专利汇可以提供一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种同质 外延 GaN肖特基势垒型紫外 雪 崩探测器,包括N型自 支撑 GaN衬底、同质外延N型GaN 缓冲层 、同质外延非故意掺杂GaN吸收层、欧姆 接触 电极 层、半透明肖特基电极、介质 钝化 层和接触电极。本实用新型的优点在于采用同质外延结构有效降低外延结构的位错 密度 ,从而减少了器件的在高压情况下的 缺陷 击穿,同时器件采用共平面的电极结构设计, 电场 方向与位错方向垂直,减少器件的漏 电流 进一步提高器件的 信噪比 ,有利于微弱紫外目标 信号 的检测。,下面是一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器专利的具体信息内容。
1.一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器,其特征在于:包括
N型自支撑GaN衬底(101);
在所述N型自支撑GaN衬底(101)正面的同质外延N型GaN缓冲层(102);
在所述同质外延N型GaN缓冲层(102)正面的同质外延非故意掺杂GaN吸收层(103);
在所述同质外延非故意掺杂GaN吸收层(103)上制作的欧姆接触电极层(104);
在所述同质外延非故意掺杂GaN吸收层(103)上制作的半透明肖特基电极(105);
在所述半透明肖特基电极(105)正面淀积的介质钝化层(106),所述介质钝化层(106)上刻蚀有能显露半透明肖特基电极(105)的引线孔;
在所述引线孔的位置制作的接触电极(107),所述接触电极(107)延伸至引线孔内而与半透明肖特基电极(105)连接。
2.根据权利要求1所述的一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器,其特征在于:所述欧姆接触电极层(104)形状为环形。
3.根据权利要求1所述的一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器,其特征在于:所述半透明肖特基电极(105)形状为圆形。
4.根据权利要求1所述的一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器,其特征在于:所述半透明肖特基电极(105)选用Ni/Au电极、Pt/Au电极或者石墨烯电极。
5.根据权利要求1所述的一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器,其特征在于:所述介质钝化层(106)为SiO2或Al2O3层。
6.根据权利要求1所述的一种同质外延GaN肖特基势垒型紫外雪崩探测器,其特征在于:所述N型自支撑GaN衬底(101)的厚度为350μm,其载流子浓度为2×1018cm-3,所述同质外延N型GaN缓冲层(102)的厚度为1μm,其载流子浓度为5×1018cm-3,所述同质外延非故意掺杂GaN吸收层(103)的厚度为3μm,所述欧姆接触电极层(104)的厚度为2μm,所述半透明肖特基电极(105)的厚度为3nm-5nm,所述介质钝化层(106)的厚度为200nm,所述接触电极(107)的厚度为2μm。
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