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用于无线芯片到芯片通信的通过芯片界面(TCI)结构

阅读:710发布:2024-01-01

专利汇可以提供用于无线芯片到芯片通信的通过芯片界面(TCI)结构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种用于RF和其他 频率 通过芯片界面(TCI)应用的 变压器 包括在三维集成 电路 (3DIC)技术中彼此处于无线 电子 通信的多个芯片。每一个芯片都包括电感线圈和与电感线圈的阻抗相匹配的匹配网络。匹配网络电连接在电感线圈和形成在芯片上的另外的元件和电路之间。本 发明 还提供了一种用于无线芯片到芯片通信的通过芯片界面(TCI)结构。,下面是用于无线芯片到芯片通信的通过芯片界面(TCI)结构专利的具体信息内容。

1.一种用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,所述半导体器件包括:
电感线圈,由位于衬底上方的介电材料中的至少两个金属层形成;以及
匹配网络,与所述电感线圈相连接,所述匹配网络是至少二阶匹配网络,其中,所述匹配网络和所述电感线圈形成在所述衬底上,所述匹配网络连接在所述电感线圈和设置在所述衬底上的另外的元件之间。
2.根据权利要求1所述的用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,其中,所述匹配网络提供与所述电感线圈相同的阻抗。
3.根据权利要求1所述的用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,其中,所述匹配网络包括至少两个电容器件或者至少两个电感器件。
4.根据权利要求1所述的用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,其中,所述匹配网络包括至少一个电容器件和至少一个电感器件。
5.根据权利要求4所述的用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,其中,所述至少一个电容器件由第一传输线形成,所述至少一个电感器件由第二传输线形成,所述第一传输线的宽度是所述第二传输线的宽度的至少两倍,并且
其中,所述匹配网络还包括至少一个另外的电容器件或至少一个另外的电感器件。
6.根据权利要求4所述的用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,其中,所述匹配网络包括所述至少一个电容器件中的第一电容器件,并且所述第一电容器件连接在所述电感线圈的端部之间。
7.根据权利要求4所述的用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,所述匹配网络包含所述至少一个电感器件中的第一电感器件,并且所述第一电感器件连接在所述电感线圈的端部之间。
8.一种通过芯片界面(TCI)结构,包括:
彼此相接触的至少两个芯片,所述至少两个芯片中的每个芯片都包括: 衬底、形成在所述衬底上方的介电材料中形成的至少一个电感线圈以及形成在所述衬底上方的匹配网络,所述至少一个电感线圈包括至少两个金属层,并且所述匹配网络连接至所述至少一个电感线圈并且是至少二阶匹配网络;
所述至少两个芯片彼此处于无线电子通信中。
9.根据权利要求8所述的通过芯片界面结构,其中,所述至少两个芯片包括用于生成RF电磁辐射的第一芯片和用于接收所述RF电磁辐射的第二芯片。
10.根据权利要求8所述的通过芯片界面结构,其中,所述衬底包含、玻璃、GaAs、和III-V族材料中的一种,并且所述至少两个芯片包括相堆叠以使所述两个芯片的相应介电表面共用公共边界的两个芯片。
11.根据权利要求8所述的通过芯片界面结构,其中,所述至少两个芯片包括:
第一芯片,具有形成在所述第一芯片上的所述至少一个电感线圈中的第一电感线圈和第二电感线圈,并且其中,所述第一电感线圈和所述第二电感线圈彼此间隔开,以使所述第一电感线圈和所述第二电感线圈之间的间距大于所述第一电感线圈的直径,并且大于所述第二电感线圈的直径;
第二芯片,具有设置在所述第一电感线圈上方的所述至少一个电感线圈的第三电感线圈;以及
第三芯片,具有设置在所述至少一个电感线圈中的第二电感线圈上方的所述至少一个电感线圈中的第四电感线圈。
12.根据权利要求8所述的通过芯片界面结构,其中,所述匹配网络提供与所述至少一个电感线圈相同的阻抗,并且包括至少两个电容器件或至少两个电感器件。
13.根据权利要求8所述的通过芯片界面结构,其中,所述匹配网络包括至少一个电容器件和至少一个电感器件。
14.根据权利要求13所述的通过芯片界面结构,其中,所述匹配网络包括第一器件,所述第一器件是所述至少一个电容器件中的第一电容器件或者所述至少一个电感器件中的第一电感器件,所述第一器件连接在所述 电感线圈的端部之间,并且其中,所述匹配网络连接在所述电感线圈和设置在所述衬底上的另外的元件之间。
15.根据权利要求13所述的通过芯片界面结构,其中,所述匹配网络包括由第一传输线形成的所述至少一个电感器件中的至少第一电感器件,以及由第二传输线形成的所述至少一个电容器件中的至少第一电容器件,其中,所述第二传输线的宽度是所述第一传输线的宽度的至少2倍。
16.一种无线电路,包括:
多个通过芯片界面(TCI)结构,每一个都包括形成在单独的芯片上的两个电感器电路,所述单独的芯片共用公共边界并且彼此处于无线电子通信中,每一个所述电感器电路都包括电感线圈和匹配电路,所述电感线圈由设置在衬底上的电介质中设置的多个金属线圈形成,并且所述匹配电网络进一步设置在所述衬底上;以及
振荡器放大器、和混频器,其中,所述振荡器、所述放大器和所述混频器中的每一个都与所述通过芯片界面结构直接或间接相连接。
17.根据权利要求16所述的无线电路,其中:
所述放大器包括功率放大器;并且
所述无线电路包括:
所述多个通过芯片界面结构中的第一通过芯片界面结构,所述第一通过芯片界面结构连接在所述振荡器和所述混频器之间;
所述多个通过芯片界面结构中的第二通过芯片界面结构,所述第二通过芯片界面结构连接在所述混频器和所述功率放大器之间;以及
所述多个通过芯片界面结构中的第三通过芯片界面结构,所述第三通过芯片界面结构连接在所述功率放大器和天线之间。
18.根据权利要求17所述的无线电路,
其中,所述第一通过芯片界面结构包括:
所述两个电感器电路中的第一电感器电路,所述第一电感器电路形成在第一芯片上;
以及
所述两个电感器电路中的第二电感器电路,所述第二电感器电路形成在第二芯片上;
并且
其中,所述振荡器形成在所述第一芯片上,所述混频器形成在所述第二芯片上。
19.根据权利要求16所述的无线电路,其中,所述放大器包括低噪声放大器,并且所述无线电路包括所述多个通过芯片界面结构中的第一通过芯片界面结构、第二通过芯片界面结构、和第三通过芯片界面结构,所述第一通过芯片界面结构连接在所述振荡器和所述混频器之间,所述第二通过芯片界面结构连接在所述混频器和所述低噪声放大器之间,以及所述第三通过芯片界面结构连接在所述低噪声放大器和天线之间。
20.根据权利要求16所述的无线电路,其中,所述多个通过芯片界面结构包括所述芯片中的至少三个所述芯片,所述至少三个芯片相互堆叠,在所述芯片中至少相邻近的芯片包括所述多个通过芯片界面结构中的一个通过芯片界面结构。

说明书全文

用于无线芯片到芯片通信的通过芯片界面(TCI)结构

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体芯片到芯片无线通信系统。

背景技术

[0002] 使用设置在三维IC(3DIC)布置中的单个芯片之间的通过芯片界面(through-chip interface,TCI)通信信道,能够实现电子元件的无线芯片到芯片通信。在这些无线通信信道中,期望在充当变压器并且彼此都处于无线通信中的单个芯片之间获得高耦合系数k。在用于RF和其他芯片到芯片无线通信系统的变压器中达到高耦合系数(k)可用于增加灵敏度并降低功耗。
[0003] 为了从根本上适应提高耦合系数方面的尝试,已经对芯片进行了物理改变,且通常使芯片难于处理或者需要要求额外空间并且难以生产的更昂贵的结构。而且,以前的尝试在增强耦合系数方面并不是非常有效的。

发明内容

[0004] 为了解决现有技术中所存在的问题,根据本发明的一个方面,提供了一种用于无线芯片到芯片通信的半导体器件,所述半导体器件包括:电感线圈,由位于衬底上方的介电材料中的至少两个金属层形成;以及匹配网络,与所述电感线圈相连接,所述匹配网络是至少二阶匹配网络。
[0005] 在该半导体器件中,所述匹配网络提供与所述电感线圈基本上相同的阻抗。
[0006] 在该半导体器件中,所述匹配网络包括至少两个电容器件或者至少两个电感器件。
[0007] 在该半导体器件中,所述匹配网络包括至少一个电容器件和至少一个电感器件。
[0008] 在该半导体器件中,所述至少一个电容器件由第一传输线形成,所述至少一个电感器件由第二传输线形成,所述第一传输线的宽度是所述第二传输线的宽度的至少约两倍,并且其中,所述匹配网络还包括至少一个另外的电容器件或至少一个另外的电感器件。
[0009] 在该半导体器件中,所述匹配网络和所述电感线圈形成在所述衬底上,所述匹配网络连接在所述电感线圈和设置在所述衬底上的另外的元件之间,所述匹配网络包括所述至少一个电容器件中的第一电容器件,并且所述第一电容器件连接在所述电感线圈的端部之间。
[0010] 在该半导体器件中,所述匹配网络和所述电感线圈形成在所述衬底上,所述匹配网络连接在所述电感线圈和设置在所述衬底上的另外的元件之间,所述匹配网络包含所述至少一个电感器件中的第一电感器件,并且所述第一电感器件连接在所述电感线圈的端部之间。
[0011] 根据本发明的另一方面,提供了一种通过芯片界面(TCI)结构,包括:彼此相接触的至少两个芯片,所述至少两个芯片中的每个芯片都包括形成在衬底上方的介电材料中形成的至少一个电感线圈以及形成在所述衬底上方的匹配网络,所述至少一个电感线圈包括至少两个金属层,并且所述匹配网络连接至所述至少一个电感线圈并且是至少二阶匹配网络;所述至少两个芯片彼此处于无线电子通信中。
[0012] 在该TCI结构中,所述至少两个芯片包括用于生成RF电磁辐射的第一芯片和用于接收所述RF电磁辐射的第二芯片。
[0013] 在该TCI结构中,所述衬底包含、玻璃、GaAs、和III-V族材料中的一种,并且所述至少两个芯片包括相堆叠以使所述两个芯片的相应介电表面共用公共边界的两个芯片。
[0014] 在该TCI结构中,所述至少两个芯片包括:第一芯片,具有形成在所述第一芯片上的所述至少一个电感线圈中的第一电感线圈和第二电感线圈,并且其中,所述第一电感线圈和所述第二电感线圈彼此间隔开,以使所述第一电感线圈和所述第二电感线圈之间的间距大于所述第一电感线圈的直径,并且大于所述第二电感线圈的直径;第二芯片,具有设置在所述第一电感线圈上方的所述至少一个电感线圈的第三电感线圈;以及第三芯片,具有设置在所述至少一个电感线圈中的第二电感线圈上方的所述至少一个电感线圈中的第四电感线圈。
[0015] 在该TCI结构中,所述匹配网络提供与所述至少一个电感线圈基本上相同的阻抗,并且包括至少两个电容器件或至少两个电感器件。
[0016] 在该TCI结构中,所述匹配网络包括至少一个电容器件和至少一个电感器件。
[0017] 在该TCI结构中,所述匹配网络包括第一器件,所述第一器件是所述至少一个电容器件中的第一电容器件或者所述至少一个电感器件中的第一电感器件,所述第一器件连接在所述电感线圈的端部之间,并且其中,所述匹配网络连接在所述电感线圈和设置在所述衬底上的另外的元件之间。
[0018] 在该TCI结构中,所述匹配网络包括由第一传输线形成的所述至少一个电感器件中的至少第一电感器件,以及由第二传输线形成的所述至少一个电容器件中的至少第一电容器件,其中,所述第二传输线的宽度是所述第一传输线的宽度的至少约2倍。
[0019] 根据本发明的又一方面,提供了一种无线电路,包括:多个通过芯片界面(TCI)结构,每一个都包括形成在单独的芯片上的两个电感器电路,所述单独的芯片共用公共边界并且彼此处于无线电子通信中,每一个所述电感器电路都包括电感线圈和匹配电路,所述电感线圈由设置在衬底上的电介质中设置的多个金属线圈形成,并且所述匹配电网络进一步设置在所述衬底上;以及振荡器放大器、和混频器,其中,所述振荡器、所述放大器和所述混频器中的每一个都与所述TCI结构直接或间接相连接。
[0020] 在该无线电路中:所述放大器包括功率放大器;并且所述无线电路包括:所述多个TCI结构中的第一TCI结构,所述第一TCI结构连接在所述振荡器和所述混频器之间;所述多个TCI结构中的第二TCI结构,所述第二TCI结构连接在所述混频器和所述功率放大器之间;以及所述多个TCI结构中的第三TCI结构,所述第三TCI结构连接在所述功率放大器和天线之间。
[0021] 在该无线电路中,所述第一TCI结构包括:所述两个电感器电路中的第一电感器电路,所述第一电感器电路形成在第一芯片上;以及所述两个电感器电路中的第二电感器电路,所述第二电感器电路形成在第二芯片上;并且其中,所述振荡器形成在所述第一芯片上,所述混频器形成在所述第二芯片上。
[0022] 在该无线电路中,所述放大器包括低噪声放大器,并且所述无线电路包括所述多个TCI结构中的第一TCI结构、第二TCI结构、和第三TCI结构,所述第一TCI结构连接在所述振荡器和所述混频器之间,所述第二TCI结构连接在所述混频器和所述低噪声放大器之间,以及所述第三TCI结构连接在所述低噪声放大器和天线之间。
[0023] 在该无线电路中,所述多个TCI结构包括所述芯片中的至少三个所述芯片,所述至少三个芯片相互堆叠,在所述芯片中至少相邻近的芯片包括所述多个TCI结构中的一个TCI结构。附图说明
[0024] 当结合附图一起阅读时,根据以下详细描述可以更好地理解本发明。应该强调,根据常规实践,附图的各个部件不必必须按比例绘制。相反,为了清楚起见,各个部件的尺寸可以被任意地放大或减小。在整个说明书和附图中,相似的标号表示相似的部件。
[0025] 图1是具有两个堆叠芯片的示例性TCI结构的一部分的截面图的实施例
[0026] 图2是形成TCI结构的两个示例性堆叠芯片的一部分的三维立体图的实施例;
[0027] 图3示意性地示出了根据本发明实施例的示例性TCI系统;
[0028] 图4a至图4h是示出了根据本发明一些实施例的示例性匹配网络的电路图;
[0029] 图5示出了根据本发明的具有多个堆叠芯片的示例性TCI系统的实施例;
[0030] 图6是示出了根据本发明的实施例的应用TCI系统的示例性发射器电路的电路图;以及
[0031] 图7是示出了根据本发明的实施例的应用TCI系统的示例性接收器电路的电路图。

具体实施方式

[0032] 本发明涉及用于RF通过芯片界面(TCI)应用的高耦合效率(k)变压器。TCI系统包括通过无线信道处于电子通信中的两个芯片,并从而充当变压器。电感器常用于这种无线通信,例如当用于通信的电磁辐射处于无线电频率(RF)范围内时。电感器结构通常是指电感线圈,其包括在衬底上方形成的介电材料中设置的缠绕或螺旋导电材料。
[0033] 图1和图2示出了具有在芯片上形成的示例性电感器的两个堆叠芯片的一部分。图1示出了设置在芯片1上方的芯片2。芯片1和芯片2每一个都包括衬底12和由连接在
一起的多个导电层形成的电感线圈。多个导电层包括形成在电介质8内的下导电层4和上导电层6。电介质8可以是化硅或者其他合适的介电材料。在下导电层4和上导电层
6中使用的导电材料可以是合适的金属(诸如)或其他合适的导电材料。在各个实施例中,衬底12由硅、或其他合适的材料(诸如玻璃、GaAs、或其他合适的III-V族衬底材料)形成。芯片2直接堆叠在芯片1上,即,芯片1和芯片2共用公共界面10。
[0034] 图2是两个堆叠芯片的三维立体图,其中的一部分示出在图1中的截面中。芯片2设置在芯片1上方,从而使它们共用公共界面10。芯片2包括电感线圈14,其包括至少两个金属层。在图2中示出的实施例中,通孔16连接形成电感线圈14的两个金属层。虽然在图1和图2中示出了两个金属层,但是在其他示例性实施例中,电感线圈14由附加金属层形成。芯片1还包括由诸如通过示例性通孔16连接的多个金属层形成的电感线圈14。虽然在示出的实施例中,电感线圈14形成通常具有方形足迹(footprint)的螺旋件,但这仅仅是示例性的。在各个实施例中,电感线圈14的直径可以是各种尺寸。在一个实施例中,直径为约50微米×50微米,以及在另一个示例性实施例中,直径为约125微米×125微米。在其他实施例中,可以使用其他尺寸。芯片2的电感线圈14包括将与其他元件连接的端口A和端口B,以及芯片1的电感线圈14包括用于与其他电子元件连接的端口C和端口
D。端口A和端口B与端口C和端口D相对的位置设置是示例性的。
[0035] 图3是示出了本发明各个方面的示意性示意图。芯片20和22共用公共边界26。在一个示例性实施例中,芯片20和22中的一个堆叠在另一个的上方。芯片20包括具有电感L1的电感线圈30,并且芯片22包括具有电感L2的电感线圈32。电感线圈30和32示意
性地示出在图3中。在一个实施例中,电感线圈30和32采用图2中描述的电感线圈14的
形状和尺寸。在其他实施例中,电感线圈30和32采用各种其他形状和结构。芯片20和电感线圈30与对应的匹配网络36相连接,并且芯片22和电感线圈32与对应的匹配网络38
相连接。匹配网络36和38的示例性实施例将在下面示出。匹配网络36与电感线圈30的
相对端部40相连接并连接在电感线圈30的相对端部40之间,匹配网络38与电感线圈32
的相对端部44相连接并连接在电感线圈32的相对端部44之间。彼此相互接触并且每一
个都包括带有阻挡匹配网络的电感线圈的两个芯片20、22的系统形成通过芯片界面(TCI)系统,并可以被视为变压器。芯片20和22通过由相应的电感线圈30和32产生的电磁辐
射相互处于无线通信。芯片20和22每一个都可以用作RF或其他频率电磁辐射的发射器
和接收器。
[0036] 图3以示意图示出。在各个实施例中,虽然在图3的示意图中未示出,但是对应的匹配网络36和38形成在与其对应的电感线圈30和32相同的衬底上。匹配网络36提供了具有电感L1的电感线圈30的阻抗匹配,匹配网络38提供了具有电感L2的电感线圈32
的阻抗匹配。在一个实施例中,电感L1和L2是相同的。在其他示例性实施例中,电感L1和L2彼此不同。匹配网络36和38匹配对应的电感线圈30和32的阻抗。阻抗与电阻相似,
但是将电阻的概念延伸至交流电(AC)电路,不仅描述电压电流的相对幅度,而且作为阻抗的相对脉冲是交流电的阻抗的量度。在一些实施例中,使用匹配网络来匹配对应电感线圈的阻抗增强了耦合系数(k),并实现了相应芯片之间的更有效的无线通信,并且能够降低所用的功率。在一个示例性实施例中,在2.5GHz下,耦合系数增强了460%,即,在2.5GHz下,足迹尺寸为50×50μm2的电感线圈的k从0.20增加至0.92。这提供了必然的优势,
即,对于给定k值,可以降低电感器面积并仍传送相同的无线信号强度。前述实例是本发明的示例性和说明性优点,实现了增加耦合系数并增加芯片之间的无线通信频率。
[0037] 图4a至图4h是示出了根据本发明一些实施例的示例性匹配网络的电路图。根据各个示例性实施例,匹配网络在各种布置中都包括电容器48和电感器50。电容器48代表各个示例性实施例中的各种电容器件,即,用于储存电场能的无源两端部电子器件,并且在整个发明中共同被称为电容器48。电感器50代表各个示例性实施例中的各种类型的电感器件。电感器件是用于储存磁场能的无源两端部电子器件并且在整个发明中共同被称为电感器50。匹配网络包括相对的端部52,其用于与电感线圈30的端部40或者与电感线圈32的端部44(参见图3)相连接。根据图4g中所示的示例性匹配网络,随着端部52连接至相应的端部40,电感器48连接在电感线圈30之间,并且在图4c中,当端部52连接至相应的端部40时,在电感线圈30的端部40之间设置电感器50。在其他实施例中,端部54连接至另外的元件和各种电路,如下面将示出的。鉴于此,在图4a至图4h中示出的相应示例性匹配网络连接在相应的电感线圈和可以设置在与其相应的电感线圈相同或不同的芯片上的另外的元件和电路之间。
[0038] 图4a至图4h中示出的示例性匹配网络每一个都代表二阶匹配网络,即,具有两个元件的匹配网络。图4a至图4h中示出的匹配网络是示例性的,而非对可以使用的各种匹配网络的限制。根据其他实施例,使用三阶或更高阶匹配网络。根据又一些实施例,所示出的元件(即,电容器48和电感器50)中的任一个或者两个都可以被适当尺寸的传输线替换。在一个实施例中,使用适当宽的传输线作为电容器件。在另一实施例中,使用适当窄的传输线作为电感器件。传输线的相对宽度是相对术语,例如,相对宽的传输线用作电容器件。准确的线宽度取决于各种因素,诸如但不限于金属厚度、衬底厚度、介电常数和工作频率。在一个实施例中,被用作电容器件的相对宽的传输线的宽度可以是标准引线的宽度的至少1.5倍,并且在一个实施例中可以大于约7.5微米。根据其中相对窄的传输线用作电感容器的实施例,传输线可以包括不大于标准引线的厚度的0.8倍的厚度,并且在其中标准引线的宽度为约5微米的一个实施例中,可以小于约4微米。根据一个实施例,在匹配网络中,用作电容器件的相对宽的传输线是用作电感器件的相对窄的传输线的宽度的至少两倍,但是在其他实施例中,使用其他相对宽度。
[0039] 图5是示出了如以前所述的每一个都包括电感线圈的堆叠芯片的一部分的截面图。在各个实施例中,芯片的堆叠包括一个接一个堆叠起来的多个芯片。图5示出了芯片2直接堆叠在芯片1上,并且芯片“n”代表还可以在芯片1和2上方堆叠的其他芯片的数量。尽管示出的是相应的芯片以相同的取向(顶部到底部)堆叠,但在其他实施例中,芯片采用相应的上介电表面58彼此直接或间接接触的方式进行堆叠。图5中示出的每个芯片代表另外包括匹配电路和其他元件的芯片的小截面。在图5中示意性地示出的TCI结构60和62代表一个芯片与另一个芯片的无线通信。TCI结构60示意性地示出了芯片1与芯片
2的无线通信。在一个实施例中,堆叠的芯片中的每一个都与邻近的芯片处于无线通信中,形成TCI结构。
[0040] 虽然图1、图2和图5示出的是每个芯片一个电感线圈,但是在其他示例性实施例中,单个芯片可以包括在公共衬底上形成的两个以上的电感线圈。根据这些示例性实施例,有利的是,电感线圈在公共衬底上间隔开,从而使得邻近电感线圈的中心之间的间距超过电感线圈的直径。当在单独的芯片上形成的电感线圈以彼此接近的方式组装时,也是这样。根据其中单个芯片包括多个电感线圈的实施例,每一个都包括一个电感线圈的另外两个芯片每一个都可以直接堆叠在具有两个电感线圈的芯片上,从而使得相应的电感线圈中的一个设置在另一个的上方,以及使得两个上覆的芯片彼此之间相对横向设置。
[0041] 图6和图7示出了其中可以使用本发明各个实施例中的TCI结构的示例性网络。图6是示出了RF发射器的示例性电路。图7是示出了RF接收器的示例性电路,并且示例性电路每一个都应用诸如前面描述和示出的TCI结构60。图6的发射器电路包括振荡器64、混频器66、功率放大器68和天线70。图7的接收器电路包括振荡器64、混频器66、低噪声放大器72和天线70。在示出的示例性实施例中,每个示例性电路都包括三个TCI结构60。
每个TCI结构60包括两个电感器电路,每一个都包括电感器和对应的匹配网络,电感器电路形成在两个不同的芯片上并且彼此处于无线通信中。从而,在该实施例中,每个TCI结构
60包括两个芯片。其他元件诸如混频器66、振荡器64、功率放大器68和天线70可以形成在TCI结构60的任一个芯片上。在一个示例性实施例中,TCI结构60的芯片之一包括天
线和功率放大器,而两个芯片中的另一个芯片包括天线70和振荡器64,并且每个芯片还包括电感线圈和对应的匹配网络。这是示例性的。在其他实施例中,结合形成TCI结构60中的芯片中的任一个都可以包括任何或全部的示出的元件以及其他元件。
[0042] 根据一个实施例,提供了用于无线芯片到芯片通信的半导体器件。半导体器件包括由位于衬底上方的介电材料中的至少两个金属层形成的电感线圈以及与电感线圈连接的匹配网络。匹配网络是至少二阶匹配网络。
[0043] 在另一个实施例中,提供了通过芯片界面(TCI)结构。通过芯片界面(TCI)结构包括彼此相接触的至少两个芯片,每个芯片包括由在衬底上方形成的介电材料中设置的至少两个金属层形成的至少一个电感线圈,以及形成在衬底上方并与电感线圈连接的匹配网络。匹配网络是至少二阶匹配网络并且该至少两个芯片彼此处于无线电子通信中。
[0044] 在另一实施例中,提供了无线电路。无线电路包括多个TCI结构、振荡器、放大器和混频器。每个TCI结构包括在共用公共边界并且彼此处于无线电子通信中的单独芯片上形成的两个电感器电路。每个电感器电路都包括电感线圈和匹配网络。电感线圈由在衬底上设置的电介质中设置的多个金属线圈形成,并且匹配网络还设置在衬底上。
[0045] 前面仅示出了本发明的原理。因此,应该理解,本领域普通技术人员能够设计出尽管在本文中没有明确描述或示出但体现了本发明的原理并包括在其精神和范围内的各种布置。此外,本文引用的所有实例和条件语言都主要明确预期仅是为了教导的目的且旨在帮助理解本发明的原理和发明人为促进本领域所贡献的概念,并且被解释为不限于这些具体引用的实例和条件。此外,本文中引用本发明的原理、方面和实施例以及其具体实例的所有声明都预期包含其结构和功能两种等效物。此外,预期这些等效物包括当前已知的等效物以及未来开发的等效物,即,不管其结构如何,开发的执行相同功能的任何元件。
[0046] 预期结合附图一起阅读示例性实施例的这种描述,所述附图被认为是整个书面说明书的一部分。在说明书中,相对术语诸如“下部”、“上部”、“平”、“垂直”、“在......上方”、“在......下方”、“向上”、“向下”、“顶部”和“底部”及其派生词(例如,“水平地”、“向下地”、“向上地”等)应该被解释为是指如随后所述的或者如论述中的附图所示的方位。这些相对术语是为了便于描述,并不要求在具体方位上构造或操作装置。除非另有明确描述,关于接合、连接等的术语(诸如“连接”和“互连”)是指其中一个结构直接或通过插入结构间接地固定或接合至另一结构的关系以及两者都是可移动的或刚性的接合或关系。
[0047] 尽管根据示例性实施例描述了本发明,但其不限于此。然而,所附权利要求应按广义进行解释,以包括可以由本领域技术人员在不背离本发明的等效物的精神和范围的情况下作出的本发明的其他变体和实施例。
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