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一种隔离装置及 镀膜设备

阅读：687发布：2020-05-11

专利汇可以提供一种隔离装置及镀膜设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种隔离装置及镀膜设备。本实用新型提供的隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板之间形成输送间隙，所述输送间隙包括：第一输送段和第二输送段，其中，所述第一输送段的间隙大于第二输送段的间隙，基材由第一输送段进入隔离装置时，不会被隔离装置划伤基材的镀膜面，同时第二输送段又能保证镀膜腔室内气压的稳定。本实用新型实施例还提供了一种使用该隔离装置的镀膜设备。，下面是一种隔离装置及镀膜设备专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板(4)和所述第二隔离板(5)之间形成输送间隙(52)，其特征在于：
所述输送间隙(52)包括：第一输送段(522)和第二输送段(521)，其中，所述第一输送段(522)的间隙大于第二输送段(521)的间隙。
2.根据权利要求1所述的隔离装置，其特征在于：
所述第一输送段(522)位于所述第二输送段(521)的一端或两端。
3.根据权利要求2所述的隔离装置，其特征在于：
所述第一隔离板(4)和/或第二隔离板(5)上设有用于与外部气源连通的通气结构，其中，所述通气结构位于所述第二输送段(521)。
4.根据权利要求2所述的隔离装置，其特征在于：所述第二输送段(521)的间隙处处相同。
5.根据权利要求2所述的隔离装置，其特征在于：所述第一输送段(522)的间隙沿远离第二输送段(521)的方向逐渐增大。
6.根据权利要求2-5中任一项所述的隔离装置，其特征在于：
所述第一隔离板(4)包括第一段(42)和位于所述第一段(42)一端或两端的第二段(43)，所述第一段(42)与所述第二隔离板(5)之间形成第二输送段(521)，所述第二段(43)与所述第二隔离板(5)形成第一输送段(522)；
所述第一段(42)和第二段(43)的内侧切线形成的夹角为0°～30°。
7.根据权利要求6所述的隔离装置，其特征在于：所述第一段(42)和第二段(43)的内侧切线形成的夹角为1°～5°。
8.根据权利要求6中所述的隔离装置，其特征在于：
所述第二隔离板(5)包括第三段(54)和位于所述第三段(54)一端或两端的第四段(55)，所述第三段(54)与所述第一段(42)之间形第二输送段(521)，所述第四段(55)与所述第二段(43)之间形成第一输送段(522)；
所述第三段(54)和第四段(55)的内侧切线形成的夹角为0°～30°。
9.根据权利要求8所述的隔离装置，其特征在于：所述第三段(54)和第四段(55)的内侧切线形成的夹角为1°～5°。
10.根据权利要求1所述的隔离装置，其特征在于：所述隔离装置还包括磁性件(6)，所述磁性件(6)设置在所述第一隔离板(4)或第二隔离板(5)上。
11.根据权利要求10所述的隔离装置，其特征在于：设有所述磁性件(6)的隔离板上设有安装槽(53)，所述磁性件(6)固定在所述安装槽(53)内。
12.根据权利要求10所述的隔离装置，其特征在于：设有所述磁性件(6)的隔离板上设有导轨(7)，所述导轨(7)的延伸方向与所述输送间隙(52)的延伸方向垂直，所述磁性件(6)可滑动地连接于所述导轨(7)。
13.根据权利要求3所述的隔离装置，其特征在于：所述第一隔离板(4)上通气结构的吹气方向与所述第一隔离板(4)内侧面的法线夹角为45°～90°；
或所述第二隔离板(5)上通气结构的吹气方向与所述第二隔离板(5)内侧面的法线夹角为45°～90°。
14.一种镀膜设备，其特征在于，包括多个镀膜腔(1)，相邻两个所述镀膜腔(1)之间设有隔离腔(2)，至少一个所述隔离腔(2)内设有如权利要求1至11任一项所述的隔离装置(3)。

说明书全文

一种隔离装置及镀膜设备

技术领域

[0001] 本实用新型涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种隔离装置及镀膜设备。

背景技术

[0002] 目前薄膜太阳能电池因为其轻、薄、便于携带收纳等优点被广泛的应用，薄膜太阳能电池的制造工艺中一般采用磁控溅射法实现在基材上形成薄膜以获得PN结。

[0003] 目前的磁控溅射法中具有多个镀膜腔室对基材进行不同膜层的溅射，相邻两个腔室之间通过隔离腔隔离，隔离腔内设有隔离装置，所述隔离装置包括两个相对设置的隔离板，隔离板间形成一个缝隙，滚筒支撑基材保证其高度及张紧度，基材在一个前室内溅射形成膜层后，通过滚筒带动经由隔离装置第一隔离板和第二隔离板之间的缝隙进入下一腔室进行镀膜，这样能够实现镀膜工艺的连续作业。

[0004] 一般镀膜腔室的温度在达到500°左右，经过此高温后基材会发生形变，基材通过隔离板形成的缝隙时膜面与隔离板接触导致划伤，如果增加隔离板之间缝隙的间隙，会导致镀膜腔室内压力不稳定，影响镀膜的制程。实用新型内容

[0005] (一)本实用新型要解决的技术问题是：经过此高温后基材会发生形变，基材通过隔离板形成的缝隙时膜面与隔离板接触导致基材划伤。

[0006] (二)技术方案

[0007] 为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板之间形成输送间隙，所述输送间隙包括：第一输送段和第二输送段，其中，所述第一输送段的间隙大于第二输送段的间隙。

[0008] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一输送段位于所述第二输送段的一端或两端。

[0009] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一隔离板和/或第二隔离板上设有用于与外部气源连通的通气结构，其中，所述通气结构位于所述第二输送段。

[0010] 根据本实用新型的一个实施例，所述第二输送段的间隙处处相同。

[0011] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一输送段的间隙沿远离第二输送段的方向逐渐增大。

[0012] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一隔离板包括第一段和位于所述第一段一端或两端的第二段，所述第一段与所述第二隔离板之间形成第二输送段，所述第二段与所述第二隔离板形成第一输送段；

[0013] 所述第一段和第二段的内侧切线形成的夹角为0°～30°。

[0014] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一段和第二段的内侧切线形成的夹角为1°～5°。

[0015] 根据本实用新型的一个实施例，所述第二隔离板包括第三段和位于所述第三段一端或两端的第四段，所述第三段与所述第一段之间形第二输送段，所述第四段与所述第二段之间形成第一输送段；

[0016] 所述第三段和第四段的内侧切线形成的夹角为0°～30°。

[0017] 根据本实用新型的一个实施例，所述第三段和第四段的内侧切线形成的夹角为1°～5°。

[0018] 根据本实用新型的一个实施例，所述隔离装置还包括磁性件，所述磁性件设置在所述第一隔离板或第二隔离板上。

[0019] 根据本实用新型的一个实施例，设有所述磁性件的隔离板上设有安装槽，所述磁性件固定在所述安装槽内。

[0020] 根据本实用新型的一个实施例，设有所述磁性件的隔离板上设有导轨，所述导轨的延伸方向与所述输送间隙的延伸方向垂直，所述磁性件可滑动地连接于所述导轨。

[0021] 根据本实用新型的一个实施例，所述通气结构的通气方向与第一隔离板或第二隔离板内侧面的法线夹角为45°～90°。

[0022] 本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括多个镀膜腔，相邻两个所述镀膜腔之间设有隔离腔，至少一个所述隔离腔内设有上述实施例提供的隔离装置。

[0023] 本实用新型的有益效果：本实用新型提供的隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板之间形成输送间隙，所述输送间隙包括：第一输送段和第二输送段，其中，所述第一输送段的间隙大于第二输送段的间隙。本实用新型实施例通过将第一输送段间隙设置为大于第二输送段的间隙，这样当基材从镀膜腔进入到隔离腔时，即从第一输送段进入隔离装置，能够在隔离装置初始段增大基材与第一隔离板和第二隔离板之间的距离，进而大幅度降低基材因高温变形与隔离装置接触划伤材基材上膜层的概率。同时由于第二输送段间隙小，又可以保证镀膜腔内气压的稳定性。附图说明

[0024] 本实用新型实施例上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

[0025] 图1是本申请一个实施例中所述隔离装置的结构示意图；

[0026] 图2是本申请一个实施例中所述第一隔离板的示意图；

[0027] 图3是本申请一个实施例中第一隔离板与第二隔离板之间形成输送间隙的结构示意图；

[0028] 图4是所述第二隔离板的结构示意图；

[0029] 图5是所述电磁铁的结构示意图；

[0030] 图6是本申请中镀膜设备的结构示意图；

[0031] 图7是本申请一个实施例中所述吹气孔设置位置的示意图；

[0032] 图8是本申请另一个实施例中所述吹气孔设置位置的示意图；

[0033] 图9是本申请又一个实施例中所述吹气孔设置位置的示意图；

[0034] 图10是本申请又一个实施例中所述吹气孔设置位置的示意图；

[0035] 图11是本申请又一个实施例中所述吹气孔设置位置的示意图；

[0036] 图12是本申请又一个实施例中所述吹气孔设置位置的示意图。

[0037] 其中图1至图12中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

[0038] 1、镀膜腔，2、隔离腔，3、隔离装置，31、第一调节支架，311、螺孔， 32、第二调节支架，33、定位卡销，34、第一气道盖板，341、进气口，35、第二气道盖板，4、第一隔离板，41、气道，42、第一段，43、第二段，5、第二隔离板，51、吹气孔，52、输送间隙，521、第二输送段，522、第一输送段，53、安装槽，54、第三段，55、第四段，6、磁性件，7、导轨，8、电机。

具体实施方式

[0039] 为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

[0040] 如图1和图3所示，本实用新型提供了一种隔离装置3，包括第一隔离板4和第二隔离板5，第一隔离板4和第二隔离板5之间形成输送间隙52，所述输送间隙(52)包括：第一输送段(522)和第二输送段(521)，其中，所述第一输送段(522)的间隙大于第二输送段(521)的间隙。

[0041] 不同镀膜腔1之间的工作温度不同，某些镀膜腔1的温度能够达到800-900℃，基材经过高温会产生变形，卷变形成波浪状，由于隔离装置3 第一隔离板4和第二隔离板5之间的输送间隙52非常小，在输送过程中，变形的基材会与第一隔离板4和第二隔离板5接触，导致膜层被划伤，电池膜层划伤会影响电池的性能，其中划伤的部位主要集中的端部的位置，因此本实用新型实施例提供的隔离装置，第一输送段522间隙大于第二输送段 521的间隙，这样就能够增大基材与第一隔离板4和第二隔离板5之间的距离，进而大幅度降低对于卷上膜层划伤的概率，同时由于第二输送段的间隙较小，不会造成镀膜腔1内的气压波动，保证的镀膜腔内工艺稳定性。

[0042] 进一步的，根据本实用新型的一个实施例，第一输送段522位于第二输送段521一端。具体的，第一输送段522设于基材的输入端，由于某些镀膜腔1的温度会很高，基材经过高温会产生变形，材质的基材变形成波浪状，因此在基材输送过程中，变形的基材会与第一隔离板4和第二隔离板5接触，导致沉积在基材上的膜层被划伤，而本实施例中在基材输入端的输送间隙 52设置成第一输送段522，能够降低基材与第一隔离板4和第二隔离板5 接触膜材的概率。可选地，本实施例中第一输送段522也可以位于第二输送段522的两端，即位于输送间隙52的输入端和输出端，其同样能够实现本申请的目的，其宗旨未脱离本实用新型的设计思想，应属于本实用新型的保护范围。

[0043] 进一步的，第一隔离板4和/或第二隔离板5上均设通气结构，通气结构的吹气孔51与第二输送段521连通,通气结构用于与外部气源连通。具体的，如图1和图2所示，第一隔离板4和第二隔离板5上均设有通气结构，也即是第一隔离板4和第二隔离板5上均设有气道41和吹气孔51，吹气孔 51能够均匀的向输送间隙52内吹送惰性气体。

[0044] 本实用新型实施例提供的隔离装置通过外界的气源向通气结构内输送惰性气体，如Ar气等，惰性气体通过吹气孔51进入第二输送段521，同时惰性气体通过进入第二输送段521的惰性气体向两侧的镀膜腔1流动，在镀膜腔 1与隔离腔2之间形成气幕，阻止镀膜腔1内的工艺气体通过输送间隙52 扩散到其他的镀膜腔1，避免出现串气的现象，由于镀膜腔1内的工艺气体不会向外侧扩散，维持镀膜腔1内制成压力级别因此整个镀膜腔1内各个区域的气体离子浓度更加均衡，保证形成膜层厚度的均匀性，能够有效地解决因串气导致的镀膜腔1压力泄露，各个区域离子浓度不均导致的膜层厚度不均的问题。可选地，本申请中气源可以为气泵，通过气泵将惰性气体输送至通气结构内。需要说明的是，通气结构也可以仅设置在第一隔离板4或第二隔离板5上，在此不做具体说明。

[0045] 可选地，第一隔离板4和第二隔离板5均为铝材制成。

[0046] 进一步地，第一隔离板4和第二隔离板5对称设置。第一隔离板4和第二隔离板5上通气结构也对称设置，即两个通气结构上的吹气孔51对称设置。需要说明的是，第一隔离板4和第二隔离板5根据实际的使用需求也可以非对称设置。

[0047] 可选的，第一隔离板4上的通气结构和第二隔离板5上通气结构与同一个气源连通，可以保证第一隔离板4和第二隔离板5上所有吹气孔51压力的均匀，进而促使输送间隙52中各区域压力无差异；可选地，本申请中第一隔离板4和第二隔离板5上的通气结构也可以是分别连接独立的气源，其同样能够实现本申请的目的。

[0048] 可选地，如图6所示，隔离腔2两端分别与镀膜腔1连通，隔离装置3 设置在隔离腔2内，并设置在隔离腔2和镀膜腔1连通位置，即隔离装置3 为两套，吹气孔51的吹气方向朝向相邻的镀膜腔11。进一步的，第一隔离板4上通气结构的吹气方向与所述第一隔离板4内侧面的法线夹角为 45°～90°。所述第二隔离板5上通气结构的吹气方向与所述第二隔离板5 内侧面的法线夹角为45°～90°。具体的，第一隔离板4上吹气孔51的吹气方向与第一隔离板4与第二隔离板5相对面在第一方向的夹角为45°～ 90°，第二隔离板5上吹气孔51的吹气方向与第二隔离板5与第一隔离板 4相对面在第一方向的夹角为45°～90°。

[0049] 根据本实用新型的一个实施例，第二输送段521的间隙处处相同，即第二输送段521中第一隔离板4和第二隔离板5相靠近的两侧壁之间的距离是相同的。

[0050] 根据本实用新型的一个实施例，第一输送段522的间隙可以相同。第一输送段522的间隙也可以沿远离第二输送段521的方向逐渐增大，第一输送段522的最小间隙等于第二输送段521的间隙。

[0051] 根据本实用新型的一个实施例，如图4所示，第一隔离板4包括第一段 42和位于第一段42一端或两端的第二段43，第一段42与第二隔离板5之间形第二输送段521，第二段43与第二隔离板5形成第一输送段522；第一段42和第二段43的内侧切线形成的夹角为0°～30°；优选地，第一段42 和第二段43的内侧切线形成的夹角为1°～5°，这样既能够防止基材在运输过程出现剐蹭磨损的现象，也能够避免因第一输送段522的间隙过大导致出现串气的问题；优选地，第一段42的两端均设有第二段43，其中第一段 42与其中一个第二段43之间的夹角为α等于1.4度，第一段42与另一端第二段43支架的夹角为β等于1.04度；第一输送段522为第一隔离板4 上的第二段43与第二隔离板5之间形成的；可选地，第二隔离板5朝向第一隔离板4的一面为平面，第一隔离板4上的第二段43向外倾斜与第二隔离板5之间形成第一输送段522。第一隔离板4包括一个第二段43还是两个第二段43是由第一输送段522来决定的，如果设置有两个第一输送段522，则第一隔离板4包括两个第二段43，如果设有一个第一输送段522则设有一个第二段43。可选地，在第一隔离板4的端部内侧切削下一个楔形的减厚层形成第二段43，也可以是第一隔离板4的端部向远离输送间隙52的一侧弯折形成第二段43。

[0052] 如图4所示，第二隔离板5包括第三段54和位于第三段54一端或两端的第四段55，第三段54与第一段42之间形第二输送段521，第四段55与第二段43之间形成第一输送段522；第三段54和第四段55的内侧切线形成的夹角为0°～30°；优选地，第三段54和第四段55的内侧切线形成的夹角为1°～5°，这样既能够防止基材在运输过程出现剐蹭磨损的现象，也能够避免因第一输送段522的间隙过大导致出现串气的问题；优选地，第三段54的两端均设有第四段55，其中第三段54与其中一个第四段55之间的夹角为1.4度，第三段54与另一端第四段55支架的夹角为1.04度；第一输送段522为第一隔离板4上的第四段55与第二隔离板
5之间形成的；可选地，第一隔离板4朝向第二隔离板5的一面为平面，第二隔离板5上的第四段55向外倾斜与第一隔离板4之间形成第一输送段522。第二隔离板5 包括一个第四段55还是两个第四段55是由第一输送段522来决定的，如果设置有两个第一输送段522，则第二隔离板5包括两个第四段55，如果设有一个第一输送段522则设有一个第四段55。优选地，第二段43和第四段55 之间形成第一输送段522。可选地，在第二隔离板5的端部内侧切削下一个楔形的减厚层形成第四段55，也可以是第二隔离板5的端部向远离输送间隙52的一侧弯折形成第四段55。

[0053] 如图4所示，第二隔离板5的长度小于第一隔离板4的长度，且述第二隔离板5的一端与第一隔离板4的一端对齐，第二隔离板5的另一端短于第一隔离板4的另一端，目的是为了安装滚筒，以通过滚筒带动基材移动。

[0054] 可选地，第二隔离板5短于第一隔离板4的一端设有第四段55，第二隔离板5的第四段55与第一隔离板4相对的位置形成第一输送段522，其中第一隔离板4对应第二隔离板5第四段55的位置可以也设置第二段43，也可以为平面结构，均能够与第二隔离板5上的第四段55之间形成第一输送段522。

[0055] 可选地，第二隔离板5短于第一隔离板4的一端为平面结构，第一隔离板4对应第二隔离板5端部的位置形成第二段43，通过第一隔离板4上的第二段43与第二隔离板5的端部之间形成第一输送段522。

[0056] 如图4和图5所示，隔离装置3还包括磁性件6，磁性件6设置在第一隔离板4或第二隔离板5上，基材为磁性基材，例如不锈钢。具体的，磁性件6设置于第二隔离板5上，由于基材在运输的时候朝向第一隔离板4的一侧为镀膜的一侧，朝向第二隔离板5的一侧为设置基底的一侧，因此在第二隔离板5上设置磁性件6能够对基材产生一个朝向第二隔离板5的吸力，将基材的褶皱向第二隔离板5的一侧拉伸，使基材趋于平整，进而避免基材与第一隔离板4接触导致基材上膜层被划伤。同时磁性件6对于基材的磁吸力将其拉伸呈平整的状态，保证基材与第一隔离板4和第二隔离板5之间的间隙为定值，如果间隙改变腔室压力也随之改变(在工艺压力测试中可体现出现，加装磁铁6后基材的上下部位置会纠正到正常位，中位区域因张力关系无改变。

[0057] 优选地，本申请中磁性件6为磁铁，磁铁可以为永磁体也可以为电磁铁，均能够实现通过磁吸力来对基材产生一个吸力，以将基材因高温产生的褶皱拉平的目的。

[0058] 根据本实用新型的一个实施例，设有磁性件6的第一隔离板4或第二隔离板5上设有安装槽53，磁性件6固定在安装槽53内。具体的，第二隔离板5上去除通气结构以外的空余位铣出16x6排圆柱形孔位作为安装槽53，可安装D9.4x6.4mm尺寸以下圆柱形填充物，填充物可以为永磁铁也可以为电磁铁；可选地，填充物为N35永磁铁。N35永磁铁的尺寸为D8x5mm,表磁约4000GS；永磁铁的种类、尺寸和表磁可以根据不同环境可选用不同方案进行选择。

[0059] 如图7至图12所示，本申请中可以根据不同的工况选择磁性件6在第二隔离板5上的分布安装情况，如图7，磁性件6在第二隔离板5上均匀间隔分布，如图7至图12所示，磁性件6设置在第二隔离板5的两端位置，可以根据部的镀膜腔1内的工艺温度以及工况进行选择。

[0060] 如图5所示，第一隔离板4或第二隔离板5上设有导轨7，导轨7的延伸方向与输送间隙52的延伸方向垂直，磁性件6滑动连接导轨7，即导轨7 沿第二隔离板5的长度方向设置；优选地，磁性件6为磁铁，磁铁设于第二隔离板5上，磁铁通过导轨7沿第二隔离板5的长度方向在第二隔离板5 上滑动，通过磁铁的移动调节第二隔离板5不同位置的电磁场，进而对输送间隙52内因高温导致的电池卷变形进行调节。可选地，第二隔离板5上还设有驱动机构，驱动机构用于驱动电磁铁沿导轨7滑动；优选地，驱动机构可以包括电机8和丝杆，电机8与丝杆传动连接，电机8转动带动丝杆转动，磁性件固定在滑块上，滑块上设有与丝杆配合的内螺孔，丝杆转动带动滑块移动，进而带动位于滑块上的磁性件6沿丝杆移动，此时丝杆即为导轨7。当然，在本申请中也可以是磁性件6上直接开设与丝杆配合的内螺孔，其同样能够实现本申请的目的，其宗旨未脱离本实用新型的设计思想，应属于本实用新型的保护范围。

[0061] 优选的，本申请中磁铁为电磁铁，电磁铁可通过电压电流灵活调整磁场的强度，能最快选用合适的参数，电磁铁磁场强度可通过电压电流变化来实现，电磁铁可通过导轨7在第二隔离板5上滑动，改变磁场覆盖的区域，比固定式永磁铁更灵活。

[0062] 如图1所示，隔离装置3还包括定位卡销33、第一调节支架31、第二调节支架32、第一气道盖板34和第二气道盖板35，第一隔离板4和第二隔离板5上形成有气道41，气道41还包括主路气道和支路气道，主路气道中 Ar气平均分配到支路，支路与支路对称，实现整个旁路中Ar气流量均等，第一隔离板4上的气道41和第二隔离板5上的气道41通过第一隔离板4 上的Ar接入口再平均一分二流量，每一主路流量再平均分到支路，实现整个隔离装置3结构中第一隔离板4和第二隔离板5支路气道中流量完全相同。气道41截面为圆形或方形，利于气体的传输，气道41截面面积根据隔离装置3的气体流量决定，气道41横截面积大，通入隔离装置3过程更平衡。横截面面积小，通入隔离装置3过程更急速，腔体压力反馈更及时。
调节支架上设有螺孔311，用于安装固定隔离装置于腔室上的螺栓，螺孔311为U 型或椭圆型，提供隔离装置结构可调整的余量。

[0063] 第一气道盖板34盖合在第一隔离板4上与第一隔离板4之间形成通气结构(即气流通道)，第二气道盖板35盖合在第二隔离板5上形成通气结构，第一气道盖板34和第二气道盖板35通达螺丝固定于隔离装置3第一隔离板4第二隔离板5气道41表面；第一隔离板4和第二隔离板5上设置的通气结构为对称结构，在第一隔离板4和第二隔离板5上均匀分布吹气孔 51，吹气孔51可以呈阵列排布，吹气孔51直径<2mm，过大尺寸的吹气孔 51会造成局部气流过大，导致隔离装置3的输送间隙52中各部分压力的不均匀，第一隔离板4和第二隔离板5上的吹气口可以完全对称，第一气道盖板34和第二气道盖板35上还设有进气口341，通过进气口341能够像通气结构内输入Ar气。

[0064] 第一隔离板4的一端通过定位卡销33与第二隔离板5的一端相连，第一隔离板4的另一端通过定位卡销33与第二隔离板5的另一端相连，第一隔离板4和第二隔离板5相互平行并间隔设置形成输送间隙52，定位卡销 33上有固定第一隔离板4与第二隔离板5的螺丝孔。定位卡销33上有连通第一隔离板4气道41与第二隔离板5气道41的Ar气通孔。进一步的，定位卡销33从一端到另一端厚度相同，两根卡销尺寸相同，保证隔离装置3 间隙的宽度相同。定位卡销33置于隔离装置3内部一侧带有圆角，置于隔离装置3外部一侧带有直角。

[0065] 如图6所示，本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括多个镀膜腔1，相邻两个镀膜腔1之间设有隔离腔2，至少一个隔离腔2内设有上述任一实施例的隔离装置3。隔离装置3上设有第一隔离板4和第二隔离板5，第一隔离板4和第二隔离板5上设置的通气结构上设有与外部气源连通的的吹气孔51，且吹气孔51与第二输送段521连通，通气结构通过使用气泵等外部气源经由通气结构向第二输送段521内输送惰性气体，进入第二输送段521 的惰性气体向隔离装置3两端的镀膜腔1吹送形成气幕，通气结构气幕能够阻止相邻的镀膜腔1之间出现串气，同时由于镀膜腔1内的工艺气体不会串进其他镀膜腔1内，因此镀膜腔1内的压力更稳定，可以起到平衡镀膜腔1 内压力的作用，使镀膜腔1内各个区域的离子浓度更均匀，保证镀膜层厚度的均匀性，提升电池片质量；另外第二输送段521的至少一端形成第一输送段522，第一输送段522的间隙大于第二输送段521的间隙，气流从第二输送段521向第一输送段522流动时，由于气流通过的变大，气流流动速度降低，从第二输送段521经由第一输送段522的气流，进而降低惰性气体的扩散速度，降低惰性气体多镀膜腔1的冲击，减少镀膜腔1的压力波动。

[0066] 本申请中镀膜腔1设有十多个，其中磁控溅射Cig靶材的三个腔室为第四镀膜腔、第五镀膜1和第六镀膜腔，上述三个镀膜腔1的内有加热器，可将温度从150℃提升至920℃，基材经过此高温发生形变，通过隔离装置3 时膜面与第一隔离板4接触导致划伤；因此上述三个两两之间的隔离腔2 内均设有本申请实施例的隔离装置3；当然，在本申请中可以是任意两个镀膜腔1之间的隔离腔2内均设有上述实施例的隔离装置3。

[0067] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0068] 以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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