一种等离子体处理装置专利检索-放电等离子体等离子体物理专利检索查询-专利查询网

一种 等离子体处理装置

阅读：724发布：2020-05-08

专利汇可以提供一种等离子体处理装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种等离子体处理装置，属于等离子体设备技术领域。其特征在于：电极管的两端分别连接有进水管（12）和出水管（16），进水管（12）和出水管（16）与箱体（1）之间均设置有密封件（13），箱体（1）还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；所述的密封件（13）包括套设在对应的进水管（12）或出水管（16）外的密封筒（17）、内锁紧筒（22）以及外锁紧筒（21），内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）与密封筒（17）之间均设置有密封环。本等离子体处理装置提高了放电效率，且可以施加中高频交流电，放电频率提高，产生的电子能量提高，密封件使箱体内维持稳定的负压状态，保证了放电稳定。，下面是一种等离子体处理装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种等离子体处理装置，其特征在于：包括箱体（1）以及设置在箱体（1）内的电极管，电极管的两端分别连接有进水管（12）和出水管（16），进水管（12）和出水管（16）与箱体（1）之间均设置有密封件（13），在箱体（1）内形成封闭的放电腔，箱体（1）还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；
所述的密封件（13）包括套设在对应的进水管（12）或出水管（16）外的密封筒（17）、内锁紧筒（22）以及外锁紧筒（21），内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）均与密封筒（17）螺纹连接，内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）与密封筒（17）之间均设置有密封环，内锁紧筒（22）设置在箱体（1）内。
2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：环绕所述的箱体（1）的外壁间隔设置有多个加强筋（2）。
3.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的密封件（13）还包括锁紧环（23），密封筒（17）一端的直径大于另一端的直径，形成定位台（1704），定位台（1704）设置在箱体（1）外，密封筒（17）的另一端伸入箱体（1）内并与箱体（1）密封连接，锁紧环（23）设置在箱体（1）内，并与密封筒（17）螺纹连接，进水管（12）或出水管（16）分别穿过对应的密封筒（17）伸入箱体（1）内，且进水管（12）或出水管（16）分别与对应的密封筒（17）密封连接。
4.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的箱体（1）外设置有第一法兰盘（19）和第二法兰盘（20），第一法兰盘（19）与箱体（1）固定连接，第二法兰盘（20）与第一法兰盘（19）可拆卸的连接，第一法兰盘（19）和第二法兰盘（20）均套设在对应的密封筒（17）外，并与密封筒（17）之间密封设置。
5.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的密封筒（17）设置在箱体（1）内的一端的内径大于中部的内径，形成内连接部（1703），内锁紧筒（22）一端伸入内连接部（1703）并与内连接部（1703）螺纹连接，并压紧对应侧的密封环。
6.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：环绕所述的密封筒（17）中部外壁设置有密封槽（1701），密封槽（1701）与箱体（1）之间设置有水管密封圈（25）。
7.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的进水管（12）和出水管（16）的长度大于或等于7m。
8.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的箱体（1）为一侧敞口的长方体箱体，箱体（1）的敞口侧转动安装有箱门（3），环绕箱体（1）的敞口侧设置有箱体密封圈（9），箱门（3）上设置有与箱体密封圈（9）相配合的密封环（4）。
9.根据权利要求8所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的箱门（3）与箱体（1）之间设置有缓冲弹簧（10）。

说明书全文

一种等离子体处理装置

技术领域

[0001] 一种等离子体处理装置，属于等离子体设备技术领域。

背景技术

[0002] 等离子体的用途非常广泛，从我们的日常生活到工业、农业、环保、军事、医学等方面，涉及环保领域中的工业废气VOC的高浓度处理、工业和民用材料的改性、医院手术室及医疗器械及药厂的药用器材的消毒杀菌、室内的空气净化、农副产品的消毒和保险等，都有非常重要的应用价值。

[0003] 等离子放电类型很多，目前市场通常用的有电晕针尖放电、双介质阻档放电、单介质放电技术，这些都是在常压下放电，而且只局限在两极间距离在 0.3 20mm 的范围内放~电。电晕针尖放电一般为直流脉冲阳极和阴极之间产生电场，然后在针尖上产生一个点或无数个点的辉光放电，其电子能量极其有限，电晕针尖放电技术通常用在除尘除油烟处理等领域。双介质阻挡放电和单介质放电技术应用于工业废气处理是我们早在 1997 年开始研究的一项新技术，单介质技术由于放电子密度不够大而不被应用。双介质阻挡放电有两种方式，套管式介质阻挡放电放和排极式介质阻挡放电，目前我们国内在环保领域中广泛应用于工业废气处理的是排极式双介质阻挡放电，它的结构原理为两极用绝缘介质覆盖，两极之间并保持着一定的距离，然后在两极上供给足够的交流电压，最后发生绝缘介质击穿放电。

[0004] 以上的技术的缺点在于能耗高、热量高、风阻大、频率低，原因主要体现在四个方面： 1、两电极上覆盖的介质一般采用无机材料，有石英玻璃和陶瓷之类的，在实际应用中未考虑机械强度和使用寿命，一般设计介质厚度为 1 2mm 之间，介质越厚介电常数也越~大，同时供给在两极之间的电压也越高，耗能也越大，发温也越高。 2、双介质阻挡放电或是单介质放电一般都是在常压下放电，大部分电子能量消耗在空气中的水气上，能量得不到有效利用，也会造成耗能增大。 3、介质阻挡放电都应用于常压放电，由于受空气中的氧气和水的影响造成极与极之间的电子或离子运动间距得不到延长，所以放电距离做不大，一般只能控制在0.3 20mm 之间，放电距离越小风阻越大，通风量越小，因而应用受到限制。
~

[0005] 申请号为201510051111.X的中国发明专利申请公开了一种等离子体处理装置，其通过设置在反应箱内的三组电极管实现放电，通过将电极管与冷却水源连通，直接对电极管进行降温，解决了上述的热量高的问题，但是其没有解决上述的能耗高、风阻大、频率低的问题。

发明内容

[0006] 本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种减少电极管件的介质阻挡，使放电距离增大，提高了放电效率的等离子体处理装置。

[0007] 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该等离子体处理装置，其特征在于：包括箱体以及设置在箱体内的电极管，电极管的两端分别连接有进水管和出水管，进水管和出水管与箱体之间均设置有密封件，在箱体内形成封闭的放电腔，箱体还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；

[0008] 所述的密封件包括套设在对应的进水管或出水管外的密封筒、内锁紧筒以及外锁紧筒，内锁紧筒和外锁紧筒均与密封筒螺纹连接，内锁紧筒和外锁紧筒与密封筒之间均设置有密封环，内锁紧筒设置在箱体内。

[0009] 优选的，环绕所述的箱体的外壁间隔设置有多个加强筋。

[0010] 优选的，所述的密封件还包括锁紧环，密封筒一端的直径大于另一端的直径，形成定位台，定位台设置在箱体外，密封筒的另一端伸入箱体内并与箱体密封连接，锁紧环设置在箱体内，并与密封筒螺纹连接，进水管或出水管分别穿过对应的密封筒伸入箱体内，且进水管或出水管分别与对应的密封筒密封连接。

[0011] 优选的，所述的箱体外设置有第一法兰盘和第二法兰盘，第一法兰盘与箱体固定连接，第二法兰盘与第一法兰盘可拆卸的连接，第一法兰盘和第二法兰盘均套设在对应的密封筒外，并与密封筒之间密封设置。

[0012] 优选的，所述的密封筒设置在箱体内的一端的内径大于中部的内径，形成内连接部，内锁紧筒一端伸入内连接部并与内连接部螺纹连接，并压紧对应侧的密封环。

[0013] 优选的，环绕所述的密封筒中部外壁设置有密封槽，密封槽与箱体之间设置有水管密封圈。

[0014] 优选的，所述的进水管和出水管的长度大于或等于7m。

[0015] 优选的，所述的箱体为一侧敞口的长方体箱体，箱体的敞口侧转动的安装有箱门，环绕箱体的敞口侧设置有箱体密封圈，箱门上设置有与箱体密封圈相配合的密封环。

[0016] 优选的，所述的箱门与箱体之间设置有缓冲弹簧。

[0017] 与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果是：

[0018] 1、本等离子体处理装置的电极管的两端分别连接有进水管和出水管，通过循环水对电极管进行降温，避免电极管温度过高，进水管和出水管均通过密封件与箱体之间密封，抽负压装置能够对放电腔抽负压，使放电腔维持负压状态，放电发生在负压条件下，电极管之间无介质阻挡，耗能低，温度低；空气中水分减少，消耗在水气上的电子能量减少，使得能量利用率提高，相对的耗能降低；空气中的氧气和水气减少，电极管之间的电子或离子运动时受到的影响减弱，运动距离延长，使得放电距离增大，放电距离可在 20mm 到 600mm 之间，即电极管之间的距离增大，使电极管之间的通风量增大，提高了放电效率；没有介质阻隔，电极管之间不在形成电容结构，所以可以施加中高频交流电，放电频率提高，产生的电子能量提高，内锁紧筒与外锁紧筒均与密封筒密封连接，实现了双重密封，与单层密封相比密封效果更好，保证了进水管或出水管与密封筒之间的密封效果，解决了箱体的密封问题，使箱体内维持稳定的负压状态，保证了放电稳定。

[0019] 2、加强筋提高了箱体的强度，避免由于箱体内气压过低导致箱体变形。

[0020] 3、锁紧环与定位台相配合，使密封筒与箱体牢固结合，密封筒与箱体密封连接，避免由于箱体与密封筒之间松动影响密封效果，且密封件的检修方便。

[0021] 4、通过设置第一法兰盘和第二法兰盘，避免了由于箱体的箱壁厚度不足，导致密封不足的问题，保证了密封件与箱体之间的密封效果。

[0022] 5、内锁紧筒连接筒与密封筒螺纹连接，并压紧密封环，从而实现了进水管或出水管与密封筒之间的密封。

[0023] 6、密封筒的中部设置有密封槽，密封槽与箱体之间设置有水管密封圈，保证了密封筒与箱体之间密封效果好，避免随着使用时间的增长导致箱体与密封筒之间发生泄漏。

[0024] 7、进水管和出水管的长度大于或等于7m，在通电时水电阻足够大，不会短路。

[0025] 8、箱门与箱体转动连接，既方便了箱体内部元件的检修，又方便了向箱体内部放置或取出灭菌器件，密封板与箱体密封圈相配合，保证了箱门与箱体之间的密封性能。

[0026] 9、缓冲弹簧能够在开门时起到缓冲作用，避免箱门与箱体之间产生冲击载荷，对箱体或箱门造成损坏。附图说明

[0027] 图1为等离子体处理装置的主视剖视示意图。

[0028] 图2为图1中A处的局部放大图。

[0029] 图3为等离子体处理装置的左视示意图。

[0030] 图4为等离子体处理装置的主视示意图。

[0031] 图5为等离子体处理装置的左视剖视示意图。

[0032] 图6为密封件的主视剖视示意图。

[0033] 图7为密封筒的主视剖视示意图。

[0034] 图8为实施例2中密封件的主视剖视示意图。

[0035] 图中：1、箱体  101、连通孔  2、加强筋  3、箱门  4、密封环  5、上电极管  6、绝缘子  7、排气管  8、安装槽  9、箱体密封圈  10、缓冲弹簧  11、门吊耳  12、进水管  13、密封件  14、下电极管  15、连通管  16、出水管  17、密封筒  1701、密封槽  1702、外连接部  1703、内连接部  1704、定位台  18、箱壁  19、第一法兰盘  20、第二法兰盘
21、外锁紧筒  2101、外锁紧筒连接筒  2102、外锁紧筒压紧环  22、内锁紧筒  2201、内锁紧筒压紧环  2202、内锁紧筒连接筒  23、锁紧环  24、套管  25、水管密封圈  26、门轴
27、安装座  28、观察窗  29、电动推杆。

具体实施方式

[0036] 图1 7是本实用新型的最佳实施例，下面结合附图1 8对本实用新型做进一步说~ ~明。

[0037] 一种等离子体处理装置，包括箱体1以及设置在箱体1内的电极管，电极管的两端分别连接有进水管12和出水管16，进水管12和出水管16与箱体1之间均设置有密封件13，在箱体1内形成封闭的放电腔，箱体1还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；密封件13包括套设在对应的进水管12或出水管16外的密封筒17、内锁紧筒22以及外锁紧筒21，内锁紧筒22和外锁紧筒21均与密封筒17螺纹连接，内锁紧筒22和外锁紧筒21与密封筒17之间均设置有密封环，内锁紧筒22设置在箱体1内。本等离子体处理装置的电极管的两端分别连接有进水管12和出水管16，通过循环水对电极管进行降温，避免电极管温度过高，进水管12和出水管16均通过密封件13与箱体1之间密封，抽负压装置能够对放电腔抽负压，使放电腔维持负压状态，放电发生在负压条件下，电极管之间无介质阻挡，耗能低，温度低；空气中水分减少，消耗在水气上的电子能量减少，使得能量利用率提高，相对的耗能降低；空气中的氧气和水气减少，电极管之间的电子或离子运动时受到的影响减弱，运动距离延长，使得放电距离增大，放电距离可在 20mm 到 600mm 之间，即电极管之间的距离增大，使电极管之间的通风量增大，提高了放电效率；没有介质阻隔，电极管之间不在形成电容结构，所以可以施加中高频交流电，放电频率提高，产生的电子能量提高，内锁紧筒22与外锁紧筒21均与密封筒17密封连接，保证了进水管12或出水管16与密封筒17之间的密封效果，解决了箱体1的密封问题，使箱体1内维持稳定的负压状态，保证了放电稳定。

[0038] 下面结合具体实施例对本实用新型做进一步说明，然而熟悉本领域的人们应当了解，在这里结合附图给出的详细说明是为了更好的解释，本实用新型的结构必然超出了有限的这些实施例，而对于一些等同替换方案或常见手段，本文不再做详细叙述，但仍属于本申请的保护范围。

[0039] 实施例1

[0040] 如图1 4所示：箱体1为左侧敞口的长方体箱体，箱体1的左侧设置有箱门3，箱门3~的顶部两侧对称设置有门吊耳11，箱体1的敞口侧顶部两侧对称设置有安装座27，两个门吊耳11之间安装有门轴26，门轴26的两端分别通过轴承与对应侧的安装座27转动连接。箱门3与箱体1之间还设置有用于打开或关闭箱门3的电动推杆29，电动推杆29转动安装在箱体1上，电动推杆29的活塞杆与箱门3相连，从而推动箱门3打开或关闭，电动推杆29有对称设置在箱体1两侧的两个。环绕线箱体1的敞口侧设置有连续的安装槽8，安装槽8内设置有箱体密封圈9，箱门3靠近箱体1的一侧设置有密封环,4，密封环4与箱体密封圈9相配合，对箱体1进行密封。环绕箱体1的外壁间隔设置有多个加强筋2，增加箱体1的强度，避免箱体1发生变形。

[0041] 箱门3的中部设置有观察窗28，通过观察窗28可以对箱体1内进行观察。

[0042] 电极管包括设置在箱体1上部的上电极管5以及设置在箱体1下部的下电极管14，上电极管5设置在下电极管14的正上方，上电极管5设置在其上侧的绝缘子6与箱体1可拆卸的连接，下电极管14通过设置在其下侧的绝缘子6与箱体1可拆卸的连接。

[0043] 上电极管5和下电极管14的两端分别连接有进水管12和出水管16，从而通过循环水对上电极管5和下电极管14进行冷却，避免上电极管5和下电极管14温度过高，上电极管5和下电极管14分别与高频交流电相连，从而在上电极管5和下电极管14之间放电。

[0044] 箱体1的箱壁18上设置有连通孔101，进水管12和出水管16均通过连通孔101与上电极管5或下电极管14相连通。在本实施例中，每个连通孔101均在竖直方向上并排设置有两个，从而能够根据需要调节上电极管5和下电极管14的间距，闲置的连通孔101通过盲板封闭。每个进水管12和每个出水管16之间均设置有密封件13，并通过密封件13与箱体1之间实现密封，从而在箱体1内形成封闭的放电腔。

[0045] 箱体1相对的两侧内壁对称设置有导轨，导轨垂直于箱门3设置，通过导轨可以在箱体1内安装承载盘，进而方便将医疗器械放在箱体1内消毒。

[0046] 箱体1的右侧设置有排气管7，排气管7连接有抽负压装置，抽负压装置可以为风机或真空泵，在本实施例中，抽负压装置为真空泵。

[0047] 如图5所示：上电极管5和下电极管14均包括平行且间隔设置的多根方形管，方形管的两端封闭设置，上电极管5的两端及下电极管14的两端均设置有连通管15，连通管15与方形钢管垂直设置，连通管15的两端封闭设置，上电极管5的方形管和下电极管14的方形管的两端分别与对应侧的连通管15相连通，进水管12和出水管16分别与对应侧的连通管15相连通，从而方便对上电极管5和下电极管14进行降温。

[0048] 如图6 7所示：密封件13包括密封筒17、锁紧环23、内锁紧筒22、外锁紧筒21以及套~管24。

[0049] 密封筒17为圆筒状，密封筒17的左端的外径大于右端的外径，从而在密封筒17的左端形成定位台1704，定位台1704的右端为由左至右直径逐渐减小的锥形。环绕密封筒17的中部设置有密封槽1701，密封槽1701间隔设置有三个。密封筒17的两端的内径大于中部的内径，从而在密封筒17的左端形成内连接部1703，在密封筒17的右端形成外连接部1702，内连接部1703的内端的直径小于外端的直径，形成内密封环安装部；外连接部1702的内端的直径小于外端的直径，形成外密封环安装部。

[0050] 箱壁18的外壁设置有第一法兰盘19和第二法兰盘20，第一法兰盘19与密封件13一一对应，第一法兰盘19与对应的连通孔101同轴设置，第一法兰盘19与箱体1的箱壁18焊接，并使第一法兰盘19与箱体1的箱壁18之间密封，环绕第一法兰盘19的轴线间隔均布有多个螺杆，螺杆与第一法兰盘19焊接。第二法兰盘20与第一法兰盘19同轴设置，并通过螺杆与第一法兰盘19可拆卸的连接。进水管12或出水管16穿过对应的第一法兰盘19和第二法兰盘20后伸入箱体1内，并与对应的连通管15相连通，密封件13设置在对应的第一法兰盘19、第二法兰盘20和箱体1之间。

[0051] 密封筒17的定位台1704设置在箱体1内，密封筒17的另一端穿过对应的连通孔101、第一法兰盘19和第二法兰盘20后伸出箱体1外。锁紧环23设置在箱体1外，锁紧环23同轴套设在对应的密封筒17外，并与密封筒17螺纹连接，从而与密封筒17相配合与箱体1固定连接。

[0052] 套管24同轴套设在对应的密封筒17外，套管24的左端为与定位台1704的右端相配合的锥形，且套管24的左端支撑在定位台1704上，套管24的右端伸出第二法兰盘20，并与第二法兰盘20焊接，锁紧环23压紧在对应的锁紧环23的右端，从而完成密封筒17的固定。

[0053] 每个密封槽1701内均通过粘胶剂粘结有O型密封圈，从而对密封筒17与套管24之间进行密封。

[0054] 内锁紧筒22设置在箱体1内，并与对应的密封筒17同轴设置，内锁紧筒22包括同轴设置的内锁紧筒连接筒2202以及内锁紧筒压紧环2201，内锁紧筒压紧环2201的外径大于内连接部1703的内径，内锁紧筒连接筒2202的外径小于内密封环安装部的直径。进水管12或出水管16穿过对应的密封筒17并伸入箱体1内，内密封环安装部内安装有内密封环，内密封环套设在对应的进水管12或出水管16外，内锁紧筒压紧环2201和内锁紧筒连接筒2202均套设在对应的进水管12或出水管16外，内锁紧筒连接筒2202伸入内连接部1703内，并与密封筒17螺纹连接，内锁紧筒连接筒2202压紧内密封环，从而使内密封环将对应的进水管12或出水管16与密封筒17之间密封，内锁紧筒压紧环2201压紧密封筒17的左端。

[0055] 外锁紧筒21设置在箱体1外，并与对应的密封筒17同轴设置，外锁紧筒21包括同轴设置的外锁紧筒连接筒2101以及外锁紧筒压紧环2102，外锁紧筒压紧环2102的外径大于外连接部1702的内径，外锁紧筒连接筒2101的外径小于外密封环安装部的直径。外密封环安装部内安装有外密封环，外密封环套设在对应的进水管12或出水管16外，外锁紧筒压紧环2102和外锁紧筒连接筒2101均套设在对应的进水管12或出水管16外，外锁紧筒连接筒2101伸入对应的外连接部1702内，外锁紧筒连接筒2101压紧外密封环，从而使外密封环将对应的进水管12或出水管16之与密封筒17之间密封，锁紧环23的右端伸出密封筒17，外锁紧筒压紧环2102压紧锁紧环23的右端。

[0056] 内锁紧筒22和外锁紧筒21相配合，对对应的进水管12或出水管16与密封筒17之间进行双重密封，保证了密封效果，进而保证了放电腔内气压稳定。

[0057] 密封筒17、锁紧环23、内锁紧筒22以及外锁紧筒21均由绝缘材质制成，在本实施例中，密封筒17、锁紧环23、内锁紧筒22以及外锁紧筒21的材质均为聚四氟乙烯。

[0058] 实施例2

[0059] 如图8所示：实施例2与实施例1的区别在于：实施例2主要应用于箱壁18厚度较大的工况，而实施例1用于箱壁18厚度较小的情况。

[0060] 箱体1的箱壁18外不设置第一法兰盘19与第二法兰盘20，密封筒17与箱壁18之间不设置套管24，密封筒17的中部外套设有水管密封圈25，水管密封圈25上设置有与密封槽1701相配合的凸起，水管密封圈25将密封筒17与箱壁18之间密封，锁紧环23的左侧压紧箱壁18。

[0061] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

标题	发布/更新时间	阅读量
一种熔盐中金属离子的在线检测方法及装置	2020-05-08	233
一种基于电晕放电和霍尔效应的大推力临近空间推力器	2020-05-08	936
一种蓄电池供电的电晕灭菌装置	2020-05-08	816
一种用于挥发性有机物实时在线监测的离子迁移谱仪	2020-05-08	578
基于多孔介质放电的等离子体发生装置	2020-05-11	789
一种多阴极滑动弧等离子体点火器	2020-05-08	341
等离子生发梳	2020-05-08	115
医用敷料的制备方法及其制得的医用敷料以及急救包	2020-05-08	161
一种超高纯氢氟酸的制备方法	2020-05-08	969
一种等离子体处理装置	2020-05-08	724

一种等离子体处理装置

一种等离子体处理装置

技术领域

背景技术

发明内容

具体实施方式

该功能需要专业版企业版VIP权限，您可以：