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光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法

阅读：536发布：2020-05-08

专利汇可以提供光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置。光源装置(100)利用成为光源的放电灯(110)、判定用电路(200)、和安装有放电灯(110)以及判定用电路(200)的反射器容器(151)而构成。并且，判定用电路(200)利用用于检测放电灯(110)是否为正品的白炽灯 (210)、和为了判别放电灯(110)是否为新品而相对于白炽灯(210) 串联连接的熔断器(220)而构成。，下面是光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述白炽灯串联连接。
2.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述白炽灯并联连接。
3.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
 二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述白炽灯串联连接。
4.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述白炽灯并联连接。
5.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述光源装置的特征在于，
所述判定用电路具有：
封体容器，具有气密的内部空间；
灯丝，配设于所述内部空间；以及
腐蚀性气体，封入在所述内部空间中。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光源装置，其特征在于，
所述判定用电路容纳在所述反射器容器内。
7.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，
所述熔断器为温度熔断器。
8.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于，
在所述腐蚀性气体中含有氧。
9.一种曝光装置，具备：
权利要求1所述的光源装置；
框架，将所述光源装置朝向被照射物安装；
恒流电源，向所述判定用电路供给电流；
开关，将来自所述恒流电源的所述电流进行接通或断开；
控制部，使所述开关接通或断开而对所述判定用电路通电给定时间；
测定部，对通电中的所述判定用电路的两端电压至少测定两次；
比较部，对第一次测定时的所述两端电压与第二次测定时的所述两端电压之差、和用于判定放电灯是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较；
判定部，接收来自所述比较部的信号，在所述两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为检查对象放电灯是正品，在所述两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为检查对象放电灯不是正品；
旧品判定用恒流电源，在判定所述放电灯是否为正品后，向所述判定用电路供给电流；
旧品判定用开关，使来自所述旧品判定用恒流电源的所述电流接通或断开；
旧品判定用控制部，使所述旧品判定用开关接通或断开而对所述判定用电路进行通电；
旧品判定用测定部，测定通电中的所述判定用电路的两端电压；以及
旧品判定部，根据所测定的两端电压是否处于给定的上限值以及下限值的电压范围内来判定所述放电灯是新品还是旧品。
10.一种光源装置的判定方法，包括如下步骤：
对权利要求1所述的光源装置的所述判定用电路通电给定时间，
将通电中的所述判定用电路的两端电压至少测定两次，
对第一次测定时的所述两端电压与第二次测定时的所述两端电压之差、和用于判定放电灯是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较，
在所述两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为判定对象的所述放电灯是正品，在所述两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为判定对象的所述放电灯不是正品，
进而，在判定所述放电灯是否为正品后，
对所述判定用电路进行通电，
测定通电中的所述判定用电路的两端电压，
在所测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下判定为判定对象的所述放电灯是新品，在所测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下判定为判定对象的所述放电灯是旧品。

说明书全文

光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法

技术领域

[0001] 本发明涉及在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于对成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品进行检测的判定用电路的光源装置、使用该光源装置的曝光装置、以及光源装置的判定方法。

背景技术

[0002] 以往，为了将部件安装于电子设备而使用了在树脂或玻璃环氧材料的基板上用铜等金属形成了布线图案而成的印刷布线基板。为了向这些印刷布线基板上形成布线图案而使用了光刻技术。光刻通过如下方式来进行，即：在整面形成有成为布线的金属层的基板整面上，涂敷作为感光性的药剂的光致抗蚀剂，通过与布线图案相同的光掩模对其照射来自曝光装置的照射光。

[0003] 在光致抗蚀剂中，存在光致抗蚀剂的溶解性由于照射光而降低的负型光致抗蚀剂、以及反之光致抗蚀剂的溶解性由于照射光而增大的正型光致抗蚀剂。若对溶解性由于照射光而相对增大的光致抗蚀剂部分进行化学处理而将其除掉，并利用蚀刻将露出的金属层除去，则会仅残留位于光致抗蚀剂保留的部分之下的金属层，通过除去光致抗蚀剂从而在基板上形成布线图案。在将照射光向正型、负型中的任意一种光致抗蚀剂进行照射的情况下，为了遍及照射面整面地确保均匀的曝光量，需要以均匀的照度将稳定的照射光照射固定的时间。

[0004] 另外，在印刷布线基板的制造中，为了制造工序的高效化而制作形成有多个电路的一块大型印刷布线基板，并在基板完成后进行如下处理，即：通过分割为单个电路而用于所期望的电子设备。

[0005] 伴随这样的印刷布线基板的大型化，曝光装置制造商想要将作为光源的放电灯大型化以得到高照度、或者设为使用了多个低照度的小型的放电灯的多灯的光源以确保所需要的照度。例如，代替使用一个8kW的高压放电灯的光源而使用四个2kW的高压放电灯的光源等。低照度的放电灯与高照度的放电灯相比，在制造难易度、制造成本上具有优势，已经销售了大量的具有多灯的光源的曝光装置。

[0006] 但是，伴随这样的光源的多灯化，从确保均匀的曝光量的必要性出发，多个放电灯彼此的均质性变得更为重要。因此，为了使曝光装置的性能稳定、制造可靠性高的印刷布线基板，需要仅使用由同一制造商以同一材料、同一工艺制作的正品的放电灯，需要判定放电灯是否为正品的装置以及判定方法。

[0007] 不限于曝光装置，在光学装置中，已知几个判定所使用的放电灯、光源的方法(例如，参照专利文献1～3)。例如，在专利文献1所记载的灯异常检测装置中，向卤素灯等使用了灯丝的白炽灯泡供给给定电压，对灯丝处于半切断状态时的电流值与灯丝正常时的电流值进行比较来检测有异常的灯。但是，对于这种方法而言，即使能够检测灯的寿命，也难以判定灯是否为正品。

[0008] 此外，例如在专利文献2中，设为将白炽灯或者荧光灯这样的光源与并联连接有电阻以及电容器的电路进行连接，测定对该光源的两端供给了给定电压时的时间常数(电阻值与容量值的乘积)来检测光源是白炽灯还是荧光灯。但是，对于这种方法而言，即使能够检测时间常数的较大差异(白炽灯的时间常数与荧光灯的时间常数较大不同)，也难以在相同的白炽灯间判定是否为正品。

[0009] 另外，例如在专利文献3中，设为在向封入到同一白炽灯泡的灯泡内的多个灯丝放射紫外线的同时测定这些灯丝间的放电开始电压，来检测不合格品。但是，对于这种方法而言，即使能够检测不合格品，也难以判定灯是否为正品。在先技术文献
专利文献

[0010] 专利文献1：JP特公平7-52677号公报专利文献2：JP特表2010-527504号公报
专利文献3：JP特开昭62-43059号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

[0011] 为了判定是正品的光源装置、或是由其他制造商制造的类似品的光源装置，与如专利文献1以及3那样识别光源是否不合格、或者如专利文献2那样识别是否为异种光源相比，需要更高精度的判定装置。此外，还需要同时解决不使多个光源的检查时间大幅超过曝光装置的起动时间、以及不使曝光装置整体的成本大幅增加这样的课题。

[0012] 进一步来说，若从确保均匀的曝光量这样的观点出发，则即使为由同一制造商制造的正品的光源装置，也不优选使新品和旧品混在一起使用。因此，谋求一种能够判定是否为已经使用过至少一次的旧品的光源装置的光源装置。

[0013] 本发明鉴于上述课题而作，其目的在于，提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置以及使用该光源装置的曝光装置及其判定方法。(用于解决课题的技术方案)

[0014] 根据本发明的一个方式，提供一种光源装置，具备：成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述白炽灯串联连接。

[0015] 此外，根据本发明的其他方式，提供一种光源装置，具备：成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述白炽灯并联连接。

[0016] 进而，根据本发明的其他方式，提供一种光源装置，具备：成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述白炽灯串联连接。

[0017] 此外，根据本发明的其他方式，提供一种光源装置，具备：成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述白炽灯并联连接。

[0018] 此外，根据本发明的其他方式，提供一种光源装置，具备：成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述光源装置的特征在于，
所述判定用电路具有：封体容器，具有气密的内部空间；灯丝，配设于所述内部空间；以及腐蚀性气体，封入在所述内部空间中。

[0019] 优选地，所述判定用电路容纳在所述反射器容器内。

[0020] 优选地，所述熔断器为温度熔断器。

[0021] 优选地，在所述腐蚀性气体中含有氧。

[0022] 此外，根据本发明的其他方式，提供一种曝光装置，具备：一个以上的上述光源装置；
框架，将所述光源装置朝向被照射物安装；
恒流电源，向所述判定用电路供给电流；
开关，将来自所述恒流电源的所述电流进行接通或断开；
控制部，使所述开关接通或断开而对所述判定用电路通电给定时间；
测定部，对通电中的所述判定用电路的两端电压至少测定两次；
比较部，对第一次测定时的所述两端电压与第二次测定时的所述两端电压之差、和用于判定放电灯是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较；
判定部，接收来自所述比较部的信号，在所述两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为检查对象放电灯是正品，在所述两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为检查对象放电灯不是正品；
在判定所述放电灯是否为正品后，
旧品判定用恒流电源，向所述判定用电路供给电流；
旧品判定用开关，使来自所述旧品判定用恒流电源的所述电流接通或断开；
旧品判定用控制部，使所述旧品判定用开关接通或断开而对所述判定用电路进行通电；
旧品判定用测定部，测定通电中的所述判定用电路的两端电压；
旧品判定部，根据所测定的两端电压是否处于给定的上限值以及下限值的电压范围内来判定所述放电灯是新品还是旧品；以及
显示部，显示判定结果。

[0023] 一种光源装置的判定方法，包括如下步骤：对上述光源装置的所述判定用电路通电给定时间，
将通电中的所述判定用电路的两端电压至少测定两次，
对第一次测定时的所述两端电压与第二次测定时的所述两端电压之差、和用于判定放电灯是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较，
在所述两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为判定对象的所述放电灯是正品，在所述两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为判定对象的所述放电灯不是正品，
进而，在判定所述放电灯是否为正品后，
对所述判定用电路进行通电，
测定通电中的所述判定用电路的两端电压，
在所测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下判定为判定对象的所述放电灯是新品，在所测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下判定为判定对象的所述放电灯是旧品。
(发明效果)

[0024] 根据本发明，能够提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置以及使用了该光源装置的曝光装置及其判定方法。附图说明

[0025] 图1是示出应用了本发明的曝光机10的一例的图。图2是示出应用了本发明的曝光装置50的一例的图。
图3是示出应用了本发明的曝光装置50的一例的俯视图。
图4是示出应用了本发明的光源装置100的一例的剖视图。
图5是示出放电灯110的一例的剖视图。
图6是示出应用了本发明的判定装置57的一例的图。
图7是示出应用了本发明的变形例1所涉及的光源装置100的一例的剖视图。
图8是示出应用了本发明的变形例2所涉及的光源装置100的一例的剖视图。
图9是示出应用了本发明的变形例3所涉及的光源装置100的一例的剖视图。
图10是应用了本发明的变形例4所涉及的光源装置100的一例的剖视图。
图11是示出与判定用电路200的配设位置相关的其他实施例的剖视图。
图12是示出与判定用电路200的配设位置相关的其他实施例的剖视图。

具体实施方式

[0026] (实施例1)(曝光机10的结构)
图1示出应用了本发明的实施例1所涉及的曝光机10。曝光机10大致利用曝光装置50、积分器12、凹面镜14和照射面16而构成。

[0027] 曝光装置50放射包含适于曝光对象物X的曝光的波长的光。关于曝光装置50的详情，在说明曝光机10的结构之后进行说明。

[0028] 积分器12具有：接收来自曝光装置50的光的入射面18；以及在提高了所接收到的光的均匀性之后射出该光的出射面20。在入射面18以及出射面20，分别形成有多个复眼透镜21。

[0029] 凹面镜14在其内侧具有反射凹面22。该凹面镜14使从积分器12射出的光由反射凹面22反射而成为平行光。

[0030] 照射面16是接受来自凹面镜14的平行光的面，以相对于该平行光大致正交的朝向进行配置。在该照射面16，载置曝光对象物X。在曝光对象物X的表面，涂敷有例如感光剂。通过来自凹面镜14的平行光照射曝光对象物X中的期望区域，从而在曝光对象物X的表面形成所期望的电路图案等。

[0031] (曝光装置50的结构)图2是示出应用了本发明的实施例1所涉及的曝光装置50的图。此外，图3是曝光装置50的俯视图。曝光装置50具备：多个光源装置100、框架52、点亮电路54、开关55、恒流电源56、判定装置57、旧品判定用恒流电源76和旧品判定用开关78。另外，开关55和旧品判定用开关
78、以及恒流电源56和旧品判定用恒流电源76可以设定为物理上分别相同的部件共享功能，也可以准备物理上分别不同的部件。

[0032] 光源装置100放射包含适于曝光对象物X的曝光的波长的光。如图4所示，光源装置100大致利用放电灯110、反射器150、绝缘基底170和判定用电路200而构成。另外，有时将反射器150和绝缘基底170统称为反射器容器151。

[0033] 如图5所示，放电灯110具有：发光管部112和从该发光管部112延伸出的一对密封部114。发光管部112以及一对密封部114由石英玻璃一体地形成。进而，在发光管部112内形成有由密封部114密闭的内部空间116。

[0034] 在放电灯110的各密封部114内，分别设置有：埋设的钼制的箔118；钨制的一对电极120，一端与箔118的一个端部连接，并且另一端配置在内部空间116内；以及一对引导棒122，一端与箔118的另一个端部连接，并且另一端从密封部114向外部延伸出。此外，在内部空间116中，封入有给定量的水银124以及卤素(例如溴)。

[0035] 若对设置于放电灯110的一对引导棒122施加给定的高电压，则在设置于发光管部112的内部空间116中的一对电极120间开始的辉光放电转变为电弧放电，通过由该电弧蒸发以及激励的水银124放射光(主要为紫外线)。

[0036] 返回至图4，在本实施例所涉及的光源装置100中，一个密封部114被插设于反射器150的密封部插设孔156。另外，放电灯110既可以用于交流点亮也可以用于直流点亮。

[0037] 反射器150在其内侧表面具有碗状的反射面152。该反射面152使来自放电灯110的光的一部分发生反射，该放电灯110配置为使发光管部112位于反射器150的内侧。在本实施例中，该反射面152由旋转抛物面规定。此外，放电灯110中的发光点(大致为在内部空间116中的一对电极120间形成的电弧的中央位置)与该旋转抛物面的焦点一致。由此，从放电灯110的发光点放射并由反射面152反射后，从反射器150的开口154出来的光成为大致平行光。当然，反射面152的形状并不限定于此，也可以是旋转椭圆面、其他的旋转面、或者旋转面以外的形状。此外，并非必须使发光点与焦点一致，也可以根据需要，使发光点从焦点偏离。

[0038] 此外，从反射器150中的与开口154相反一侧，突出设置有底颈部155。而且，在反射器150的反射面152，形成有插设放电灯110中的一个密封部114的密封部插设孔156。该密封部插设孔156从反射面152的底形成至底颈部155的前端。

[0039] 如图1所示，通过将反射器150与放电灯110进行组合，从而从放电灯110放射的光以沿着反射面152的中心轴CL前进的光为中心在具有给定角度(张开角)的范围内向反射器150的前方前进。

[0040] 返回至图4，绝缘基底170由陶瓷等电绝缘体形成，形成有使反射器150的底颈部155以及插设于密封部插设孔156的放电灯110中的一个密封部114的反射器插入孔172。通过将底颈部155以及密封部114插入到反射器插入孔172中，从而绝缘基底170会从外侧覆盖密封部插设孔156。

[0041] 此外，在绝缘基底170，形成有与上述反射器插入孔172连通的内侧空间174，进而形成有使该内侧空间174与外侧相互连通并供电源线缆A插通的电源线缆插通孔176。

[0042] 进而，绝缘基底170以及放电灯110(在本实施例的情况下，还有判定用电路200)通过具有电绝缘性以及高热传导性的无机粘接剂C而相互固定。若具体地说明，则在绝缘基底170的反射器插入孔172中插入反射器150的底颈部155的端部、以及放电灯110的一个密封部114，进而，在绝缘基底170的内侧空间174中配置有判定用电路200、电源线缆A的状态下，在该内侧空间174中填充有无机粘接剂C。

[0043] 判定用电路200在本实施例的情况下，具有白炽灯210和熔断器220。熔断器220是相对于白炽灯210串联连接的部件。在本实施例的情况下，熔断器220的容量设定为，如后所述在流过用于判定放电灯110是否为正品的恒流时不断线，而在正品判定之后，通过熔断器断线动作部67在流过比该恒流大的电流时断线。另外，也可以取代其而使用因来自点亮中的放电灯110的热量而断线那样的熔断器220即“温度熔断器”。

[0044] 返回至图3，框架52是形成有用于安装多个光源装置100的多个凹部58的大致长方体状的构件。

[0045] 返回至图2，点亮电路54是供给安装于框架52的各光源装置100的放电灯110所需的电力的电路。此外，恒流电源56以及旧品判定用恒流电源76是对各光源装置100的判定用电路200供给直流的恒流的电源，开关55以及旧品判定用开关78用于使供给到判定用电路200的直流的恒流接通或断开(ON/OFF)。另外，判定用的恒流也可以是交流。

[0046] 判定装置57是用于判定各光源装置100(放电灯110)是否为正品、以及各光源装置100(放电灯110)是新品还是旧品的装置，如图6所示，大致具有：控制部60、测定部62、比较部64、判定部66、熔断器断线动作部67、旧品判定用控制部68、旧品判定用测定部70和旧品判定部72。另外，控制部60和旧品判定用控制部68、测定部62和旧品判定用测定部70、以及判定部66和旧品判定部72可以设定为物理上分别相同的构成要素共享功能，也可以准备物理上分别不同的构成要素。

[0047] 控制部60具有操作开关55使从恒流电源56向判定用电路200供给的电流接通或断开的功能。

[0048] 测定部62具有对判定用电路200的两端电压进行测定的功能。另外，在本实施例的情况下，测定部62构成为对通电中的判定用电路200的两端电压至少测定两次。

[0049] 比较部64具有如下功能，即：将由测定部62测定的判定用电路200的第一次测定时的两端电压与第二次测定时的两端电压之差、和用于判定放电灯110是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较。在比较部64预先记录有在给定条件下测定的多个正品检测用的白炽灯的电压分布范围，比较部64将上述比较的结果的信号发送到判定部66。

[0050] 判定部66接收从比较部64发送的结果的信号，在两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为检查对象的放电灯110是正品，反之，在两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为检查对象的放电灯110不是正品。

[0051] 在判定部66判定了放电灯110是否为正品之后，熔断器断线动作部67使比正品判定用的恒流大的电流流过判定用电路200。由此，熔断器220断线，从而判定用电路200成为开路(OPEN)，判定用电路200的两端电阻值成为无穷大。

[0052] 旧品判定用控制部68具有如下功能，即：在熔断器断线动作部67的动作之后，操作旧品判定用开关78，使从旧品判定用恒流电源76向判定用电路200供给的电流接通或断开。

[0053] 旧品判定用测定部70具有对通电中的判定用电路200的两端电压进行测定的功能。

[0054] 旧品判定部72具有如下功能，即：根据由旧品判定用测定部70测定的两端电压是否处于给定的上限值以及下限值的电压范围内，来判定放电灯110是新品还是旧品。即，在由旧品判定用测定部70测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下，旧品判定部72判定为该放电灯110是新品。反之，在由旧品判定用测定部70测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下，旧品判定部72判定为该放电灯110是旧品。

[0055] (曝光装置50的动作)若接通曝光装置50的电源开关(未图示)，则点亮电路54对安装于框架52的所有光源装置100中的放电灯110供给电力。通常，放电灯110完全启动需要几分钟。

[0056] 例如，在曝光装置50的电源开关刚接通之后，判定装置57中的控制部60使与安装于框架52的任意一个光源装置100中的判定用电路200连接的开关55接通，从恒流电源56向该判定用电路200供给恒流。当然，判定装置57动作的定时并不限定于此。

[0057] 在第一次刚接通开关55之后测定部62对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果(第一次)发送到比较部64。接着，在从第一次的测定起经过给定时间后(例如，10秒后)对相同的判定用电路200再次供给恒流，测定部62对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果(第二次)发送到比较部64。

[0058] 接收到两次的两端电压测定结果的比较部64将两次的测定电压之差是否在预先记录的电压差范围内的结果信号发送到判定部66。在两端电压之差处于给定电压范围内的情况下，判定部66判定为检查对象的放电灯110是正品，反之，在两端电压之差处于给定电压范围外的情况下，判定部66判定为检查对象的放电灯110不是正品。

[0059] 一般地，白炽灯210由于其所包含的灯丝的特性，在从接通电流起的一段(数秒)期间电阻值有增加的倾向。因此，在光源装置100为正品的情况下，在第二次测定的判定用电路200的两端电压(例如8.5V)会大于在第一次测定的两端电压(例如2.0V)。反之，在不是正品的情况下，第二次的测定结果与第一次的测定结果为相同或是几乎相同。由此，通过上述的判定方法，能够判定光源装置100(放电灯110)是否为正品。另外，也可以通过仅在上述第二次的测定的定时对两端电压进行测定来判定是否为正品。在该情况下，根据两端电压的测定值是否处于给定电压范围内来判定是否为正品。

[0060] 在第一个光源装置100中的正品判定完成之后，控制部60开始向其他光源装置100中的判定用电路200的恒流的供给。以后，与上述第一个的情况同样地进行正品判定，并反复进行同样的判定直到所有的光源装置100的判定结束、或者给定范围的光源装置100的检查结束为止。

[0061] 在所需的正品判定完成之后，判定装置57中的熔断器断线动作部67使比正品判定用的恒流大的电流(例如，30V、1.4A)流过判定用电路200。由此，熔断器220断线而判定用电路200成为开路，判定用电路200的两端电阻值成为无穷大。

[0062] 然后，判定装置57中的旧品判定用控制部68使与任意一个光源装置100中的判定用电路200连接的旧品判定用开关78接通，从旧品判定用恒流电源76向该判定用电路200供给恒流。在刚接通旧品判定用开关78之后旧品判定用测定部70对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果发送到旧品判定部72。

[0063] 旧品判定部72通过测定电压是否处于给定的上限值以及下限值的电压范围内，来判定放电灯110是新品还是旧品。

[0064] 在本实施例的情况下，在由旧品判定用测定部70测定出的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下，旧品判定部72判定为该放电灯110是新品。反之，在由旧品判定用测定部70测定出的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下，旧品判定部72判定为该放电灯110是旧品。在光源装置100是正品、并且已经使用过至少一次(＝旧品)的情况下，如上所述判定用电路200中的熔断器220已经通过熔断器断线动作部67而断线，所以判定用电路200成为开路(电阻值＝无穷大)状态。因此，判定用电路200的两端电压被施加了旧品判定用恒流电源76的最大电压。通过将给定的上限值设定为小于该“旧品判定用恒流电源76的最大电压”，从而能够由旧品判定用测定部70对判定用电路200处于开路的旧品进行判定。

[0065] 至此为止，说明了在对安装于曝光装置50的全部光源装置100进行了正品判定之后开始旧品判定的例子，但是也可以在对一个光源装置100连续地进行了正品判定以及旧品判定之后，对其他光源装置100也连续地进行正品判定以及旧品判定。当然，也可以将多个光源装置100汇总在一起来依次进行正品判定，然后，依次进行旧品判定。这在以下的变形例中也是相同的。另外，也可以在进行了正品判定之后，在使用了2000小时左右之后，进行旧品判定。

[0066] (曝光装置50的特征)根据本实施例，能够提供一种具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯110是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路200的光源装置100、以及使用了该光源装置100的曝光装置50及其判定方法。

[0067] (变形例1)在上述的实施例中的光源装置100的判定用电路200中，熔断器220相对于白炽灯210进行了串联连接，但是也可以如图7所示，将该熔断器220相对于白炽灯210并联连接。

[0068] 在该情况下，光源装置100的正品判定如下。即，控制部60操作开关55而从恒流电源56向判定用电路200进行了供电后，测定部62对判定用电路200的两端电压进行测定。此时，若是正品，则电流会主要流过熔断器220，所以两端电压十分小(例如，0.4V左右)。

[0069] 然后，使熔断器断线动作部67动作，使较大的电流以及电压(例如，30V、1.4A)流过判定用电路200(主要是熔断器)。由此，熔断器220断线，判定用电路200实质上仅为白炽灯210。当然，也可以与上述实施例1同样地通过来自点亮中的放电灯110的热量来使熔断器
220断线。

[0070] 接着，通过控制部60，再次，使开关55接通，从恒流电源56向该判定用电路200供给恒流。在第一次刚接通开关55之后测定部62对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果(第一次)发送到比较部64。接着，在从第一次的测定起经过给定时间后(例如，10秒后)对相同的判定用电路200再次供给恒流，测定部62对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果(第二次)发送到比较部64。

[0071] 接收到两次的两端电压测定结果的比较部64将两次的测定电压之差是否在预先记录的电压差范围内的结果信号发送到判定部66。在两端电压之差处于给定电压范围内的情况下，判定部66判定为检查对象的放电灯110是正品，反之，在两端电压之差处于给定电压范围外的情况下，判定部66判定为检查对象的放电灯110不是正品。另外，判定用的恒流可以是直流，也可以是交流。此外，也可以通过仅在上述第二次的测定的定时对两端电压进行测定来判定是否为正品。在该情况下，通过两端电压的测定值是否处于给定电压范围内来判定是否为正品。

[0072] 旧品判定如下。即，通过旧品判定用控制部68，使旧品判定用开关78接通，从旧品判定用恒流电源76向该判定用电路200供给恒流。在第一次刚接通旧品判定用开关78之后，旧品判定用测定部70对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果(第一次)发送到旧品判定用比较部71。接着，在从第一次的测定起经过给定时间后(例如，10秒后)对相同的判定用电路200再次供给恒流，旧品判定用测定部70对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果(第二次)发送到旧品判定用比较部71。

[0073] 接收到两次的两端电压测定结果的旧品判定用比较部71将两次的测定电压之差是否在预先记录的电压差范围内的结果信号发送到旧品判定部72。在两端电压之差处于给定电压范围内的情况下，旧品判定部72判定为检查对象的放电灯110是旧品，反之，在两端电压之差处于给定电压范围外的情况下，旧品判定部72判定为检查对象的放电灯110是新品。该理由与在实施例1中的正品判定时说明的内容相同。

[0074] 在光源装置100为正品的新品的情况下，如上所述判定用电路200中的熔断器220相对于白炽灯210并联连接，所以判定用电路200的两端电压即使测定几次也都几乎为零。由此，第一次与第二次的两端电压的测定值之差成为给定电压范围外(几乎相同＝差为零)，所以由旧品判定用测定部70能够对判定用电路200实质上成为仅白炽灯210的旧品进行判定。另外，判定用的恒流可以是直流，也可以是交流。此外，也可以通过仅在上述第二次的测定的定时测定两端电压来判定是新品还是旧品。在该情况下，通过两端电压的测定值是否处于给定电压范围内(几乎零)来判定是新品还是旧品。

[0075] (变形例2)上述的实施例中的光源装置100的判定用电路200利用白炽灯210以及熔断器220而构成，但是也可以如图8所示，取代熔断器220而相对于白炽灯210串联连接二极管230。

[0076] 在该情况下，由于光源装置100的正品判定与实施例1相同(其中，在从恒流电源56流向判定用电路200的电流为二极管230的正向的直流这一点上需要注意)，因此援用实施例1的正品判定的次序而省略说明。

[0077] 接着，在该变形例2中，取代实施例1中的熔断器断线动作部67而使用反向电压施加部80。该反向电压施加部80具有如下功能，即：对二极管230(判定用电路200)施加使该二极管230破损的程度的反向电压(直流)。在完成了光源装置100的正品判定之后，使该反向电压施加部80工作，使二极管230因反向电压而破损。由此，二极管230在内部发生短路而失去其功能，判定用电路200变为与仅由白炽灯210构成的结构相同。

[0078] 在这样光源装置100为正品的情况下，由于反向电压施加部80工作后的判定用电路200变为与仅由白炽灯210构成的结构相同，因此变形例2所涉及的光源装置100的旧品判定通过与上述变形例1中说明的方法基本相同的方法来进行。另外，从旧品判定用恒流电源76向该判定用电路200供给的直流的恒流需要沿正常情况的二极管230的反向流动。

[0079] (变形例3)此外，如图9所示，也可以将二极管230相对于白炽灯210并联连接。在该情况下，由于光源装置100的正品判定与实施例1相同(其中，在从恒流电源56向判定用电路200流动的电流为二极管230的反向的直流这一点上需要注意)，因此援用实施例1的正品判定的次序而省略说明。

[0080] 在确认了光源装置100为正品之后，由反向电压施加部80向二极管230施加较大的反向电压(直流)，二极管230在内部发生短路而失去其功能，判定用电路200变为短路状态。

[0081] 然后，判定装置57中的旧品判定用控制部68使旧品判定用开关78接通，从旧品判定用恒流电源76向该判定用电路200供给恒流(其中，在从旧品判定用恒流电源76流向判定用电路200的电流为二极管230的反向的直流这一点上需要注意)。在刚接通旧品判定用开关78之后旧品判定用测定部70对判定用电路200的两端电压进行测定，并将其结果发送到旧品判定部72。

[0082] 旧品判定部72通过测定电压是否处于给定的上限值以及下限值的电压范围内来判定放电灯110是新品还是旧品。在本实施例的情况下，在由旧品判定用测定部70测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下，旧品判定部72判定为该放电灯110是新品。反之，在由旧品判定用测定部70测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下，旧品判定部72判定为该放电灯110是旧品。

[0083] 在光源装置100是正品的情况下，由于如上所述判定用电路200中的二极管230通过反向电压施加部80已经成为短路状态，因而判定用电路200成为短路(电阻值相当小)状态。因此，在旧品的情况下，判定用电路200的两端电压成为1V以下。倘若光源装置100是新品的情况下，二极管230并未失去其功能从而在反向上不能通电流，因此电流仅流过白炽灯210。即，由于判定用电路200成为与只有白炽灯210相同的状态，因而判定用电路200的两端电压会大于1V(例如，2.0V～8.5V)。由此，能够进行光源装置100的旧品判定。

[0084] (变形例4)进而，如图10所示，也可以由具有气密的内部空间240的封体容器242、配设于内部空间
240的灯丝244、以及被封入在内部空间240中的腐蚀性气体246构成判定用电路200。腐蚀性气体246在获取性等方面优选为包含氧的空气，但是也可以封入过量的卤素(例如，氟、氯、碘、溴)。

[0085] 在一般的白炽灯的封体容器内不封入使灯丝腐蚀(燃烧)的腐蚀性气体而封入有用于防止灯丝烧尽的适量的卤素，相对于此，在该变形例4中使用的判定用电路200虽然具有与一般的白炽灯相近的结构，但是在封体容器242的内部空间240中封入有腐蚀性气体246这一点不同。

[0086] 因此，若对灯丝244通电，则灯丝244在给定时间内呈现与一般的白炽灯相同的电阻值特性，若经过该给定时间，则灯丝244会由于腐蚀性气体246而烧尽。若灯丝244烧尽，则本变形例4的判定用电路200成为开路(电阻值＝无穷大)状态。

[0087] 因此，由于在灯丝244烧尽之前的期间中进行的光源装置100的正品判定的方法与实施例1相同，所以援用实施例1的正品判定的次序而省略说明。

[0088] 接着，在该变形例4中，上述的熔断器断线动作部67或反向电压施加部80等有意地引起断线或者使二极管230破损的功能并不是必须的。原因如下，即：在正品判定中，当控制部60使开关55接通，从恒流电源56向判定用电路200持续供给恒流而经过给定时间时，如上所述灯丝244烧尽，判定用电路200会成为开路(电阻值＝无穷大)状态。

[0089] 这样灯丝244烧尽后，会进行光源装置100的旧品判定，但是由于该旧品判定的方法也与实施例1相同，因此援用上述实施例1的旧品判定的次序而省略说明。

[0090] (变形例5)在上述的实施例/变形例中，判定用电路200容纳在反射器容器151内，但是判定用电路
200的配设位置并不限定于此，例如，也可以配设在反射器容器151的外部侧方(图11)，还可以配设在反射器150的外侧(背面侧)(图12)。

[0091] 应当理解，本次公开的实施方式在所有方面均为例示而并非限制性的内容。本发明的范围并非由上述的说明而是由权利要求书来示出，旨在包含与权利要求书等同的含义以及范围内的所有变更。(标号说明)

[0092] 10…曝光机、12…积分器、14…凹面镜、16…照射面50…曝光装置、52…框架、54…点亮电路、55…开关、56…恒流电源、57…判定装置、
58…凹部、60…控制部、62…测定部、64…比较部、66…判定部、67…熔断器断线动作部、
68…旧品判定用控制部、70…旧品判定用测定部、71…旧品判定用比较部、72…旧品判定部、76…旧品判定用恒流电源、78…旧品判定用开关
80…反向电压施加部
100…光源装置
110…放电灯、112…发光管部、114…密封部、116…内部空间、118…箔、120…电极、
122…引导棒、124…水银
150…反射器、151…反射器容器、152…反射面、154…开口、155…底颈部、156…密封部插设孔
170…绝缘基底、172…反射器插入孔、174…内侧空间、176…电源线缆插通孔
200…判定用电路
210…白炽灯
220…熔断器
230…二极管
240…内部空间、242…封体容器、244…灯丝、246…腐蚀性气体。

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