专利汇可以提供POLYCRYSTALLINE SILICON GERMANIUM FILMS FOR FORMING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且This invention relates to micro-electromechanical systems using silicon-germanium films. The invention features a process for forming a micro-electromechanical system on a substrate. This process includes depositing a sacrificial layer of silicon-germanium onto the substrate; depositing a structural layer of silicon-germanium onto the sacrificial layer, where the germanium content of the sacrificial layer is greater than the germanium content of the structural layer; and removing a portion of the sacrificial layer. A MEMS resonator (105) as seen in figure 1B can be produced by the present invention.,下面是POLYCRYSTALLINE SILICON GERMANIUM FILMS FOR FORMING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS专利的具体信息内容。
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