积可大于50%,提高 背接触太阳电池 的实际发电功率,制作方法简洁易控,工艺简单,易于大规模量产的实现。,下面是一种双面发电的背接触异质结太阳能电池及其制作方法专利的具体信息内容。
1.一种双面发电的背接触异质结太阳能电池,其特征在于:其包括双面制绒的N型或P型单晶硅片,依次设在单晶硅片正面上的钝化膜层和透明减反层,交叉设置在单晶硅片背面上的第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层,设在第一本征非晶硅层上的P型非晶硅层和第二本征非晶硅层上的N型非晶硅层,设在P型非晶硅层和N型非晶硅层之间交叠区的第一透明绝缘层,设在P型非晶硅层和N型非晶硅层上的透明导电层,依次设在透明导电层上的金属导电层、金属电极及其保护层;所述金属电极及其保护层占所述单晶硅片背面面积的10%-60%,则单晶硅片背面裸露的透明导电层和第一透明绝缘层的总面积占所述单晶硅片背面面积的90%-40%,对应的有效光吸收面积占硅片面积的90%-40%。
2.根据权利要求1所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池,其特征在于:所述第一透明绝缘层具有透光性,允许光线透射至P型非晶硅层、第一本征非晶硅层和单晶硅内。
3.根据权利要求1所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池,其特征在于:所述透明导电层具有透光性,允许光线透射至P型非晶硅层、N型非晶硅层、第一本征非晶硅层、第二本征非晶硅层和单晶硅内。
4.根据权利要求1所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池,其特征在于:所述钝化膜层和透明减反层具有透光性,允许光线透射至单晶硅内。
5.一种如权利要求1所述双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述方法包括如下步骤:
在双面制绒清洗的单晶硅片背面沉积第一本征非晶硅层、P型非晶硅层和第一透明绝缘层;
对已沉积的第一透明绝缘层、P型非晶硅层和第一本征非晶硅层选择性开口,裸露底层单晶硅片,并对单晶硅片重清洗,在第一透明绝缘层和单晶硅片上沉积第二本征非晶硅层、N型非晶硅层和保护非晶硅膜层;
在双面制绒清洗的单晶硅片正面沉积钝化膜层和透明减反层;
对保护非晶硅膜层、N型非晶硅层、第二本征非晶硅层和第一绝缘层选择性开口,裸露底层P型非晶硅层,
去除保护非晶硅膜层使得N型非晶硅层裸露;
在P型非晶硅层、N型非晶硅层和第一透明绝缘层上沉积透明导电层、金属导电层;
对金属导电层和透明导电层选择性开口,使P型非晶硅层和N型非晶层之间绝缘隔离;
在已绝缘隔离的金属导电层上制作金属电极及其保护层,并去除金属电极区域以外的金属导电层。
6.根据权利要求5所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述第一本征非晶硅层、第二本征非晶硅层、正面钝化层、P型非晶硅层、N型非晶硅层采用等离子体增强化学气相沉积制作,沉积温度为160℃-300℃,所述正面钝化层为本征非晶硅或本征非晶硅和掺杂型非晶硅/多晶硅的组合。
7.根据权利要求5所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述第一透明绝缘层、透明减反层和保护非晶硅膜层采用等离子体增强化学气相沉积或磁控溅射沉积制作,沉积温度为160-400℃,所述第一透明绝缘层、透明减反层和保护非晶硅膜层为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅中的至少一种,其中保护非晶硅膜层还包括一种用PVD方法制作的透明导电膜层。
8.根据权利要求5所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述透明导电层和金属导电层采用磁控溅射沉积,沉积温度为100℃-220℃,所述透明导电层为氧化铟锡、掺氟氧化锡、掺铝氧化锌、掺硼氧化锌、掺钨氧化铟、石墨烯中的至少一种,所述金属导电层为Ag、Cu、Al、Ni、Ti、TiN、Sn、Zn或NiCr中的至少一种。
9.根据权利要求5所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述金属电极及其保护层采用电沉积方法制作,先采用阻挡材料形成保护图形,再采用电沉积的方式形成金属电极及其保护层,最后用碱性溶液和蚀刻溶液中的至少一种,一次性或逐层去除阻挡材料和金属电极区域以外的金属导电层,所述金属电极及其保护层为Ag、Cu、Al、Zn、Sn、Cr、Ni中的至少一种。
10.根据权利要求5所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述选择性开口的方法是先采用阻挡材料形成保护图形,然后采用刻蚀浆料、刻蚀溶液和碱性溶液中的至少一种,一次性或逐层去除保护图形以外区域的第一透明绝缘层、P型非晶硅层、第一本征非晶硅层、保护非晶硅膜层、N型非晶硅层、第二本征非晶硅层、金属导电层和透明导电层,最后用碱性溶液去除阻挡材料。
11.根据权利要求10所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述蚀刻浆料为酸性蚀刻膏,所述蚀刻溶液包括氧化剂、氢氟酸、盐酸、硫酸、磷酸、臭氧、双氧水、银离子、锌离子、铜离子、铁离子、铝离子和过硫酸根离子中至少一种,所述碱性溶液中包括氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、双氧水、银离子、锌离子、铜离子、铁离子、铝离子、表面活性剂中的至少一种。
12.根据权利要求9或10所述一种双面发电的背接触异质结太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述阻挡材料为树脂、光阻、保护油墨中至少一种,所述形成保护图形的方法为丝网印刷、移印、喷涂或滚涂。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种正面局域钝化接触的晶硅太阳电池及其制备方法 | 2020-05-16 | 730 |
新型基于钙钛矿和晶硅背钝化叠层太阳电池及其制造方法 | 2020-05-12 | 501 |
一种基于SI衬底的五结太阳电池的制备方法 | 2020-05-18 | 957 |
一种基于范德瓦耳斯力结合的GaAs/InGaN二结太阳电池结构及其制备方法 | 2020-05-08 | 624 |
一种含有CuS疏水层的GaAs太阳电池及其制备方法 | 2020-05-08 | 322 |
正面局域钝化接触的晶硅太阳电池及其制备方法 | 2020-05-13 | 797 |
一种新型晶硅太阳电池及其制备方法 | 2020-05-15 | 240 |
一种InP-石墨烯太阳电池 | 2020-05-08 | 414 |
一种P型晶体硅电池及光伏组件 | 2020-05-11 | 223 |
一种太阳电池 | 2020-05-19 | 528 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。