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一种集成薄膜太阳能电池的显示模组及其制备方法

阅读:353发布:2020-05-08

专利汇可以提供一种集成薄膜太阳能电池的显示模组及其制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种集成 薄膜 太阳能 电池 的显示模组及其制备方法,其中显示模组包括玻璃 基板 ,所述玻璃基板朝向显示模组发光方向的一侧具有彩色 树脂 显示区和黑矩阵区,所述黑矩阵区包括设置在玻璃基板上的薄膜 太阳能电池 层和设置在 薄膜太阳能电池 层上的遮光层,所述彩色树脂显示区内设有薄膜太阳能电池走线,其中所述薄膜太阳能电池层和薄膜太阳能电池走线的前 电极 和背电极均为透明电极。实施本发明,利用遮光层与薄膜太阳能电池层一体制作的方式可以使制作工艺更加简单,制作成本更低,降低显示屏的厚度,采用透明走线保证显示效果。,下面是一种集成薄膜太阳能电池的显示模组及其制备方法专利的具体信息内容。

1.一种集成薄膜太阳能电池的显示模组,包括玻璃基板,所述玻璃基板朝向显示模组发光方向的一侧具有彩色树脂显示区和黑矩阵区,其特征在于,所述黑矩阵区包括设置在玻璃基板上的薄膜太阳能电池层和设置在薄膜太阳能电池层上的遮光层,所述彩色树脂显示区内设有薄膜太阳能电池走线,其中所述薄膜太阳能电池层和薄膜太阳能电池走线的前电极和背电极均为透明电极。
2.如权利要求1所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组,其特征在于,所述薄膜太阳能电池层包括依次层叠设置在玻璃基板上的第一前电极层、第一光伏吸收层和第一背电极层,所述遮光层设置在第一背电极层上;所述薄膜太阳能电池走线包括依次层叠设置在玻璃基板上的第二前电极层、第二光伏吸收层和第二背电极层,所述薄膜太阳能电池走线上不设置遮光层。
3.如权利要求1或2所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组,其特征在于,在彩色树脂显示区,所述薄膜太阳能电池走线可选择性断开设置。
4.如权利要求1或2所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组,其特征在于,所述黑矩阵区的最外围还设有第一金属辅助层以减少第一前电极层和/或第一背电极层的电阻。
5.如权利要求1或2所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组,其特征在于,所述黑矩阵区的中间区域的交叉位置处还设有第二金属辅助层以减少该区域的第一前电极层和/或第一背电极层的电阻。
6.如权利要求1或2所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组,其特征在于,所述黑矩阵区的部分位置设置第一光伏吸收层,部分位置不设置第一光伏吸收层,不设置第一光伏吸收层的黑矩阵区设有第一金属层与第一前电极层连接,所述第一金属层与第一背电极层绝缘隔。
7.如权利要求1或2所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组,其特征在于,还包括公共电极层,所述公共电极层形成在彩色树脂显示区和黑矩阵区的外侧面,所述薄膜太阳能电池层和薄膜太阳能电池走线上还设有不与第一前电极层和第二前电极层连接的第二金属层,所述遮光层上还开设有通孔使公共电极层与第二金属层连接。
8.一种如权利要求1-7任一项所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:在玻璃基板上进行第一前电极层和第二前电极层成膜;
步骤S2:在所述第一前电极层进行第一光伏吸收层的化学气相沉积成膜,在第二前电极层上进行第二光伏吸收层的化学气相沉积成膜;
步骤S3:在所述第一光伏吸收层进行第一背电极层成膜和在第二光伏吸收层上进行第二背电极层成膜;所述第一背电极层和第二背电极层均采用透明电极;
步骤S4:清洗后先对第一背电极层和第二背电极层进行成像刻蚀 ,再对第一光伏吸收层和第二光伏吸收层进行成像刻蚀,最后对第一前电极层和第二前电极层进行成像刻蚀;
步骤S5:通过涂胶曝光显影的方式在黑矩阵区制备遮光层;
步骤S6: 依次通过涂胶曝光显影的方式制备RGB子像素,形成彩色树脂显示区, 然后在彩色树脂显示区和黑矩阵区的外侧找平层上用物理气相沉积的方式镀公共电极层。
9.如权利要求8所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组的制备方法,其特征在于,还包括在黑矩阵区的中间区域的交叉位置进行第二金属辅助层的制作,在黑矩阵区的中间区域的交叉位置处通过预先设置掩膜版,一次性湿刻第一背电极层和干刻第一光伏吸收层,第一前电极层不进行刻蚀,然后通过成膜第二金属辅助层将第一前电极层引出。
10.如权利要求9所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组的制备方法,其特征在于,还包括在第一背电极层和第二背电极层上进行第二金属层的制作,所述第二金属层与第一背电极层和第二背电极层之间还制作有绝缘层,所述遮光层通过曝光形成通孔,在彩色树脂显示区和黑矩阵区的外侧进行公共电极层镀膜后公共电极直接通过通孔与第二金属层连接。

说明书全文

一种集成薄膜太阳能电池的显示模组及其制备方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显示器技术领域,更具体地涉及一种集成薄膜太阳能电池的显示模组及其制备方法。

背景技术

[0002] 随着电脑、显示器、穿戴设备等电子产品的使用越来越广泛,这类电子产品普遍存在的一个问题是:显示屏在显示过程中消耗大部分的能源,导致电池无法长时间工作,因此出现将薄膜太阳能电池应用在显示屏上可以有效提高显示屏的电池使用时长,薄膜太阳能电池具有厚度薄、成本低、光电转化率高等优点,现有技术中有通过将薄膜太阳能电池设置在显示屏最外层的保护盖板上,也有将薄膜太阳能电池与显示屏分别制作后再粘贴固定,
这些现有的技术在制作工艺、制作成本、保证显示效果和显示屏的厚度降低上均没有足够
的优势,仍可通过进一步改进简化制作工艺、成本、保证显示效果和达到降低显示屏厚度的目的。

发明内容

[0003] 为了解决所述现有技术的不足,本发明提供了一种制作工艺更加简单,制作成本更低,降低显示屏的厚度,采用透明走线保证显示效果的集成薄膜太阳能电池的显示模组
及其制备方法。
[0004] 本发明所要达到的技术效果通过以下方案实现:一种集成薄膜太阳能电池的显示模组,包括玻璃基板,所述玻璃基板朝向显示模组发光方向的一侧具有彩色树脂显示区和
黑矩阵区,所述黑矩阵区包括设置在玻璃基板上的薄膜太阳能电池层和设置在薄膜太阳能
电池层上的遮光层,所述彩色树脂显示区内设有薄膜太阳能电池走线,其中所述薄膜太阳
能电池层和薄膜太阳能电池走线的前电极和背电极均为透明电极。
[0005] 优选地,所述薄膜太阳能电池层包括依次层叠设置在玻璃基板上的第一前电极层、第一光伏吸收层和第一背电极层,所述遮光层设置在第一背电极层上;所述薄膜太阳能电池走线包括依次层叠设置在玻璃基板上的第二前电极层、第二光伏吸收层和第二背电极
层,所述薄膜太阳能电池走线上不设置遮光层。
[0006] 优选地,在彩色树脂显示区,所述薄膜太阳能电池走线可选择性断开设置。
[0007] 优选地,所述黑矩阵区的最外围还设有第一金属辅助层以减少第一前电极层和/或第一背电极层的电阻
[0008] 优选地,所述黑矩阵区的中间区域的交叉位置处还设有第二金属辅助层以减少该区域的第一前电极层和/或第一背电极层的电阻。
[0009] 优选地,所述黑矩阵区的部分位置设置第一光伏吸收层,部分位置不设置第一光伏吸收层,不设置第一光伏吸收层的黑矩阵区设有第一金属层与第一前电极层连接,所述
第一金属层与第一背电极层绝缘隔。
[0010] 优选地,还包括公共电极层,所述公共电极层形成在彩色树脂显示区和黑矩阵区的外侧面,所述薄膜太阳能电池层和薄膜太阳能电池走线上还设有不与第一前电极层和第
二前电极层连接的第二金属层,所述遮光层上还开设有通孔使公共电极层与第二金属层连
接。
[0011] 一种如上述所述的集成薄膜太阳能电池的显示模组的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:在玻璃基板上进行第一前电极层和第二前电极层成膜;
步骤S2:在所述第一前电极层进行第一光伏吸收层的化学气相沉积成膜,在第二前电
极层上进行第二光伏吸收层的化学气相沉积成膜;
步骤S3:在所述第一光伏吸收层进行第一背电极层成膜和在第二光伏吸收层上进行第
二背电极层成膜;所述第一背电极层和第二背电极层均采用透明电极;
步骤S4:清洗后先对第一背电极层和第二背电极层进行成像刻蚀 ,再对第一光伏吸收
层和第二光伏吸收层进行成像刻蚀,最后对第一前电极层和第二前电极层进行成像刻蚀;
步骤S5:通过涂胶曝光显影的方式在黑矩阵区制备遮光层;
步骤S6: 依次通过涂胶曝光显影的方式制备RGB子像素,形成彩色树脂显示区, 然后
在彩色树脂显示区和黑矩阵区的外侧找平层上用物理气相沉积的方式公共电极层。
[0012] 优选地,还包括在黑矩阵区的中间区域的交叉位置进行第二金属辅助层的制作,在黑矩阵区的中间区域的交叉位置处通过预先设置掩膜版,一次性湿刻第一背电极层和干
刻第一光伏吸收层,第一前电极层不进行刻蚀,然后通过成膜第二金属辅助层将第一前电
极层引出。
[0013] 优选地,还包括在第一背电极层和第二背电极层上进行第二金属层的制作,所述第二金属层与第一背电极层和第二背电极层之间还制作有绝缘层,所述遮光层通过曝光形
成通孔,在彩色树脂显示区和黑矩阵区的外侧进行公共电极层镀膜后公共电极直接通过通
孔与第二金属层连接。
[0014] 本发明具有以下优点:1、通过在黑矩阵区设置薄膜太阳能电池层和在彩色树脂显示区设置薄膜太阳能电池
走线,可以提高薄膜太阳能电池的光电转换能量,满足显示模组的使用,有效提高其待机或使用时间。同时利用遮光层与薄膜太阳能电池层一体制作的方式可以使制作工艺更加简
单,制作成本更低,降低显示屏的厚度,采用透明走线保证显示效果;
2、通过薄膜太阳能电池走线可选择性断开设置,因为第二光伏吸收层本身的颜色呈暗
红色,选择性断开薄膜太阳能电池走线可以减少对彩色树脂显示区的影响;
3、所述黑矩阵区的最外围还设有第一金属辅助层以减少第一前电极层和第一背电极
层的电阻,提高薄膜太阳能电池层在强光下的转化效率,同时有利于第一前电极层和第一
背电极层的引出;
4、 通过将所述黑矩阵区的中间区域的交叉位置处还设有第二金属辅助层以减少该区
域的第一前电极层和第一背电极层的电阻;
5、通过黑矩阵区的部分位置设置第一光伏吸收层,部分位置不设置第一光伏吸收层,
不设置第一光伏吸收层的黑矩阵区设有第一金属层与第一前电极层连接,用于进一步减少
第一前电极层的电阻;
6、通过将薄膜太阳能电池层和薄膜太阳能电池走线上还设有不与第一前电极层和第
二前电极层连接的第二金属层,所述遮光层上还开设有通孔使公共电极层与第二金属层连
接,用于减少公共电极层的电阻。
附图说明
[0015] 图1为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组显示彩色树脂显示区、黑矩阵区及电池的平面结构示意图;
图2为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组显示彩色树脂显示区、黑矩阵区的侧视
结构示意图;
图3为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组中黑矩阵区内的薄膜太阳能电池层和遮
光层的侧视结构示意图;
图4为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组中彩色树脂显示区内的薄膜太阳能电池
走线的侧视结构示意图;
图5为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组中黑矩阵区内最外围设有第一金属辅助
层的侧视结构示意图;
图6为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组中黑矩阵区内中间区域的交叉位置处挖
空的平面结构示意图;
图7为图6中A-A处的侧视结构示意图;
图8为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组中黑矩阵区不设置第一光伏吸收层和设
置第一金属层的侧视结构示意图;
图9为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组中公共电极层与第二金属层连接的侧视
结构示意图;
图10为本发明集成薄膜太阳能电池的显示模组的制备方法的工艺流程图

具体实施方式

[0016] 下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元
件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
[0017] 在本发明的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限
制。
[0018] 此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0019] 在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0020] 实施例一结合图1-图2所示,本发明实施例提供一种集成薄膜太阳能电池的显示模组,包括玻璃
基板10,所述玻璃基板10朝向显示模组发光方向的一侧具有彩色树脂显示区100和黑矩阵
区200,所述黑矩阵区200包括设置在玻璃基板10上的薄膜太阳能电池层210和设置在薄膜
太阳能电池层210上的遮光层220,所述彩色树脂显示区100内设有薄膜太阳能电池走线
110,其中所述薄膜太阳能电池层210和薄膜太阳能电池走线110的前电极和背电极均为透
明电极。
[0021] 具体地,结合图3-图4所述薄膜太阳能电池层210包括依次层叠设置在玻璃基板10上的第一前电极层211、第一光伏吸收层212和第一背电极层213,所述遮光层220设置在第
一背电极层213上,所述薄膜太阳能电池走线110包括依次层叠设置在玻璃基板10上的第二
前电极层111、第二光伏吸收层112和第二背电极层113,所述薄膜太阳能电池走线110上不
设置遮光层220,且第二背电极层113采用透明材质使得薄膜太阳能电池走线110在彩色树
脂显示区100内肉眼不可见,有效降低了对彩色树脂显示区100的显示效果的影响。所述薄
膜太阳能电池走线110的宽度优选为小于60nm,肉眼不可见,且薄膜太阳能电池走线110的
度应当不与彩色树脂显示产生摩尔纹,同时可以根据显示效果需要来决定彩色树脂显示
区100域的薄膜太阳能电池走线110的分布的数量,对显示效果要求较高时,可以适当减少
薄膜太阳能电池走线110的数量,相反,对显示效果要求不高时,可适当增加薄膜太阳能电池走线110的数量。应当理解的是,当所述显示模组没有黑矩阵区200时,则所述显示模组可全部采用薄膜太阳能电池走线110的方式形成半透明太阳能电池,用于对显示模组进行供
电。
[0022] 本发明通过在黑矩阵区200设置薄膜太阳能电池层210和在彩色树脂显示区100设置薄膜太阳能电池走线110,可以提高薄膜太阳能电池的光电转换能量,满足显示模组的使用,有效提高其待机或使用时间。同时利用遮光层220与薄膜太阳能电池层210一体制作的
方式可以使制作工艺更加简单,制作成本更低,降低显示屏的厚度,采用透明走线保证显示效果。
[0023] 如图所示,本发明中所述黑矩阵区200的薄膜太阳能电池层210与遮光层220相当于彩膜基板的遮蔽漏光区域,可有效避免看到漏光导致的显示屏对比度下降。外界自然光
线向显示模组内入射,光线通过第一前电极层211和第二前电极层111,照射在第一光伏吸
收层212和第二光伏吸收层112上产生光电转换。
[0024] 作为本发明实施例的进一步改进,在彩色树脂显示区100,所述薄膜太阳能电池走线110可以根据显示屏的亮度要求进行可选择性断开设置,因为第二光伏吸收层112本身的
颜色呈暗红色,选择性断开薄膜太阳能电池走线110可以减少对彩色树脂显示区100的影
响。应当理解的是,每条薄膜太阳能电池走线110应当均与薄膜太阳能电池层210连接,形成有效电池作用。所述薄膜太阳能电池走线110和薄膜太阳能电池层210可以是单结薄膜太阳
能电池结构,也可以是多结薄膜太阳能电池结构,本发明不作具体限定。
[0025] 本发明实施例中,所述第一前电极层211朝向第一光吸收层的侧面还可以通过化学制绒处理或者MOCVD等方法制造绒面以提高第一光吸收层对光的吸收,所述第二前电极
层111朝向第二光吸收层的侧面也可以通过化学制绒处理或者MOCVD等方法制造绒面以提
高第二光吸收层对光的吸收。所述遮光层220采用黑色树脂等材质,通常与常规的彩膜基板上用的黑矩阵材料类似。所述遮光层220也可以采用黑色金属等材质,可以防止背光产生的光反射回阵列基板,导致薄膜晶体管吸光而影响显示效果。
[0026] 结合图5所示,作为本发明实施例的进一步改进,所述黑矩阵区200的最外围还设有第一金属辅助层214以减少第一前电极层211和/或第一背电极层213的电阻,提高薄膜太
阳能电池层210在强光下的转化效率,同时有利于第一前电极层211和第一背电极层213的
引出。所述黑矩阵区200的边缘的宽度可以大于黑矩阵区200的中间位置的宽度,以便提高
薄膜太阳能电池层210的转化效率。应当理解的是,所述第一前电极层211的金属辅助层应
当与第一背电极层213的金属辅助层应当通过绝缘层20绝缘隔开,避免发生短路。所述第一金属辅助层214可以分别作为总的正负极栅极总线以引出太阳能电池的正负极。
[0027] 结合图6-图7所示,作为本发明实施例的进一步改进,对于大面积的显示模组,中间区域的黑矩阵区200电阻较大,因此所述黑矩阵区200的中间区域的交叉位置处还设有第
二金属辅助层215以减少该区域的第一前电极层211和/或第一背电极层213的电阻,所述第
二金属辅助层215可以引出至与栅极总线连接。具体实现时,可以通过在交叉位置处局部挖空第一光吸收层和第一背电极层213使第二金属辅助层215与第一前电极层211连接,和/或
第二金属辅助层215与第一背电极层213连接,与第一前电极层211连接的第二金属辅助层
215和与第一背电极层213连接的第二金属辅助层215之间绝缘隔开设置。
[0028] 结合图8所示,作为本发明实施例的进一步改进,当显示模组的面积足够大时,所述薄膜太阳能电池层210的电阻对强光下的效率影响很大,为了减轻薄膜太阳能电池层210
的电阻,所述黑矩阵区200的部分位置设置第一光伏吸收层212,部分位置不设置第一光伏
吸收层212,不设置第一光伏吸收层212的黑矩阵区200设有第一金属层216与第一前电极层
211连接,用于进一步减少第一前电极层211的电阻,所述第一金属层216与第一背电极层
213绝缘隔开,可延伸至第一光伏吸收层212的上方。优选地,不设置第一光伏吸收层212的位置为黑矩阵区200较窄的位置,可以每隔500um距离不设置第一光伏吸收层212,实际距离的选取根据实际使用环境光强增加或者减少。
[0029] 本发明实施例中,所述绝缘层20可以是有机物或是SiNx等无机物制备而成。
[0030] 结合图9所示,所述显示模组还包括公共电极层300,所述公共电极层300形成在彩色树脂显示区100和黑矩阵区200的外侧面,所述薄膜太阳能电池层210和薄膜太阳能电池
走线110上还设有不与第一前电极层211和第二前电极层111连接的第二金属层217,所述遮
光层220上还开设有通孔使公共电极层300与第二金属层217连接,用于减少公共电极层300
的电阻。优选地,所述通孔的直径为3μm-15μm,性能最好。所述公共电极层300的材料可以是ITO或者AZO。应当理解的是,本发明实施例的显示模组还可以不设置公共电极层300。
[0031] 本发明实施例中,所述第一前电极层211、第一背电极层213、第二前电极层111、第二背电极层113的材料可以均为AZO,透过率高。
[0032] 实施例二如图10所示,本发明实施例提供实施例一所述的一种集成薄膜太阳能电池的显示模组
的制备方法,包括以下步骤:
步骤S1:在玻璃基板10上进行第一前电极层211和第二前电极层111成膜;成膜温度
170℃-350℃,成膜厚度为50nm-1000nm之间;第一前电极层211和第二前电极层111在远离
玻璃基板10的一侧表面可以选择用低浓度HCl或性物质制绒形成凹凸不平的平面,以提
高太阳能反射光的吸收。所述第一前电极层211和第二前电极层111均采用透明电极,提高
透过率和减少对显示效果的影响。应当理解的是,所述第一前电极层211和第二前电极层
111可以是同时成膜形成,工艺更简单。
[0033] 步骤S2:在所述第一前电极层211进行第一光伏吸收层212的化学气相沉积成膜,在第二前电极层111上进行第二光伏吸收层112的化学气相沉积成膜。同理,所述第一光伏
吸收层212和第二光伏吸收层112也为同时成膜形成。
[0034] 具体地,所述第一光伏吸收层212和第二光伏吸收层112均分为P层、I层和N层,其中P层厚度为10nm-90nm,成膜温度为150℃-280℃, I层200 nm -700nm,成膜温度150℃-
280℃,N层20 nm -80nm,成膜温度150℃-230℃。
[0035] 步骤S3:在所述第一光伏吸收层212进行第一背电极层213成膜和在第二光伏吸收层112上进行第二背电极层113成膜;所述第一背电极层213和第二背电极层113均采用透明
电极,起到双面吸收光的效果,提高透过率和减少对显示效果的影响。同理,所述第一背电极层213和第二背电极层113也为同时成膜形成。
[0036] 步骤S4:清洗后先对第一背电极层213和第二背电极层113进行成像刻蚀 ,再对第一光伏吸收层212和第二光伏吸收层112进行成像刻蚀,最后对第一前电极层211和第二前
电极层111进行成像刻蚀;
所述第一背电极层213、第二背电极层113、第一前电极层211、第二前电极层111可以采
用涂胶曝光成像后进行化学刻蚀;所述第一光伏吸收层212、第二光伏吸收层112以采用干
刻的方式进行刻蚀,这里主要是在干刻前不进行光刻胶的脱模处理而直接进行干刻,而节
省工艺步骤。
[0037] 步骤S5:通过涂胶曝光显影的方式在黑矩阵区200制备遮光层220,通过涂胶曝光的方式将黑色树脂覆盖在第一背电极层213上,黑色树脂起到遮光作用,遮光层220通过曝
光控制线条宽度使遮光层220大于薄膜太阳能电池层210,避免漏光。
[0038] 步骤S6: 依次通过涂胶曝光显影的方式制备RGB子像素,形成彩色树脂显示区100, 然后在彩色树脂显示区100和黑矩阵区200的外侧找平层上用物理气相沉积的方式镀
公共电极层300。
[0039] 作为本发明实施例二的进一步改进,还包括在彩色树脂显示区100进行部分走线断开的制作,所述断开处利用掩膜版不进行光刻胶形成,通过先化学湿刻蚀的方式刻蚀掉
第二背电极,然后通过干刻的方式刻蚀掉第二光吸收层,再通过化学湿刻蚀的方式刻蚀掉
第二前电极。因为第二光伏吸收层112本身的颜色呈暗红色,选择性断开薄膜太阳能电池走线110可以减少对彩色树脂显示区100的影响。
[0040] 作为本发明实施例二的进一步改进,还包括在黑矩阵区200的最外围进行第一金属辅助层214的制作,所述第一金属辅助层214通过物理气相沉积方式一次性成膜形成。该
步骤还包括绝缘层20的制作,所述绝缘层20使与第一前电极层211接触的第一金属辅助层
214以及与第一背电极层213接触的第一金属辅助层214之间绝缘隔开。所述第一金属辅助
层214可以减少第一前电极层211和第一背电极层213的电阻,提高薄膜太阳能电池层210在
强光下的转化效率,同时有利于第一前电极层211和第一背电极层213的引出。
[0041] 当绝缘层20采用有机物时,可以通过涂胶曝光显影、移印或丝印的方式制备,工艺更为简单。当绝缘层20采用SiNx、SiO2等非金属保护时,可通过采用化学气象沉积(CVD)或磁控溅射等方式来成膜,然后利用黄光线曝光做出图形后干刻蚀成图形。
[0042] 作为本发明实施例二的进一步改进,还包括在黑矩阵区200的中间区域的交叉位置进行第二金属辅助层215的制作,在黑矩阵区200的中间区域的交叉位置处通过预先设置
掩膜版,一次性湿刻第一背电极和干刻第一光伏吸收层212,第一前电极不进行刻蚀,然后通过成膜第二金属辅助层215将第一前电极层211引出以减少电阻。该第二金属辅助层215
用于减少该区域的第二前电极层111的电阻。
[0043] 作为本发明实施例二的进一步改进,还包括在黑矩阵区200内除去第一光伏吸收层212的制作,将第一背电极刻蚀掉后,暴露的第一光伏吸收层212用干刻蚀的方法刻蚀后,第一金属层216通过镀膜的方式与第一前电极接触连接。当显示模组的面积足够大时,所述薄膜太阳能电池层210的电阻对强光下的效率影响很大,该除去第一光伏吸收层212的制作
可以减轻薄膜太阳能电池层210的电阻。
[0044] 作为本发明实施例二的进一步改进,还包括在第一背电极层213和第二背电极层113上进行第二金属层217的制作,所述第二金属层217与第一背电极层213和第二背电极层
113之间还制作有绝缘层20。所述第二金属层217与第一金属辅助层214可以同时成膜形成,所述遮光层220通过曝光形成通孔,在彩色树脂显示区100和黑矩阵区200的外侧进行公共
电极层300镀膜后公共电极直接通过通孔与第二金属层217连接。该第二金属层217的制作
用于减少公共电极层300的电阻。
[0045] 本发明实施例二提供的一种集成薄膜太阳能电池的显示模组的制备方法使得显示模组的制作工艺更简便,制作成本更低,提高了显示效果和降低了电池的电阻。
[0046] 最后需要说明的是,以上实施例仅用以说明本发明实施例的技术方案而非对其进行限制,尽管参照较佳实施例对本发明实施例进行了详细的说明,本领域的普通技术人员
应当理解依然可以对本发明实施例的技术方案进行修改或者等同替换,而这些修改或者等
同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明实施例技术方案的范围。
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