专利汇可以提供一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种晶体 硅 太阳能 电池 的 硼 扩散方法,包括如下步骤:(1)将制绒清洗后的 硅片 放入扩散炉管内,升温至800~1100℃,通入 氧 气进行氧化,氧化时间为1~30min;(2)保持步骤(1)中的 温度 或升温至900~1100℃,通硼源、氧气和氮气进行硼扩散;(3)停止通源,保持温度或降温至800~900℃,在氮气气氛下保温5~50min;(4)降温,出舟,完成扩散过程。本发明的扩散方法可以提高硼扩散的均匀性,避免或减少富硼层的形成,提高硅片的少子寿命,同时可以保持较高的表面杂质浓度,有利于形成良好的欧姆 接触 ,从而提高电池性能。,下面是一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法专利的具体信息内容。
1.一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1) 将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内,升温至800~1100℃,通入氧气进行氧化,氧化时间为1~30min;
(2) 保持步骤(1)中的温度或升温至900~1100℃,通硼源、氧气和氮气进行硼扩散;
(3) 停止通源,保持温度或降温至800~900℃,在氮气气氛下保温5~50 min;
(4) 降温,出舟,完成扩散过程。
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于:所述步骤(1)中氧气的流量为5~20L/min。
3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于:所述步骤(2)中硼源为BBr3,其流量为50~2000mL/min;氧气流量为50~2000mL/min;氮气流量为5~20L/min;硼扩散的时间为10~85min。
4.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于:所述步骤(3)中的氮气流量5~10L/min。
5.一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1) 将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内,升温至750~900℃后通入氧气进行氧化,然后在1~30min内继续升温至900~1100℃;
(2) 保持步骤(1)中的温度或升温至900~1100℃,通硼源、氧气和氮气进行硼扩散;
(3) 停止通源,保持温度或降温至800~900℃,在氮气气氛下保温5~50 min;
(4) 降温,出舟,完成扩散过程。
6.根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于:所述步骤(1)中氧气的流量为5~20L/min。
7.根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于:所述步骤(2)中硼源为BBr3,其流量为50~2000mL/min;氧气流量为50~2000mL/min;氮气流量为5~20L/min;硼扩散的时间为10~85min。
8.根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法,其特征在于:所述步骤(3)中的氮气流量为5~10L/min。
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