一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用
专利汇可以提供一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种高效环保 碳 化 硅 抛光 液 ，所述抛光液由以下含量的原料组成： 抛光剂 颗粒0.1-40%wt；卤素化合物当量浓度为0.01M-5M；可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂当量浓度为0.01M-10M； 氧 化剂当量数小于卤素化合物的当量数；余量为去离子 水 ；并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至10-12.5。本发明的抛光液，解决了含 氧化剂 的碳化硅抛光液 稳定性 以及抛光液中含有的重金属对环境造成的污染问题；同时，具有切削率高，表面 质量 稳定，循环使用寿命长，易于长期储存的特点。本发明还公开了一种高效环保碳化硅抛光液的制备方法和用途。，下面是一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用专利的具体信息内容。
1.一种高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下含量的原料组成：
抛光剂颗粒 0.1-40%wt；
卤素化合物 当量浓度为0.01M-5M；
可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂 当量浓度为0.01M-10M；
氧化剂 当量数小于卤素化合物的当量数；
余量为去离子水；
并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至10-12.5。
2.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述抛光剂颗粒为氧化硅、氧化铝、氧化铈、氧化锰、氧化镁、碳化硅、碳化硼、钻石中的至少一种。
3.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述卤素化合物为氯化物、溴化物、碘化物中的一种；优选，所述卤素化合物为溴化物或碘化物；更优选，所述卤素化合物为碘化物。
4.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述卤素化合物在抛光液中的当量浓度为0.1M-3M；更优选的，所述卤素化合物在抛光液中的当量浓度为0.5M-2M。
5.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述卤素化合物为卤素的金属盐和/或有机卤素盐；优选的，所述卤素化合物为有机卤素盐。
6.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述络合剂为淀粉、淀粉衍生物、β-环糊精、β-环糊精衍生物、糖类化合物中的至少一种；优选的，所述络合剂为直链淀粉及其衍生物和/或β-环糊精及其衍生物。
7.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述氧化剂为过氧化氢、羟胺、过氧醋酸中的至少一种。
8.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液，其特征在于，所述pH值调节剂为氨、氢氧化钠、季铵碱中的至少一种。
9.如权利要求1所述的高效环保碳化硅抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
S1：称取抛光剂颗粒、卤素化合物和络合剂，加入到去离子水中，搅拌混合均匀；
S2：再加入pH值调节剂调整pH值至10-12.5，最后现场使用时，即时加入氧化剂，充分搅拌均匀后，得到所述高效环保碳化硅抛光液。
10.应用如权利要求1-9中任一项所述的高效环保碳化硅抛光液，用于单晶硅、含硅化合物表面的高效、超精密抛光，尤其是超精密光学器件、半导体功率器件的抛光。
一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用
技术领域
背景技术
发明内容
抛光剂颗粒 0.1-40%wt；
卤素化合物 当量浓度为0.01M-5M；
可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂 当量浓度为0.01M-10M；
氧化剂 当量数小于卤素化合物的当量数；
余量为去离子水；
并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至10-12.5。
S2：再加入pH值调节剂调整pH值至10-12.5，最后现场使用时，即时加入氧化剂，充分搅拌均匀后，得到所述高效环保碳化硅抛光液。
具体实施方式
抛光剂颗粒 20%wt；
卤素化合物 当量浓度为2.5M；
可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂 当量浓度为5M；
氧化剂 当量浓度为1.5M；
余量为去离子水；
并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至11。
S2：再加入pH值调节剂调整pH值到11，最后现场使用时，即时加入氧化剂，充分搅拌均匀后，得到所述高效环保碳化硅抛光液。
抛光剂颗粒 10%wt；
卤素化合物 当量浓度为1M；
可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂 当量浓度为1.5M；
氧化剂 当量浓度为0.05M；
余量为去离子水；
所述氧化剂的当量数小于卤素化合物的当量数；并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至10。
S2：再加入pH值调节剂调整pH值到10，最后现场使用时，即时加入氧化剂，充分搅拌均匀后，得到所述高效环保碳化硅抛光液。
抛光剂颗粒 40%wt；
卤素化合物 当量浓度为5M；
可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂 当量浓度为10M；
氧化剂 当量浓度为4M；
余量为去离子水；
所述氧化剂的当量数小于卤素化合物的当量数；并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至12.5。
S2：再加入pH值调节剂调整pH值到12.5，最后现场使用时，即时加入氧化剂，充分搅拌均匀后，得到所述高效环保碳化硅抛光液。
实施例1 镜面效果 ≥50 ≤0.5 145
实施例2 镜面效果 ≥50 ≤0.5 127
实施例3 镜面效果 ≥50 ≤0.5 167
实施例4 镜面效果 ≥50 ≤0.5 136
实施例5 镜面效果 ≥50 ≤0.5 155
实施例6 镜面效果 ≥50 ≤0.5 161
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。
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